JP2007030465A - 基板の製造方法、液体吐出ヘッドの製造方法、液体吐出ヘッド及び画像形成装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 高密度に配線するとともに、確実かつ容易に配線すること。
【解決手段】 凹部７１２が形成されている側面を有する基材７１と、平坦面を有する下型９２０とを用意して（図１１（ｃ））、基材７１の凹部７１２が形成されている側面に下型９２０の平坦面が当接されて凹部７１２の一端が開口端として開口している状態で、凹部７１２の開口端から凹部７１２内に導電性ペースト７２０を充填する工程（図１１（ｄ））と、凹部７１２内に充填されている導電性ペースト７２０を硬化させる工程（図１１（ｅ））と、導電性ペースト７２０が硬化してなる導電部７２及び基材７１からなるスペーサ７０から下型９２０を分離する工程（図１１（ｆ））を含み、導電部７２の露出した側面の一部が第１電極として用いられるとともに、導電部７２の導電性ペースト７２０の充填に用いられた開口端に相当する端部が第２電極として用いられるスペーサ７０を製造する。
【選択図】 図１１

Description

本発明は基板の製造方法、液体吐出ヘッドの製造方法、液体吐出ヘッド及び画像形成装置に係り、特に立体的な配線が形成されている基板の製造方法、液体吐出ヘッドの製造方法、液体吐出ヘッド及び画像形成装置に関する。

従来、インクを吐出する多数のノズル（吐出口）を配列させたインク吐出ヘッドを有し、このインク吐出ヘッドと紙などの記録媒体とを相対的に移動させながら、記録媒体に向けてノズルからインクを吐出することにより、記録媒体上に画像を形成する画像形成装置が知られている。

このような画像形成装置におけるインク吐出ヘッドにおいて、例えば、インクを吐出するための圧力発生手段として圧電体を用い、圧電体の変形によって圧力室の一つの壁面を構成する振動板を変形させて、圧力室の容積を変化させ、圧力室内のインクをノズルから液滴として吐出するようにしたものが知られている。

ところで、近年、インク吐出ヘッドを有する画像形成装置においても、記録速度の高速化と高画質化が求められており、その実現のためには、多ノズル化とその多ノズルの高密度化が必須である。

ここで、多ノズル化及び高密度化のためには、各ノズルに連通する圧力室も高密度に配置する必要があるとともに、各圧力室に対して設置される圧電体に駆動信号を供給するための電気配線（駆動配線）も高密度化して配置しなければならない。

また、一般に、圧電体をいわゆる撓み振動モードで駆動するものが知られており、このような撓み振動モードにおいては、圧電体の振動板に固着されている側とは反対側（圧電体の上側）には、圧電体の運動を阻害しない程度の空間を確保する必要がある。このため、圧電体の上電極と外部配線との接続は、一般に、空間を跨いで行わなければならない。

特許文献１には、インク吐出ヘッドの構造を簡略化し小型化を図ることを目的として、圧力室、振動板及び圧電体を有する流路形成基板の圧電体側に接合される接合部材を有し、この接合部材には外部配線が接続される実装部が圧電体に対応する領域に設けられ、且つ一端が接合部材の実装部に接続されるとともに他端が圧電体に接続される駆動配線（連結配線）が設けられているものが記載されている。このような駆動配線として、具体的には、接合部材の厚さ方向に貫通した貫通孔（貫通溝）を通すようにしてワイヤボンディングによって形成したものが記載されている。また、接合部材の厚さ方向に貫通するとともに傾斜面を有する貫通孔（貫通溝）の内面（傾斜面）にスパッタリングによって薄膜（配線膜）を成膜し、駆動配線を形成したものも記載されている。
特開２００３−１３６７２１号公報（特に、図７、図８及び図９）

特許文献１に記載のように、接合部材の厚さ方向に貫通孔を開けておき、この貫通孔を通すようにしてワイヤボンディングで駆動配線を形成する場合、高密度に配線しようとすると、ワイヤ同士が接触する危険がある上に、ワイヤボンディングするためのプローブが入る径の貫通孔を形成しなければならず、また、駆動配線の断面積を貫通孔の開口面積よりも小さくしなければならないので、実際には、高密度に配線できないことになる。

また、接合部材の厚さ方向に貫通孔を開けておき、この貫通孔の内面にスパッタリングにより薄膜を形成する場合、薄膜をスパッタリングにより成膜した後に、更に各圧電体ごとに独立した駆動配線となるようにするためのパターニング工程が必要となり、工程が増える。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、高密度に配線することができ、しかも、確実かつ容易に配線することができる基板の製造方法、液体吐出ヘッドの製造方法、液体吐出ヘッド及び画像形成装置を提供することを目的とする。

前記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、凹部が形成されている側面を有する第１部材と、平坦面を有する第２部材とを用意して、前記第１部材の前記凹部が形成されている前記側面に前記第２部材の前記平坦面が当接されて前記凹部の一端が開口端として開口している状態で、前記凹部の前記開口端から前記凹部内に導電性ペーストを充填する工程と、前記凹部内に充填されている前記導電性ペーストを硬化させる工程と、前記導電性ペーストが硬化してなる導電部が形成されている前記第１部材から前記第２部材を分離する工程と、を含み、前記第１部材の前記側面に露出させた前記導電部の露出面の一部が第１電極として用いられるとともに、前記導電部の前記導電性ペーストの充填に用いられた前記開口端に相当する端部が第２電極として用いられる基板を製造することを特徴とする基板の製造方法を提供する。

この発明によれば、第１部材の側面に露出させた導電部の露出面の一部を第１電極として用いとともに、前記導電部の導電性ペーストの充填に用いられた開口端に相当する端部を第２電極として用いることにより、これらの第１電極及び第２電極を両端とする導電部を立体配線として使用できることになるので、高密度に配線することができる。しかも、この基板の電極と他の部品（例えばアクチュエータ）の電極との接合をオープンな状態で、すなわち撮像装置などにより接合状況を容易に確認可能な状態で行うことができることになり、確実かつ容易に配線できることになる。

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記第２部材が成形型であり、前記第１部材が少なくとも前記第２部材を用いて成形された樹脂からなる成形品であることを特徴とする基板の製造方法を提供する。

この発明によれば、第１部材の成形と第１部材の導電部の形成とを連続して行うことが可能となり、立体配線に適した基板を簡単に製造できることになる。

請求項３に記載の発明は、液体を吐出する吐出口に連通する圧力室と、前記圧力室内の液体に圧力を付与するアクチュエータと、を備える液体吐出ヘッドの製造方法において、請求項１又は２に記載の基板の製造方法によって製造された前記基板を前記アクチュエータの周辺の空間を確保するスペーサとして用い、前記基板の前記第１電極を前記アクチュエータに接合するとともに、前記基板の前記第２電極を外部から前記アクチュエータに駆動信号を与えるための外部配線に接続することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。

この発明によれば、アクチュエータの周辺の空間を確保するスペーサを立体配線用の基板として兼用することができるとともに、アクチュエータと基板との接合をオープンな状態で、すなわち撮像装置などにより接合状況を容易に確認可能な状態で行うことができることになり、確実かつ容易に配線できることになる。また、スペーサの導電部と外部配線との接合は、面対面の接合で行うことが可能であり、スルーホールやバンプによる接合が可能となって、接合に必要な面積を最小限にすることができる。

請求項４に記載の発明は、液体を吐出する吐出口に連通する圧力室と、前記圧力室内の液体に圧力を付与するアクチュエータと、前記アクチュエータの周辺の空間を確保するスペーサであって、当該スペーサの側面に露出しているとともに前記アクチュエータに接続されている第１電極、及び、当該スペーサの上面に露出しているとともに外部から前記アクチュエータに駆動信号を与えるための外部配線に接続されている第２電極を有する導電部が形成されているスペーサを備えることを特徴とする液体吐出ヘッドを提供する。

請求項５に記載の発明は、請求項４に記載の液体吐出ヘッドを備え、前記液体吐出ヘッドを記録媒体に対して相対的に移動させるとともに、前記液体吐出ヘッドから前記記録媒体に向けてインクを吐出することにより、前記記録媒体に画像を形成することを特徴とする画像形成装置を提供する。

この発明によれば、吐出口が高密度に配置された液体吐出ヘッドにより高画質の画像を形成することができる。

本発明によれば、高密度に配線することができ、しかも、確実かつ容易に配線することができる。

以下、添付した図面を参照して、本発明について詳細に説明する。

［液体吐出ヘッドの構造］
図１は、本発明に係る液体吐出ヘッドの全体構造の一例について概略を示す平面透視図である。

図１において、液体吐出ヘッド５０は、紙などの記録媒体に向けてインクを吐出するノズル５１（吐出口）と、ノズル５１に連通する圧力室５２と、圧力室５２内にインクが供給される開口部としてのインク供給口５３とを含んでなる複数の圧力室ユニット５４が、２次元配列されて構成されている。なお、図１では、図示の便宜上、一部の圧力室ユニット５４が省略して描かれている。

複数のノズル５１は、主走査方向（本実施形態では記録媒体の搬送方向と略直交する方向である）と、主走査方向に対して所定の角度θをなす斜め方向との２方向に沿って、２次元マトリクス状に配列されている。具体的には、主走査方向に対して角度θをなす斜め方向に沿ってノズル５１が一定のピッチｄで複数配列されていることにより、ノズル５１が主走査方向に沿った一直線上に所定のピッチ「ｄ×cosθ」で配列されたものと等価に取り扱うことができる。このようなノズル配列によれば、例えば主走査方向に沿って例えば１インチ当たり2400個（2400ノズル／インチ）に及ぶような高密度のノズル配列と実質的に同等の構成にできる。すなわち、液体吐出ヘッド５０の長手方向（主走査方向）に沿った直線上に並べられるように投影される実質的なノズルの間隔（投影ノズルピッチ）の高密度化が達成される。図１に示すように２方向に沿ったノズル配列を、２次元マトリクス状のノズル配列と呼ぶことにする。

また、複数のノズル５１に１対１で連通する複数の圧力室５２も、ノズル５１と同様に、２次元マトリクス状に配列されている。

なお、本発明の実施に際して、ノズル５１等の配置構造は、図１に示した例に特に限定されない。例えば、図２に示すように、複数のノズル５１が２次元的に配列された短尺の液体吐出ヘッドブロック５０’を千鳥状に配列して繋ぎ合わせることで、記録媒体の全幅に対応する長さのノズル列を有する液体吐出ヘッドを構成してもよい。図２に示すようなノズル配列も２次元マトリクス状のノズル配列である。

図１に示すノズル配列であっても、図２に示すノズル配列であっても、主走査方向（記録媒体の搬送方向と略直交する方向）に記録媒体の全幅に対応する長さにわたるノズル列を備えるフルライン型の液体吐出ヘッドを構成することができる。

図３は、図１の液体吐出ヘッド５０の一部を拡大して詳細に示す平面透視図である。また、図３の４−４線に沿った断面図を図４に示し、図３の５−５線に沿った断面図を図５に示す。

図４及び図５に示すように、液体吐出ヘッド５０は、主として、複数のノズル５１（吐出口）が形成されているノズルプレート５１０、ノズル５１に連通する複数の圧力室５２がノズル５１に対して一対一で形成されている圧力室プレート５２０、圧力室５２の一壁面（振動面）を構成し、圧力室５２の容積を変化させて圧力室５２内の液体に圧力を付与する圧力発生手段としてのアクチュエータ５８０が形成されている振動板５６（「アクチュエータプレート」ともいう）、アクチュエータ５８０（特に圧電体５８）の周辺の空間を確保するスペーサ７０であって、アクチュエータ５８０に対して駆動信号を与えるための立体配線としての導電部７２が形成されているスペーサ７０（「立体配線プレート」ともいう）、スペーサ７０の導電部７２に接続された水平配線９３（外部配線）が形成されている水平配線プレート８１（「外部配線プレート」ともいう）、水平配線プレート８１の水平配線９３を保護する保護プレート８２、及び、複数の圧力室５２に連通する共通液室５５が形成されている共通液室プレート５５０が積層されて形成されている。

振動板５６は、圧力室プレート５２０をノズルプレート５１０と挟むようにして、ノズルプレート５１０が配置されている側とは反対側に配置されている。言い換えると、圧力室５２に対してノズル５１を下として見たとき、振動板５６は、複数の圧力室５２の上に配置されている。

なお、振動板５６は接地されており、この振動板５６には圧力室５２が形成されている側とは反対側に圧電体５８が固着され、この圧電体５８を振動板５６と挟むようにして個別電極５７が形成されている。圧電体５８は、例えばピエゾからなり、個別電極５７に所定の電気信号（駆動信号）が与えられると変位（歪み）が発生し、振動板５６を介して圧力室５２の容積を変化させる。これらの振動板５６、圧電体５８及び個別電極５７によって圧力発生手段としてのアクチュエータ５８０が構成されている。

なお、本実施形態における振動板５６には、圧電体５８が直接的に固着されているが、振動板５６と圧電体５８との間に個別電極を設けてもよい。すなわち、圧電体５８の上面と下面の両面に個別電極を設けてもよい。

また、本実施形態における振動板５６は、複数の圧力室５２に共通のものとし１枚のプレートで形成されているが、このような場合に特に限定されず、圧力室５２ごとに形成されている場合もある。

圧電体５８の上面に形成されている個別電極５７には、液体吐出ヘッド５０の外部（具体的には後に説明する図２２のヘッドドライバ１５４）から、水平配線プレート８１上の水平配線９３（外部配線）、この水平配線９３とスペーサ７０の導電部７２とを繋ぐ水平配線プレート８１の導電性材料９２（例えば導電性ペーストを硬化させたもの）、スペーサ７０の導電部７２、及び、このスペーサ７０の導電部７２とアクチュエータ５８０の個別電極５７とを繋ぐ導電性接合材９１（例えばハンダ）を介して、駆動信号が与えられる。

共通液室５５は、その上流のインクタンク（具体的には後に説明する図２１のインクタンク６０）に連通しており、インクタンク６０から供給されたインクを、複数の圧力室５２に対して配給する。

なお、図１に示す液体吐出ヘッド５０のうちで、図４は２つの圧力室ユニット５４に相当する部分のみを図示しており、また、図５は１つの圧力室ユニット５４に相当する部分のみを図示しており、図４及び図５のいずれにも、共通液室５５を構成する壁としては、天面板５５１のみが図示されているが、実際には、共通液室５５には図４及び図５では図示を省略した側壁が存在する。すなわち、共通液室プレート５５０は、天面板５５１のみではなく、図示を省略した側壁を含んで構成されている。

共通液室５５が形成されている共通液室プレート５５０は、保護プレート８２、水平配線プレート８１、スペーサ７０、及び、振動板５６を挟んで、圧力室プレート５２０が配置されている側とは反対側に配置されている。言い換えると、圧力室５２に対してノズル５１を下として見たとき、共通液室５５は、複数の圧力室５２の上に配置され、これらの全ての圧力室５２の背面を覆うようにして、ひとつの共通の空間をなす流路（共通背面流路）として形成されている。

このような共通背面流路として形成された共通液室５５により、ノズル５１を高密度に配置することができるとともに、各圧力室５２に対してインクがリフィル性良く供給されることになる。

液体吐出ヘッド５０の外部から共通液室５５に供給された液体は、詳細には、図５において、共通液室５５から、保護プレート８２の貫通孔８２５３、水平配線プレート８１の貫通孔８１５３、スペーサ７０の貫通孔７５３、及び、振動板５６の貫通孔５３（すなわち圧力室５２のインク供給口５３である）を介して、各圧力室５２に供給される。

［スペーサの詳細構造］
アクチュエータ５８０（特に圧電体５８）の周辺の空間を確保するプレートとして用いられるとともに、立体配線用の基板（立体配線プレート）として兼用されるスペーサ７０の一例の平面図を図６に示す。

図６に示すスペーサ７０は、絶縁性材料からなる基材７１、導電性材料からなる導電部７２、圧電体５８をその中に配置させるように圧電体５８の水平断面積よりも大きな開口面積を有する大開口部７５８、及び、圧力室５２のインク供給口５３に連通するように圧力室５２のインク供給口５３の開口面積と略同一の開口面積を有する貫通孔７５３（小開口部）を含んで構成されている。

また、スペーサ７０は、アクチュエータ５８０の上（すなわち個別電極５７の上）に空間を確保するように、圧電体５８及び個別電極５７の厚さの合計よりも厚く形成されている。

このようなスペーサ７０の底面が、振動板５６の圧電体５８が固着されている面に接合され、しかも、スペーサ７０の大開口部７５８の中に圧電体５８が配置されることにより、スペーサ７０によって圧電体５８が保護されることになる。すなわち、圧電体５８の運動を阻害しない程度の空間が確保される。

スペーサ７０の導電部７２は、柱状形状である。この導電部７２の上端面７２１は、スペーサ７０の上面に露出しており、導電部７２の側面７２２は、スペーサ７０の一側面（具体的には大開口部７５８を構成している壁面）に露出している。

このような導電部７２は、スペーサ７０の大開口部７５８を構成している壁面に露出している側面７２２の一部が一方の電極（下部電極）として用いられるとともに、スペーサ７０の上面に露出している上端面７２１が他方の電極（上部電極）として用いられる。

図７は、スペーサ７０の導電部７２とアクチュエータ５８０の個別電極５７との接合形態の一例を示す斜視図である。

図７において、スペーサ７０の導電部７２と圧電アクチュエータ５８０の個別電極５７とは、フィレ形状に形成された導電性接合材９１（例えばハンダ）によって接合されている。

詳細には、スペーサ７０の導電部７２は、その導電部７２の軸線方向に沿った平坦な側面７２２を有し、この側面７２２がスペーサ７０の一側面７０２（具体的には図６の大開口部７５８を構成している側壁である）に露出しており、このような側面７２２の下部が、導電部７２の一方の電極（下部電極）として、アクチュエータ５８０の個別電極５７の上面の端部と導電性接合材９１(例えばハンダ)によって接合されている。

一方で、スペーサ７０の導電部７２の上端面７２１は、スペーサ７０の上面７０１（具体的には図４及び図５に示すように水平配線プレート８１の底面と接合される面である）に露出しており、この上端面７２１が、導電部７２の他方の電極（上部電極）として、水平配線プレート８１の水平配線９３と導電性材料９２によって接合されている。

このような、上端面７２１及び側面７２２が露出するようにして形成された柱状の導電部７２を有するスペーサ７０（立体配線プレート）の形態には各種ある。

図８（ａ）、（ｂ）、（ｃ）及び（ｄ）は、代表例としてのスペーサ（第１例７０ａ、第２例７０ｂ、第３例７０ｃ、第４例７０ｄ）をそれぞれ示す斜視図である。

図８（ａ）に示す第１例のスペーサ７０ａは、半円柱（半円筒）形状の導電部７２ａを有する。詳細には、導電部７２ａの上端面７２１は、半円形状であり、導電部７２ａの一方の電極（上部電極）として、スペーサ７０ａの上面７０１（基材７１の上面である）に露出している。また、導電部７２ａの軸線方向に沿って平坦に形成された一側面７２２は、スペーサ７０ａの大開口部７５８の一部を構成している一側面７０２（基材７１の一側面である）に露出しており、この側面７２２の下部７２３は、導電部７２ａの他方の電極(下部電極)を構成している。

なお、スペーサ７０ａには、図５にも示されているように、共通液室５５から圧力室５２まで至る流路の一部を構成する貫通孔７５３が形成されている。

図８（ｂ）に示す第２例のスペーサ７０ｂは、図８（ａ）に示す第１例のスペーサ７０ａの導電部７２ａよりも側面７２２が絞られた略円柱形状（略円筒形状）の導電部７２ｂを有する。すなわち、第２例における導電部７２ｂの上端面７２１の形状は、いわゆる弓形である。

図８（ａ）に示した第１例のスペーサ７０ａと図８（ｂ）に示した第２例のスペーサ７０ｂとの相違点の理解を容易にするために、第１例のスペーサ７０ａの導電部７２ａを図９（ａ）に示し、第２例のスペーサ７０ｂの導電部７２ｂを図９（ｂ）に示す。

図９（ａ）の第１例における導電部７２ａの上端面７２１は、中心点Ｏを通る弦（直線）ＡＢと弧ＡＢとで囲まれた、半円形状の面によって構成されている。

一方で、図９（ｂ）の第２例における導電部７２ｂの上端面７２１は、弦（直線）ＡＢと弧ＡＢとで囲まれたいわゆる弓形形状の面によって構成されており、弦ＡＢに対する中心角θが１８０度よりも小さい。言い換えると、導電部７２ｂの水平断面において、短い方の弧（劣弧）を切断する弦ＡＢがスペーサ７０ｂの一側面に露出するとともに、長い方の弧（優弧）がスペーサ７０ｂの内側に配置されるようになっている。

また、図８（ｂ）に示されているように、第２例のスペーサ７０ｂの基材７１は、スペーサ７０ｂの導電部７２ｂの露出している一側面７２２を水平方向において両側から挟持するように、導電部７２ｂの一側面７２２に対してオーバハングしている。

なお、図８（ａ）、（ｂ）に示したスペーサ７０ａ、７０ｂは、導電部７２の一側面７２２が平坦である一方で、他の側面が曲面となっているが、このような場合に特に限定されるものではなく、導電部７２を角柱形状にして形成することにより、導電部７２の全ての側面を平坦に形成してもよい。

図８（ｃ）に示す第３例のスペーサ７０ｃの導電部７２ｃは、四角柱形状である。なお、スペーサ７０の導電部７２を角柱形状にして形成する場合、図８（ｃ）に示すような四角柱形状には特に限定されず、六角柱形状などの他の角柱形状であってもよい。また、図８（ｃ）に示すスペーサ７０ｃの基材７１は導電部７２ｃの側面７２２に対してオーバハングしていないが、基材７１を導電部７２の側面７２２に対してオーバハングするように形成してもよい。例えば、導電部７２の水平断面形状を台形形状にするとともに、その台形形状の長さが異なる上辺及び下辺のうちで短い方の辺がスペーサ７０の側面７０２に露出するようにして、導電部７２を形成する。

図８（ｄ）に示す第４例のスペーサ７０ｄは、図８（ｂ）に示す第２例のスペーサ７０ｂの導電部７２ｂと同一形状の導電部７２ｂを有している。また、第４例のスペーサ７０ｄは、図８（ｂ）に示す第２例のスペーサ７０ｂとは異なり、導電部７２ｂの下部７２３とスペーサ７２の底面７０３との間に、導電部７２ｂの軸線方向と略直交する方向に沿って、リブ７３が形成されている。

第４例における導電部７２ｂの下部電極７２３とアクチュエータ５８０の個別電極５７とを導電性接合材９１（例えばハンダ）で接合する際、導電部７２ｂの下に形成されているリブ７３によって、導電性接合材９１の垂れ下がりが防止されることにより、個別電極５７と共通電極としての振動板５６との電気的な短絡が防止されることになる。

また、図８（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）には、図７を用いて説明したように、スペーサ７０の平坦な一側面７０２に導電部７２がその側面７２２を露出させるようにして形成されているが、図１０に示すスペーサ７００のように、圧電体５８及び個別電極５７のコーナに対応する部分に導電部７２を形成するようにしてもよい。

［スペーサの製造方法］
図１１及び図１２は、スペーサ７０の製造方法の一例の流れの説明に用いる説明図である。

なお、図１１及び図１２は、図８（ｂ）に示すスペーサ７０ｂを製造する場合を例に模式的に示している。また、図１２は、図１１中の１２−１２線に沿った垂直断面図となっており、図１１は、図１２の１１−１１線に沿った水平断面図となっている。

図１１及び図１２において、まず、成形型として金属からなる上型９１０及び下型９２０を準備し、これらの上型９１０と下型９２０とを組み合わせる（図１１（ａ）、図１２（ａ））。

ここで、上型９１０は、後に形成されるスペーサ７０の導電部７２と同一形状の凸部９１１を有する。なお、図８（ｂ）に示す第２例のスペーサ７０ｂを製造する場合、上型９１０の凸部９１１は、図９（ｂ）に示す略円柱形状の導電部７２ｂと同一形状である。

一方で、下型９２０は、後に形成されるスペーサ７０の大開口部（図６の７５８）に対応する第１凸部９２１と、共通液室５５から圧力室５２へ至る流路の一部としての貫通孔（図６の７５３）に対応する第２凸部９２２を有する。

また、上型９１０の凸部９１１が、下型９２０の第１凸部９２１の側壁に当接するようにして、上型９１０と下型９２０とが組み合わされる。

このような上型９１０及び下型９２０が組み合わされると、上型９１０と下型９２０との間には、図６のスペーサ７２の基材７１と略同一形状の空間７１０が形成される。

このような上型９１０と下型９２０との間に形成された空間７１０に、絶縁性の樹脂７１１を注入する（図１１（ｂ）、図１２（ｂ））。

上型９１０と下型９２０との間の空間７１０に注入された樹脂７１１が硬化して、スペーサ７０の基材７１が形成された後に、上型９１０のみ外す（図１１（ｃ）、図１２（ｃ））。

そうすると、基材７１には、上型９１０の凸部９１１が抜けたところに、図６のスペーサ７０の導電部７２に対応する凹部７１２が形成される。

すなわち、スペーサ７０の導電部７２に対応する凹部７１２が形成されている側面（図７の７０２）を有する基材７１（第１部材）と、この基材７１の側面（図７の７０２）に当接される平坦面を有する下型９２０（第２部材）とが用意されたことになる。ここで、凹部７１２は、上端のみが開口端として開口している状態となっている。

このように凹部７１２を有する基材７１の側面に下型９２０の平坦面が当接されて、凹部７１２の上端のみが開口端として開口している状態で、この凹部７１２の開口端から凹部７１２内に導電性ペースト７２０を充填する（図１１（ｄ）、図１２（ｄ））。

詳細には、凹部７１２以外の部分をマスクするようにして、基材７１の上面にスクリーン９３を形成し、スキージ９４を用いて、基材７１の凹部７１２の開口端から凹部７１２内に導電性ペースト７２０を充填する。例えば、導電性ペースト７２０として、エポキシ樹脂に導電性粒子が混合された熱硬化性の導電性ペーストが用いられる。

次に、導電性ペースト７２０を硬化させる。詳細には、導電性ペースト７２０が熱硬化性である場合、加熱処理により導電性ペースト７２０が硬化される。例えば、まず仮乾燥として８０℃で３０分加熱し、次に本硬化として１６０℃で６０分加熱する。そうすると、導電性ペースト７２０が硬化して導電部７２が形成される（図１１（ｅ）、図１２（ｅ））。

そして、下型９２０を分離すると、基材７１及び導電部７２からなるスペーサ７０が形成される（図１１（ｆ）、図１２（ｆ））。

このようにして形成されたスペーサ７０は、図８（ｂ）に示されているように、上面７０１には柱状の導電部７２の上端面７２１が露出しているとともに、側面７０２には柱状の導電部７２の一側面７２２が露出している。

なお、図８（ｄ）に示したようなリブ７３を有するスペーサ７２ｄを形成する場合には、３つの成形型を用いた、いわゆる３型構成でスペーサ７２ｄを形成すればよい。

［液体吐出ヘッドの製造方法］
図１３及び図１４は、液体吐出ヘッド５０の製造方法の一例の流れの説明に用いる説明図である。

まず、複数のノズル５１が形成されているノズルプレート５１０、複数のノズル５１にそれぞれ連通する複数の圧力室５２が形成されている圧力室プレート５２０、及び、圧力室５２内の液体に圧力を付与するアクチュエータ５８０が形成されている振動板５６（アクチュエータプレート）が積層されてなる基本構造体５０１を準備する（図１３（ａ））。

この基本構造体５０１に、図１１及び図１２を用いて説明した製造方法によって製造したスペーサ７０を取り付ける（図１３（ｂ））。ここで、スペーサ７０の大開口部７５８の中に、アクチュエータ５８０の圧電体５８が配置される。また、スペーサ７０の貫通孔７５３が圧力室５２のインク供給口５３に位置合わせされて連通する。

次に、アクチュエータ５８０の個別電極５７と、スペーサ７０の導電部７２を、ハンダなどの導電性接合材９１で接合する（図１３（ｃ））。詳細には、図７に示されているように、スペーサ７０の導電部７２の側面７２２がスペーサ７０の一側面７０２（大開口部７５８を構成している側壁である）に露出しているので、この導電部７２の側面７２２の下部（下部電極）を、アクチュエータ５８０の個別電極５７と接合する。

次に、スペーサ７０の導電部７２の上部電極（図７の７２１）に対応する位置に貫通孔８１５３が形成されている水平配線プレート８１をスペーサ７０の上面に接合する（図１４（ａ））。

なお、水平配線プレート８１上には、図３にも示されているように、水平配線９３（外部配線）が形成される。

次に、水平配線プレート８１の貫通孔８１９２内に導電性ペースト９２を充填して、その導電性ペースト９２を硬化させる（図１４（ｂ））。

これにより、水平配線プレート８１の水平配線９３、水平配線プレート８１の貫通孔８１９２に充填された導電性材料９２（硬化した導電性ペーストである）、スペーサ７０の導電部７２、及び、このスペーサ７０の導電部７２とアクチュエータ５８０の個別電極５７が導電性接合材９１を介して接続されて、液体吐出ヘッド５０内のアクチュエータ５８０の駆動用配線の敷設が完了し、その後、水平配線プレート８１の上に水平配線９３を共通液室５５内の液体から保護するための保護プレート８２を形成する（図１４（ｃ））。

なお、図１４（ａ）〜（ｃ）を用いて説明したように、水平配線プレート８１の上面に水平配線９３（外部配線）を形成して水平配線プレート８１の上に保護プレート８２を形成する代わりに、図１５に示すように、その底面の凹部に形成された水平配線９３０（外部配線）を有する水平配線プレート８４を、スペーサ７０の上に取り付けるようにしてもよい。この場合、スペーサ７０の導電部７２の上部電極が水平配線プレート８４の底面に形成されている水平配線９３０に接合される。

［外部配線の他の例］
図１６は、共通液室５５内を貫通する柱状配線９５（エレキ柱と呼ばれることがある）を設けた液体吐出ヘッド５００の断面図である。また、図１７は、共通液室５５内を貫通する柱状配線９５についての理解を容易にするための斜視模式図である。

なお、図１６及び図１７に示す液体吐出ヘッド５００の構成要素のうちで、図４に示す液体吐出ヘッド５０の構成要素と同じ構成要素には、同じ符号を付してあり、詳細な説明は省略する。

図１６において、液体吐出ヘッド５０の外部から与えられる駆動信号は、共通液室５５の天面板５５１を厚さ方向に貫通している天面板５５１内の垂直配線９６、共通液室５５内を垂直方向に貫通している共通液室５５内の柱状配線９５、アクチュエータ５８０を保護する保護プレート８６を厚さ方向に貫通している保護プレート８６の垂直配線９４、スペーサ７０の導電部７２、及び、スペーサ７０の導電部７２とアクチュエータ５８０の個別電極５７とを繋ぐ導電性接合材９１を介して、アクチュエータ５８０の個別電極５７に与えられるようになっている。

図１６の液体吐出ヘッド５００と図４の液体吐出ヘッド５０を比較すると、図４の液体吐出ヘッド５０では、スペーサ７０の導電部７２と液体吐出ヘッド５０の外部との間の配線（外部配線）を、主として圧電体５８の配置面に対して水平方向に敷設された水平配線９３によって構成しているが、図１６の液体吐出ヘッド５００では、スペーサ７０の導電部７２と液体吐出ヘッド５００の外部との間の配線（外部配線）も、圧電体５８の配置面に対して略垂直方向に形成されている配線９４、９５、９６によって構成している点で異なっている。

以上、共通液室５５を圧力室５２の背面に設けた場合を例に説明したが、このような場合に本発明は限定されない。

図１８に示す液体吐出ヘッド５０００は、ノズル５１が形成されているノズルプレート５０１、第１の介装プレート５０２、共通液室５５が形成されている共通液室プレート５０３、第２の介装プレート５０４、圧力室５２が形成されている圧力室プレート５０５、アクチュエータ５８０が形成されている振動板５６（アクチュエータプレート）、スペーサ７０、水平配線基板８１、及び、保護プレート８２の順に積層されて形成されている。

なお、図１８に示す液体吐出ヘッド５０００の構成要素のうちで、図４に示す液体吐出ヘッド５０の構成要素と同じ構成要素には、同じ符号を付してあり、詳細な説明は省略する。

図１８において、液体吐出ヘッド５０の外部から与えられる駆動信号は、水平配線プレート８１の水平配線９３、水平配線プレート８１内を厚さ方向（垂直方向）に貫通している導電性材料９２、スペーサ７０の導電部７２、及び、スペーサ７０の導電部７２とアクチュエータ５８０の個別電極５７とを繋ぐ導電性接合材９１を介して、アクチュエータ５８０の個別電極５７に与えられるようになっている。

［画像形成装置］
図１９は、画像形成装置の一例の概略を示す全体構成図である。

図１９において、画像形成装置１０は、インクの各色別に設けられた複数のインク吐出ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙを有するインク吐出部１２と、各インク吐出ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙに供給するインクを貯蔵しておくインク貯蔵／装填部１４と、記録紙１６を供給する給紙部１８と、記録紙１６のカールを除去するデカール処理部２０と、インク吐出部１２のノズル面（インク吐出面）に対向して配置され、記録紙１６の平面性を保持しながら記録紙１６を搬送するベルト搬送部２２と、インク吐出部１２によるプリント結果を読み取るプリント検出部２４と、プリント済みの記録紙を外部に排出する排紙部２６とを備えている。

なお、図１９では、給紙部１８の一例としてロール紙（連続用紙）を給紙するものを示しているが、予めカットされているカット紙を給紙するものを用いてもよい。ロール紙を使用する装置構成の場合、図１９のように、裁断用のカッタ２８が設けられる。カッタ２８は、固定刃２８Ａと、この固定刃２８Ａに沿って移動する丸刃２８Ｂとから構成されている。ところで、給紙部１８から送り出される記録紙１６は一般に巻き癖が残りカールする。このカールを除去するために、デカール処理部２０において巻き癖方向と逆方向に加熱ドラム３０で記録紙１６に熱を与える。デカール処理後、カット済の記録紙１６は、ベルト搬送部２２へと送られる。

ベルト搬送部２２は、ローラ３１、３２間に無端状のベルト３３が巻き掛けられた構造を有し、少なくともインク吐出部１２のノズル面及びプリント検出部２４のセンサ面に対向する部分が平面（フラット面）をなすように構成されている。ベルト３３は、記録紙１６幅よりも広い幅寸法を有しており、ベルト面には多数の吸引孔（図示省略）が形成されている。図１９に示したように、ローラ３１、３２間に掛け渡されたベルト３３の内側においてインク吐出部１２のノズル面及びプリント検出部２４のセンサ面に対向する位置には吸着チャンバ３４が設けられており、この吸着チャンバ３４をファン３５で吸引して負圧にすることによってベルト上の記録紙１６が吸着保持される。ベルト３３が巻かれているローラ３１、３２の少なくとも一方にモータ（図示省略）の動力が伝達されることにより、ベルト３３は図１９において、時計回り方向に駆動され、ベルト３３上に保持された記録紙１６は、図１９の左から右へと搬送される。なお、縁無しプリント等を形成するとベルト３３上にもインクが付着するので、ベルト３３の外側の所定位置（プリント領域以外の適当な位置）にベルト清掃部３６が設けられている。ベルト搬送部２２により形成される用紙搬送路上においてインク吐出部１２の上流側には、加熱ファン４０が設けられている。加熱ファン４０は、プリント前の記録紙１６に加熱空気を吹きつけ、記録紙１６を加熱する。プリント直前に記録紙１６を加熱しておくことにより、インクが着弾後乾き易くなる。

図２０は、画像形成装置１０のインク吐出部１２周辺を示す要部平面図である。

図２０に示すように、インク吐出部１２は、最大紙幅に対応する長さを有するライン型ヘッドを媒体搬送方向（副走査方向）と直交する方向（主走査方向）に配置した、いわゆるフルライン型のヘッドとなっている。具体的には、各インク吐出ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙは、本画像形成装置１０が対象とする最大サイズの記録紙１６の少なくとも一辺を超える長さにわたってノズル（吐出口）が複数配列されたライン型ヘッドで構成 されている。

記録紙１６の搬送方向（媒体搬送方向）に沿って、上流側（図２０の左側）から黒（Ｋ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロ（Ｙ）の順に各色インクに対応したインク吐出ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙが配置されている。記録紙１６を搬送しつつ各インク吐出ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙからそれぞれ色インクを吐出することにより記録紙１６上にカラー画像を形成し得る。

このように、紙幅の全域をカバーするフルラインヘッドがインク色別に設けられてなるインク吐出部１２によれば、媒体搬送方向（副走査方向）について記録紙１６とインク吐出部１２を相対的に移動させる動作を一回行うだけで（すなわち、一回の副走査で）記録紙１６の全面に画像を記録することができる。これにより、インク吐出ヘッドが媒体搬送方向と直交する方向（主走査方向）に往復動作するシャトル型ヘッドに比べて高速プリントが可能であり、生産性を向上させることができる。

なお、ここで主走査方向及び副走査方向とは、次に言うような意味で用いている。すなわち、記録紙の全幅に対応したノズル列を有するフルラインヘッドで、ノズルを駆動する時、（１）全ノズルを同時に駆動するか、（２）ノズルを片方から他方に向かって順次駆動するか、（３）ノズルをブロックに分割して、ブロックごとに片方から他方に向かって順次駆動するか、等のいずれかのノズルの駆動が行われ、用紙の幅方向（記録紙の搬送方向と直交する方向）に１ライン（１列のドットによるライン又は複数列のドットから成るライン）のプリントをするようなノズルの駆動を主走査と定義する。そして、この主走査によって記録される１ライン（帯状領域の長手方向）の示す方向を主走査方向という。

一方、上述したフルラインヘッドと記録紙とを相対移動することによって、上述した主走査で形成された１ライン（１列のドットによるライン又は複数列のドットからなるライン）のプリントを繰り返し行うことを副走査と定義する。そして、副走査を行う方向を副走査方向という。結局、記録紙の搬送方向が副走査方向であり、それに直交する方向が主走査方向ということになる。

また、本実施形態では、ＫＣＭＹの標準色（４色）の構成を例示したが、インクの色数や色の組み合わせについては本実施形態に示す例には限定されず、必要に応じて淡インク、濃インクを追加してもよい。例えば、ライトシアン、ライトマゼンタ等のライト系インクを吐出するインク吐出ヘッドを追加する構成も可能である。

図１９に示したように、インク貯蔵／装填部１４は、各インク吐出ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙに対応する色のインクを貯蔵するインクタンクを有し、各インクタンクは図示を省略した管路を介して各インク吐出ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙと連通されている。

プリント検出部２４は、インク吐出部１２の吐出結果を撮像するためのイメージセンサ（ラインセンサ等）を含み、該イメージセンサによって読み取った画像からノズルの目詰まりその他の吐出不良をチェックする手段として機能する。

プリント検出部２４の後段には、後乾燥部４２が設けられている。後乾燥部４２は、プリントされた画像面を乾燥させる手段であり、例えば加熱ファンが用いられる。後乾燥部４２の後段には、加熱・加圧部４４が設けられている。加熱・加圧部４４は、画像表面の光沢度を制御するための手段であり、画像面を加熱しながら所定の凹凸形状の表面を有する加圧ローラ４５で加圧し、画像面に凹凸形状を転写する。

このようにして生成されたプリント物は、排紙部２６から排出される。このインクジェット記録装置１０では、本画像のプリント物と、テストプリントのプリント物とを選別してそれぞれの排出部２６Ａ、２６Ｂへと送るために排紙経路を切り換える選別手段（図示省略）が設けられている。なお、大きめの用紙に本画像とテストプリントとを同時に並列に形成する場合は、カッタ（第２のカッタ）４８によってテストプリントの部分を切り離す。カッタ４８は、排紙部２６の直前に設けられており、画像余白部にテストプリントを行った場合に、本画像とテストプリント部を切断するものである。カッタ４８の構造は、前述した第１のカッタ２８と同様であり、固定刃４８Ａと丸刃４８Ｂとから構成されている。また、図示を省略したが、本画像の排出部２６Ａには、オーダ別に画像を集積するソータが設けられている。

なお、図１９においてインク色毎に設けられている各インク吐出ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙの構造は共通しているので、以下、これらを代表して符号５０によってインク吐出ヘッドを表すものとする。

図２１は、画像形成装置１０におけるインク供給系の構成を示した概要図である。

インクタンク６０は、液体吐出ヘッド５０にインクを供給するための基タンクであり、図１９に示したインク貯蔵／装填部１４を構成している。インクタンク６０の態様には、インク残量が少なくなった場合に補充口（図示を省略）からインクを補充する方式と、インクタンク６０ごと交換するカートリッジ方式とがある。使用用途に応じてインクの種類を替える場合には、カートリッジ方式が適している。この場合、インクの種類をバーコードなどで識別して、インクの種類に応じた吐出制御を行うことが望ましい。

図２１に示されるように、インクタンク６０と液体吐出ヘッド５０を繋ぐ管路６５０（インク供給管路）の中間には、異物や気泡を除去するためにフィルタ６２が設けられている。フィルタ６２のメッシュサイズは、液体吐出ヘッド５０のノズル５１の径と同等若しくはノズル径以下とすることが好ましい。

また、画像形成装置１０には、ノズル５１のメニスカスの乾燥を防止又はメニスカス近傍のインク粘度の上昇を防止する手段としてのキャップ６４と、ノズル面５０Ａを清掃する手段としてのクリーニングブレード６６とが設けられている。

これらのキャップ６４及びクリーニングブレード６６を含むメンテナンスユニットは、図示を省略した移動機構によって液体吐出ヘッド５０に対して相対移動可能であり、必要に応じて所定の退避位置から液体吐出ヘッド５０の下方のメンテナンス位置に移動されるようになっている。

また、キャップ６４は、図示しない昇降機構によって印字ヘッド５０に対して相対的に昇降される。昇降機構は、キャップ６４を所定の上昇位置まで上昇させ、液体吐出ヘッド５０に密着させることにより、ノズル面５０Ａの少なくともノズル領域をキャップ６４で覆うようになっている。

また、好ましくは、キャップ６４の内側が仕切壁によってノズル列に対応した複数のエリアに分割されており、これら仕切られた各エリアをセレクタ等によって選択的に吸引できる構成とする。

クリーニングブレード６６は、ゴムなどの弾性部材で構成されており、図示を省略したクリーニングブレード用の移動機構により液体吐出ヘッド５０のインク吐出面（ノズル面５０Ａ）において摺動可能である。ノズル面５０Ａにインク液滴又は異物が付着した場合、クリーニングブレード６６をノズル面５０Ａにおいて摺動させることでノズル面５０Ａを拭き取り、ノズル面５０Ａを清浄するようになっている。

吸引ポンプ６７は、液体吐出ヘッド５０のノズル面５０Ａをキャップ６４が覆った状態で、その液体吐出ヘッド５０のノズル５１からインクを吸引し、吸引したインクを回収タンク６８へ送液する。

このような吸引動作は、画像形成装置１０にインクタンク６０が装填されてインクタンク６０から液体吐出ヘッド５０へインクを充填するとき（初期充填時）のほか、長時間停止して粘度が上昇したインクを除去するとき（長時間停止の使用開始時）にも行われる。

ところで、液体吐出ヘッド５０は、吐出しない状態が続くと、ノズル５１近傍のインク溶媒が蒸発してそのノズル５１近傍のインクの粘度が高くなってしまい、吐出駆動用のアクチュエータ５８０が動作してもノズル５１からインクが吐出しなくなる。したがって、この様な状態になる手前で（吐出駆動用のアクチュエータの動作によってインク吐出が可能な粘度の範囲内で）、ノズル５１近傍の粘度が上昇したインクをキャップ６４に向けて吐出させる空吐出が行われる。また、ノズル面５０Ａの清掃手段として設けられているクリーニングブレード６６等のワイパーによってノズル面５０Ａの汚れを清掃した後に、このワイパーの摺動動作によってノズル５１内に異物が混入するのを防止するためにも空吐出が行われる。なお、空吐出は、「パージ」、「唾吐き」などと呼ばれる場合もある。特に、前述のようにプリントを行う前に行う空吐出は、「予備吐出」と呼ばれる。

ここで、ノズル５１からの吐出について整理しておくと、第１に、紙などの記録媒体に画像形成するために記録媒体に向けて行う通常の吐出があり、第２に、キャップ６４をインク受けとしてそのキャップ６４に向けて行う空吐出がある。

また、液体吐出ヘッド５０のノズル５１や圧力室５２内に気泡が混入したり、ノズル５１内のインクの粘度上昇があるレベルを超えたりすると、前述の空吐出ではインクをノズル５１から吐出できなくなるので、液体吐出ヘッド５０のノズル面５０Ａにキャップ６４を当てて液体吐出ヘッド５０の圧力室５２内の気泡が混入したインク又は増粘したインクを吸引ポンプ６７で吸引する動作が行われる。

図２２は、画像形成装置１０の機能的な構成例を示すブロック図である。

図２２において、画像形成装置１０は、主として、液体吐出ヘッド５０、通信インターフェース１１０、システムコントローラ１１２、メモリ１１４、１５２、搬送部１１６、搬送制御部１１８、給液部１２２、給液制御部１２４、プリント制御部１５０、及び、ヘッドドライバ１５４（駆動部）を含んで構成されている。

本実施形態において、液体吐出ヘッド５０は、Ｋ（黒）、Ｃ（シアン）、Ｍ（マゼンタ）、Ｙ（イエロ）の各インク色ごとに設けられている。

通信インターフェース１１０は、ホストコンピュータ３００から送られてくる画像データを受信する画像データ入力手段である。通信インターフェース１１０には、ＵＳＢ（Universal Serial Bus）、ＩＥＥＥ１３９４、イーサネット（登録商標）などの有線、又は、無線のインターフェースを適用することができる。

ホストコンピュータ３００から送信された画像データは通信インターフェース１１０を介して画像形成装置１０に取り込まれ、第１のメモリ１１４に一旦記憶される。

システムコントローラ１１２は、中央演算処理装置（ＣＰＵ）及びその周辺回路等から構成され、所定のプログラムに従って画像形成装置１０の全体を制御する主制御手段である。すなわち、システムコントローラ１１２は、通信インターフェース１１０、搬送制御部１１８、プリント制御部１５０等の各部を制御する。

搬送部１１６は、搬送系のモータなどによって構成されている。搬送系のモータは、例えば、記録媒体の搬送用のローラやベルトなどに動力を与えるモータである。

搬送制御部１１８は、モータドライバなどによって構成されている。モータドライバは、システムコントローラ１１２からの指示に従って搬送部１１６のモータを駆動するドライバ（駆動回路）である。

給液部１２２は、インクを貯蔵するインク貯蔵手段としてのインクタンク、このインクタンクから液体吐出ヘッド５０までインクを流動させる管路及びポンプなどによって構成されている。

給液制御部１２４は、システムコントローラ１１２からの指示に従って給液部１２２を用いて、液体吐出ヘッド５０に対してインクを供給する制御を行うものである。

プリント制御部１５０は、画像形成装置１０に入力される画像データに基づいて各インク色のドットデータを生成する画像処理手段として機能する。すなわち、プリント制御部１５０は、システムコントローラ１１２の制御に従い、第１メモリ１１４内の画像データからインク吐出制御用のドットデータを生成するための各種の加工、補正などの画像処理を行い、生成したデータ（ドットデータ）をヘッドドライバ１５４に供給する。

プリント制御部１５０には画像バッファメモリとしての第２メモリ１５２が備えられており、プリント制御部１５０における画像処理時に画像データやパラメータなどのデータが第２メモリ１５２に一時的に格納される。なお、図１において第２メモリ１５２はプリント制御部１５０に付随する態様で示されているが、第１メモリ１１４と兼用することも可能である。また、プリント制御部１５０とシステムコントローラ１１２とを統合して１つのプロセッサで構成する態様も可能である。

画像データ入力から画像形成までの処理の流れを概説すると、通信インターフェース１１０を介して外部から入力された画像データは第１メモリ１１４に蓄えられる。なお、インク（色材) による微細なドットの打滴密度やドットサイズを変えることによって、人の目に疑似的な連続階調と見える画像を記録媒体上に形成するため、入力された画像データの階調（画像の濃淡）をできるだけ忠実に再現するようなドットデータに変換する必要がある。そのため、画像メモリ１１４に蓄えられた画像データは、システムコントローラ１１２を介してプリント制御部１５０に送られ、プリント制御部１５０においてディザ法や誤差拡散法などを用いたデジタルハーフトーニングによって、各インク色ごとのドットデータに変換される。

すなわち、プリント制御部１５０は、入力された原画像データをＫ、Ｃ、Ｍ、Ｙの４色のドットデータに変換する処理を行う。こうして、プリント制御部１５０で生成されたドットデータは、第２メモリ１５２に蓄えられる。

ヘッドドライバ１５４は、プリント制御部１５０から与えられるドットデータ（すなわち、第２メモリ１５２に記憶されたドットデータ）に基づき、液体吐出ヘッド５０を駆動するための駆動信号を出力する。

ヘッドドライバ１５４から出力された駆動信号が液体吐出ヘッド５０に加えられることによって、液体吐出ヘッド５０から記録媒体に対してインクが吐出される。記録媒体の搬送速度に同期して液体吐出ヘッド５０のインク吐出を制御することにより、記録媒体上に所望の画像が形成される。

液体吐出ヘッド５０が図４に示したもので構成されている場合、ヘッドドライバ１５４から出力された駆動信号は、図４において、ヘッドドライバ１５４に接続されている水平配線９３（外部配線）、この水平配線９３に導電性材料９２を介して接続されているスペーサ７０の導電部７２、及び、導電性接合材９１を介して、アクチュエータ５８０の個別電極５７に与えられる。

以上、本発明の実施形態について詳細に説明したが、本発明は、本明細書において説明した例や図面に図示された例には限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の設計変更や改良を行ってよいのはもちろんである。

本発明に係る液体吐出ヘッドの一例について全体構造の概略を示す平面透視図である。 本発明に係る液体吐出ヘッドの他の例について全体構造の概略を示す平面透視図である。 図１の液体吐出ヘッドの一部を詳細に示す平面透視図である。 図３の４−４線に沿った断面図である。 図３の５−５線に沿った断面図である。 立体配線用の基板としてのスペーサの平面図である。 スペーサとアクチュエータとの電気的な接合の形態の一例を示す斜視図である。 スペーサの代表的な例を示す斜視図である。 スペーサの導電部の代表的な例を示す図である。 スペーサとアクチュエータとの電気的な接合の形態の他の例を示す斜視図である。 スペーサの製造処理の一例の説明に用いる垂直断面図である。 スペーサの製造処理の一例の説明に用いる水平断面図である。 液体吐出ヘッドの製造処理の一例の前半の説明に用いる垂直断面図である。 液体吐出ヘッドの製造処理の一例の後半の説明に用いる垂直断面図である。 底面の凹部に水平配線が形成された水平配線プレートを有する液体吐出ヘッドの垂直断面図である。 共通液室内を貫通する柱状配線を有する液体吐出ヘッドの一例を示す垂直断面図である。 図１６の柱状配線の説明に用いる説明図である。 他の液体吐出ヘッドの内部構造を示す断面図である。 画像形成装置の一例の概略を示す全体構成図である。 図１９の画像形成装置のインク吐出部周辺を示す要部平面図である。 図１９の画像形成装置のインク供給系の構成の概略を示す説明図である。 画像形成装置の機能的な構成例を示すブロック図である。

符号の説明

１０…画像形成装置、１２…液体吐出部、５０、５００、５０００…液体吐出ヘッド、５１…ノズル（吐出口）、５２…圧力室、５３…圧力室のインク供給口、５４…圧力室ユニット、５５…共通液室、５６…振動板（アクチュエータの共通電極）、５７…アクチュエータの個別電極、５８…アクチュエータの圧電体、６０…インクタンク、７０…スペーサ（立体配線プレート）、７１…スペーサの基材、７２…スペーサの導電部、７３…スペーサのリブ、８１…水平配線プレート（外部配線プレート）、８２…保護プレート、９１、９２…導電性材料、９３…水平配線（外部配線）、１１０…通信インターフェース、１１２…システムコントローラ、１１４、１５２…メモリ、１５０…プリント制御部、１５４…ヘッドドライバ、５１０…ノズルプレート、５２０…圧力室プレート、５５０…共通液室プレート、５５１…共通液室の天面板、５８０…アクチュエータ、７０１…スペーサの上面、７０２…スペーサの一側面、７０３…スペーサの底面、７２０…導電性ペースト、７２１…スペーサの導電部の上端面（上部電極）、７２２…スペーサの導電部の一側面、７２３…スペーサの導電部の下部電極、７５３…スペーサの貫通孔（小開口部）、７５８…スペーサの大開口部、９１０…上型、９１１…上型の凸部、９２０…下型、９２１、９２２…下型の凸部

Claims (5)

1. 凹部が形成されている側面を有する第１部材と、平坦面を有する第２部材とを用意して、前記第１部材の前記凹部が形成されている前記側面に前記第２部材の前記平坦面が当接されて前記凹部の一端が開口端として開口している状態で、前記凹部の前記開口端から前記凹部内に導電性ペーストを充填する工程と、
   前記凹部内に充填されている前記導電性ペーストを硬化させる工程と、
   前記導電性ペーストが硬化してなる導電部が形成されている前記第１部材から前記第２部材を分離する工程と、
   を含み、前記第１部材の前記側面に露出させた前記導電部の露出面の一部が第１電極として用いられるとともに、前記導電部の前記導電性ペーストの充填に用いられた前記開口端に相当する端部が第２電極として用いられる基板を製造することを特徴とする基板の製造方法。
2. 前記第２部材が成形型であり、前記第１部材が少なくとも前記第２部材を用いて成形された樹脂からなる成形品であることを特徴とする請求項１に記載の基板の製造方法。
3. 液体を吐出する吐出口に連通する圧力室と、前記圧力室内の液体に圧力を付与するアクチュエータと、を備える液体吐出ヘッドの製造方法において、
   請求項１又は２に記載の基板の製造方法によって製造された前記基板を前記アクチュエータの周辺の空間を確保するスペーサとして用い、前記基板の前記第１電極を前記アクチュエータに接合するとともに、前記基板の前記第２電極を外部から前記アクチュエータに駆動信号を与えるための外部配線に接続することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
4. 液体を吐出する吐出口に連通する圧力室と、
   前記圧力室内の液体に圧力を付与するアクチュエータと、
   前記アクチュエータの周辺の空間を確保するスペーサであって、当該スペーサの側面に露出しているとともに前記アクチュエータに接続されている第１電極、及び、当該スペーサの上面に露出しているとともに外部から前記アクチュエータに駆動信号を与えるための外部配線に接続されている第２電極を有する導電部が形成されているスペーサと、
   を備えることを特徴とする液体吐出ヘッド。
5. 請求項４に記載の液体吐出ヘッドを備え、
   前記液体吐出ヘッドを記録媒体に対して相対的に移動させるとともに、前記液体吐出ヘッドから前記記録媒体に向けてインクを吐出することにより、前記記録媒体に画像を形成することを特徴とする画像形成装置。

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