JP2007027652A - Inspecting device - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an inspecting device capable of accurately reading bar code information provided to an object to be inspected through a transparent plate after the object is fitted to a jig. <P>SOLUTION: The inspecting device is equipped with a mount where the object which has the bar code is mounted; the transparent plate which covers the top surface of the object mounted on the mount section; a bar code reader for reading the information of the bar code; and a bar code reader driving means which supports and moves the bar code reader to a position opposed to the bar code, and reads the information of the bar code through the transparent plate. An inspector inspects the object, and a processor processes an inspection result of the inspection. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

この発明は、被検査物に設けられたバーコードを読み取るバーコードリーダを有する検査装置に関するものである。   The present invention relates to an inspection apparatus having a barcode reader that reads a barcode provided on an object to be inspected.

従来、この種の検査装置としての基板検査装置は、検査データの履歴管理に用いるために、基板上に設けたバーコード情報を、基板を検査装置の載置部に載置する前に別工程で作業者がバーコードリーダで読み取っている。この読み取りは、治具の固定位置に取り付けられている被検査物としての基板のバーコードに対してバーコードリーダを近づけてバーコード情報を読み取っている。また、特許文献1に記載されるように、上治具の下面にバーコードリーダを取り付け、このバーコードリーダを基板に近づけてから読み取る技術もある。   2. Description of the Related Art Conventionally, a substrate inspection apparatus as this type of inspection apparatus is used for managing history of inspection data, so that barcode information provided on a substrate is subjected to a separate process before placing the substrate on the placement portion of the inspection apparatus. The worker is reading with a barcode reader. In this reading, the barcode information is read by bringing the barcode reader closer to the barcode on the substrate as the inspection object attached to the fixed position of the jig. Further, as described in Patent Document 1, there is a technique in which a barcode reader is attached to the lower surface of the upper jig, and the barcode reader is read after being brought close to the substrate.

実開平5−052958号公報Japanese Utility Model Publication No. 5-052958

従来の検査装置は以上のように構成されているので、検査とは別工程でバーコード情報を読み取る必要があり、作業効率が悪いという課題があった。また、基板を検査装置に載置する前にバーコード情報を読み込むため、バーコードを読み込んだ基板とは異なる基板を間違って検査装置に載置してしまうという課題があった。   Since the conventional inspection apparatus is configured as described above, it is necessary to read the barcode information in a separate process from the inspection, and there is a problem that work efficiency is poor. Further, since the barcode information is read before the substrate is placed on the inspection apparatus, there is a problem that a substrate different from the substrate from which the barcode is read is erroneously placed on the inspection apparatus.

また、特許文献1に記載されたように、バーコードリーダに基板を近づけて、この基板に設けたバーコード情報に近づけて読み取るものでは、バーコードリーダと基板上の電子部品が干渉する場合は該バーコードリーダを治具に取り付けることができない。また、異なる基板を載置しプローブピンコンタクトした際はプローブピンやサポートが電子部品に当たり、いずれかが破損する課題があった。さらに、バーコードリーダは治具の固定位置に取り付けられているため、基板上のバーコード位置も限定されるという課題があった。   In addition, as described in Patent Document 1, in a case where a substrate is brought close to a barcode reader and read close to barcode information provided on the substrate, the barcode reader and an electronic component on the substrate interfere with each other. The bar code reader cannot be attached to a jig. In addition, when a different substrate is placed and contacted with a probe pin, there is a problem that the probe pin or the support hits an electronic component and one of them is damaged. Furthermore, since the barcode reader is attached to a fixed position of the jig, there is a problem that the barcode position on the substrate is also limited.

この発明は上記のような課題を解消するためなされたもので、被検査物を治具に取り付けた後、透明板を通して被検査物に設けられたバーコード情報を正確に読み取ることのできる検査装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve the above-described problems. An inspection apparatus capable of accurately reading bar code information provided on an inspection object through a transparent plate after the inspection object is attached to a jig. The purpose is to provide.

この発明に係る検査装置は、バーコードを有する被検査物を載置する載置部と、前記載置部に載置した被検査物の上面を覆う透明板と、前記バーコードの情報を前記透明板を通して読み取るバーコードリーダと、前記バーコードリーダを支持し該バーコードリーダを前記バーコードと対向する位置に移動させるバーコードリーダ駆動手段と、前記バーコードリーダによる読み取り情報を処理して、前記載置部に載置した被検査物が検査対象物であるかを判断する判断処理部と、前記判断処理部から前記載置部に載置した被検査物が検査対象物であるとの判断結果を受け検査を行う検査部とを備えたものである。   The inspection apparatus according to the present invention provides a placement unit for placing an inspection object having a barcode, a transparent plate covering an upper surface of the inspection object placed on the placement portion, and information on the barcode. A barcode reader for reading through a transparent plate, a barcode reader driving means for supporting the barcode reader and moving the barcode reader to a position facing the barcode, and processing information read by the barcode reader; A determination processing unit that determines whether the inspection object placed on the placement unit is an inspection object, and an inspection object placed on the placement unit from the determination processing unit is an inspection object. And an inspection unit that performs an inspection upon receiving the determination result.

この発明によれば、被検査物を検査装置に取り付けた後、透明板を通して被検査物に設けられたバーコード情報を読み取るので、作業効率がよく、バーコードを読み込んだ基板とは異なる基板を間違って検査装置に載置することも確実に回避することができる。また、バーコードリーダ駆動手段によってバーコードリーダをバーコードと対向する位置に移動させ、透明板を通してバーコード情報を読み取るようにしたことにより、その
バーコード情報を正確に読み取ることができるという効果がある。
According to this invention, since the barcode information provided on the inspection object is read through the transparent plate after the inspection object is attached to the inspection apparatus, the work efficiency is high, and a substrate different from the substrate from which the barcode is read is obtained. It is possible to reliably avoid erroneous placement on the inspection apparatus. Further, the barcode reader is moved to a position facing the barcode by the barcode reader driving means, and the barcode information is read through the transparent plate, so that the barcode information can be read accurately. is there.

以下、この発明の実施の一形態を図面について説明する。
実施の形態1.
図1はこの発明の検査装置を示す側面図、図2はその正面図、図3は図1のA−A線に沿う平面図、図4はXY移動機構部の斜視図である。装置本体100は、基台1上に下ベース2を載置し、この基台1の四隅に立てた支柱101の上端に上ベース3を取り付けた構成である。下ベース2の中央に位置する基台1の下面にはプレスシンリンダ12が取り付けられ、基台1を貫通するプレスシンリンダ12の摺動軸12aに下ベース2が取り付けられている。
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
Embodiment 1 FIG.
1 is a side view showing an inspection apparatus according to the present invention, FIG. 2 is a front view thereof, FIG. 3 is a plan view taken along the line AA of FIG. 1, and FIG. 4 is a perspective view of an XY moving mechanism. The apparatus main body 100 has a configuration in which the lower base 2 is placed on the base 1 and the upper base 3 is attached to the upper ends of the columns 101 standing at the four corners of the base 1. A press cylinder 12 is attached to the lower surface of the base 1 located at the center of the lower base 2, and the lower base 2 is attached to a sliding shaft 12 a of the press cylinder 12 passing through the base 1.

下ベース2には間隔を空けて下治具4が取り付けられており、この下治具4にはプロープピン10が所定位置に所定本数設けられている。また、通電検査時に被検査物としての基板6をセットする際の位置決めピン9が下治具4の周辺の所定箇所(例えば4隅)に設けられている。   A lower jig 4 is attached to the lower base 2 at intervals, and a predetermined number of probe pins 10 are provided at predetermined positions on the lower jig 4. Further, positioning pins 9 for setting the substrate 6 as an object to be inspected at the time of energization inspection are provided at predetermined locations (for example, four corners) around the lower jig 4.

上ベース3の中央部には、基板6と略同形の切り欠き穴16が形成されている。また、上ベース3の下面には、切り欠き穴16を覆う大きさの上治具5(例えば、透明アクリル板)を交換支持する支持レール3aが設けられているとともに、この上ベース3の下面の周辺箇所(例えば4隅)に下向きに支持棒8が設けられている。また、上治具5の下面には基板6を押し下げるサポートピン11が所定本数設けられている。従って、検査対象基板に合わせて上治具5を交換設置する。   A cutout hole 16 having substantially the same shape as the substrate 6 is formed in the central portion of the upper base 3. A support rail 3 a for exchanging and supporting an upper jig 5 (for example, a transparent acrylic plate) having a size covering the notch 16 is provided on the lower surface of the upper base 3. Support rods 8 are provided downward at the peripheral portions (for example, at the four corners). In addition, a predetermined number of support pins 11 for pressing down the substrate 6 are provided on the lower surface of the upper jig 5. Therefore, the upper jig 5 is replaced and installed in accordance with the inspection target substrate.

上ベース3の上面にはXY移動機構17が設けられている。このXY移動機構17は上ベース3の上面両側に平行に設けられたX軸スライダ19と、このX軸スライダ19に沿ってX軸方向に移動する門形をしたY軸スライダ18とで構成されており、Y軸スライダ18の両脚端をX軸スライダ19のガイド溝19aに係合させて、X軸固定ネジ21で固定している。   An XY moving mechanism 17 is provided on the upper surface of the upper base 3. The XY moving mechanism 17 includes an X-axis slider 19 provided in parallel on both sides of the upper surface of the upper base 3, and a portal-shaped Y-axis slider 18 that moves in the X-axis direction along the X-axis slider 19. The ends of both legs of the Y-axis slider 18 are engaged with the guide grooves 19 a of the X-axis slider 19 and fixed with X-axis fixing screws 21.

カメラ13はY軸方向に移動するように、その基部をY軸固定ネジ20でY軸スライダ18のガイド溝18aに固定しており、そのカメラ13の前部には照明装置14が一体に設けられている。そして、カメラ13および照明装置14の前面にはそれぞれ偏向フイルタ15が設けられている。   The base of the camera 13 is fixed to the guide groove 18a of the Y-axis slider 18 with a Y-axis fixing screw 20 so that the camera 13 moves in the Y-axis direction, and the illumination device 14 is integrally provided at the front of the camera 13. It has been. A deflection filter 15 is provided on each of the front surfaces of the camera 13 and the illumination device 14.

基板6上のバーコード7の情報を判読するバーコードリーダ22は、カメラ13と処理装置23との間に接続されている。また、検査信号を処理する計測部24には、複数本のプロープピン10のそれぞれのリード線が1本に纏められて接続されるともに処理装置23に接続されている。電磁バルブ25は処理装置25からの処理信号を受けてプレスシリンダ12を制御するもので該プレスシリンダと一体に設けられている。   A barcode reader 22 that reads information on the barcode 7 on the substrate 6 is connected between the camera 13 and the processing device 23. In addition, the lead wires of the plurality of probe pins 10 are connected together and connected to the processing device 23 to the measuring unit 24 that processes the inspection signal. The electromagnetic valve 25 controls the press cylinder 12 in response to a processing signal from the processing device 25, and is provided integrally with the press cylinder.

次に動作について説明する。
被検査物としての基板6を位置決めピン9で位置決め固定して下治具4にセットする。カメラ13をXY移動機構17によってX軸方向、Y軸方向に移動させて、基板6にレーザによってマーキング、印刷もしくは貼り付けられたバーコード7と対向させる。この場合、カメラ13を移動させるのは、作業者が手動で動かす他、図示を省略したが、処理装置23からの駆動信号でモータ等を駆動し、その動力でカメラ13を移動させるように構成することもできる。
Next, the operation will be described.
A substrate 6 as an object to be inspected is positioned and fixed by positioning pins 9 and set on the lower jig 4. The camera 13 is moved in the X-axis direction and the Y-axis direction by the XY moving mechanism 17 so as to oppose the barcode 7 marked, printed or pasted on the substrate 6 by the laser. In this case, the camera 13 is moved manually by the operator and is not shown in the figure, but the motor 13 is driven by a drive signal from the processing device 23 and the camera 13 is moved by the power. You can also

このようにして、照明装置14で照明してカメラ13によって、上ベース3の切り欠き穴16と上治具としての透明アクリル5を透してバーコード7の情報を読み取り、この読み取ったバーコード情報をバーコードリーダ22で判読して処理装置23に供給する。処理装置23は供給されたバーコード情報を処理して、下治具4にセットされた基板6が検査対象基板であると判断すると、電磁バルブ25を駆動させ、この駆動によってプレスシリンダ12を作動させて、下ベース2を支持棒8まで上昇させる。これによって、下ベース2に固定された下治具4も上昇して、基板6は上治具5のサポートピン11に押さえ込まれ、基板上の電極とプローブピン10とがコンタクトして計測部24によって検査が開始される。計測部24による検査結果は処理装置23に供給され、バーコード情報とともに検索データの履歴管理を行う。   In this way, the information of the barcode 7 is read through the notch hole 16 of the upper base 3 and the transparent acrylic 5 as the upper jig by the camera 13 after illuminating with the illumination device 14, and the read barcode The information is read by the barcode reader 22 and supplied to the processing device 23. When the processing device 23 processes the supplied barcode information and determines that the substrate 6 set on the lower jig 4 is a substrate to be inspected, the electromagnetic valve 25 is driven, and the press cylinder 12 is operated by this driving. The lower base 2 is raised to the support bar 8. As a result, the lower jig 4 fixed to the lower base 2 is also raised, and the substrate 6 is pressed into the support pins 11 of the upper jig 5, and the electrodes on the substrate and the probe pins 10 come into contact with each other to thereby measure the measurement unit 24. The inspection is started. The inspection result by the measuring unit 24 is supplied to the processing device 23, and the history of search data is managed together with the barcode information.

この実施の形態は上記のように構成されているので、被検査物としての基板6を検査位置にセットした状態で、上ベース3の切り欠き穴16と上治具としての透明アクリル5を通して、カメラ13でバーコード7を読み取る。通常、カメラ13のピントを合わせてバーコード7を読み取ると、バーコードは図5(a)のように点の集合でできているので、その点を読み取ることになり、誤ったバーコード情報として読み取る恐れがある。   Since this embodiment is configured as described above, with the substrate 6 as the inspection object set at the inspection position, the notch hole 16 of the upper base 3 and the transparent acrylic 5 as the upper jig are passed through. The barcode 7 is read by the camera 13. Normally, when the barcode 7 is read with the camera 13 in focus, the barcode is made up of a set of points as shown in FIG. There is a risk of reading.

しかし、上記のように上治具としての透明アクリル5を通してバーコード情報を読み取ることにより、バーコードからの反射光が透明アクリル5内で屈折してカメラ13に入射し、一種のピンボケ状態でカメラ13で読み取られる。このため、点の集合からなるバーコードが図5(b)のように線状に読み取られることになり、バーコード情報を正確に読み取ることができる。   However, by reading the barcode information through the transparent acrylic 5 as the upper jig as described above, the reflected light from the barcode is refracted in the transparent acrylic 5 and enters the camera 13, and the camera is in a kind of defocused state. 13 is read. For this reason, a bar code consisting of a set of points is read linearly as shown in FIG. 5B, and bar code information can be read accurately.

また、被検査物としての基板6を検査位置にセットした状態でバーコードを読み取ることにより、作業効率が良くなり、装置も小型化できる。しかも、上ベース3の切り欠き穴16と上治具としての透明アクリル5を透して、基板6のセット状態を目視確認することができるため、基板6のセットミスを防止できる。   Further, by reading the barcode with the substrate 6 as the inspection object set at the inspection position, the work efficiency is improved and the apparatus can be downsized. Moreover, since the set state of the substrate 6 can be visually confirmed through the notch hole 16 of the upper base 3 and the transparent acrylic 5 as the upper jig, a setting error of the substrate 6 can be prevented.

また、カメラ13と照明装置14は、XY移動機構17のY軸スライダ18とX軸スライダ19に沿って移動させることができるから、予めバーコード7との対向位置に移動させて、Y軸固定ネジ20とX軸固定ネジ21によって固定することにより、基板6上の任意位置のバーコード7を読み取ることが可能となり、バーコード7のマーキング、印字、もしくは貼り付け位置の制約がなくなる。また、カメラ13と照明装置14には偏向フイルタ15を取り付けてあるので、外乱光の乱反射などによる読み取り不具合を防止できる。   Further, since the camera 13 and the illumination device 14 can be moved along the Y-axis slider 18 and the X-axis slider 19 of the XY moving mechanism 17, they are moved in advance to a position facing the barcode 7 and fixed to the Y-axis. By fixing with the screw 20 and the X-axis fixing screw 21, it is possible to read the barcode 7 at an arbitrary position on the substrate 6, and there is no restriction on the marking, printing, or attaching position of the barcode 7. In addition, since the deflection filter 15 is attached to the camera 13 and the illumination device 14, it is possible to prevent a reading defect due to irregular reflection of ambient light.

また、カメラ13で読み込んだバーコード7の識別情報は、バーコードリーダ22を介して処理装置23で被検査対象基板であるか否かを照会して異なる基板をセットしていた場合は電磁バルブ25によりプレスシリンダ12を駆動しないように制御することによって、異なる基板6をセットしてプローブピンコンタクトした際にプローブピン10やサポートピン11が基板6の電子部品に当たり、いずれかが破損する不具合を未然に防止することができる。   If the identification information of the barcode 7 read by the camera 13 is set as a substrate to be inspected by the processing device 23 via the barcode reader 22 to determine whether it is a substrate to be inspected, an electromagnetic valve is set. By controlling so that the press cylinder 12 is not driven by 25, when a different substrate 6 is set and probe pin contact is made, the probe pin 10 or the support pin 11 hits an electronic component of the substrate 6 and either one is damaged. It can be prevented in advance.

この発明の実施の形態による検査装置の側面図である。1 is a side view of an inspection apparatus according to an embodiment of the present invention. この発明の実施の形態による検査装置の正面図である。It is a front view of the inspection device by an embodiment of this invention. 図1のA−A線に沿う横断平面図である。It is a cross-sectional plan view which follows the AA line of FIG. XY移動機構部の斜視図である。It is a perspective view of an XY movement mechanism part. バーコードの説明図である。It is explanatory drawing of a barcode.

符号の説明Explanation of symbols

1 ベース、2 下ベース、3 上ベース、4 下治具、5 上治具、6 基板、7 バーコード、12 プレスシリンダ、13 カメラ、14 照明装置、15 偏向フイルタ、16 切り欠き穴、17 XY移動機構、22 バーコードリーダ(デコーダ) 23 処理装置、24 計測部、25 電磁バルブ、100 装置本体。
1 base, 2 lower base, 3 upper base, 4 lower jig, 5 upper jig, 6 substrate, 7 bar code, 12 press cylinder, 13 camera, 14 illumination device, 15 deflection filter, 16 notch hole, 17 XY Moving mechanism, 22 Bar code reader (decoder) 23 Processing device, 24 Measuring unit, 25 Electromagnetic valve, 100 Device body.

Claims (3)

バーコードを有する被検査物を載置する載置部と、前記載置部に載置した被検査物の上面を覆う透明板と、前記バーコードの情報を前記透明板を通して読み取るバーコードリーダと、前記バーコードリーダを支持し該バーコードリーダを前記バーコードと対向する位置に移動させるバーコードリーダ駆動手段と、前記バーコードリーダによる読み取り情報を処理して、前記載置部に載置した被検査物が検査対象物であるかを判断する判断処理部と、前記判断処理部から前記載置部に載置した被検査物が検査対象物であるとの判断結果を受け検査を行う検査部とを備えた検査装置。   A placement unit for placing an inspection object having a barcode; a transparent plate that covers an upper surface of the inspection object placed on the placement unit; and a barcode reader that reads information on the barcode through the transparent plate; A barcode reader driving means for supporting the barcode reader and moving the barcode reader to a position opposite to the barcode; and reading information by the barcode reader; A determination processing unit that determines whether the inspection object is an inspection object, and an inspection that performs an inspection based on a determination result from the determination processing unit that the inspection object placed on the placement unit is an inspection object And inspection device. バーコードリーダ駆動手段は、バーコードリーダを直交するXY2軸方向に駆動することを特徴とする請求項1記載の検査装置。   2. The inspection apparatus according to claim 1, wherein the bar code reader driving means drives the bar code reader in XY biaxial directions orthogonal to each other. バーコードリーダの読み取り面に偏向フイルタを設けたことを特徴とする請求項1記載の検査装置。
2. The inspection apparatus according to claim 1, wherein a deflection filter is provided on a reading surface of the bar code reader.
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