JP2007014910A - 排ガス処理装置、薬剤筒及び排ガス処理装置のメンテナンス方法 - Google Patents
排ガス処理装置、薬剤筒及び排ガス処理装置のメンテナンス方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007014910A JP2007014910A JP2005200684A JP2005200684A JP2007014910A JP 2007014910 A JP2007014910 A JP 2007014910A JP 2005200684 A JP2005200684 A JP 2005200684A JP 2005200684 A JP2005200684 A JP 2005200684A JP 2007014910 A JP2007014910 A JP 2007014910A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- pipe
- gas
- exhaust gas
- cylinder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Treating Waste Gases (AREA)
Abstract
【課題】薬剤筒の交換作業の際における酸化反応の発生を回避できる排ガス処理装置、薬剤筒及び排ガス処理装置のメンテナンス方法を提供する。
【解決手段】第1の配管13と、第1の配管13と着脱可能に接続されており第1の配管13から流入する酸素含有ガスと排ガスとの反応物を除去する薬剤を有する薬剤筒5と、薬剤筒5と着脱可能に接続されており薬剤筒5から流出するガスを流す第2の配管17とを備え、薬剤筒5はガスの流入路を開閉する第1の弁5aと、第1の弁5aを介して流入する酸素含有ガスと排ガスとの反応物を吸着する薬剤を収容する筒体5cと、筒体5cから第2の配管17に流出するガスの流出路を開閉する第2の弁5bとを有し、第1の配管13は第3の弁13aを有し、第2の配管17は第4の弁17aを有する。
【選択図】図1
【解決手段】第1の配管13と、第1の配管13と着脱可能に接続されており第1の配管13から流入する酸素含有ガスと排ガスとの反応物を除去する薬剤を有する薬剤筒5と、薬剤筒5と着脱可能に接続されており薬剤筒5から流出するガスを流す第2の配管17とを備え、薬剤筒5はガスの流入路を開閉する第1の弁5aと、第1の弁5aを介して流入する酸素含有ガスと排ガスとの反応物を吸着する薬剤を収容する筒体5cと、筒体5cから第2の配管17に流出するガスの流出路を開閉する第2の弁5bとを有し、第1の配管13は第3の弁13aを有し、第2の配管17は第4の弁17aを有する。
【選択図】図1
Description
本発明は、排ガス処理装置と、薬剤筒と、排ガス処理装置のメンテナンス方法とに関する。
例えば特許文献1には、半導体製造プロセスにおいて生じる排ガスを処理するための排ガス処理装置(乾式除害装置)に係る技術が開示されている。特許文献1に記載の排ガス処理装置は、水や酸素等と高い反応性を有するガス成分を排ガスから除去するための薬剤を収容する薬剤筒(除害剤充填カラム)を備える。排ガスには、空気中の水や酸素と高い反応性を有するガス成分が含まれているので、この排ガス処理装置では、排ガス処理中の薬剤筒に空気が入り込まない構成となっている。
特開平6−47269号公報
上記特許文献1に記載の構成の排ガス処理装置とは別に、薬剤筒の内部に空気を入れて排ガスを処理する排ガス処理装置も実現されている。この種の排ガス処理装置が有する薬剤筒は、排ガスに含まれるガス成分を酸化させる薬剤を収容する。この排ガス処理装置では、薬剤筒や配管の内部に未酸化のガス成分もしくはその堆積物が存在していることがある。このため、薬剤筒の交換作業の際に薬剤筒や配管の内部に空気が入りこむと、薬剤筒や配管の内部に存在する未酸化のガス成分もしくはその堆積物が酸化反応を起こす可能性がある。
そこで、本発明の課題は、薬剤筒の交換作業の際における酸化反応の発生を回避できる排ガス処理装置、薬剤筒及び排ガス処理装置のメンテナンス方法を提供すること。
本発明の排ガス処理装置は、(a)有機金属気相成長装置から排気される排ガスと、酸素を含む酸素含有ガスとを流すための第1の配管と、(b)前記第1の配管と着脱可能に接続されており該第1の配管からの前記排ガス及び前記酸素含有ガスを処理する薬剤筒と、(c)前記薬剤筒と着脱可能に接続されており該薬剤筒から処理されたガスを流すための第2の配管とを備え、前記薬剤筒は、前記第1の配管から流入するガスの流入路を開閉する第1の弁と、前記第1の弁を介して流入する前記排ガスと前記酸素含有ガスとの反応物を吸着する薬剤を収容する筒体と、前記筒体から前記第2の配管に流出するガスの流出路を開閉する第2の弁とを有し、前記第1の配管は、当該第1の配管を流れるガスの流路を開閉する第3の弁を有し、前記第2の配管は、当該第2の配管を流れるガスの流路を開閉する第4の弁を有する、ことを特徴とする。
本発明によれば、第1の弁及び第2の弁が閉じられると薬剤を収容する筒体の内部に空気は入り込めない。このため、第1の弁及び第2の弁を閉じた後に薬剤筒を排ガス処理装置から取り外せば、筒体の内部に未酸化のガス成分が存在していても、この未酸化のガス成分に酸化反応は生じない。また、第1の配管に設けられた第3の弁を閉じると第1の配管を流れるガスの流路が遮断される。更に、第2の配管に設けられた第4の弁を閉じると第2の配管を流れるガスの流路も遮断される。このため、第3の弁及び第4の弁を閉じた後に排ガス処理装置から薬剤筒を取り外せば、第3の弁よりも上流にある配管や、第4の弁よりも下流にある配管には空気が入り込めない。従って、これら各配管の内側に未酸化のガス成分が付着していても、この未酸化のガス成分に酸化反応は生じない。
更に本発明では、前記第1の弁と前記第3の弁との間において前記第1の配管に連通したパージ配管を更に備えるのが好ましい。第1の配管にはパージ配管を介してパージガスを流すことができる。このため、第1の配管に入り込む空気の量は、このパージガスの流れによって低減される。よって、第1の配管の内側に未酸化のガス成分が付着していても、この未酸化のガス成分に酸化反応は生じない。
また、本発明の薬剤筒は、有機金属気相成長装置から排気される排ガスを処理するための薬剤筒であって、(a)酸素を含む酸素含有ガスと前記排ガスとの反応物を吸着する薬剤を収容するための収容部を有する筒体と、(b)前記収容部へ流入するガスの流入路を開閉する第1の弁と、(c)前記収容部から流出するガスの流出路を開閉する第2の弁とを備えることを特徴とする。
本発明によれば、第1の弁及び第2の弁が閉じられると薬剤を収容する収容部に空気は入り込めない。このため、第1の弁及び第2の弁を閉じた後に薬剤筒を排ガス処理装置から取り外せば、収容部に未酸化のガス成分が存在していても、この未酸化のガス成分に酸化反応は生じない。
また、本発明の排ガス処理装置のメンテナンス方法は、有機金属気相成長装置から排気される排ガスと、酸素を含む酸素含有ガスとの反応物を処理するための薬剤筒を備えた排ガス処理装置のメンテナンス方法であって、(a)前記薬剤筒のガス流入路に設けられた第1の弁と、該薬剤筒のガス流出路に設けられた第2の弁とを閉じるステップと、(b)前記第1の弁及び前記第2の弁を閉じた後に、前記第1の弁と着脱可能に接続された第1の配管が有する第3の弁と、前記第2の弁と着脱可能に接続された第2の配管が有する第4の弁とを閉じるステップと、(c)前記第3の弁及び前記第4の弁を閉じた後に、前記第1の弁と前記第3の弁との間において前記第1の配管に連通するパージ配管にパージガスを流すステップと、(d)前記パージ配管にパージガスを流しつつ、前記第1の弁及び前記第2の弁が閉じられた前記薬剤筒を前記排ガス処理装置から取り外すステップと、(e)前記排ガス処理装置から前記薬剤筒を取り外した後も前記パージ配管に前記パージガスを流しつつ、当該取り外した薬剤筒に換えて他の薬剤筒を前記排ガス処理装置に取り付けるステップとを含む、ことを特徴とする。
本発明によれば、薬剤筒を交換する際には、第1の弁及び第2の弁が閉じられるので薬剤を収容する筒体は密閉される。このため、筒体の内部に空気は入り込めない。よって、筒体の内部に未酸化のガス成分が存在していても、この未酸化のガス成分に酸化反応は生じない。また、第1の配管に設けられた第3の弁が閉じられると第1の配管を流れるガスの流路が遮断される。更に、第2の配管に設けられた第4の弁が閉じられると第2の配管を流れるガスの流路も遮断される。このため、第3の弁及び第4の弁が閉じられた後に排ガス処理装置から薬剤筒が取り外されるので、第1の配管及び第2の配管から排ガス処理装置の各配管に空気は入り込めない。よって、これら各配管の内側に未酸化のガス成分が付着していても、この未酸化のガス成分に酸化反応は生じない。また、薬剤筒の交換は、第1〜第4の弁を閉じた後にパージ配管を介して第1の配管にパージガスを流しつつ行われる。このため、薬剤筒の交換の際に第1の配管に入り込む空気の量は、このパージガスの流れによって低減される。よって、第1の配管の内側に未酸化のガス成分が付着していても、この未酸化のガス成分に酸化反応は生じない。
本発明によれば、薬剤筒の交換作業の際における酸化反応の発生を回避できる排ガス処理装置、薬剤筒及び排ガス処理装置のメンテナンス方法が提供できる。
以下、図面を参照して、本発明に係る好適な実施形態について詳細に説明する。なお、可能な場合に、図面の説明においては同一要素には同一符号を付す。
(第1実施形態)
図1を参照して排ガス処理装置1の構成を説明する。排ガス処理装置1は、酸素含有ガス供給部3、フィルタ4、薬剤筒5及び減圧ポンプ7を備える。酸素含有ガス供給部3は、酸素を含有する酸素含有ガスG1(例えば空気や酸化性ガス等)を供給する。フィルタ4は、入力部I1と出力部I2とを有する。フィルタ4では、酸素含有ガス供給部3により供給される酸素含有ガスG1と、有機金属気相成長装置2から排出される排ガスG2とが入力部I1から流入すると、これら酸素含有ガスG1と排ガスG2とから粉塵を除去する。フィルタ4では、粉塵が除去された後の酸素含有ガスG1及び排ガスG2を含むガスG3が出力部I2から薬剤筒5に流出する。減圧ポンプ7は、酸素含有ガスG1と排ガスG2とを、上流にあるフィルタ4から下流にある薬剤筒5に流す。
図1を参照して排ガス処理装置1の構成を説明する。排ガス処理装置1は、酸素含有ガス供給部3、フィルタ4、薬剤筒5及び減圧ポンプ7を備える。酸素含有ガス供給部3は、酸素を含有する酸素含有ガスG1(例えば空気や酸化性ガス等)を供給する。フィルタ4は、入力部I1と出力部I2とを有する。フィルタ4では、酸素含有ガス供給部3により供給される酸素含有ガスG1と、有機金属気相成長装置2から排出される排ガスG2とが入力部I1から流入すると、これら酸素含有ガスG1と排ガスG2とから粉塵を除去する。フィルタ4では、粉塵が除去された後の酸素含有ガスG1及び排ガスG2を含むガスG3が出力部I2から薬剤筒5に流出する。減圧ポンプ7は、酸素含有ガスG1と排ガスG2とを、上流にあるフィルタ4から下流にある薬剤筒5に流す。
薬剤筒5は、第1の弁5a、第2の弁5b及び筒体5cを有しており、筒体5cは、流入路5d、流出路5e及び収容部51を有する。第1の弁5aは、収容部51へ流入するガスG3の流入路5dを介して収容部51に接続されており、また流入路5dを開閉する。収容部51は、活性炭又は金属酸化物等を含む薬剤Mを収容する。薬剤Mは、ガスG3に含まれる酸素含有ガスG1と、排ガスG2に含まれる一又は複数のガス成分との間に酸化反応を起こし、またこの酸化反応によって生成される酸化反応物を吸着する。収容部51では、この酸化反応物が薬剤Mによって排ガスG3から除去された後の処理されたガスG4が流出路5eから流出する。第2の弁5bは、流出路5eを介して収容部51に接続されており、また流出路5eを開閉する。
更に、排ガス処理装置1は、パージガス供給部9、減圧ポンプ11、第1の配管13、第3の弁13a、パージ配管15a、パージ配管15b、第2の配管17、第4の弁17a、第3の配管19、第4の配管20、圧力計21、温度計23及びガス検知器25を備える。パージガス供給部9は、パージガスとしてN2ガスGpを供給する。なお、パージガス供給部9は、N2ガスGp以外の他の不活性ガスをパージガスとして供給してもよい。減圧ポンプ11は、パージガス供給部9により供給されるN2ガスGpを、パージ配管15a、第1の配管13及びパージ配管15bに流す。このN2ガスGpは、第1の弁5a及び第3の弁13aが閉じられていれば、第1の配管13のうち第1の弁5aに接続される端部から第3の弁13aまでの間(以下、第1の配管13の端部近傍という。)を流れる。
第1の配管13は、フィルタ4と薬剤筒5とを接続しており、またガスG3の流路になっている。第1の配管13の端部E1はフィルタ4の出力部I2に接続されており、第1の配管13の他の端部E2は薬剤筒5の第1の弁5aと着脱可能に接続されている。第1の配管13は、第1の弁5aが開かれていれば収容部51と連通する。また、第1の配管13には第3の弁13aが設けられている。第3の弁13aは、ガスG3の流路を開閉する。
パージ配管15aは、パージガス供給部9と第1の配管13とを接続しており、またパージガス供給部9から第1の配管13へ流入するN2ガスGpの流路になっている。パージ配管15aの端部E3は、パージガス供給部9に接続されており、パージ配管15aの他の端部E4は、第1の弁5aと第3の弁13aとの間の接続部C1において第1の配管13に接続されている。パージ配管15bは、減圧ポンプ11と第1の配管13とを接続しており、また第1の配管13から流出するN2ガスGpの流路になっている。パージ配管15bの端部E5は、第1の弁5aと第3の弁13aとの間の接続部C2において第1の配管13に接続されており、またパージ配管15bの他の端部E6は、減圧ポンプ11に接続されている。接続部C1は、第3の弁13aの近傍に位置し、接続部C2は、第1の弁5aの近傍に位置する。
第2の配管17は、薬剤筒5と減圧ポンプ7とを接続しており、またガスG4の流路になっている。第2の配管17の端部E7は薬剤筒5の第2の弁5bと着脱可能に接続されており、第2の配管17の他の端部E8は減圧ポンプ7に接続されている。第2の配管17は、第2の弁5bが開かれていれば収容部51と連通する。また、第2の配管17には第4の弁17aが設けられている。第4の弁17aは、ガスG4の流路を開閉する。
第3の配管19は、有機金属気相成長装置2とフィルタ4とを接続しており、また酸素含有ガスG1と排ガスG2とがフィルタ4に流入する流路になっている。第3の配管19の二つの端部のうち下流にある端部E9はフィルタ4の入力部I1に接続されている。第4の配管20は、酸素含有ガス供給部3と第3の配管19とを接続しており、また酸素含有ガスG1が第3の配管19に流入する流路になっている。第4の配管20の端部E10は酸素含有ガス供給部3に接続されており、第4の配管20の他の端部E11は接続部C3において第3の配管19に接続されている。
圧力計21は、第3の配管19に接続され、第3の配管19の内部の気圧を計測する。温度計23は、収容部51に接続され、収容部51の内部の気温を計測する。ガス検知器25は、第4の弁17aと減圧ポンプ7との間において第2の配管17に接続され、薬剤筒5により除去し切れなかったガス成分の有無(或いは濃度)を検知する。なお、圧力計21、温度計23及びガス検知器25の各々は、計測結果や検知結果を表示する表示装置を有していてもよいし、計測結果や検知結果を電気信号に変換して外部機器(例えば、図示しない中央制御部等)に送信する送信装置を有していてもよい。
(第2実施形態)
次に、図2を参照して、上記の構成を有する排ガス処理装置1のメンテナンス方法について説明する。以下で説明するメンテナンス方法は、使用に適さなくなった薬剤筒5を排ガス処理装置1から取り外し、そして、この取り外した薬剤筒5に換えて他の新たな薬剤筒5を取り付ける方法である。ステップS1では、第1の弁5aと第2の弁5bとを閉じる。これにより収容部51は密閉される。ステップS2では、第3の弁13aと第4の弁17aとを更に閉じる。そしてステップS3では、第1の弁5a、第2の弁5b、第3の弁13a及び第4の弁17aを全て閉じた後に、パージ配管15a及びパージ配管15bを介して第1の配管13の端部近傍にN2ガスGpを流す。ステップS4では、第1の配管13の端部近傍にN2ガスGpを流しつつ、第1の弁5a及び第2の弁5bが閉じられた薬剤筒5を排ガス処理装置1から取り外す。そして、ステップS5では、N2ガスGpを更に継続して流しつつ、新たな薬剤筒5を排ガス処理装置1に取り付ける。そして、ステップS6では、第1の弁5a、第2の弁5b、第3の弁13a及び第4の弁17aを全て開く。
次に、図2を参照して、上記の構成を有する排ガス処理装置1のメンテナンス方法について説明する。以下で説明するメンテナンス方法は、使用に適さなくなった薬剤筒5を排ガス処理装置1から取り外し、そして、この取り外した薬剤筒5に換えて他の新たな薬剤筒5を取り付ける方法である。ステップS1では、第1の弁5aと第2の弁5bとを閉じる。これにより収容部51は密閉される。ステップS2では、第3の弁13aと第4の弁17aとを更に閉じる。そしてステップS3では、第1の弁5a、第2の弁5b、第3の弁13a及び第4の弁17aを全て閉じた後に、パージ配管15a及びパージ配管15bを介して第1の配管13の端部近傍にN2ガスGpを流す。ステップS4では、第1の配管13の端部近傍にN2ガスGpを流しつつ、第1の弁5a及び第2の弁5bが閉じられた薬剤筒5を排ガス処理装置1から取り外す。そして、ステップS5では、N2ガスGpを更に継続して流しつつ、新たな薬剤筒5を排ガス処理装置1に取り付ける。そして、ステップS6では、第1の弁5a、第2の弁5b、第3の弁13a及び第4の弁17aを全て開く。
以上説明したように、薬剤筒5を交換する際には、第1の弁5a及び第2の弁5bが閉じられるので収容部51に空気は入り込めない。このため、第1の弁5a及び第2の弁5bを閉じた後に薬剤筒5を排ガス処理装置1から取り外せば、収容部51の内部に未酸化のガス成分が存在していても、この未酸化のガス成分に酸化反応は生じない。更に、第1の配管13に設けられた第3の弁13aが閉じられると第1の配管13を流れるガスG3の流路が遮断される。そして、第2の配管17に設けられた第4の弁17aが閉じられると第2の配管17を流れるガスG4の流路も遮断される。このため、第3の弁13a及び第4の弁17aが閉じられた後に排ガス処理装置1から薬剤筒5が取り外されれば、第1の配管13及び第2の配管17から排ガス処理装置1の各配管に空気は入り込めない。よって、これら各配管の内側に未酸化のガス成分が付着していても、この未酸化のガス成分に酸化反応は生じない。更に、薬剤筒5の交換は、第1の弁5a、第2の弁5b、第3の弁13a及び第4の弁17aを全て閉じた後に第1の配管13にN2ガスGpを流しつつ行われる。このため、薬剤筒5の交換の際に第1の配管13に入り込む空気の量は、このN2ガスGpの流れによって低減される。よって、第1の配管13の内側に未酸化のガス成分が付着していても、この未酸化のガス成分に酸化反応は生じない。
以上、好適な実施の形態において本発明の原理を図示し説明してきたが、本発明は、そのような原理から逸脱することなく配置および詳細において変更され得ることは、当業者によって認識される。本発明は、本実施の形態に開示された特定の構成に限定されるものではない。したがって、特許請求の範囲およびその精神の範囲から来る全ての修正および変更に権利を請求する。
1…排ガス処理装置、2…有機金属気相成長装置、3…酸素含有ガス供給部、4…フィルタ、5…薬剤筒、5a…第1の弁、5b…第2の弁、5c…筒体、7,11…減圧ポンプ、9…パージガス供給部、13…第1の配管、13a…第3の弁、15a,15b…パージ配管、17…第2の配管、17a…第4の弁、19…第3の配管、20…第4の配管、21…圧力計、23…温度計、25…ガス検知器、51…収容部。
Claims (4)
- 有機金属気相成長装置から排気される排ガスと、酸素を含む酸素含有ガスとを流すための第1の配管と、
前記第1の配管と着脱可能に接続されており該第1の配管からの前記排ガス及び前記酸素含有ガスを処理する薬剤筒と、
前記薬剤筒と着脱可能に接続されており該薬剤筒から処理されたガスを流すための第2の配管と
を備え、
前記薬剤筒は、
前記第1の配管から流入するガスの流入路を開閉する第1の弁と、
前記第1の弁を介して流入する前記排ガスと前記酸素含有ガスとの反応物を吸着する薬剤を収容する筒体と、
前記筒体から前記第2の配管に流出するガスの流出路を開閉する第2の弁とを有し、
前記第1の配管は、当該第1の配管を流れるガスの流路を開閉する第3の弁を有し、
前記第2の配管は、当該第2の配管を流れるガスの流路を開閉する第4の弁を有する、ことを特徴とする排ガス処理装置。 - 前記第1の弁と前記第3の弁との間において前記第1の配管に連通したパージ配管を更に備える、ことを特徴とする請求項1に記載の排ガス処理装置。
- 有機金属気相成長装置から排気される排ガスを処理するための薬剤筒であって、
酸素を含む酸素含有ガスと前記排ガスとの反応物を吸着する薬剤を収容するための収容部を有する筒体と、
前記収容部へ流入するガスの流入路を開閉する第1の弁と、
前記収容部から流出するガスの流出路を開閉する第2の弁と
を備えることを特徴とする薬剤筒。 - 有機金属気相成長装置から排気される排ガスと、酸素を含む酸素含有ガスとの反応物を処理するための薬剤筒を備えた排ガス処理装置のメンテナンス方法であって、
前記薬剤筒のガス流入路に設けられた第1の弁と、該薬剤筒のガス流出路に設けられた第2の弁とを閉じるステップと、
前記第1の弁及び前記第2の弁を閉じた後に、前記第1の弁と着脱可能に接続された第1の配管が有する第3の弁と、前記第2の弁と着脱可能に接続された第2の配管が有する第4の弁とを閉じるステップと、
前記第3の弁及び前記第4の弁を閉じた後に、前記第1の弁と前記第3の弁との間において前記第1の配管に連通するパージ配管にパージガスを流すステップと、
前記パージ配管にパージガスを流しつつ、前記第1の弁及び前記第2の弁が閉じられた前記薬剤筒を前記排ガス処理装置から取り外すステップと、
前記排ガス処理装置から前記薬剤筒を取り外した後も前記パージ配管に前記パージガスを流しつつ、当該取り外した薬剤筒に換えて他の薬剤筒を前記排ガス処理装置に取り付けるステップと
を含む、ことを特徴とする排ガス処理装置のメンテナンス方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005200684A JP2007014910A (ja) | 2005-07-08 | 2005-07-08 | 排ガス処理装置、薬剤筒及び排ガス処理装置のメンテナンス方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005200684A JP2007014910A (ja) | 2005-07-08 | 2005-07-08 | 排ガス処理装置、薬剤筒及び排ガス処理装置のメンテナンス方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007014910A true JP2007014910A (ja) | 2007-01-25 |
Family
ID=37752515
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005200684A Pending JP2007014910A (ja) | 2005-07-08 | 2005-07-08 | 排ガス処理装置、薬剤筒及び排ガス処理装置のメンテナンス方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007014910A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017170326A (ja) * | 2016-03-23 | 2017-09-28 | 大陽日酸株式会社 | 排ガス処理装置、及び排ガス処理方法 |
-
2005
- 2005-07-08 JP JP2005200684A patent/JP2007014910A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017170326A (ja) * | 2016-03-23 | 2017-09-28 | 大陽日酸株式会社 | 排ガス処理装置、及び排ガス処理方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5085550B2 (ja) | 流体の反応媒体中で、材料を酸素欠乏状態で処理するためのリアクタ及び方法 | |
JPH0415059A (ja) | 脱臭及び殺菌装置 | |
JP4360049B2 (ja) | 過酸化水素滅菌装置 | |
US20190247791A1 (en) | Method, system, and device for removing hydrogen peroxide or hydrazine from a process gas stream | |
JP2003181473A (ja) | 難分解性有機物の分解方法および装置 | |
JP2007014910A (ja) | 排ガス処理装置、薬剤筒及び排ガス処理装置のメンテナンス方法 | |
JP4773986B2 (ja) | オゾンガス殺菌装置 | |
JP2002360675A (ja) | オゾン滅菌装置 | |
CN216350587U (zh) | 一种臭氧浓度分析仪内置的校零装置 | |
JP2019177322A (ja) | 処理装置 | |
JP2011004802A (ja) | 滅菌処理方法及び滅菌装置 | |
JP2009154091A (ja) | 排ガス処理装置および排ガス処理方法、ならびに薄膜形成装置 | |
JP2007054736A (ja) | 排ガス処理装置、薬剤筒及び排ガス処理装置のメンテナンス方法 | |
JP2007167546A (ja) | 細管部のガス殺菌・滅菌方法及び装置 | |
CN206915904U (zh) | 一种废水处理装置 | |
JP2005134407A (ja) | 化学除染方法及びその装置 | |
JP4228364B2 (ja) | 光触媒除害装置 | |
JP5601796B2 (ja) | Bsp除去装置 | |
JP2004181369A (ja) | 超純水製造装置 | |
JP5815089B2 (ja) | ガス分解システムおよびガス分解器の寿命確認方法 | |
JP2002360674A (ja) | オゾン滅菌方法及び装置 | |
WO2002081970B1 (en) | A method of treating materials, as well as a plant and a reactor for implementing the method | |
JP2007014909A (ja) | 排ガス処理装置 | |
JP3143792B2 (ja) | アンモニア含有排ガスの除害方法 | |
WO2022181619A1 (ja) | 水素製造装置及び水素製造方法 |