JP2007014907A - 分散装置及び分散方法 - Google Patents

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Masaaki Koishi
昌章 小石
Hideaki Watanabe
英昭 渡辺
Toshiki Maruyama
俊樹 丸山
Takeshi Shibuya
武 渋谷
Shuichi Miura
秀一 三浦
Hitoshi Miura
仁 三浦
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Abstract

【課題】 凝集した粒体を含有する液状体を確実に所定回数分散することができ、分散性を高くすることができる分散装置の提供。
【解決手段】 分散装置1は、直列に接続された第1分散機20と第2分散機30と第3分散機40とを備えている。第1分散機20には、逆止弁16、低圧ポンプ12を介して供給用ペーストタンク11が接続されており、第3分散機40には、回収用ペーストタンク14が接続されている。ペーストタンク11内のニッケルペーストは、第1分散機20、第2分散機30、第3分散機40の順に流れて確実に3回分散され、回収用ペーストタンク14へ排出される。
【選択図】図1

Description

本発明は分散装置及び分散方法に関し、特に凝集する粒体を含有する高粘性液状体の粒体を分散させるための分散装置及び当該分散装置を用いて行う分散方法に関する。
従来より、凝集した粒体を含有する液状体の当該粒体を分散させるための分散装置が用いられている。分散装置は、分散を行うための分散機を備えており、液状体を1台の分散機で複数回分散させることによって、より確実に分散を行うことができる。
特開平5−51546号公報(特許文献1)には、液状体を貯留する2つのタンクと、1台の分散機とを備える分散装置が記載されている。一方のタンクに貯留された液状体は、分散機に供給されて分散が行われた後に、他方のタンクに貯留される。一方のタンクの液状体が全て分散されて他方のタンクへと移されると、次に、液状体は、他方のタンクから分散機へと供給されて分散が行われた後に、一方のタンクに貯留される。このように、液状体が一方のタンクと他方のタンクとの間を移動する毎に液状体は分散機を通り、1台の分散機で複数回分散が行われるように構成されている。
特開平5−51546号公報
しかし従来の分散装置では、前述のように液状体を1台の分散機に所定回数通すことにより、液状体を所定回数分散するようにしていたが、実際には、分散機にかけられる対象が液状体であるため、液状体が分散機の内部等に滞留することがあり、このように滞留したものが、当該所定回数の最終回の分散が行われた液状体と一緒に分散機から排出されることがあった。この場合には、排出された液状体のうちの分散機内に滞留していた部分については、所定回数分散が行われておらず、排出された液状体に十分に分散が行われていない凝集した粒体が存在してしまうという問題が生じていた。
特に、微小な電子部品たるチップコンデンサの内部電極を構成するために用いられる高粘性液状体たるニッケルペーストの場合には、分散を行う前の状態の液状体内でニッケル粉が凝集している。このため、十分に分散が行われないと、厚さ0.8ミクロンといった具合に極めて薄くニッケルペーストが塗布されることにより構成される内部電極の表面に、凝集したニッケル粉による突起が生じてしまい、結果的に内部電極を薄くできず、ショート不良や耐圧不良が生ずるというという問題が生ずる。
そこで、本発明は、凝集した粒体を含有する液状体を確実に所定回数分散することができ、分散性を高くすることができる分散装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明は、凝集した粒体を含有する液状体の粒体を分散するために、直列に接続され、それぞれ入力部と吐出部とを有する複数の分散機と、該液状体の流れる方向における最上流側に位置する該分散機の該入力部に接続される液状体供給部と、該液状体の流れる方向における最下流側に位置する該分散機の該吐出部に接続される液状体回収部とを備える分散装置を提供している。
凝集した粒体を含有する液状体の粒体を分散するために、複数の分散機を直列に接続したため、液状体供給部から供給された液状体は、確実に当該複数回数分散され、液状体回収部から排出される。液状体回収部から排出された液状体は、必ず全ての分散機を通過してきたものであるため、当該複数回数分散が行われたものと、当該複数回数以下の回数で分散が行われたものとが混合した状態となることを防止することができ、液状体回収部から排出された液状体を、100%当該複数回数分散されたものとすることができ、分散性を高くすることができる。
ここで、該粒体はニッケル粉であり該液状体はニッケルペーストであることが好ましい。粒体はニッケル粉であり液状体はニッケルペーストであるため、当該複数回数分散が行われ凝集した粒体が十分に分散された状態の液状体を、電子部品の内部電極を設けるために用いることができる。
また、本発明は、凝集した粒体を含有する液状体の粒体を分散するために直列に接続されそれぞれ入力部と吐出部とを有する複数の分散機を用い、先頭の該分散機の該入力部に該液状体を供給する工程と、該先頭の分散機から最後尾の該分散機へと順次分散する工程と、該最後尾の分散機の吐出部から該液状体を排出する工程とを有する分散方法を提供している。
凝集した粒体を含有する液状体の粒体を分散するために直列に接続されそれぞれ入力部と吐出部とを有する複数の分散機を用い、先頭の分散機から最後尾の分散機へと順次分散する工程を行うようにしたため、先頭の分散機に供給された液状体は、確実に当該複数回数分散され、最後尾の分散機から排出される。最後尾の分散機から排出された液状体は、必ず全ての分散機を通過してきたものであるため、当該複数回数分散が行われたものと、当該複数回数以下の回数で分散が行われたものとが混合した状態となることを防止することができ、最後尾の分散機から排出された液状体を、100%当該複数回数分散されたものとすることができ、分散性を高くすることができる。
ここで、該粒体はニッケル粉であり該液状体はニッケルペーストであることが好ましい。粒体はニッケル粉であり液状体はニッケルペーストであるため、当該複数回数分散が行われ凝集した粒体が十分に分散された状態の液状体を、電子部品の内部電極を設けるために用いることができる。
以上により、凝集した粒体を含有する液状体を確実に所定回数分散することができ、分散性を高くすることができる分散装置及び分散方法を提供することができる。
本発明の実施の形態による分散装置及び分散方法について図1を参照しながら説明する。先ず、分散装置について説明する。図1に示されるように分散装置1は、供給用ペーストタンク11と低圧ポンプ12と第1分散機20と第2分散機30と第3分散機40と2つのバッファシリンダ50、60と制御装置13と回収用ペーストタンク14と管部材15と3つの逆支弁16、17、18とを備えている。
供給用ペーストタンク11には、第1分散機20、第2分散機30、第3分散機40により分散される前の状態の高粘度液状体たるニッケルペーストが貯留されており、供給用ペーストタンク11は管部材15を介して低圧ポンプ12に接続されている。供給用ペーストタンク11は粒体供給部に相当する。ニッケルペーストは、微小な電子部品たる図示せぬチップコンデンサの極めて薄い内部電極となるものであり、Ni粉とチタン酸バリウムとターピネオールとを含有し、温度は25℃に保持され、比重は2であり、粘度は10PaSである。Ni粉は、基本粒径が略0.2μm〜0.4μm程度であると考えられているが、ニッケルペースト中で互いに凝集して大きな塊となっている。
低圧ポンプ12は、管部材15を介して逆止弁16に接続されており、逆止弁16は管部材15を介して第1分散機20に接続されている。第1分散機20は、管部材15を介して逆止弁17に接続されており、逆止弁17は管部材15を介して第2分散機30に接続されている。第2分散機30は、管部材15を介して逆止弁18に接続されており、逆止弁18は管部材15を介して第3分散機40に接続されている。このように、第1分散機20、第2分散機30、第3分散機40は直列に接続されており、この接続は分離不能であり不可逆的に直列な接続となっている。第3分散機40は回収用ペーストタンク14に接続されている。供給用ペーストタンク11からのニッケルペーストは、管部材15を介して低圧ポンプ12、第1分散機20、第2分散機30、第3分散機40と順に流れ、回収用ペーストタンク14へ排出され回収されるように構成されている。回収用ペーストタンク14は流体回収部に相当する。逆止弁16〜18はいずれも機械的逆止弁により構成されている。
第1分散機20、第2分散機30、第3分散機40は、ニッケルペースト中の凝集したNi粉を分散可能であり、それぞれ同一の構造をしており同一の性能を有している。そこでここでは第1分散機20について説明し、第2分散機30、第3分散機40については説明を省略する。
第1分散機20は、供給用シリンダ21と分散ユニット22と熱交換機23と油圧アクチュエータ24とを備えている。分散ユニット22は管部材15を介して逆止弁16に接続されており、内部に幅略0.2mm程度の細い図示せぬ流路が形成されている。流路の長さは数十ミリ程度である。流路内をニッケルペーストが秒速略300mといった高速で通過し、流路を画成しダイヤモンドにより構成される壁部に衝突することにより、凝集したNi粉がばらばらに分散されるように構成されている。
第1分散機20内であって逆止弁16と分散ユニット22との間で管部材15は分岐しており、供給用シリンダ21はその分岐先に接続されている。供給用シリンダ21は、シリンダ21Aと、油圧アクチュエータ24に接続され油圧アクチュエータ24の駆動によりシリンダ21A内で往復摺動可能なプランジャ21Bとを有している。油圧アクチュエータ24の駆動によりプランジャ21Bが摺動後退することにより、供給用ペーストタンク11からのニッケルペーストがシリンダ21A内へ吸引可能である。
逆に、油圧アクチュエータ24の駆動によりプランジャ21Bが摺動前進することにより、シリンダ21A内のペーストが管部材15を介して分散ユニット22へ供給されるように構成されている。第1分散機20、第2分散機30、第3分散機40の油圧アクチュエータ24、34、44は、後述のように制御装置13に接続されており、制御装置13によって駆動制御されることによって同期して摺動する。供給用シリンダ21は供給手段に相当する。逆止弁16と分散ユニット22とを接続している管部材15の部分の、供給用シリンダ21へ分岐している分岐部分よりも上流側の部分は入力部に相当する。
熱交換機23は、第1分散機20内であって逆止弁17と分散ユニット22との間に設けられている。分散ユニット22においてニッケルペーストのNi粉の分散が行われる際に熱が発生してニッケルペーストは高温になるが、高温のニッケルペーストを熱交換機23に通すことにより冷却することができる。第3分散機40では、第3分散機40内であって回収用ペーストタンク14と分散ユニット42との間に熱交換機43が設けられている。
第1分散機20と逆止弁17との間で管部材15は分岐しており、バッファシリンダ50はその分岐先に接続されている。また、第2分散機30と逆止弁18との間で管部材15は分岐しており、バッファシリンダ60その分岐先に接続されている。2つのバッファシリンダ50、60は同一の構成であり、ここでは、バッファシリンダ50についてのみ説明し、バッファシリンダ60については説明を省略する。熱交換機23と逆止弁17とを接続している管部材15の部分の、バッファシリンダ50へ分岐している分岐部分よりも上流側の部分は吐出部に相当する。第3分散機40については、熱交換機43と回収用ペーストタンク14とを接続している管部材15の部分の熱交換機43寄りの部分が吐出部に相当する。
バッファシリンダ50は、シリンダ51と、アクチュエータ53と、アクチュエータ53に接続されアクチュエータ53の駆動によりシリンダ51内で往復摺動可能なプランジャ52とを有している。プランジャ52が摺動後退することにより、上流側の第1分散機20からのニッケルペーストがシリンダ51内へ流入可能である。逆に、アクチュエータ53の駆動によりプランジャ52が摺動前進することにより、シリンダ51内のペーストが管部材15を介して下流側の分散ユニット32へ供給されるように構成されている。アクチュエータ53は、プランジャ52が摺動前進するときのみ駆動し、後退するときには無負荷の状態となり、シリンダ51内にニッケルペーストが流入することによりプランジャ52が摺動後退する。アクチュエータ53、63は、後述のように制御装置13に接続され制御装置13によって駆動制御されることによって、同期して摺動前進する。バッファシリンダ50は粉体貯留部に相当する。
バッファシリンダ50がシリンダ51とプランジャ52とを備える構成としたため、シリンダ51内の空間内に貯留されているニッケルペーストをバッファシリンダ50から排出するためにはプランジャ52を駆動させればよい。このため、ニッケルペーストをバッファシリンダ50から排出するためにシリンダ51内の空間内へ気体を供給してニッケルペーストを加圧せずに済み、ニッケルペーストが気化すること、及び酸化することを防止することができる。
また、プランジャ52はシリンダ51内において摺動するため、プランジャ52の摺動によりシリンダ51内のニッケルペーストを残らず排出することができる。このため、バッファシリンダ50内に残留するニッケルペーストの量を大幅に減じることができる。
アクチュエータ53には、シリンダ51内のニッケルペーストの量がシリンダ51内の貯留可能な最大量に近い第1所定量に達したことを検出するための第1センサ54と、シリンダ51内のニッケルペーストがなくなる直前の第2所定量に達したことを検出するための第2センサ55とが設けられている。第1センサ54、第2センサ55は、それぞれ制御装置13に接続されている。また、制御装置13は、第1分散機20、第2分散機30、第3分散機40の油圧アクチュエータ24、34、44と、バッファシリンダ50、60のアクチュエータ53、63と、低圧ポンプ12とに接続されている。制御装置13、第1センサ54、64、及び第2センサ55、65は制御機構を構成する。
次に、分散装置1を用いて行う分散方法について説明する。分散方法では、先ず、供給用ペーストタンク11にニッケルペーストを供給する。この時点では、油圧アクチュエータ24、34、44は最も摺動前進した位置とされる。次に、制御装置13は低圧ポンプ12を駆動させ、第1分散機20、第2分散機30、第3分散機40の油圧アクチュエータ24、34、44を同期させて摺動後退させる。このことにより供給用ペーストタンク11内のニッケルペーストは、第1分散機20内の供給用シリンダ21内に吸引される。
次に、制御装置13が油圧アクチュエータ24、34、44を同期させて摺動前進させることにより、供給用シリンダ21内のニッケルペーストは、分散ユニット22内を通過して分散され、熱交換機23を通過して冷却され、バッファシリンダ50内へ流入する。このとき、バッファシリンダ50のプランジャ52は無負荷の状態となっているため、バッファシリンダ50のシリンダ51内へのニッケルペーストの流入に伴い摺動後退する。この際に逆止弁16が設けられているため、第1分散機20から上流側、即ち 低圧ポンプ12や供給用ペーストタンク11の側へはニッケルペーストは逆流しない。また、後述のように連続して流れて分散が行われているときには、直下流側の第2分散機30内にはニッケルペーストの残圧があるので、第2分散機30へニッケルペーストは流入しない。
次に、制御装置13は、第1分散機20、第2分散機30、第3分散機40の油圧アクチュエータ24、34、44を同期させて摺動後退させ、これと連動してバッファシリンダ50、60のプランジャ52、62を同期させて摺動前進させる。このことにより、バッファシリンダ50内のニッケルペーストは、逆止弁17を通過して第2分散機30の供給用シリンダ31内へ吸引される。この際に、前述のように逆止弁16が設けられており、第1分散機20から上流側、即ち 低圧ポンプ12や供給用ペーストタンク11の側へはニッケルペーストは逆流しないため、第1分散機20内のニッケルペーストの残圧により、バッファシリンダ50から上流側、即ち第1分散機20の熱交換機23や分散ユニット22の側へは逆流しない。油圧アクチュエータ24、34、44により摺動前進するプランジャ21B、31B、41Bは、200MPaの圧力でニッケルペーストを押圧し、摺動前進に2秒程度かかり摺動後退に1秒程度かかり、3秒ほどで1往復する。
このようにしてニッケルペーストは、供給用ペーストタンク11、第1分散機20の供給用シリンダ21、分散ユニット22、熱交換機23、バッファシリンダ50、第2分散機30の供給用シリンダ31、分散ユニット32、熱交換機33、バッファシリンダ60、第3分散機40の供給用シリンダ41、分散ユニット42、熱交換機43の順に連続して流れ、3つの分散機20、30、40を通過した後に、回収用ペーストタンク14へ排出される。回収用ペーストタンク14に回収されたニッケルペーストは、100%3つの分散機を通過したものとなっており、ニッケルペーストを確実に3回分散させることができる。
また、バッファシリンダ50、60が設けられているため、バッファシリンダ50、60で各分散機の性能の差を吸収することができ、下流側の分散機へ供給されるニッケルペーストの量を当該下流側の分散機の処理能力に適した値とすることができる。このため、下流側の分散機へ供給されるニッケルペーストの量が多すぎたり少なすぎたりすることを防止し、下流側の分散機の故障、破損、空運転等を防止し、安定して分散を行うことができ、生産効率の低下を防止することができる。
また、供給用シリンダ21、31、41によるニッケルペーストの吸引動作に連動して、バッファシリンダ50、60のプランジャ52、62の動作を制御してバッファシリンダ50、60内のニッケルペーストをバッファシリンダ50、60の直下流側の分散機の供給用シリンダ31、41へ供給するため、バッファシリンダ50、60内のニッケルペーストの分散機20、30、40内への供給を確実とすることができる。
上述のようにニッケルペーストの分散を行っている際に、バッファシリンダのプランジャが摺動前進したときに、シリンダ内のニッケルペーストがなくなる直前の第2所定量に達したことを第2センサが検出すると、第2センサから制御装置13へ信号が送られ、制御装置13は、当該第2センサが設けられているバッファシリンダの直下流側の分散機の油圧アクチュエータ及び熱交換機の動作を停止させる。例えば、バッファシリンダ50の第2センサ55から信号が制御装置13へ送られると、第2分散機30の油圧アクチュエータ34及び熱交換機33の動作を停止させる。
このことにより、バッファシリンダ50、60から直下流側の分散機30、40へニッケルペーストが供給されることを停止することができ、バッファシリンダ50、60内にニッケルペーストがなくなりバッファシリンダ50、60から当該バッファシリンダ50、60の直下流側の分散機30、40へニッケルペーストを供給できなくなることを防止することができる。
また、バッファシリンダのプランジャが摺動後退したときに、シリンダ内のニッケルペーストの量がシリンダ内の貯留可能な最大量に近い第1所定量に達したことを第1センサが検出すると、第1センサから制御装置13へ信号が送られ、制御装置13は、当該第1センサが設けられているバッファシリンダの直上流側の分散機の油圧アクチュエータ及び熱交換機の動作を停止させる。例えば、バッファシリンダ50の第1センサ54から信号が制御装置13へ送られると、第1分散機20の油圧アクチュエータ24及び熱交換機23の動作を停止させる。
このことにより、バッファシリンダ50、60へニッケルペーストが流入することを防止することができ、バッファシリンダ50、60へ第1所定量よりも多くニッケルペーストが流入してバッファシリンダ50、60からニッケルペーストがあふれてしまうことを防止することができる。
第1センサによる第1所定量の検出により、分散機の油圧アクチュエータ及び熱交換機の動作が停止した後、当該第1センサが設けられているバッファシリンダの直下流側の分散機の油圧アクチュエータの摺動往復回数が第1所定回数に達すると、制御装置13は、当該第1センサが設けられているバッファシリンダの直上流側の分散機の油圧アクチュエータ及び熱交換機の動作を再開する。
例えば、バッファシリンダ50の第1センサ54による第1所定量の検出により、第1分散機20の油圧アクチュエータ24及び熱交換機23の動作が停止した後、第2分散機30の油圧アクチュエータ34の摺動往復回数が第1所定回数に達すると、制御装置13は、第1分散機20の油圧アクチュエータ24及び熱交換機23の動作を再開する。
同様に、第2センサによる第2所定量の検出により、分散機の油圧アクチュエータ及び熱交換機の動作が停止した後、当該第2センサが設けられているバッファシリンダの直上流側の分散機の油圧アクチュエータの摺動往復回数が第2所定回数に達すると、制御装置13は、当該第2センサが設けられているバッファシリンダの直下流側の分散機の油圧アクチュエータ及び熱交換機の動作を再開する。
例えば、バッファシリンダ50の第2センサ54による第2所定量の検出により、第2分散機30の油圧アクチュエータ34及び熱交換機33の動作が停止した後、第1分散機20の油圧アクチュエータ24の摺動往復回数が第2所定回数に達すると、制御装置13は、第2分散機30の油圧アクチュエータ34及び熱交換機33の動作を再開する。
このように分散機の油圧アクチュエータ及び熱交換機の動作を自動的に再開するようにしため、手動にて分散機の油圧アクチュエータ及び熱交換機の動作を再開させずに済み、分散方法における分散の工程を簡単にすることができる。
本発明による分散装置及び分散方法は、上述した実施の形態に限定されず、特許請求の範囲に記載した範囲で種々の変形や改良が可能である。例えば、本実施の形態では、第1分散機20、第2分散機30、第3分散機40は同一の性能を有していたが、これに限定されず性能は異なっていてもよい。また、第1分散機20、第2分散機30、第3分散機40の3台の分散機が用いられたが、台数はこれに限定されない。複数であればよい。分散機の台数に対応して、直列に接続された各分散機の間にはバッファシリンダが設けられる。
また、粒体貯留部としてバッファシリンダ50、60を用いたが、これに限定されない。例えば、粒体又は液状体が一時的に貯留可能なタンクを用いてもよい。
また、分散の行われる対象は高粘性液状体たるニッケルペーストであったが、これに限定されず液状体であればよい。
本発明の分散装置及び分散方法は、凝集した粒体を分散させる分散機の分野等において特に有用である。
本発明の実施の形態による分散装置を示す概略図。
符号の説明
1 分散装置
11 供給用ペーストタンク
13 制御装置
14 回収用ペーストタンク
16、17、18 逆止弁
20 第1分散機
21、31、41 供給用シリンダ
22、32、42 分散ユニット
51、61 シリンダ
52、62 プランジャ
30 第2分散機
40 第3分散機
50、60 バッファシリンダ
54、64 第1センサ
55、65 第2センサ

Claims (4)

  1. 凝集した粒体を含有する液状体の粒体を分散するために、直列に接続され、それぞれ入力部と吐出部とを有する複数の分散機と、
    該液状体の流れる方向における最上流側に位置する該分散機の該入力部に接続される液状体供給部と、
    該液状体の流れる方向における最下流側に位置する該分散機の該吐出部に接続される液状体回収部とを備えることを特徴とする分散装置。
  2. 該粒体はニッケル粉であり該液状体はニッケルペーストであることを特徴とする請求項1記載の分散装置。
  3. 凝集した粒体を含有する液状体の粒体を分散するために直列に接続されそれぞれ入力部と吐出部とを有する複数の分散機を用い、
    先頭の該分散機の該入力部に該液状体を供給する工程と、
    該先頭の分散機から最後尾の該分散機へと順次分散する工程と、
    該最後尾の分散機の吐出部から該液状体を排出する工程とを有することを特徴とする分散方法。
  4. 該粒体はニッケル粉であり該液状体はニッケルペーストであることを特徴とする請求項3記載の分散方法。
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07100825A (ja) * 1993-10-06 1995-04-18 Denki Kagaku Kogyo Kk 熱可塑性樹脂と添加物の混合方法および混合装置
JPH11333279A (ja) * 1998-05-28 1999-12-07 Teijin Ltd スラリー供給装置
WO2000004559A1 (fr) * 1998-07-17 2000-01-27 Murata Manufacturing Co., Ltd. Procede de production d'une composition conductrice et composition conductrice
JP2003001086A (ja) * 2001-06-20 2003-01-07 Kurita Water Ind Ltd 薬剤溶解供給装置
JP2005131568A (ja) * 2003-10-31 2005-05-26 Tdk Corp 高圧分散機および高圧分散機用高圧ポンプ

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07100825A (ja) * 1993-10-06 1995-04-18 Denki Kagaku Kogyo Kk 熱可塑性樹脂と添加物の混合方法および混合装置
JPH11333279A (ja) * 1998-05-28 1999-12-07 Teijin Ltd スラリー供給装置
WO2000004559A1 (fr) * 1998-07-17 2000-01-27 Murata Manufacturing Co., Ltd. Procede de production d'une composition conductrice et composition conductrice
JP2003001086A (ja) * 2001-06-20 2003-01-07 Kurita Water Ind Ltd 薬剤溶解供給装置
JP2005131568A (ja) * 2003-10-31 2005-05-26 Tdk Corp 高圧分散機および高圧分散機用高圧ポンプ

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