JP2007012624A - パターンマッチング方法、及び装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、予め登録されているパターンに基づいて、所望の位置を特定する機能を備えた走査電子顕微鏡において、パターンの種類,パターンを構成する複数の部分間の間隔、及びパターンを構成する部分の寸法に関する情報を設定する手段と、当該手段によって得られた情報に基づいて、複数の部分によって構成されるパターン像を形成する手段を備えた走査電子顕微鏡を提供する。
【選択図】図2
Description
11の内容は画像処理装置16の画像メモリ17に転送され処理を行う。
(303a),本数Number(304)の入力窓(304a),ラインパターン間のピッチPitch(305)の入力窓(305a)にそれぞれキーボード15を用いて入力した後
(S2002)、OKボタン(306)を押す。ホストコンピュータ13は、(302)から(305)の値をもとに倍率Mag(308)を式(1)で求める。さらに求めた倍率で観察した場合に画像上に表示される疑似的なパターン(309)を作成しCRT20に
Mag(308)とともに画像(307)として表示する(S2003)。表示例を図3
(a)に示す。ユーザは疑似パターン(309)によって入力値を確認する(S2004)。矛盾があればステップ(S2001〜S2004)を繰り返す。矛盾がなければ検出時の個数のしきい値(311)Num.Accept.を入力窓(311a)に入力し(S2005)、登録ボタン(310)を押す。この信号を受けてホストコンピュータ13は入力情報
(302)〜(305)と倍率(308)および個数のしきい値(313)Num.Accept.を記憶装置22にライン検出ファイル(312)としてレシピファイル25に関連付けて保存する(S2006)。
lwp=min(Width,Pitch−Width)(nm)
Mag.=lpmin×rw/(pw×lwp) …式(1)
ただし
lwp:lwとlp−lwを比較して小さい方の値
rw:画像表示領域の幅
pw:表示画像の幅(pixel)
lpmin:最小の処理可能な幅(pixel)
(401)から(405)の値をもとに疑似パターン(409)を作成する。さらに倍率Mag.(408)を式(2)で求めCRT20に疑似画像(409)とともに表示する
(S2003)。
(S2004)。矛盾があればステップ(S2001〜S2004)を繰り返す。矛盾がなければ検出時の個数のしきい値Num.Accept.を入力窓(411)に入力し(S2005)、登録ボタン(410)を押す。この信号を受けてホストコンピュータ13は入力情報
(401)から(404)と倍率(408)を記憶装置22にホール検出ファイル(412)としてレシピファイル25に関連付けて保存する(S2006)。
harea=max((hnx−1)×hpx,(hny−1)×hpy) (nm)
mag=rw/(harea×2) …式(2)
ただし
harea:(hnx−1)×hpxと(hny−1)×hpyを比較して大きい方の値
rw:画像表示領域の幅
(313)より大きければ画像処理装置16はパターン評価実行する。個数しきい値より大きい場合にパターン評価を実行する理由は、ノイズ等が混入を考慮してのことであるが、同数の場合にのみ評価実行するように構成しても構わない。
(S6006)。位置関係マスクはパターン数が減少すること考慮してパターン数(303)〜しきい値(311)でパターン数を変え(S6007),(S6004)〜(S6006)繰り返す(S6008)。以上の処理によってパターン数と検出位置が求められる。
(S7003)の信号レベル(例えば分散など)を計算する(S7004)。この部分はパターンとパターンの間に設定する場合が多い。(S7002)と(S7003)で求めたノイズレベルと信号レベルから評価値b(S/N比)を求め(S7005)、ホストコンピュータ13に返す。ホールパターンも同様の手順でパターン位置,個数,評価値bを求めることができる。
(404),(405))を用いて走査範囲を決定する。ラインパターンおよびホールパターンの走査範囲例を図10に示す。
21…対物レンズ制御回路、22…ホストコンピュータの記憶装置、25…レシピファイル、120…ネットワーク、121,122a,123a,124a,125a…記憶装置、122,123,124…製造装置、125…コンピュータ。
Claims (8)
- 試料に電子線を走査して得られる電子に基づいてパターンを検出し、当該検出されたパターンと、予め登録されているパターンとのマッチングを行うマッチング方法において、
パターンを構成する部分の数、或いは前記パターンの評価値について予めしきい値を設定しておき、前記パターンを構成する部分の数、或いは前記パターンの評価値が前記しきい値を下回った場合に、前記マッチングによって検出される測定パターンの測定をスキップすることを特徴とするマッチング方法。 - 請求項1において、
前記パターンは、複数のラインパターン、或いは複数のホールパターンによって形成されるものであることを特徴とするマッチング方法。 - 走査電子顕微鏡によって得られたパターンと、予め登録されたパターン間でパターンマッチングを行うコンピュータにおいて、
当該コンピュータは、設定されたパターンを構成する複数の部分の数、或いは前記パターンの評価値について予めしきい値を設定しておき、前記パターンを構成する部分の数、或いは前記パターンの評価値が前記しきい値を下回った場合に、前記マッチングによって検出される測定パターンの測定をスキップすることを特徴とするコンピュータ。 - 請求項3において、
前記パターンは、複数のラインパターン、或いは複数のホールパターンによって形成されるものであることを特徴とするコンピュータ。 - 走査電子顕微鏡によって得られたパターンと、予め登録されたパターン間でパターンマッチングを行うコンピュータにおいて、
当該コンピュータは、前記走査電子顕微鏡によって得られたパターンを構成する複数の部分の数、或いは当該パターンの評価値に基づいて、次の測定位置を決定することを特徴とするコンピュータ。 - 請求項5において、
前記次の測定位置の決定は、前記得られたパターンを構成する複数の部分の数、或いは当該パターンの評価値に基づく、パターン形状が悪くなる試料上の方向の判断に基づいて行われることを特徴とするコンピュータ。 - 請求項5において、
前記次の測定位置の決定は、前記得られたパターンを構成する複数の部分の数、或いは当該パターンの評価値が、しきい値以下となった測定位置よりも試料の外側の測定位置には移動しない判断に基づいて行われることを特徴とするコンピュータ。 - 走査電子顕微鏡によって得られたパターンと、予め登録されたパターン間でパターンマッチングを行うコンピュータにおいて、
当該コンピュータは、前記パターンの評価値に基づいて、次の測定位置を決定することを特徴とするコンピュータ。
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