JP2006517658A - リークを認知するための方法および装置 - Google Patents

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Abstract

ユニットの機能箇所におけるリークを認知するかもしくは評価するために、テストしたいリーク領域がハウジング(21)によってガス密に取り囲まれる。このハウジング(21)の壁を通してスニッファプローブ(16)が案内される。このスニッファプローブ(16)によって、ガスをテスト領域から吸い出すことができる。周辺影響はテスト領域から締め出され、これにより、周辺空気内に含有されたガス、たとえば呼吸ガスによって測定結果が改竄されない。ハウジングは完全にまたは部分的に機能箇所に前準備されている。

Description

本発明は、検出したいリークガスのリークを、該リークガスに反応するスニッファプローブを有するリーク探査機器を使用して認知するかもしくは評価するための方法および装置に関する。
ドイツ連邦共和国特許出願公開第10118085号明細書(Inficon GmbH)には、リーク探査機器が記載されている。このリーク探査機器は、種々異なる固有のリークガスを認知しかつリークガスの量もしくは濃度も評価することができる。このようなリーク探査機器は、たとえば冷媒工業および自動車工業で試験体またはアッセンブリをテストするために使用される。リーク探査機器はスニッファプローブを有している。このスニッファプローブはガスを機器内に引き込む。シール性に関して検査したい装置に用いられるテストガスとして、しばしばヘリウムが使用される。いずれにせよ試験体内にまたはアッセンブリ内に位置するガス、たとえばSF6または冷媒工業ではハロゲンガスをテストガスとして使用することも知られている。頻繁に使用されるテストガスもしくはリークガスはCOである。特にCOでは、ガスが、同じくCOを含有する呼吸空気によって汚染される危険がある。悪化させる成分のこのような不本意な混加によって、「バックグラウンド状態」が生ぜしめられる。
アメリカ合衆国特許第4557139号明細書には、管継手を検査するためのリークディテクタが記載されている。このリークディテクタは一時的に管継手に固定される。管接続部の内部には、圧力が検査ガス(ヘリウム)によって形成される。管継手は外部で圧力密なスリーブによって取り囲まれている。このスリーブは質量分析計に接続されている。ヘリウムの流出によって、管継手におけるリークが認知される。この方法は、導管の運転停止と数多くの操作の実施とを前提としている。これによって、運転の間のシール検査が不可能となる。
類似のリーク探査法は、アメリカ合衆国特許第4282743号明細書に記載されている。そこでは、ハウジングが、管継手を気密に取り囲むように一時的に管継手に組み付けられる。導管内にテストガス(ヘリウム)が送り込まれ、ハウジング内にテストプローブが導入される。このテストプローブは質量分析計に接続される。これに対しても、検査したい管路が運転停止されなければならず、テストガスで充填されなければならない。
本発明の課題は、検出したいリークガスのリークを認知するかもしくは評価するための方法を改良して、リーク検査を常に迅速にかつ簡単に実施することができるようにすることである。
本発明による方法の第1の実施態様は、請求項1の特徴を有している。これによれば、機能箇所に据え付けられた空調装置において、開放した検査容積にガス流が供給される。このガス流はリークガスのコンスタントな濃度を有しているかまたは全くリークガスを含有していない。スニッファプローブによる測定は、据え付けられた空調装置の配置箇所で、測定容積から流出するガス流に対して行われる。このような方法は測定容積の取囲みを要求しない。このことは、「新鮮ガスシャワー」とも呼ばれる。検査したい箇所を取り囲んで、ガスパージが発生させられる。有利には、パージガスは空気よりも軽く、これによって、パージガスが容積を下方から上方に通流する。その後、検査容積の上方でスニッファプローブによって、リークガスがガス流内に位置しているかどうかが検知され得る。この場合、同時にリークガスの流出の箇所を突き止めることもできる。このようなリーク探査は異常に簡単であり、手間のかかる装置を必要としない。有利には、純粋な空気または窒素がガスパージのための使用され、これによって、人がガス流によって危険にさらされない。
本発明による方法の第2の実施態様は、ユニットの機能箇所に測定箇所を取り囲んでハウジングが配置されることを提案している。このハウジングは検査容積を周辺に対して仕切っている。これによって、ユニットの機能箇所におけるリーク認知が可能となる。すなわち、ユニットを工場で検査するかまたは、ユニットがすでに据え付けられている事例では、ユニットを取り外しかつ測定チャンバ内に移送することが不要となる。
測定箇所にハウジングまたはハウジング部分が固く据え付けられることによって、ユニットを使用箇所で、組み付けられた状態で検査することができる。この場合、2つの実施態様が存在する。第1の実施態様では、ハウジングがトング状に旋回可能である。第2の実施態様では、ハウジングの一部しかユニットの機能箇所に固く据え付けられていない。第2の実施態様では、検査したいユニットの周辺がハウジングの一部として形成されていて、したがって、リークガス検査のために提供されている。このことは、しばしば、ユニットが壁または別の構成要素の近くに配置されており、これによって、全ハウジングに対してスペースが存在していない場合に有利である。
本発明による方法は、ハウジング内へのリークガスの集合を濃度測定によって確認するように実施することができる。空調装置の事例では、流出した冷媒が検査容積内に集合する。この場合、バックグラウンド濃度が周辺から検査容積の仕切りによって締め出される。リークガス濃度は、当然ながら、最も小さなリーク率で待機時間と無関係に測定することができる。
第2の択一的な実施態様は、ハウジングからガスを吸い出し、次いで、ハウジング内でリーク率測定を行うことを提案している。まず、検査容積からガスが吸い出される。これによって、負圧が形成される。数時間後、もはや流出するリークガスしか測定されない。なぜならば、周辺ガスが遠ざけられるからである。吸出しは、有利にはスニッファプローブを通して行われる。
さらに、本発明は、検出したいリークガスのリークを認知するかもしくは評価するための装置に関する。この装置は、検査容積のガス密な取囲み体を形成するためのハウジングと、このハウジングに組み付けられたスニッファプローブとを有している。この場合、ハウジングの少なくとも一部が、検査したいユニットに永続的に据え付けられている。ハウジングまたはハウジング部分は、検査したいユニットに直接結合されている必要はない。自動車では、ハウジングもしくはハウジング部分が保持部に取り付けられていれば十分である。この保持部はユニットに対して不動に空間的に対応配置されている。スニッファプローブの吸込み管片はハウジング内部に突入している。スニッファプローブは、永久的にハウジングに取り付けられていてよい。この場合、スニッファプローブは吸出しのためにも適していて、吸込み源に接続することができるかまたは取外し可能にハウジングの相応の切欠き内に挿入することができる。
本発明によれば、ハウジングの少なくとも一部が、検査したいユニットに固く据え付けられている。このことは、ユニットの周辺が、ユニットの密な取囲みのために永続的に前提供されていることを意味している。すなわち、機能箇所が適宜に前準備されている。
以下に、本発明の実施例を図面につき詳しく説明する。
図1には、自動車10が示してある。この自動車10はエンジンルーム内に空調装置のユニット11を有している。空調装置は冷媒循環路を有している。この冷媒循環路は密でなければならず、この冷媒循環路からリークガスが流出してはならない。リークガス検査のためには、冷凍ユニット11がガスパージ装置12の上方に位置決めされる。このガスパージ装置12は送風機13に接続されている。この送風機13は入口14を介して新空気を吸い込むかまたはテストしたいリークガスを含有していない別のガスを吸い込む。新空気は、種々異なるガスのコンスタントな濃度を有している。これらのガスはリークガス、たとえばアルゴン、CO、ヘリウムとして考慮される。ガスパージ装置12からガス流15が上昇する。このガス流15はユニット11を擦過する。これによって、規定された周辺が提供される。この周辺では、リークまたは検査ガス媒体の箇所を、ユニット11にわたって案内されるスニッファプローブ16によって突き止めることができる。このスニッファプローブはリーク探査機器(図示せず)に接続されている。このリーク探査機器は、吸い込まれたガスを分析し、ユニット11から発生したリークガスを確認する。このリークガスは、ここでは、COである。
ガス流15は、均一に分配された、ゆっくりと上昇する層状のガス流である。ガスパージ装置12は、有利には運搬可能であり、所要のあらゆる箇所に持ち運ぶことができ、これによって、検査周辺に、安定した組成を備えたガス雰囲気が発生させられる。
図2の実施例では、検査したい箇所18を取り囲んで、仕切られたかまたはカプセル封止された検査容積19が提供される。検査したい箇所は、冷媒管路の、互いに結合される管区分の継手20を有している。検査容積19を仕切るためには、2つの半割シェル22,23から成るハウジング21が働く。両半割シェル22,23はシール部材24を介在して組み立てられている。半割シェル22,23は、管26の貫通のための開口25を形成している。この場合、この開口25と管26との間には、環状のシール部材27が設けられている。
ハウジング半部22,23はヒンジによって結合されていて、ばね力下で閉鎖位置に押圧され、これによって、ハウジング半部22,23が密に継手結合部を取り囲んで据えられる。スニッファプローブ16はその吸込み管片16aでアダプタ30内に挿入される。このアダプタ30はハウジング半部23の壁を貫いて延びている。アダプタ30はガス密な弁31を有している。この弁31は吸込み管片16aの差込みによって開放することができる。スニッファプローブはフレキシブルなチューブ32を介してリーク探査機器に接続されている。このリーク探査機器は、たとえばドイツ連邦共和国特許出願公開第10118085号明細書に記載されているように形成されていて、COの検知のために適している。
スニッファプローブ16はハウジング21に固く接続されていてもよいし、最初閉鎖されたアダプタ30を通して測定のために導入されてもよい。
ハウジング21はリーク検査のために永続的に測定箇所に固定されている、すなわち、固く据え付けられている。
図3には、ハウジング21が示してある。このハウジング21は、2つの管26の、互いに結合された継手20を取り囲んでいる。ハウジング21は検査容積19をガス密に取り囲んでいる。ハウジング21は、永久的に測定箇所に据え付けられたシェル33から成っている。このシェル33は、リーク測定のためにしか載着されないカバー34によってガス密に閉鎖されている。このカバー34は、ここでは、シート35から成っている。このシート35は、シェル33の、全周にわたって延びる縁部に載置していて、スニッファプローブ16の吸込み作用によって固く吸い付けられる。吸込み管片16aはシート35の貫通案内部36に差し通されていて、永続的にシートに結合されているかまたは交換可能である。フレキシブルなシート35の代わりに、当然ながら、比較的剛性的なカバー34が使用されてもよい。この場合、シェル33とカバー34との間に、適宜なシール部材が設けられている。
図4には、完全に永久的に測定箇所に据え付けられたハウジング21が示してある。このハウジング21は、継手20を含む検査容積19を取り囲んでいる。永続的に取り付けられたハウジング21は、ここでは、2つの半割シェル40,41から成っている。両半割シェル40,41はフランジ42で、環状シール部材43を介在して軸方向で向かい合って据えられている。フランジ42にわたって締付けリング44が係合させられ、そして、フランジ42が結合される。一方の半割シェル41は、スニッファプローブ16の吸込み管片16aを導入するための弁31を備えたアダプタ30を有している。この場合でも、気密に閉鎖された検査容積19が提供される。ハウジング21を通る管26の貫通案内部も同じくシールされている。ハウジングは、取り囲まれた構成要素への接近の目的のために案内され得る。
ガス通風システムを備えた本発明の第1の構成の概略図である。 カプセル封止された検査容積を備えた本発明の第2の構成の実施例を示す図である。 検査容積からのガスの吸出し部を備えた第3の構成を示す図である。 永久的にカプセル封止された検査容積を備えた構成を示す図である。
符号の説明
10 自動車、 11 ユニット、 12 ガスパージ装置、 13 送風機、 14 入口、 15 ガス流、 16 スニッファプローブ、 16a 吸込み管片、 18 箇所、 19 検査容積、 20 継手、 21 ハウジング、 22,23 半割シェル、 24 シール部材、 25 開口、 26 管、 27 シール部材、 30 アダプタ、 31 弁、 32 チューブ、 33 シェル、 34 カバー、 35 シート、 36 貫通案内部、 40,41 半割シェル、 42 フランジ、 43 環状シール部材、 44 締付けリング

Claims (10)

  1. 機能箇所に据え付けられた空調装置における検出したいリークガスのリークを、該リークガスに反応するスニッファプローブを有するリーク探査機器を使用して認知するかもしくは評価するための方法において、
    検査領域に、リークガスのコンスタントな濃度を有しているかまたはリークガスを含有していないガス流(15)を案内し、測定をスニッファプローブ(16)によって、測定領域から流出するガス流に対して行うことを特徴する、リークを認知するかもしくは評価するための方法。
  2. ユニットを取り囲むように、検査容積(19)を周辺に対して仕切る閉鎖されたハウジングを形成して、ユニットにおける検出したいリークガスのリークを、該リークガスに反応するスニッファプローブを有するリーク探査機器を使用して認知するかもしくは評価するための方法において、
    ユニットの機能箇所にハウジング(21)の少なくとも1つのハウジング部分を固く据え付け、ユニットの機能の間、リーク測定を、閉鎖されたハウジングによって実施することを特徴とする、リークを認知するかもしくは評価するための方法。
  3. ハウジング(21)の一部(33)をユニットの機能箇所に固く据え付け、ハウジングが、固く据え付けられていない補填部材(34)によって閉鎖可能である、請求項2記載の方法。
  4. ハウジング(21)内へのリークガスの集合を濃度測定によって確認する、請求項2または3記載の方法。
  5. ハウジング(21)からガスを吸い出し、次いで、ハウジング内でリーク率測定を行う、請求項2または3記載の方法。
  6. ガスの吸出しをスニッファプローブ(16)によって行う、請求項5記載の方法。
  7. ユニットにおける検出したいリークガスのリークを認知するかもしくは評価するための装置であって、あり得る流出箇所を含む検査容積(19)のガス密な取囲み体を形成するためのハウジング(21)と、該ハウジング(21)に組み付けられたかもしくは組付け可能なスニッファプローブ(16)とが設けられている形式のものにおいて、
    ハウジング(21)の少なくとも一部(33)が、検査したいユニットに永続的に据え付けられていることを特徴とする、リークを認知するかもしくは評価するための装置。
  8. 検査容積(19)を仕切るためのハウジング(21)がトング状に形成されていて、管(26)を取外し可能にかつ密に取り囲んでいる、請求項7記載の装置。
  9. ハウジング(21)が、測定目的のために一時的に載着可能なカバー(34)によって密に閉鎖されている、請求項8記載の装置。
  10. カバー(34)が、シート(35)から成っており、該シート(36)が、スニッファプローブ(16)に結合されている、請求項9記載の装置。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010002352A (ja) * 2008-06-20 2010-01-07 Nichias Corp 保温材、保温構造及び保温構造の湿分漏洩検知方法

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102005007609A1 (de) * 2005-02-18 2006-08-31 MAX-PLANCK-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. Kaltleckprüfung an einer Vakuumeinrichtung
DE102006016747A1 (de) * 2006-04-10 2007-10-18 MAX-PLANCK-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. Verfahren und Vorrichtung zur Leckprüfung
DE102006028778A1 (de) * 2006-06-23 2007-12-27 Inficon Gmbh Lecksuchgerät
DE102008037300A1 (de) 2008-08-11 2010-02-25 Robert Brockmann Herstellung eines Reingases, insbesondere für die Dichtheitsprüfung an einem druckbeaufschlagten Bauteil
KR101353906B1 (ko) * 2011-08-05 2014-01-22 김학성 배출관 케이스가 결합된 차량용 내압용기 가스감지장치
CN102889966B (zh) * 2012-09-28 2015-06-24 西安电力高等专科学校 压力容器检测用辅助工具以及包括该辅助工具的检测方法
KR101349313B1 (ko) * 2013-01-10 2014-01-16 주식회사 사람들 누설 여부 검지가 가능한 진공배관용 연결부재
FR3110968B1 (fr) * 2020-05-29 2022-07-29 Grtgaz Dispositif de prélèvement de fuite de gaz avec débit élevé

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2009197A1 (en) * 1970-02-27 1971-09-09 Volkswagenwerk Ag Gas leak testing device
US3837228A (en) * 1973-04-09 1974-09-24 Vacuum Inst Corp Tracer gas-permeable probe for leak detectors
US3949596A (en) * 1974-12-11 1976-04-13 The United States Of America As Represented By The United States Energy Research And Development Administration Leak test fixture and method for using same
US4282743A (en) * 1979-09-18 1981-08-11 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Leak test fitting
US4601194A (en) * 1983-01-18 1986-07-22 Damco Testers, Inc. Method and apparatus for leak testing of pipe
US4507954A (en) * 1983-06-27 1985-04-02 Tubing Testors, Inc. Wraparound used for testing tubing with premixed gases
US4557139A (en) * 1984-07-31 1985-12-10 Loomis International Inc. Leak detection method and apparatus
US5176025A (en) * 1991-02-19 1993-01-05 E. O. Butts Consultants Ltd. Pipeline secondary containment system and method
US5309752A (en) * 1992-07-17 1994-05-10 Praxair Technology, Inc. Leakage measurement into a gas-charged collapsible container
US5330720A (en) * 1993-02-23 1994-07-19 Hughes Aircraft Company System for detecting fugitive emissions
US5520003A (en) * 1994-12-01 1996-05-28 Cornfield; Lloyd Leak container and method
US5563335A (en) * 1995-02-28 1996-10-08 Gas Research Institute High flow rate sampler for measuring emissions at process components
US5553483A (en) * 1995-08-15 1996-09-10 Pilot Industries, Inc. Leak detection system
DE19813432A1 (de) * 1998-03-27 1999-09-30 Michael Stetter Verfahren und Anordnung zur lokalen Dichtheitsprüfung
US6196056B1 (en) * 1998-04-15 2001-03-06 Vacuum Instrument Corp. System for determining integrity of a gas-sealed compartment
US6314793B1 (en) * 1999-09-28 2001-11-13 Gas Research Institute Test device for measuring chemical emissions
ES2211242B1 (es) * 2001-02-26 2005-05-01 Frape Behr S.A. Detector de defectos de estanqueidad, procedimientos, utilizacion e intercambiadores de calor correspondientes.
JP4600906B2 (ja) * 2001-07-19 2010-12-22 ヤマハファインテック株式会社 ワークの漏れ検査装置、漏れ検査装置用チャンバおよび漏れ検査方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010002352A (ja) * 2008-06-20 2010-01-07 Nichias Corp 保温材、保温構造及び保温構造の湿分漏洩検知方法

Also Published As

Publication number Publication date
DE10306245A1 (de) 2004-08-26
KR20050098930A (ko) 2005-10-12
EP1599713A2 (de) 2005-11-30
WO2004072601A2 (de) 2004-08-26
BRPI0407500A (pt) 2006-02-14
MXPA05007774A (es) 2005-09-30
WO2004072601A3 (de) 2005-09-22
CN1748134A (zh) 2006-03-15

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