JP2006505457A - Carrier having an adhesive surface - Google Patents

Carrier having an adhesive surface Download PDF

Info

Publication number
JP2006505457A
JP2006505457A JP2004536085A JP2004536085A JP2006505457A JP 2006505457 A JP2006505457 A JP 2006505457A JP 2004536085 A JP2004536085 A JP 2004536085A JP 2004536085 A JP2004536085 A JP 2004536085A JP 2006505457 A JP2006505457 A JP 2006505457A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
carrier
body portion
contact surface
component
thermoplastic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2004536085A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2006505457A5 (en
Inventor
エクストランド,チャールズ,ダブリュー
ヘンデラー,ラルフ
マンガニーロ,フランク
Original Assignee
エンテグリス・インコーポレーテッド
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from US10/241,815 external-priority patent/US6926937B2/en
Priority claimed from US10/241,805 external-priority patent/US7108899B2/en
Application filed by エンテグリス・インコーポレーテッド filed Critical エンテグリス・インコーポレーテッド
Publication of JP2006505457A publication Critical patent/JP2006505457A/en
Publication of JP2006505457A5 publication Critical patent/JP2006505457A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B25/00Layered products comprising a layer of natural or synthetic rubber
    • B32B25/04Layered products comprising a layer of natural or synthetic rubber comprising rubber as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material
    • B32B25/08Layered products comprising a layer of natural or synthetic rubber comprising rubber as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material of synthetic resin
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65DCONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D85/00Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B25/00Layered products comprising a layer of natural or synthetic rubber
    • B32B25/18Layered products comprising a layer of natural or synthetic rubber comprising butyl or halobutyl rubber
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B32B27/18Layered products comprising a layer of synthetic resin characterised by the use of special additives
    • B32B27/20Layered products comprising a layer of synthetic resin characterised by the use of special additives using fillers, pigments, thixotroping agents
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B32B27/30Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising vinyl (co)polymers; comprising acrylic (co)polymers
    • B32B27/302Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising vinyl (co)polymers; comprising acrylic (co)polymers comprising aromatic vinyl (co)polymers, e.g. styrenic (co)polymers
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B32B27/32Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising polyolefins
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B32B27/34Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising polyamides
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B32B27/36Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising polyesters
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B38/00Ancillary operations in connection with laminating processes
    • B32B38/0008Electrical discharge treatment, e.g. corona, plasma treatment; wave energy or particle radiation
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65DCONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D85/00Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials
    • B65D85/30Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure
    • B65D85/38Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure for delicate optical, measuring, calculating or control apparatus
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K13/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • H05K13/0084Containers and magazines for components, e.g. tube-like magazines
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2274/00Thermoplastic elastomer material
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2307/00Properties of the layers or laminate
    • B32B2307/20Properties of the layers or laminate having particular electrical or magnetic properties, e.g. piezoelectric
    • B32B2307/202Conductive
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2310/00Treatment by energy or chemical effects
    • B32B2310/14Corona, ionisation, electrical discharge, plasma treatment
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2323/00Polyalkenes
    • B32B2323/04Polyethylene
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2323/00Polyalkenes
    • B32B2323/10Polypropylene
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2325/00Polymers of vinyl-aromatic compounds, e.g. polystyrene
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2367/00Polyesters, e.g. PET, i.e. polyethylene terephthalate
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2377/00Polyamides
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2439/00Containers; Receptacles
    • B32B2439/02Open containers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2221/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof covered by H01L21/00
    • H01L2221/67Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L2221/683Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L2221/68304Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
    • H01L2221/68313Auxiliary support including a cavity for storing a finished device, e.g. IC package, or a partly finished device, e.g. die, during manufacturing or mounting

Abstract

複数の小さいコンポーネントをハンドリングし、保持するためのキャリアである。このキャリアは、約20ダイン/cmから約100ダイン/cmの間の表面エネルギと、約ショアA15からショアD75の間の硬度と、約1×104オーム/平方から1×1012オーム/平方の間の表面電気抵抗とを有する熱可塑性エラストマ材料から形成されたエラストマコンポーネント接触表面を有している。A carrier for handling and holding a plurality of small components. This carrier has a surface energy between about 20 dynes / cm and about 100 dynes / cm, a hardness between about Shore A15 and Shore D75, and about 1 × 10 4 ohms / square to 1 × 10 12 ohms / square. Having an elastomer component contact surface formed from a thermoplastic elastomer material having a surface electrical resistance between.

Description

発明の分野
この発明は小さいコンポーネントをハンドリングするためのキャリアに関する。さらに詳しくは、この発明は半導体のチップやデバイスなど小さい電子コンポーネントをハンドリングするためのキャリアトレイに関する。
The present invention relates to a carrier for handling small components. More particularly, the present invention relates to a carrier tray for handling small electronic components such as semiconductor chips and devices.

発明の背景
半導体デバイスの処理には多くの処理工程が含まれる。これらのデバイスは物理的損傷や電気的損傷を受けやすく、処理工程の間で搬送を行うときには注意深く取り扱う必要がある。また、処理中にはデバイスをハンドリングするのにしばしばロボットが使われる。ロボットがデバイスを効率的に位置合わせしてこれと係合できるようにするため、これらのロボットはデバイスを正確に位置合わせする必要がある。こうしたことから、処理工程の間におけるデバイスの搬送を容易にするために、特殊なキャリアが開発されてきている。
BACKGROUND OF THE INVENTION The processing of semiconductor devices involves a number of processing steps. These devices are susceptible to physical and electrical damage and must be handled carefully when transporting between processing steps. Also, robots are often used to handle devices during processing. In order for robots to efficiently align and engage the device, these robots must align the device accurately. For this reason, special carriers have been developed to facilitate the transport of devices between processing steps.

フィルムフレームトレイとして知られる従来のキャリアの一つのタイプは、一般的に、薄いフィルムを取り囲むフレーム部分を有している。薄いフィルムの上側表面には接着剤層が配置されている。そして、接着剤上の所望の箇所に複数のデバイスが配列される。接着剤はデバイスの位置を固定する役割を果たす。こうしたフィルムフレームキャリアの例が米国特許第5,833,073号に開示されている。この特許は、その全体がここにおいて文献援用されている。   One type of conventional carrier, known as a film frame tray, generally has a frame portion that surrounds a thin film. An adhesive layer is disposed on the upper surface of the thin film. And a several device is arranged in the desired location on an adhesive agent. The adhesive serves to fix the position of the device. An example of such a film frame carrier is disclosed in US Pat. No. 5,833,073. This patent is hereby incorporated by reference in its entirety.

トレイの表面上に複数のデバイスを固定するためにポケットの形態の物理的構造を用いている他のキャリアトレイ設計も開発されている。ポケット式マトリックストレイの例が米国特許第5,481,438号に開示されている。日本国特許公開第05-335787号など、こうしたマトリックストレイ設計のいくつかは、また、デバイスの位置を固定するためのポケットの底部に多層の接着剤材料を有している。   Other carrier tray designs have also been developed that use a physical structure in the form of a pocket to secure multiple devices on the surface of the tray. An example of a pocket matrix tray is disclosed in US Pat. No. 5,481,438. Some of these matrix tray designs, such as Japanese Patent Publication No. 05-335787, also have multiple layers of adhesive material at the bottom of the pocket to secure the position of the device.

一般的な接着剤材料を使用した従来のキャリアにおける問題は、そうした接着剤が、デバイスを損傷する可能性のある粒子の形態の汚染物質を付着させることである。これらの汚染物質は、接着剤を劣化させずに洗浄によってトレイから除去することが困難である。さらに、接着剤自身がデバイスやプロセスを汚染する可能性のある溶剤又はその他の望ましくない薬品を含んでいるかもしれない。また、接着剤自身が周囲の条件に応じて変化し、接着性が強くなりすぎてロボットによるデバイスのハンドリングプロセスの作業を邪魔するかもしれないし、接着性が不十分になってデバイスの位置を適切に固定できなくするかもしれない。   A problem with conventional carriers using common adhesive materials is that such adhesives deposit contaminants in the form of particles that can damage the device. These contaminants are difficult to remove from the tray by cleaning without degrading the adhesive. In addition, the adhesive itself may contain solvents or other undesirable chemicals that can contaminate the device or process. Also, the adhesive itself may change depending on the surrounding conditions, and the adhesiveness may become too strong and interfere with the work of the device handling process by the robot. It may be impossible to fix to.

デバイスを保持するためのポケットやその他の物理的構造を有する従来のキャリアトレイも問題を生じる可能性がある。ベアチップやリードレスチップなどのデバイスはデバイス上に突起がないために、物理的構造内に把捉することが容易ではない。また、ハンドリングのときにデバイスが物理的拘束から外れてしまって、デバイスが損傷したり、ロボットによるハンドリングのための位置合わせが不適切になるかもしれない。   Conventional carrier trays with pockets or other physical structures for holding devices can also cause problems. Devices such as bare chips and leadless chips do not have protrusions on the device, and thus are not easily grasped in the physical structure. Also, the device may become out of physical restraint during handling, resulting in damage to the device or improper alignment for handling by the robot.

半導体デバイスやその他の小さいコンポーネントをハンドリングするための改良されたキャリアが産業界では必要とされている。
米国特許第5,833,073号明細書 米国特許第5,481,438号明細書 特開平第5-335787号公報
There is a need in the industry for an improved carrier for handling semiconductor devices and other small components.
U.S. Patent No. 5,833,073 U.S. Pat.No. 5,481,438 JP-A-5-335787

発明の概要
この発明は、複数の小さいコンポーネントをハンドリングし、保持するための、静電気放電(ESD)安全性を有するキャリアに関する。ここでは、コンポーネントはこのコンポーネントの表面とキャリアの接触表面との間の接着によって保持される。接触表面は、中程度以上の表面エネルギと、約1×104オーム/平方から1×1012オーム/平方の間の表面電気抵抗を有する比較的軟らかい熱可塑性エラストマ材料から形成されている。コンポーネントは、他の物理的な保持構造又は別の接着剤を使用することなく、熱可塑性の接触表面との接着のみによって所定の位置に保持される。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention relates to an electrostatic discharge (ESD) safety carrier for handling and holding a plurality of small components. Here, the component is held by adhesion between the surface of the component and the contact surface of the carrier. The contact surface is formed from a relatively soft thermoplastic elastomer material having a medium or higher surface energy and a surface electrical resistance between about 1 × 10 4 ohm / square and 1 × 10 12 ohm / square. The component is held in place only by adhesion to the thermoplastic contact surface without the use of other physical retaining structures or separate adhesives.

キャリアの接触層は、堅固な本体部分上に射出成形によってオーバーモールドされる。これは、堅固な熱可塑性材料(rigid thermoplastic material)から形成されていることが好ましい。接触表面及び堅固な本体部分は、射出成形プロセスのときに形成される極性結合で一体に保持される。接触表面によって提供される接着の相対的な量は、熱可塑性エラストマ材料を、インパクト変性ポリマ又はその他の熱可塑性エラストマのブレンドと調合すなわち混合することによって調節することができる。また、接触表面の相対的な接着度及び電気的特性は、熱可塑性エラストマを本来的に静電気消散性又は導電性のポリマや、カーボンファイバ、カーボンパウダ、金属材料又はセラミック材料又はフィラー材料などの有機フィラーと調合すなわち混合することによって修正することができる。また、ランダム又は規則的なマトリックス状パターンで配置された小さい凹部又は凸部を接触層上に設けて、表面積、ひいては、保持されるコンポーネントとの接触に利用できる接着度を変えることもできる。   The contact layer of the carrier is overmolded by injection molding on the rigid body part. This is preferably formed from a rigid thermoplastic material. The contact surface and the rigid body portion are held together with a polar bond formed during the injection molding process. The relative amount of adhesion provided by the contact surface can be adjusted by formulating or mixing the thermoplastic elastomer material with a blend of impact modifying polymer or other thermoplastic elastomer. In addition, the relative adhesion and electrical properties of the contact surface are determined by the fact that thermoplastic elastomers are inherently static dissipative or conductive polymers, organic fibers such as carbon fibers, carbon powders, metal materials or ceramic materials or filler materials. It can be modified by blending with the filler. In addition, small depressions or protrusions arranged in a random or regular matrix pattern can be provided on the contact layer to change the surface area and thus the degree of adhesion available for contact with the component being held.

この発明の特徴及び利点は、コンポーネントが、コンポーネントの平坦な表面とキャリアの熱可塑性エラストマ接触表面との間の接着のみによってキャリアの上に保持されることである。
この発明の別の特徴及び利点は、コンポーネントがキャリア上の所定の位置に十分な力で保持されるため、コンポーネントが外れることなく、キャリアを反転させることができ、また、通常の搬送にも及びハンドリングの衝撃にも耐え得ることである。
A feature and advantage of the present invention is that the component is held on the carrier only by adhesion between the flat surface of the component and the thermoplastic elastomer contact surface of the carrier.
Another feature and advantage of the present invention is that the component is held in place on the carrier with sufficient force so that the carrier can be inverted without detachment of the component, and can also be used for normal transport. It can withstand the impact of handling.

この発明の別の特徴及び利点は、熱可塑性エラストマ接触表面以外には、キャリア上の所定の位置にコンポーネントを保持するための横方向又は垂直方向の物理的拘束構造を使用していないことである。
この発明の別の特徴及び利点は、コンポーネントを接触表面上へ接着するために、接触層表面上に別の接着物質を使用しておらず、従って、溶剤やその他の望ましくない薬品によるプロセス汚染の量が減ることである。
Another feature and advantage of the present invention is that it does not use a lateral or vertical physical restraint structure to hold the component in place on the carrier other than the thermoplastic elastomer contact surface. .
Another feature and advantage of the present invention is that no separate adhesive material is used on the contact layer surface to adhere the component onto the contact surface, thus eliminating process contamination by solvents and other undesirable chemicals. The amount is reduced.

この発明の別の特徴及び利点は、キャリアのコンポーネント接触表面及び本体部分が、保持されているコンポーネントに対してESD安全性を有していることである。
この発明の別の特徴及び利点は、このキャリアが周知のキャリアよりもより容易にリサイクル可能なことである。
この発明の別の特徴及び利点は、この発明によるキャリアのスタックがコンポーネントを所定の位置に保持しつつ再配置できることであり、しかも、それがコンポーネントに対して横方向から接触又は拘束を行う必要性なく、また、コンポーネントの上側と接触することなくできることである。
Another feature and advantage of the present invention is that the component contact surface and body portion of the carrier have ESD safety with respect to the components being held.
Another feature and advantage of the present invention is that the carrier is more easily recyclable than known carriers.
Another feature and advantage of the present invention is that the stack of carriers according to the present invention can be repositioned while holding the component in place, and it needs to contact or restrain the component laterally And what can be done without touching the top side of the component.

この発明のさらに別の特徴及び利点は、表面によって提供されるコンポーネント引き付け力の相対的な量を、使用する材料の選択又は修正によって、又は接触層の表面形状を変えることによって個々の用途に適するように調節ができることである。   Yet another feature and advantage of the present invention is suitable for individual applications by the relative amount of component attraction provided by the surface, by selection or modification of the materials used, or by changing the surface shape of the contact layer. So that it can be adjusted.

この発明のその他の目的、利点及び新しい特徴は、部分的には以下の説明で述べられており、部分的には以下の説明を読めば当該分野の技術者には明らかになり、また、この発明を実行することによって理解されよう。この発明の目的及び利点は、特に、添付されている特許請求の範囲に記載されている手段及びその組み合わせによって実現され、達成されるであろう。   Other objects, advantages and novel features of the invention will be set forth in part in the description which follows, and in part will be apparent to those skilled in the art upon reading the following description. It will be understood by carrying out the invention. The objects and advantages of the invention will be realized and attained by means of the instrumentalities and combinations particularly pointed out in the appended claims.

好ましい実施形態の詳細な説明
添付図面は、この発明のキャリアに対する実施の形態と、その特徴及びコンポーネントを示している。前及び後、左及び右、上部及び底部、上側及び下側、水平及び垂直という言及は説明の便宜上のためであり、この発明又はそのコンポーネントをある一つの位置的又は空間的配置に限定するものではない。添付図面に指定されている寸法や、この明細書は、この発明の範囲から逸脱することなく、この発明の実施の形態の可能な設計及び意図する用途に応じて変えることができる。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The accompanying drawings illustrate embodiments for the carrier of the present invention and its features and components. References to front and back, left and right, top and bottom, top and bottom, horizontal and vertical are for convenience of explanation and limit the invention or its components to a single positional or spatial arrangement. is not. The dimensions specified in the accompanying drawings and this specification may vary depending on the possible design and intended use of the embodiments of the invention without departing from the scope of the invention.

ここで使用されている「約」という用語は、寸法、サイズ、公差、フォーミュレーション、パラメータ、形状及びその他の量及び特性が厳密ではなく、また厳密である必要もないこと、そして必要に応じて、近似的及び/又はより大きく又はより小さくできることを意味しており、公差や変換ファクタ、丸め、測定誤差など、そして当該分野における技術者に周知のその他の要因を表している。一般に、寸法、サイズ、フォーミュレーション、パラメータ、形状又はその他の量又は特性は、そのように記載されているかいないかに関係なく、「約」又は「近似的」である。   As used herein, the term “about” means that dimensions, sizes, tolerances, formulations, parameters, shapes and other quantities and properties are not exact and need not be exact, and as required Is meant to be approximate and / or larger or smaller and represents tolerances, conversion factors, rounding, measurement errors, and other factors well known to those skilled in the art. In general, a dimension, size, formulation, parameter, shape or other quantity or characteristic is “about” or “approximate” whether or not so stated.

マイクロエレクトロニクス産業では、限定的ではないが、半導体チップやフェライトヘッド、磁気共鳴リードヘッド、薄膜ヘッド、ベアダイ、バンプダイ、基板、光デバイス、レーザダイオード、プリフォーム、そして、ばねやレンズなどの多くの機械部品などの小型コンポーネントを貯蔵、搬送、製造、そして、一般的には、保管するためにキャリアが使用されている。   In the microelectronics industry, many but not limited semiconductor chips, ferrite heads, magnetic resonance read heads, thin film heads, bare dies, bump dies, substrates, optical devices, laser diodes, preforms, and springs and lenses Carriers are used to store, transport, manufacture, and generally store small components such as parts.

この発明は、半導体デバイスやその他の小型コンポーネントをハンドリングするためのキャリアを含んでいる。その場合において、コンポーネントの表面は、中程度以上の(moderate to high)表面エネルギを有するキャリアの熱可塑性接触表面と直接接触させて設置することができる。このキャリアは、ベアチップやリードレスチップなどの、突起又はリードを持たないコンポーネントを含む任意のタイプのコンポーネントに適しているが、チップスケールパッケージ(CSP)デバイスなどのリードを有するデバイスでも使用することができる。デバイスは、別の接着材料を使用することなく、また、熱可塑性接触表面自身とは別の横方向又は垂直方向の物理的拘束部材を使用することなく、キャリアの上に保持される。   The present invention includes a carrier for handling semiconductor devices and other small components. In that case, the surface of the component can be placed in direct contact with the thermoplastic contact surface of the carrier having a moderate to high surface energy. This carrier is suitable for any type of component, including components that do not have protrusions or leads, such as bare chips and leadless chips, but can also be used in devices with leads, such as chip scale package (CSP) devices. it can. The device is held on the carrier without the use of a separate adhesive material and without the use of a lateral or vertical physical restraint separate from the thermoplastic contact surface itself.

接触表面は、一般に、中程度以上の表面エネルギを有する比較的軟らかい熱可塑性材料を有している。デバイスの平坦な表面と接触表面との間の接着は、トレイの移動や通常のハンドリングのときにデバイスを保持し、一方、ロボットハンドリング装置によって表面からデバイスを容易に持ち上げられるようにしている。また、キャリアは、接触表面及び本体部分のどちらか又は両方に対して、約1×104オーム/平方から1×1012オーム/平方の間の表面電気抵抗を有する材料を使用することによって、ESDに対して安全になっている。 The contact surface generally comprises a relatively soft thermoplastic material having a medium or higher surface energy. Adhesion between the flat surface of the device and the contact surface holds the device during tray movement and normal handling, while allowing the robot handling device to easily lift the device from the surface. The carrier also uses a material having a surface electrical resistance between about 1 × 10 4 ohm / square and 1 × 10 12 ohm / square for either or both of the contact surface and the body portion, It is safe against ESD.

図1及び図2は、マトリックストレイ100の形態を有するこの発明によるキャリアの実施の形態を示している。トレイ100は堅固な本体部分110を有しており、その本体部分110の中には、図示されているような「x」軸及び「y」軸によって定義される平面内にマトリックス状に配置された複数の個別のコンポーネントを受容するポケット102が形成されている。各ポケット102は「z」軸方向を向いた深さ寸法を有していて、一つのコンポーネントと係合して保持するための少なくとも一つのコンポーネント接触表面120を有している。本体部分110は、マトリックス部分116のエッジ122を越えて側方へ外側に突き出した周辺境界領域112を有している。本体部分110上には下方へ延びるスカート114が設けられている。スカート114は、複数のトレイを図4に示されているように積み重ねたときに、すぐ下に配置されるトレイの周辺境界領域112と係合するように位置合わせされている。スカート114の代わりとして、複数のトレイを積み重ねやすいようにするために、下方へ延びる脚又はポストなどの他の構造を使用してもよい。図面ではポケット102は堅固な本体部分110に一体に形成されているけれども、コンポーネントを受容するポケット又はその他の構造が形成された他の配置も考えられるし、この発明の範囲内である。例えば、クロスメンバ132を形成するポケットは別個の格子状ワークピースとして形成され、接着剤、ファスナ又はその他の手段を用いて、堅固な本体部分110の残り部分へ取り付けられていてもよい。   1 and 2 show an embodiment of a carrier according to the invention having the form of a matrix tray 100. FIG. The tray 100 has a rigid body portion 110 in which the body portion 110 is arranged in a matrix in a plane defined by the “x” axis and the “y” axis as shown. A pocket 102 is formed for receiving a plurality of individual components. Each pocket 102 has a "z" axial orientation depth dimension and has at least one component contact surface 120 for engaging and holding a single component. The body portion 110 has a peripheral boundary region 112 that protrudes outwardly beyond the edge 122 of the matrix portion 116. A skirt 114 extending downward is provided on the main body portion 110. The skirt 114 is aligned to engage the peripheral boundary region 112 of the tray that is positioned immediately below when a plurality of trays are stacked as shown in FIG. As an alternative to the skirt 114, other structures such as downwardly extending legs or posts may be used to facilitate stacking of multiple trays. Although the pocket 102 is integrally formed in the rigid body portion 110 in the drawing, other arrangements in which a pocket or other structure for receiving components is formed are contemplated and within the scope of the invention. For example, the pockets forming the cross member 132 may be formed as separate grid-like workpieces and attached to the rest of the rigid body portion 110 using adhesives, fasteners or other means.

図7及び図8にはこの発明によるキャリア300に対する別の実施の形態が示されている。ポケットを持たないこの実施の形態においては、キャリア300は図のように「x」軸及び「y」軸で定義される平面内に位置する堅固な本体302を有している。堅固な本体302上には接触層120が重ねられている。堅固な本体302は接触層120のエッジ306を越えて側方へ外側に突き出した周辺境界領域304を有していることが好ましい。本体部分302は下方へ延びるスカート308を有している。スカート308は、図9に示されているように、複数のキャリア300が積み重ねられたときにすぐ下側に配置された別のキャリア300の周辺境界領域304と係合するように位置合わせされている。スカート308の代わりとして、複数のキャリア300の積み重ねを容易にするために、脚やポストなどの他の構造を同じように使用してもよい。スカート308は十分な長さを有していて、接触層120の上に配置されたコンポーネント200がすぐ上に積み重ねられたトレイ300のどの部分にも接触しないようになっている。コンポーネントの効果的な保持に必ずしも必要ではないけれども、図11及び図12に示されているように、接触層120の上に別個の格子部材310を取り付けて、個々のコンポーネント保持領域312を形成してもよい。   7 and 8 show another embodiment for a carrier 300 according to the present invention. In this embodiment without pockets, the carrier 300 has a rigid body 302 that lies in a plane defined by the “x” and “y” axes as shown. A contact layer 120 is overlaid on the rigid body 302. The rigid body 302 preferably has a peripheral boundary region 304 that protrudes laterally beyond the edge 306 of the contact layer 120. The body portion 302 has a skirt 308 that extends downward. The skirt 308 is aligned to engage a peripheral boundary region 304 of another carrier 300 positioned just below when a plurality of carriers 300 are stacked, as shown in FIG. Yes. As an alternative to the skirt 308, other structures such as legs and posts may be used as well to facilitate stacking of multiple carriers 300. Skirt 308 has a sufficient length so that component 200 disposed on contact layer 120 does not contact any portion of tray 300 stacked immediately above. Although not necessarily required for effective component retention, a separate grid member 310 is attached over the contact layer 120 to form individual component retention regions 312 as shown in FIGS. May be.

この発明においては、接触層120は中程度以上の表面エネルギ、比較的軟らかい表面及びESD安全性を有する高分子のエラストマ材料から形成されている。他のポリマも使用できるけれども、熱可塑性材料は、リサイクルが容易であり、ゾルフラクション(sol-fraction)を生じるプロセス汚染が小さく、低コストという一般的な利点を有しており、従って、好ましい。現在のところ、接触層120として好ましい材料は、比較的軟らかい熱可塑性エラストマである。これには、例えば、ウレタン(UR)、ポリブチレンテレフタレート(PBT)、ポリオレフィン(PO)、ポリエチレンエテレフタレート(PET)、スチレンブロックコポリマ(styrenic block co-polymers)(例えば、Kraton(商標名))、スチレンブタジエンラバー、及びポリエーテルブロックポリアミド(PEBA)の形態のナイロンのエラストマ変異体(elastomeric variant)などが含まれる。また、ポリプロピレン/架橋EDPMラバーなどの熱可塑性硫化物材料(thermoplastic vulcanizate material)、例えば、オハイオ州アクロン(Akron, Ohio)のアドバンスト・エラストマ・システムズ(Advanced Elastomer Systems)によって製造されているSantoprene(商標名)などを使用することもできる。材料の表面エネルギは、20ダイン/センチメートルから100ダイン/センチメートルであることが好ましく、約30ダイン/センチメートルから45ダイン/センチメートルであることがより好ましく、約40ダイン/センチメートルであることが最も好ましい。材料は、約ショアD75(Shore D75)未満で、約ショアA15(Shore A15)を超えるデュロメータ硬度値を有していることが好ましい。   In the present invention, the contact layer 120 is formed from a polymeric elastomeric material having moderate or higher surface energy, a relatively soft surface, and ESD safety. Although other polymers can be used, thermoplastic materials are preferred because they are easy to recycle, have the general advantage of low process contamination producing sol-fractions, and low cost. Currently, the preferred material for contact layer 120 is a relatively soft thermoplastic elastomer. For example, urethane (UR), polybutylene terephthalate (PBT), polyolefin (PO), polyethylene etherephthalate (PET), styrenic block co-polymers (for example, Kraton (trade name)), Examples include styrene butadiene rubber, and nylon elastomer variants in the form of polyether block polyamide (PEBA). Also, thermoplastic vulcanizate materials such as polypropylene / crosslinked EDPM rubber, such as Santoprene (trade name) manufactured by Advanced Elastomer Systems of Akron, Ohio ) Etc. can also be used. The surface energy of the material is preferably 20 dynes / cm to 100 dynes / cm, more preferably about 30 dynes / cm to 45 dynes / cm, and about 40 dynes / cm. Most preferred. Preferably, the material has a durometer hardness value less than about Shore D75 and greater than about Shore A15.

接触表面はESD安全性を有し、約1×104オーム/平方から1×1012オーム/平方の表面電気抵抗値を有していていることが好ましい。所望の表面電気抵抗を得るためには、本来的に静電気消散性のポリマが接触表面材料と調合又は混合される。また、ドーピングされたポリアニリン、ポリピロール、ポリチオフェン、ポリイソチアナフテン、ポリパラフェニリン、ポリパラフェニリンビニレン、ポリヘプタジン(polyheptadiyne)又はポリアセチレンなどの本来的に導電性のポリマーが混合ポリマとして使用できる。また、カーボンファイバ、カーボンパウダ、金属粒子、セラミック粒子又はその他の導電性フィラーを材料に添加してもよい。材料の表面抵抗を変えるために、例えば、第四アンモニウム塩、スルフォニウム塩、アルキルスルフォン酸塩、アルキル硫酸塩、アルキルリン酸塩、エタノールアミド、エタノールアミン又は脂肪アミンなどの有機フィラー材料を使用することもできる。もちろん、表面エネルギ、相対硬度及び純度の所望の物理特性とともに必要な電気特性を提供するその他の方法又は材料も使用できる。 The contact surface is ESD safe and preferably has a surface electrical resistance value of about 1 × 10 4 ohm / square to 1 × 10 12 ohm / square. In order to obtain the desired surface electrical resistance, inherently static dissipative polymers are formulated or mixed with the contact surface material. In addition, intrinsically conductive polymers such as doped polyaniline, polypyrrole, polythiophene, polyisothianaphthene, polyparaphenyline, polyparaphenylinylene, polyheptadiyne or polyacetylene can be used as the mixed polymer. Carbon fibers, carbon powder, metal particles, ceramic particles, or other conductive fillers may be added to the material. Use organic filler materials such as quaternary ammonium salts, sulfonium salts, alkyl sulfonates, alkyl sulfates, alkyl phosphates, ethanolamides, ethanolamines or fatty amines to change the surface resistance of the materials You can also. Of course, other methods or materials that provide the necessary electrical properties along with the desired physical properties of surface energy, relative hardness and purity can be used.

接触表面120によって提供される接着度は、特定の物理特性を有するコンポーネントを保持する特定の用途に応じて調節することができる。この調節は、接触表面120に用いる材料を選択又は変更することによって、又は表面自身の形状及び寸法を変えることによって行うことができる。一般的には、例えば、範囲の上限の表面エネルギを有する材料は範囲の下限の材料よりも強くコンポーネントを保持するであろう。また、範囲内の軟らかい側の端点にある硬度値を有する材料は硬い材料よりも一般的にコンポーネントを強く保持するであろう。ベース材料の表面エネルギ又は相対硬度を変えるために、上述した混合材料又はフィラー材料をベース材料と調合又は混合してもよい。インパクト変性ポリマ(impact modifying polymers)やその他の熱可塑性エラストマのブレンドを混合剤として使用して所望の相対硬度特性を達成することもできる。一般的に、表面層120は、少なくともコンポーネントの単位面積当たりの重力よりも大きいコンポーネント面積当たりの接着力をコンポーネントへ与え、それによって、トレイを反転したときでもコンポーネントを保持できるようになっていることが好ましい。一般に、接着度は、搬送やハンドリング作業のときに受ける衝撃や振動負荷のもとでコンポーネントを保持するのに十分であることが最も好ましい。   The degree of adhesion provided by the contact surface 120 can be adjusted depending on the particular application that holds the component having specific physical properties. This adjustment can be made by selecting or changing the material used for the contact surface 120 or by changing the shape and dimensions of the surface itself. In general, for example, a material with a surface energy at the upper end of the range will hold the component stronger than a material at the lower end of the range. Also, a material having a hardness value at the soft end point in range will generally hold the component stronger than a hard material. In order to change the surface energy or relative hardness of the base material, the above-mentioned mixed materials or filler materials may be formulated or mixed with the base material. Blends of impact modifying polymers and other thermoplastic elastomers can also be used as admixtures to achieve the desired relative hardness characteristics. In general, the surface layer 120 provides the component with an adhesion force per component area that is at least greater than the gravity per component area of the component, so that the component can be held even when the tray is inverted. Is preferred. In general, the degree of adhesion is most preferably sufficient to hold the component under the impact and vibration loads experienced during transport and handling operations.

接触表面120のコンポーネント接触面積の形状や、その結果としての接触面積の量を選択的に変えることによって、接着度を低減することもできる。わかりやすくするために、図5C又は図5Dにそれぞれ非常に誇張した形で示されているように、これは多数の規則的な凹部180又は凸部182を接触表面120に形成することによって実現することができる。凹部180又は凸部182は接触表面120の上にランダムに、又は規則的なマトリックスパターンに配置することができる。所望の接着度を達成するのに必要なように、凹部180又は凸部182は、深さ又は高さがそれぞれ約0.000040インチ(0.001mm)から約0.10インチ(2.54mm)であり、約0.000040インチ(0.001mm)から約0.30インチ(7.6mm)離間されている。所望のフィーチャ(feature)を有するネガの紋様で加工されたモールドで刻印することによって、接触表面120の上にフィーチャを形成することができる。一般的に、モールドは周知の加工技術を用いて加工することができる。範囲の内で小さい側の限界の規則的フィーチャを形成するのに、フォトリソグラフィを使用してモールドを加工してもよい。代わりに、細かくランダムな分布のフィーチャを有するモールドを、モールド表面に対してサンドブラストやガラスビーズ、ショットピーニングすることによって製造することもできる。   The degree of adhesion can also be reduced by selectively changing the shape of the component contact area of the contact surface 120 and the resulting amount of contact area. For clarity, this is accomplished by forming a number of regular recesses 180 or protrusions 182 in the contact surface 120, as shown in a highly exaggerated manner in FIGS. 5C or 5D, respectively. be able to. The recesses 180 or protrusions 182 can be arranged on the contact surface 120 randomly or in a regular matrix pattern. As necessary to achieve the desired degree of adhesion, the recess 180 or protrusion 182 has a depth or height of about 0.000040 inches (0.001 mm) to about 0.10 inches (2.54 mm), respectively, and about 0.000040 inches. (0.001 mm) is about 0.30 inches (7.6 mm) apart. Features can be formed on contact surface 120 by imprinting with a mold that has been processed with a negative pattern having the desired features. In general, the mold can be processed using known processing techniques. The mold may be processed using photolithography to form regular features on the smaller side of the range. Alternatively, a mold having fine and randomly distributed features can be produced by sandblasting, glass beads, or shot peening the mold surface.

ベアデバイス又はリードレスデバイスに適したマトリックストレイの一つの実施の形態が図2Aに示されている。接触表面120は各ポケット102の底部104の上に連続した層として成形される。図からわかるように、デバイス208は接触表面120と直接接触する表面209を有している。デバイス208は表面209と接触表面120との間の接着のみによって位置が保持されている。図示されているように、本体部分110はデバイス208と直接接触しておらず、デバイスを束縛していない。図2Bに示されている別の実施の形態は、ポケット102の内部に設けられた隆起構造106の一部として形成された接触表面120を有している。図示されているように、この構造は突き出したリード212を有するタイプのコンポーネント210に特に適している。この発明は任意のポケット形状又は構造を有し、必要な特性を有する熱可塑性エラストマ接触表面が設けられ、デバイスの表面と接触させて設置することができるようになっていることがわかるであろう。例えば、図6に示されているように、トレイはリセス状のポケットの代わりに、トレイ110の本体部分110の表面よりも上方へ隆起したプラットフォーム構造158のマトリックスを有している。接触表面120は各構造158の上部に設けられている。   One embodiment of a matrix tray suitable for bare or leadless devices is shown in FIG. 2A. The contact surface 120 is shaped as a continuous layer on the bottom 104 of each pocket 102. As can be seen, the device 208 has a surface 209 that is in direct contact with the contact surface 120. Device 208 is held in position only by adhesion between surface 209 and contact surface 120. As shown, the body portion 110 is not in direct contact with the device 208 and does not bind the device. Another embodiment shown in FIG. 2B has a contact surface 120 formed as part of a raised structure 106 provided within the pocket 102. As shown, this structure is particularly suitable for components 210 of the type having protruding leads 212. It will be appreciated that the present invention has an arbitrary pocket shape or structure and is provided with a thermoplastic elastomer contact surface having the required properties so that it can be placed in contact with the surface of the device. . For example, as shown in FIG. 6, the tray has a matrix of platform structures 158 raised above the surface of the body portion 110 of the tray 110 instead of a recessed pocket. A contact surface 120 is provided on top of each structure 158.

接触表面120は標準的な射出成形法を用いてオーバーモールドされることが現在のところ最も好ましい。表面層120及び本体部分110の材料は、射出成形プロセスのときに極性結合が形成されるようなものが好ましい。これら二つの層は、機械的に一体に固定されてもよいし、いくつかの方法を組み合わせて固定されてもよい。また、図5Bに最もよく示されているように、結合効果を向上させるために、機械的な結合構造160が本体部分110の上に設けられている。さらに、図5Eに示されているように、結合効果を向上させるために、二つの材料の間に中間層すなわち結合層170を使用してもよい。接触部分120に対してと同様に、本体部分110に対しては熱可塑性ポリマを使用することが好ましい。なぜなら、熱可塑性材料は、一般的に、リサイクルが容易であり、ゾルフラクションを生じるプロセス汚染が小さいために純度が高く、コストが低いという利点を有するからである。本体部分110は接触部分120に対して述べたものと同じ材料及び方法を用いてESD安全性を有するようにすることができる。本体部分に対して相応しい堅固な熱硬化性ポリマを使用してもよいが、あまり好ましくない。   It is currently most preferred that contact surface 120 be overmolded using standard injection molding techniques. The material of the surface layer 120 and the body portion 110 is preferably such that a polar bond is formed during the injection molding process. These two layers may be fixed together mechanically, or may be fixed by combining several methods. Also, as best shown in FIG. 5B, a mechanical coupling structure 160 is provided on the body portion 110 to improve the coupling effect. Further, as shown in FIG. 5E, an intermediate or bonding layer 170 may be used between the two materials to improve the bonding effect. As with the contact portion 120, it is preferred to use a thermoplastic polymer for the body portion 110. This is because thermoplastic materials are generally easy to recycle and have the advantages of high purity and low cost due to low process contamination that produces sol fractions. The body portion 110 can be made ESD safe using the same materials and methods as described for the contact portion 120. A rigid thermosetting polymer suitable for the body portion may be used, but is less preferred.

本体部分110はトレイに対して剛性及び機械的強度を与える。従って、相応しい堅固な材料から製造されていなければならず、また、トレイを使用したりハンドリングしたりするときに予想される機械的負荷に耐えるだけの適切な厚みを有していなければならない。所望の質の剛性、機械的強度及び化学的適合性を有する任意の相応しいポリマ材料を使用することができるけれども、図3に示されている表の第1列には、本体部分110に適したいくつかの極性ポリマ材料が掲載されている。結合効果を向上させるために表面処理を用いることができるけれども、掲載されている「グループA」の熱可塑性材料は、本体材料を表面処理する必要なく、この表の第2列に掲載されている接触部分の材料の任意のものといっしょに成形することができる。「グループB」の中に掲げられている本体材料は、一般に、非極性ポリマであり、接触部分120との適切な極性結合(polar bond)を実現するためには、コロナ処理、プラズマ処理、化学処理又は火炎処理の形態の表面処理を行う必要がある。また、「グループB」の材料は、デュポン・コーポレーション(Du Pont Corporation)によって製造されているBynel(商標名)やニチメン・コーポレーション(Nichimen Corporation)によって製造されているTymor(商標名)などの相互に適合性を有する別の中間結合層を使用して結合することもできる。   Body portion 110 provides rigidity and mechanical strength to the tray. It must therefore be manufactured from a suitable rigid material and have an appropriate thickness to withstand the mechanical loads expected when using and handling the tray. Although any suitable polymer material having the desired quality of rigidity, mechanical strength and chemical compatibility can be used, the first column of the table shown in FIG. Several polar polymer materials are listed. Although surface treatments can be used to improve the bonding effect, the listed “Group A” thermoplastic materials are listed in the second column of this table without the need to surface treat the body material. It can be molded with any of the materials of the contact portion. The body material listed in “Group B” is generally a non-polar polymer, and in order to achieve an appropriate polar bond with the contact portion 120, corona treatment, plasma treatment, chemical It is necessary to carry out a surface treatment in the form of treatment or flame treatment. In addition, the materials of “Group B” are mutually such as Bynel (trade name) manufactured by Du Pont Corporation and Tymor (trade name) manufactured by Nichimen Corporation. It is also possible to bond using another suitable intermediate bonding layer.

キャリアを使用するときには、個々のコンポーネントは、コンポーネント表面のかなりの部分を接触表面120と接触させた状態で設置される。接触表面120の中程度以上の表面エネルギや軟らかさのために、コンポーネントは熱可塑性の接触表面120とデバイスの表面との間の接着によって接触表面120の上に効果的に保持され、別の接着剤や物理的な保持構造を用いる必要はない。接触表面や堅固な本体部分、又は両方の材料がESDに安全な静電気消散特性を有していることから、中に貯蔵されるデバイスは電気的に保護される。トレイの熱可塑性構造によって、トレイによるプロセス汚染の量は低減する。さらに、熱可塑性のコンポーネントはより容易かつ完全にリサイクルされ、環境への負荷が低減する。   When using the carrier, the individual components are placed with a significant portion of the component surface in contact with the contact surface 120. Due to the medium and higher surface energy and softness of the contact surface 120, the component is effectively retained on the contact surface 120 by an adhesion between the thermoplastic contact surface 120 and the surface of the device. It is not necessary to use an agent or a physical holding structure. Because the contact surface, the rigid body portion, or both materials have ESD-safe electrostatic dissipation properties, the devices stored therein are electrically protected. Due to the thermoplastic structure of the tray, the amount of process contamination by the tray is reduced. Furthermore, thermoplastic components are more easily and completely recycled, reducing the environmental burden.

この発明における積み重ねの特徴は、図2、図2A及び図4を参照すると最もよくわかる。図4に示されているトレイ101のスタックにおいては、各デバイス208は接触表面120と直接接触しており、その接触表面120によって保持されている。デバイス208はポケット102の内部に配置されており、クロスメンバ132の上側表面124の上方までは延びていない。トレイ100を積み重ねたとき、各トレイの下方へ突き出したスカート114はすぐ下のトレイの周辺境界領域112に接触し、その上に載る。スカート114は十分な高さを有しており、トレイの下側表面126はすぐ下のトレイの上側表面124から離間している。デバイス208は接触表面120との粘着によってのみ位置が保持される。デバイス208は本体部分110によってポケット内部で横方向に拘束されることはなく、また、垂直方向にはすぐ上のトレイの下側表面126との接触によって拘束されることはない。トレイ101のスタックは、デバイス208を取り外すことなく、また、デバイスを他のトレイや同じトレイの他の部分と接触させることなく配置を変えることができるし、反転させることもできる。   The stacking features of the present invention are best understood with reference to FIGS. 2, 2A and 4. FIG. In the stack of trays 101 shown in FIG. 4, each device 208 is in direct contact with and is held by the contact surface 120. Device 208 is disposed within pocket 102 and does not extend above upper surface 124 of cross member 132. When the trays 100 are stacked, the skirt 114 protruding downward from each tray contacts the peripheral boundary region 112 of the tray immediately below and rests thereon. The skirt 114 is sufficiently high so that the lower surface 126 of the tray is spaced from the upper surface 124 of the tray immediately below. The device 208 is held in position only by adhesion with the contact surface 120. Device 208 is not constrained laterally within the pocket by body portion 110 and is not constrained by contact with lower surface 126 of the tray immediately above in the vertical direction. The stack of trays 101 can be repositioned and flipped without removing the device 208 and without contacting the device with other trays or other parts of the same tray.

以上の説明は多くの特殊性を含んでいるが、これらは発明の範囲を制限するものではなく、単にこの発明の実施の形態のいくつかを示しているだけである。従って、この発明の範囲は、ここでの実施例によってではなく、添付の特許請求の範囲及びその法的均等物によって決定されるべきである。   Although the above description includes many specificities, they do not limit the scope of the invention, but merely show some of the embodiments of the invention. Accordingly, the scope of the invention should be determined not by the embodiments herein, but by the appended claims and their legal equivalents.

この発明のキャリアに対する実施の形態の斜視図である。It is a perspective view of embodiment with respect to the carrier of this invention. 図1のキャリアの断面図である。It is sectional drawing of the carrier of FIG. 図2の部分拡大図である。FIG. 3 is a partially enlarged view of FIG. 2. 図2の部分拡大図であり、別の実施の形態を示している。FIG. 3 is a partially enlarged view of FIG. 2 showing another embodiment. キャリアの接触表面及び本体に対して使用される種々の材料を一覧にした表である。Fig. 4 is a table listing various materials used for the carrier contact surface and body. 積み重ねられた状態にある複数のキャリアの断面図である。It is sectional drawing of the some carrier in the state piled up. 図2A部分拡大図である。FIG. 2A is a partially enlarged view of FIG. 図2Aの部分拡大図であり、コンポーネントの接触層を堅固な本体部分へ固定するための機械式結合構造を示している。FIG. 2B is a partially enlarged view of FIG. 2A showing a mechanical coupling structure for securing a contact layer of a component to a rigid body portion. 図2Aの部分拡大図であり、コンポーネントの接触層を堅固な本体部分へ固定するための結合層を示している。FIG. 2B is a partially enlarged view of FIG. 2A showing a bonding layer for securing a contact layer of a component to a rigid body portion. 図2Aの部分拡大図であり、接着性を低減するためにコンポーネント接触層に設けられた多数の凹部を示している。FIG. 2B is a partially enlarged view of FIG. 2A showing a number of recesses provided in the component contact layer to reduce adhesion. 図2Aの部分拡大図であり、接着性を低減するためにコンポーネント接触層に設けられた多数の凸部を示している。It is the elements on larger scale of Drawing 2A, and shows many convex parts provided in the component contact layer in order to reduce adhesiveness. この発明に対する別の実施の形態の断面図である。It is sectional drawing of another embodiment with respect to this invention. この発明によるキャリアに対する別の実施の形態の斜視図である。FIG. 6 is a perspective view of another embodiment for a carrier according to the present invention. 図7に描かれているキャリアの断面図である。FIG. 8 is a cross-sectional view of the carrier depicted in FIG. 積み重ねられた状態にある複数の図7に描かれているようなキャリアの断面図である。FIG. 8 is a cross-sectional view of a plurality of carriers as depicted in FIG. 7 in a stacked state. 個々のコンポーネント保持領域を形成する別個の格子構造を有する図7のキャリアの部分分解斜視図である。FIG. 8 is a partially exploded perspective view of the carrier of FIG. 7 having a separate grid structure forming individual component holding regions. 図10に描かれているキャリアの断面図である。FIG. 11 is a cross-sectional view of the carrier depicted in FIG.

Claims (44)

複数の小さいコンポーネントをハンドリングして保持するために用いられるキャリアであって、
堅固な本体部分と、
前記コンポーネントと接触して保持するために前記堅固な本体部分の上に設けられたエラストマの接触表面と、
を有し、前記接触表面が、20ダイン/cmから100ダイン/cmの間の表面エネルギと、約ショアA15からショアD75の間の硬度と、約1×104オーム/平方から1×1012オーム/平方の間の表面電気抵抗とを有する熱可塑性材料から形成されているキャリア。
A carrier used to handle and hold multiple small components,
A solid body part,
An elastomer contact surface provided on the rigid body portion for holding in contact with the component;
The contact surface has a surface energy between 20 dynes / cm and 100 dynes / cm, a hardness between about Shore A15 and Shore D75, and about 1 × 10 4 ohms / square to 1 × 10 12 A carrier formed of a thermoplastic material having a surface electrical resistance between ohms / square.
前記エラストマの接触表面が熱可塑性エラストマ材料から形成されている請求項1記載のキャリア。   The carrier of claim 1 wherein the elastomeric contact surface is formed from a thermoplastic elastomer material. 前記熱可塑性エラストマ材料が、ウレタン、ポリブチレンテレフタレート、ポリオレフィン、ポリエチレンテレフタレート、スチレンブロックコポリマ、スチレンブタジエンラバー及びポリエーテルブロックポリアミドから成る熱可塑性エラストマのグループから選択される請求項2記載のキャリア。   The carrier of claim 2 wherein said thermoplastic elastomer material is selected from the group of thermoplastic elastomers consisting of urethane, polybutylene terephthalate, polyolefin, polyethylene terephthalate, styrene block copolymer, styrene butadiene rubber and polyether block polyamide. 前記熱可塑性エラストマ材料が熱可塑性硫化物である請求項2記載のキャリア。   The carrier of claim 2 wherein the thermoplastic elastomer material is a thermoplastic sulfide. 前記熱可塑性エラストマ材料が本来的に静電気消散性のポリマ又は本来的に導電性のポリマと混合されている請求項2記載のキャリア。   The carrier of claim 2 wherein said thermoplastic elastomer material is inherently mixed with a static dissipative polymer or an inherently conductive polymer. 前記熱可塑性エラストマ材料がフィラー材料を含有している請求項2記載のキャリア。   The carrier according to claim 2, wherein the thermoplastic elastomer material contains a filler material. 前記フィラー材料が無機の導電性材料である請求項6記載のキャリア。   The carrier according to claim 6, wherein the filler material is an inorganic conductive material. 前記無機の導電性材料がカーボンファイバ、カーボンパウダ、金属粒子又はセラミック粒子である請求項7記載のキャリア。   The carrier according to claim 7, wherein the inorganic conductive material is carbon fiber, carbon powder, metal particles, or ceramic particles. 前記フィラー材料が有機材料である請求項6記載のキャリア。   The carrier according to claim 6, wherein the filler material is an organic material. 前記有機材料が、第四アンモニウム塩、スルフォニウム塩、アルキルスルフォン酸塩、アルキル硫酸塩、アルキルリン酸塩、エタノールアミド、エタノールアミン又は脂肪族アミンである請求項9記載のキャリア。   The carrier according to claim 9, wherein the organic material is a quaternary ammonium salt, a sulfonium salt, an alkyl sulfonate, an alkyl sulfate, an alkyl phosphate, ethanolamide, ethanolamine or an aliphatic amine. 前記接触表面の各々が、その接着性を低減するために、その上に形成された多数の凹部又は凸部を有している請求項1記載のキャリア。   2. A carrier according to claim 1, wherein each of said contact surfaces has a number of recesses or protrusions formed thereon to reduce its adhesion. 前記本体部分が、アクリロニトリルブタジエンスチレン、ポリカーボネート、ウレタン、ポリフェニレン、スルフィド、ポリスチレン、ポリメチルメタクリレート、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルケトンケトン、ポリエーテルイミド、ポリスルフォン及びスチレンアクリロニトリルから成る堅固な熱可塑性材料のグループから選択された堅固な熱可塑性材料から形成されている請求項1記載のキャリア。   The body portion is made of rigid acrylonitrile butadiene styrene, polycarbonate, urethane, polyphenylene, sulfide, polystyrene, polymethyl methacrylate, polyether ketone, polyether ether ketone, polyether ketone ketone, polyether imide, polysulfone and styrene acrylonitrile. The carrier of claim 1 formed from a rigid thermoplastic material selected from the group of thermoplastic materials. 前記堅固な本体部分が、堅固なポリエチレン、ポリプロピレン、フルオロポリマ、ポリオレフィン、ポリアミド又はナイロンから形成されている請求項1記載のキャリア。   The carrier of claim 1 wherein the rigid body portion is formed from rigid polyethylene, polypropylene, fluoropolymer, polyolefin, polyamide or nylon. 前記本体部分と前記接触表面との間に挟まれた結合層をさらに有する請求項1記載のキャリア。   The carrier of claim 1, further comprising a tie layer sandwiched between the body portion and the contact surface. 前記接触表面が約30ダイン/cmから約45ダイン/cmの間の表面エネルギを有している請求項1記載のキャリア。   The carrier of claim 1, wherein the contact surface has a surface energy between about 30 dynes / cm and about 45 dynes / cm. 前記接触表面が約40ダイン/cmの表面エネルギを有している請求項1記載のキャリア。   The carrier of claim 1, wherein the contact surface has a surface energy of about 40 dynes / cm. 前記本体部分が、周辺境界部分と、下方へ延びるスカート部分とを有し、前記スカート部分は、トレイを積み重ねたときに、別のトレイの周辺境界部分と係合するようになっている請求項1記載のキャリア。   The body portion has a peripheral boundary portion and a downwardly extending skirt portion, the skirt portion adapted to engage a peripheral boundary portion of another tray when the trays are stacked. The carrier according to 1. 前記堅固な本体部分が約1×104オーム/平方から約1×1012オーム/平方の間の表面電気抵抗を有する請求項1記載のキャリア。 The carrier of claim 1, wherein the rigid body portion has a surface electrical resistance between about 1 × 10 4 ohm / square and about 1 × 10 12 ohm / square. 前記堅固な本体部分が導電性である請求項1記載のキャリア。   The carrier of claim 1, wherein the rigid body portion is electrically conductive. 前記堅固な本体部分がその中に形成された複数のポケットを有している請求項1記載のキャリア。   The carrier of claim 1, wherein the rigid body portion has a plurality of pockets formed therein. 前記接触表面の上に配置された格子部材をさらに有し、前記格子部材は前記接触表面上に複数のコンポーネント受容領域を形成している請求項1記載のキャリア。   The carrier of claim 1, further comprising a grid member disposed on the contact surface, wherein the grid member forms a plurality of component receiving areas on the contact surface. 複数の小さいコンポーネントをハンドリングして保持するためのキャリアを製造する方法であって、
プラスチック材料から堅固な本体部分を形成する段階と、
前記堅固な本体部分上にコンポーネント接触表面を形成する段階と、
を有し、前記コンポーネント接触表面は、約20ダイン/cmから約100ダイン/cmの間の表面エネルギと、約ショアA15から約ショアD75の間の硬度と、約1×104オーム/平方から約1×1012オーム/平方の間の表面電気抵抗とを有する熱可塑性エラストマを有し、前記コンポーネント接触表面は、前記トレイを反転したときに複数のコンポーネントの各々を保持するのに十分な接着性を有している方法。
A method of manufacturing a carrier for handling and holding a plurality of small components comprising:
Forming a rigid body portion from a plastic material;
Forming a component contact surface on the rigid body portion;
And the component contact surface has a surface energy between about 20 dynes / cm and about 100 dynes / cm, a hardness between about Shore A15 and about Shore D75, and from about 1 × 10 4 ohms / square Having a thermoplastic elastomer having a surface electrical resistance of between about 1 × 10 12 ohms / square and the component contact surface is sufficient to hold each of a plurality of components when the tray is inverted A method that has sex.
前記堅固な本体部分上に複数の機械式接合構造を形成する段階をさらに有する請求項22記載の方法。   23. The method of claim 22, further comprising forming a plurality of mechanical joint structures on the rigid body portion. 前記本体部分が、堅固なポリエチレン、ポリプロピレン又はフルオロポリマから形成されており、前記本体部分の一部を、コロナ、プラズマ、火炎又は化学的処理プロセスで表面処理する段階をさらに有している請求項22記載の方法。   The body portion is formed from rigid polyethylene, polypropylene or fluoropolymer, and further comprising the step of surface treating a portion of the body portion with a corona, plasma, flame or chemical treatment process. The method according to 22. 前記本体部分と前記コンポーネント接触表面との間に中間結合層を形成する段階をさらに有する請求項22記載の方法。   23. The method of claim 22, further comprising forming an intermediate bond layer between the body portion and the component contact surface. 前記コンポーネント接触表面上に多数の均一な凹部又は凸部を形成する段階をさらに有する請求項22記載の方法。   23. The method of claim 22, further comprising forming a number of uniform recesses or protrusions on the component contact surface. 積み重ね可能なキャリアトレイと、このキャリアトレイの中に保持される複数のコンポーネントとを組み合わせたシステムであって、
表面をそれぞれ有する複数のコンポーネントと、
複数のキャリアトレイと、
を有し、前記トレイの各々が、上側表面を有する堅固な本体部分を有し、前記堅固な本体部分が、周辺境界領域と、前記複数のトレイを積み重ねたときにトレイのうちの別の一つの周辺境界領域と係合する少なくとも一つの下方へ延びる構造とを有し、前記堅固な本体部分の上側表面がコンポーネント接触表面を有し、前記コンポーネント接触表面が、約20ダイン/cmから約100ダイン/cmの間の表面エネルギと、約ショアA15から約ショアD75の間の硬度と、約1×104オーム/平方から約1×1012オーム/平方の間の表面電気抵抗とを有する熱可塑性エラストマ材料から形成され、前記複数のコンポーネントにおける各コンポーネントの表面が前記コンポーネント接触表面と係合可能であり、前記複数のコンポーネントの各コンポーネントが前記コンポーネント接触表面との接着のみによって横方向及び垂直方向に拘束され、前記接着は、トレイを反転したときにコンポーネントが前記コンポーネント接触表面上の所定の位置に維持されるのに十分なようになっているシステム。
A system combining a stackable carrier tray and a plurality of components held in the carrier tray,
A plurality of components each having a surface;
Multiple carrier trays,
Each of the trays has a rigid body portion having an upper surface, wherein the rigid body portion is a peripheral boundary region and another one of the trays when the plurality of trays are stacked. At least one downwardly extending structure that engages two peripheral boundary regions, wherein the upper surface of the rigid body portion has a component contact surface, and the component contact surface is between about 20 dynes / cm and about 100 Heat having a surface energy between dyne / cm, a hardness between about Shore A15 to about Shore D75, and a surface electrical resistance between about 1 × 10 4 ohm / square to about 1 × 10 12 ohm / square Formed of a plastic elastomer material, the surface of each component in the plurality of components is engageable with the component contact surface, and each component of the plurality of components is the component. Constrained in the lateral and vertical directions only by adhesion to the nint contact surface, which is sufficient to keep the component in place on the component contact surface when the tray is flipped. System.
前記熱可塑性エラストマ材料が、ウレタン、ポリブチレンテレフタレート、ポリオレフィン、ポリエチレンテレフタレート、スチレンブロックコポリマ、スチレンブタジエンラバー及びポリエーテルブロックポリアミドから成る熱可塑性エラストマのグループから選択される請求項27記載のシステム。   28. The system of claim 27, wherein the thermoplastic elastomer material is selected from the group of thermoplastic elastomers consisting of urethane, polybutylene terephthalate, polyolefin, polyethylene terephthalate, styrene block copolymer, styrene butadiene rubber and polyether block polyamide. 前記熱可塑性エラストマ材料が熱可塑性硫化物である請求項27記載のシステム。   28. The system of claim 27, wherein the thermoplastic elastomer material is a thermoplastic sulfide. 前記熱可塑性エラストマ材料が本来的に静電気消散性のポリマ又は本来的に導電性のポリマと混合されている請求項27記載のシステム。   28. The system of claim 27, wherein the thermoplastic elastomer material is mixed with an inherently static dissipative polymer or an inherently conductive polymer. 前記熱可塑性エラストマ材料がフィラー材料を含有している請求項27記載のシステム。   28. The system of claim 27, wherein the thermoplastic elastomer material comprises a filler material. 前記フィラー材料が無機の導電性材料である請求項31記載のシステム。   32. The system of claim 31, wherein the filler material is an inorganic conductive material. 前記無機の導電性材料がカーボンファイバ、カーボンパウダ、金属粒子又はセラミック粒子である請求項32記載のシステム。   The system of claim 32, wherein the inorganic conductive material is carbon fiber, carbon powder, metal particles, or ceramic particles. 前記フィラー材料が有機材料である請求項31記載のシステム。   32. The system of claim 31, wherein the filler material is an organic material. 前記有機材料が、第四アンモニウム塩、スルフォニウム塩、アルキルスルフォン酸塩、アルキル硫酸塩、アルキルリン酸塩、エタノールアミド、エタノールアミン又は脂肪族アミンである請求項34記載のシステム。   35. The system of claim 34, wherein the organic material is a quaternary ammonium salt, sulfonium salt, alkyl sulfonate, alkyl sulfate, alkyl phosphate, ethanolamide, ethanolamine, or aliphatic amine. 前記コンポーネント接触表面が、その接着性を低減するために、その上に形成された多数の凹部又は凸部を有している請求項27記載のシステム。   28. The system of claim 27, wherein the component contact surface has a number of recesses or protrusions formed thereon to reduce its adhesion. 前記堅固な本体部分が、アクリロニトリルブタジエンスチレン、ポリカーボネート、ウレタン、ポリフェニレン、スルフィド、ポリスチレン、ポリメチルメタクリレート、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルケトンケトン、ポリエーテルイミド、ポリスルフォン及びスチレンアクリロニトリルから成る堅固な熱可塑性材料のグループから選択された堅固な熱可塑性材料から形成されている請求項27記載のシステム。   The rigid body portion is composed of acrylonitrile butadiene styrene, polycarbonate, urethane, polyphenylene, sulfide, polystyrene, polymethyl methacrylate, polyether ketone, polyether ether ketone, polyether ketone ketone, polyether imide, polysulfone and styrene acrylonitrile. 28. The system of claim 27, wherein the system is formed from a rigid thermoplastic material selected from the group of rigid thermoplastic materials. 前記堅固な本体部分が、堅固なポリエチレン、ポリプロピレン、フルオロポリマ、ポリオレフィン、ポリアミド又はナイロンから形成されている請求項27記載のシステム。   28. The system of claim 27, wherein the rigid body portion is formed from rigid polyethylene, polypropylene, fluoropolymer, polyolefin, polyamide or nylon. 前記本体部分と前記接触表面との間に挟まれた結合層をさらに有する請求項27記載のシステム。   28. The system of claim 27, further comprising a tie layer sandwiched between the body portion and the contact surface. 前記接触表面が約30ダイン/cmから約45ダイン/cmの間の表面エネルギを有している請求項27記載のシステム。   28. The system of claim 27, wherein the contact surface has a surface energy between about 30 dynes / cm and about 45 dynes / cm. 前記接触表面の各々が約40ダイン/cmの表面エネルギを有している請求項27記載のシステム。   28. The system of claim 27, wherein each of the contact surfaces has a surface energy of about 40 dynes / cm. 前記本体部分が、周辺境界部分と、下方へ延びるスカート部分とを有し、前記スカート部分は、トレイを積み重ねたときに、別のトレイの周辺境界部分と係合するようになっている請求項27記載のシステム。   The body portion has a peripheral boundary portion and a downwardly extending skirt portion, the skirt portion adapted to engage a peripheral boundary portion of another tray when the trays are stacked. 27. The system according to 27. 前記堅固な本体部分が約1×104オーム/平方から約1×1012オーム/平方の間の表面電気抵抗を有する請求項27記載のシステム。 28. The system of claim 27, wherein the rigid body portion has a surface electrical resistance between about 1 × 10 4 ohm / square and about 1 × 10 12 ohm / square. 前記堅固な本体部分が導電性である請求項27記載のシステム。
28. The system of claim 27, wherein the rigid body portion is electrically conductive.
JP2004536085A 2002-09-11 2003-09-04 Carrier having an adhesive surface Pending JP2006505457A (en)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US10/241,815 US6926937B2 (en) 2002-09-11 2002-09-11 Matrix tray with tacky surfaces
US10/241,805 US7108899B2 (en) 2002-09-11 2002-09-11 Chip tray with tacky surface
PCT/US2003/027533 WO2004024594A1 (en) 2002-09-11 2003-09-04 Carrier with tacky surfaces

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2006505457A true JP2006505457A (en) 2006-02-16
JP2006505457A5 JP2006505457A5 (en) 2006-10-19

Family

ID=31996730

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004536085A Pending JP2006505457A (en) 2002-09-11 2003-09-04 Carrier having an adhesive surface

Country Status (6)

Country Link
EP (1) EP1551730A4 (en)
JP (1) JP2006505457A (en)
KR (1) KR20050042186A (en)
AU (1) AU2003270072A1 (en)
TW (1) TWI290121B (en)
WO (1) WO2004024594A1 (en)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009278617A (en) * 2008-05-15 2009-11-26 Boeing Co:The Phased array antenna radiator assembly and method of forming the same
JP2017152697A (en) * 2016-02-25 2017-08-31 コスタット,インク. Semiconductor housing tray and cover for semiconductor housing tray
JP2018095959A (en) * 2016-12-13 2018-06-21 芝浦メカトロニクス株式会社 Film deposition apparatus
JP2020121729A (en) * 2019-01-29 2020-08-13 キョーラク株式会社 Double container
JP2020203385A (en) * 2019-06-14 2020-12-24 アァルピィ東プラ株式会社 Laminate and conveyance member

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101043475B1 (en) * 2009-06-02 2011-06-23 삼성전기주식회사 Jig for multilayer ceramic board and manufacturing method of multilayer ceramic board using the same
NL2005626C2 (en) * 2010-11-04 2012-05-07 Fico Bv CARRIER FOR SEPARATED ELECTRONIC COMPONENTS AND METHOD FOR VISUAL INSPECTION OF SEPARATED ELECTRONIC COMPONENTS.

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4395451A (en) * 1980-07-14 1983-07-26 Althouse Victor E Semiconductor wafer and die handling method and means
US4778326A (en) * 1983-05-24 1988-10-18 Vichem Corporation Method and means for handling semiconductor and similar electronic devices
US4875581A (en) * 1985-03-19 1989-10-24 Robert B. Ray Static dissipative elastomeric coating for electronic packaging components
US5769237A (en) * 1996-07-15 1998-06-23 Vichem Corporation Tape carrier for electronic and electrical parts
JP2002002871A (en) * 2000-04-20 2002-01-09 Hitachi Ltd Method for manufacturing semiconductor device and tray used therein

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009278617A (en) * 2008-05-15 2009-11-26 Boeing Co:The Phased array antenna radiator assembly and method of forming the same
JP2017152697A (en) * 2016-02-25 2017-08-31 コスタット,インク. Semiconductor housing tray and cover for semiconductor housing tray
JP2018095959A (en) * 2016-12-13 2018-06-21 芝浦メカトロニクス株式会社 Film deposition apparatus
JP7002302B2 (en) 2016-12-13 2022-02-10 芝浦メカトロニクス株式会社 Film forming equipment
JP2020121729A (en) * 2019-01-29 2020-08-13 キョーラク株式会社 Double container
JP7377426B2 (en) 2019-01-29 2023-11-10 キョーラク株式会社 double container
JP2020203385A (en) * 2019-06-14 2020-12-24 アァルピィ東プラ株式会社 Laminate and conveyance member

Also Published As

Publication number Publication date
KR20050042186A (en) 2005-05-04
WO2004024594A1 (en) 2004-03-25
AU2003270072A1 (en) 2004-04-30
EP1551730A1 (en) 2005-07-13
TW200406349A (en) 2004-05-01
TWI290121B (en) 2007-11-21
EP1551730A4 (en) 2007-10-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6926937B2 (en) Matrix tray with tacky surfaces
US9958772B1 (en) Reticle pod
US7108899B2 (en) Chip tray with tacky surface
JP2006505457A (en) Carrier having an adhesive surface
JP2005005525A (en) Substrate container
US7611766B2 (en) Wafer protective sheet
US20090236260A1 (en) Chip Scale Package Tray
EP1417143A1 (en) Tray for semiconductors
US20190067061A1 (en) Rigid carrier assemblies having an integrated adhesive film
JP2008091696A (en) Semiconductor chip tray
JP2005510868A (en) Semiconductor element handling device with electrostatic dissipative film
JP2005521236A (en) Semiconductor parts handling equipment with performance film
CN215707919U (en) Tray
JP2006505457A5 (en)
JP2004311779A (en) Semiconductor wafer storage container and method for conveying semiconductor wafer
US20220384226A1 (en) Rigid carrier assemblies with tacky media molded thereon
US20110005667A1 (en) Multiple segment vacuum release handling device
WO2021163651A1 (en) Rigid carrier assemblies with tacky media molded thereon
US11257700B2 (en) Separators for handling, transporting, or storing semiconductor wafers
US20220013390A1 (en) Patterned carrier assemblies having an integrated adhesive film
TWI679157B (en) Plate positioning device
JP4073260B2 (en) Carry tray
JP3579399B2 (en) Component supply tray
CN117326207A (en) Protective packaging assembly

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

Effective date: 20060213

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20060901

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20060901

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20080527

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20080825

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20090120