JP2006351646A - Circuit board and its manufacturing method - Google Patents

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Naoki Katayama
直樹 片山
Koji Uchino
広治 内野
Toshiyuki Kyo
俊行 姜
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Sumitomo Riko Co Ltd
Okuno Chemical Industries Co Ltd
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Okuno Chemical Industries Co Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a circuit board which has a smoother surface for a liquid crystal polymer film than ever before, and has a strong adhesion between the film and a plating layer, and also to provide its manufacturing method. <P>SOLUTION: This circuit board includes an electroless plating layer and an electrolytic plating layer which are stacked in this order on at least one face of the liquid crystal polymer film. The surface of the liquid crystal polymer film has an arithmetic mean roughness Ra of 30 nm or less, and the plating layer has a 180° peel strength of 6 N/cm or above. The manufacturing method of the circuit board includes a first process wherein at least one face of the liquid crystal polymer film is so surface-reformed as to have a smaller contact angle with a liquid; a second process wherein the surface-reformed face of the liquid crystal polymer film is brought into contact with an alkali solution to apply alkali treatment to the face within such a range that the surface of the film is not roughed; a third process wherein the electroless plating layer is formed on the alkali-treated surface of the liquid crystal polymer film; and a fourth process wherein the electrolytic plating layer is formed on the surface of the electroless plating layer. Between the third and the fourth process and/or after the fourth process, a heat treatment is conducted for 5 min to 24 hours at a temperature not higher than the melting point of the liquid crystal polymer. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、回路基板およびその製造方法に関し、さらに詳しくは、基板材料として液晶ポリマーフィルムを用いる回路基板およびその製造方法に関するものである。   The present invention relates to a circuit board and a manufacturing method thereof, and more particularly to a circuit board using a liquid crystal polymer film as a substrate material and a manufacturing method thereof.

従来、電子機器には、多くの回路基板が使用されている。この種の回路基板としては、例えば、ポリイミドフィルムなどからなる絶縁基板上に、銅箔などが貼り合わされたものや、めっきにより銅層などが形成されたものに回路が形成されたフレキシブルプリント回路基板が広く知られている。   Conventionally, many circuit boards are used in electronic devices. As this type of circuit board, for example, a flexible printed circuit board in which a circuit is formed on an insulating substrate made of polyimide film or the like, on which a copper foil or the like is bonded, or on which a copper layer or the like is formed by plating Is widely known.

近年、電子機器の小型化、高機能化に伴い、回路の微細化、高密度化が進んでおり、回路に伝送される信号も高周波化されてきている。   In recent years, along with miniaturization and high functionality of electronic devices, miniaturization and high density of circuits have progressed, and signals transmitted to circuits have also been increased in frequency.

回路が微細化、高密度化されると、フィルムの吸湿によるわずかな寸法変化が回路設計上問題になる。また、高周波信号の伝送損失には、導体損失のみならず誘電損失も関係するため、できる限り誘電損失の低いフィルムを使用した方が有利である。   When a circuit is miniaturized and densified, a slight dimensional change due to moisture absorption of the film becomes a problem in circuit design. Further, since the transmission loss of the high-frequency signal involves not only the conductor loss but also the dielectric loss, it is advantageous to use a film having a dielectric loss as low as possible.

そこで、最近では、基板材料として、従来のポリイミドフィルムに比較して、(1)吸水率および誘電損失が低い、(2)吸湿による寸法変化・特性変化が小さいなどの特長を有する液晶ポリマーフィルムが注目されるようになってきている。   Therefore, recently, as a substrate material, a liquid crystal polymer film having features such as (1) low water absorption and dielectric loss, and (2) small dimensional change and characteristic change due to moisture absorption, compared to conventional polyimide films. It is getting attention.

例えば、特許文献1には、エッチング速度が非常に速い特定のエッチング液を用いて液晶ポリエステルフィルムの表面を十分に粗化した後、無電解めっき層を形成することにより、フィルム表面の凹凸部分とめっき層とをアンカー効果により接合し、さらに、100℃から液晶転移点温度の範囲内で加熱処理を行うことにより、上記アンカー効果を一層高めて両者の接着強度を確保する技術が開示されている。   For example, in Patent Document 1, the surface of the liquid crystal polyester film is sufficiently roughened using a specific etching solution having a very high etching rate, and then an electroless plating layer is formed. A technique is disclosed in which the anchoring effect is further enhanced by bonding the plating layer to the plating layer and further performing a heat treatment within a range of the liquid crystal transition temperature from 100 ° C. to ensure the adhesive strength between the two. .

また、特許文献2には、濃度10M以上、液温70℃以上のアルカリ性エッチング液に60分間〜180分間浸漬することにより、液晶ポリマーフィルムの表面を十分に粗化し、その後、無電解めっき層を形成することにより、両者の接着強度を向上させる技術が開示されている。   Patent Document 2 discloses that the surface of the liquid crystal polymer film is sufficiently roughened by immersing it in an alkaline etching solution having a concentration of 10 M or higher and a liquid temperature of 70 ° C. or higher for 60 minutes to 180 minutes. A technique for improving the adhesive strength between the two by forming is disclosed.

また、特許文献3には、液晶ポリマーフィルムの表面を十分に粗化し、無電解めっき層を形成した後、ガラス転移点以上の温度で加熱処理することにより、両者の接着強度を向上させる技術が開示されている。   Patent Document 3 discloses a technique for improving the adhesive strength between the two by sufficiently roughening the surface of the liquid crystal polymer film, forming an electroless plating layer, and then performing heat treatment at a temperature equal to or higher than the glass transition point. It is disclosed.

また、特許文献4には、アンモニア水溶液などの処理剤を含む雰囲気中で、液晶ポリマーフィルム表面に紫外線を照射し、この表面に無電解めっき層を形成することにより、両者の接着強度を向上させる技術が開示されている。   Patent Document 4 discloses that the surface of the liquid crystal polymer film is irradiated with ultraviolet rays in an atmosphere containing a treatment agent such as an aqueous ammonia solution, and an electroless plating layer is formed on the surface, thereby improving the adhesive strength between the two. Technology is disclosed.

特開2004−307980号公報JP 2004-307980 A 特開2004−143587号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-143587 特開2004−247425号公報JP 2004-247425 A 特開2003−221456号公報JP 2003-221456 A

しかしながら、従来の回路基板およびその製造方法は、下記の点で問題があった。   However, the conventional circuit board and its manufacturing method have the following problems.

すなわち、特許文献1〜3に記載の回路基板の製造方法は、液晶ポリマーフィルムと無電解めっき層との接着強度を向上させるため、フィルム表面を、アンカー効果が得られるほどの凹凸形状となるように粗化している。   That is, the method for manufacturing a circuit board described in Patent Documents 1 to 3 is such that the film surface has an uneven shape enough to obtain an anchor effect in order to improve the adhesive strength between the liquid crystal polymer film and the electroless plating layer. It is roughened.

そのため、フィルム表面の表面粗さが増大し、微細な回路を形成し難いなどの問題があった。   For this reason, the surface roughness of the film surface is increased, and it is difficult to form a fine circuit.

加えて、粗化されたフィルム表面に無電解めっき層を形成すると、無電解めっき層におけるフィルム側界面の表面粗さが増大する。また、信号の周波数が高くなると、電流が導体表面のみを流れるようになる、いわゆる表皮効果が大きくなる。そのため、導体の粗さおよび表皮効果に起因して回路の導体損失(=導体の粗さによる損失+表皮効果による損失)が大きくなり、誘電率および誘電損失が低いなどといった液晶ポリマーの特長が活かされなくなるなどの問題があった。   In addition, when an electroless plating layer is formed on the roughened film surface, the surface roughness of the film side interface in the electroless plating layer increases. Further, when the frequency of the signal is increased, a so-called skin effect is increased, in which current flows only on the conductor surface. For this reason, circuit conductor loss (= loss due to conductor roughness + loss due to skin effect) increases due to conductor roughness and skin effect, and the advantages of liquid crystal polymers such as low dielectric constant and dielectric loss are utilized. There were problems such as being lost.

一方、特許文献4に記載の回路基板の製造方法については、液晶ポリマーフィルム表面にアンモニア水溶液などの処理剤を拡散させた後に紫外線を照射する手法を用いているので、後述する本願の回路基板の製造方法とは全く工程が異なっている。   On the other hand, the circuit board manufacturing method described in Patent Document 4 uses a method of irradiating ultraviolet rays after diffusing a treatment agent such as an aqueous ammonia solution on the liquid crystal polymer film surface. The process is completely different from the manufacturing method.

さらに、この製造方法により得られる回路基板は、フィルム表面の表面粗さについて何ら言及されていないため、微細回路の形成性に優れるか否かは全く不明である。   Furthermore, since the circuit board obtained by this manufacturing method does not mention anything about the surface roughness of the film surface, it is completely unclear whether or not the fine circuit formability is excellent.

そこで、本発明が解決しようとする課題は、従来よりも液晶ポリマーフィルム表面が平滑であり、かつ、フィルムとめっき層との接着強度に優れた回路基板およびその製造方法を提供することにある。   Accordingly, the problem to be solved by the present invention is to provide a circuit board having a smoother liquid crystal polymer film surface than the prior art and having excellent adhesion strength between the film and the plating layer, and a method for producing the circuit board.

上記課題を解決するため、本発明に係る回路基板は、液晶ポリマーフィルムの少なくとも一方面に無電解めっき層、電解めっき層がこの順で積層され、液晶ポリマーフィルム表面の算術平均粗さRが30nm以下であり、めっき層の180°ピール強度が6N/cm以上あることを要旨とする。 To solve the above problems, a circuit board according to the present invention, an electroless plating layer on at least one surface of the liquid crystal polymer film, the electroless plating layer are laminated in this order, the arithmetic mean roughness R a of the liquid crystal polymer film surface The gist is that it is 30 nm or less, and the 180 ° peel strength of the plating layer is 6 N / cm or more.

一方、本発明に係る回路基板の製造方法は、液晶ポリマーフィルムの少なくとも一方面を、液体との接触角が低下するように表面改質する第1の工程と、表面改質した液晶ポリマーフィルムの表面をアルカリ溶液と接触させ、フィルム表面が粗化されない範囲内でアルカリ処理する第2の工程と、アルカリ処理した液晶ポリマーフィルムの表面に無電解めっき層を形成する第3の工程と、無電解めっき層の表面に電解めっき層を形成する第4の工程とを有し、第3の工程と第4の工程との間、および/または、第4の工程の後に、液晶ポリマーの融点以下の温度で5分間〜24時間熱処理を行うことを要旨とする。   On the other hand, in the method for producing a circuit board according to the present invention, the first step of modifying the surface of at least one surface of the liquid crystal polymer film so that the contact angle with the liquid is lowered, and the liquid crystal polymer film having the surface modified A second step of bringing the surface into contact with an alkali solution and subjecting it to an alkali treatment within a range in which the film surface is not roughened; a third step of forming an electroless plating layer on the surface of the alkali-treated liquid crystal polymer film; A fourth step of forming an electrolytic plating layer on the surface of the plating layer, and between the third step and the fourth step and / or after the fourth step, the melting point of the liquid crystal polymer or less The gist is to perform a heat treatment at a temperature for 5 minutes to 24 hours.

この際、上記第2の工程におけるアルカリ処理後の液晶ポリマーフィルム表面の算術平均粗さRは、30nm以下であることが好ましい。 In this case, the arithmetic mean roughness R a of the liquid crystal polymer film surface of the alkali treatment after the second step is preferably 30nm or less.

本発明に係る回路基板の製造方法では、第1の工程において、液晶ポリマーフィルム表面は、液体との接触角が低下するように表面改質される。そのため、フィルム表面は、次の第2の工程で用いるアルカリ溶液と濡れやすくなっている。   In the circuit board manufacturing method according to the present invention, in the first step, the surface of the liquid crystal polymer film is surface-modified so that the contact angle with the liquid is lowered. Therefore, the film surface is easily wetted with the alkaline solution used in the next second step.

次いで、第2の工程において、この濡れ性が向上したフィルム表面をアルカリ溶液と接触させてアルカリ処理するので、アルカリ処理による反応がより均一に行われ、フィルム表面に、水酸基、カルボキシル基などの親水性を示す官能基が生成する。また、アルカリ処理は、フィルム表面を粗化しない範囲内で行うので、従来のようにアンカー効果が得られるほどの凹凸形状がフィルム表面に形成されることはない。   Next, in the second step, the film surface with improved wettability is contacted with an alkali solution and subjected to an alkali treatment, so that the reaction by the alkali treatment is performed more uniformly, and hydrophilicity such as hydroxyl groups and carboxyl groups is formed on the film surface. A functional group exhibiting sex is generated. Further, since the alkali treatment is performed within a range in which the film surface is not roughened, a concavo-convex shape enough to obtain an anchor effect is not formed on the film surface as in the prior art.

この際、アルカリ処理後のフィルム表面の算術平均粗さRが、30nm以下となるように調整した場合には、微細回路の形成性、回路の伝送特性などに極めて優れた回路基板が得られる。 In this case, the arithmetic mean roughness R a of the film surface after the alkali treatment, when adjusted to 30nm or less, formation of fine circuit, a very good circuit board such as the transmission characteristic of the circuit is obtained .

次いで、第3の工程において、このアルカリ処理したフィルム表面に無電解めっき層を形成し、第4の工程において、この無電解めっき層の表面に電解めっき層を形成すると、回路基板が得られる。   Next, in the third step, an electroless plating layer is formed on the surface of the alkali-treated film, and in the fourth step, an electrolytic plating layer is formed on the surface of the electroless plating layer, whereby a circuit board is obtained.

ここで、本発明に係る回路基板の製造方法では、上記第3の工程と第4の工程との間、および/または、第4の工程の後に、液晶ポリマーの融点以下の温度で5分間〜24時間熱処理を行う。そのため、この熱処理により、アルカリ処理したフィルム表面と無電解めっき層表面との界面に強固な化学的結合が形成される。   Here, in the method for manufacturing a circuit board according to the present invention, between the third step and the fourth step and / or after the fourth step, at a temperature not higher than the melting point of the liquid crystal polymer for 5 minutes to Heat treatment is performed for 24 hours. Therefore, this heat treatment forms a strong chemical bond at the interface between the alkali-treated film surface and the electroless plating layer surface.

したがって、本発明に係る回路基板の製造方法によれば、従来よりも液晶ポリマーフィルム表面が平滑であり、かつ、フィルムとめっき層との接着強度に優れた回路基板を製造することができる。   Therefore, according to the method for manufacturing a circuit board according to the present invention, it is possible to manufacture a circuit board having a smoother liquid crystal polymer film surface and superior adhesive strength between the film and the plating layer.

一方、本発明に係る回路基板は、例えば、上記本発明に係る回路基板の製造方法を好適に用いて得ることができるものである。   On the other hand, the circuit board according to the present invention can be obtained, for example, by suitably using the method for manufacturing a circuit board according to the present invention.

本発明に係る回路基板によれば、液晶ポリマーフィルムの少なくとも一方面に無電解めっき層、電解めっき層がこの順で積層され、前記液晶ポリマーフィルム表面の算術平均粗さRが30nm以下であり、前記めっき層の180°ピール強度が6N/cm以上あるので、従来よりも液晶ポリマーフィルム表面が平滑であり、かつ、フィルムとめっき層との接着強度に優れる。 According to the circuit board according to the present invention, an electroless plating layer on at least one surface of the liquid crystal polymer film, the electroless plating layer are laminated in this order, the arithmetic mean roughness R a of the liquid crystal polymer film surface be 30nm or less Since the 180 ° peel strength of the plating layer is 6 N / cm or more, the surface of the liquid crystal polymer film is smoother than before, and the adhesive strength between the film and the plating layer is excellent.

したがって、本発明に係る回路基板によれば、従来よりも液晶ポリマーフィルム表面が平滑であるので、微細回路の形成性に優れる。そのため、回路の微細化、高密度化に対応しやすい。   Therefore, according to the circuit board according to the present invention, the surface of the liquid crystal polymer film is smoother than in the prior art, and therefore, the fine circuit formability is excellent. Therefore, it is easy to cope with miniaturization and high density of the circuit.

また、液晶ポリマーフィルムとめっき層との接着強度に優れるので、高い接着信頼性を有する。特に、液晶ポリマーの気体不透過性により、主にめっき金属元素の酸化物などからなる脆弱層が接着界面に形成され難いので、初期の接着強度のみならず、熱老化後の接着強度にも優れ、長期に亘って高い接着信頼性を発揮できる。   Moreover, since it is excellent in the adhesive strength of a liquid crystal polymer film and a plating layer, it has high adhesive reliability. In particular, due to the gas impermeability of the liquid crystal polymer, it is difficult to form a fragile layer mainly composed of oxides of plated metal elements at the bonding interface, so not only the initial bonding strength but also the bonding strength after heat aging is excellent. High adhesion reliability can be exhibited over a long period of time.

また、液晶ポリマーの特長を活かすことができるので、伝送信号の高周波化にも対応しやすい。   In addition, since the characteristics of the liquid crystal polymer can be utilized, it is easy to cope with high frequency transmission signals.

本実施形態に係る回路基板、回路基板の製造方法について詳細に説明する。なお、以下では、本実施形態に係る回路基板を「本回路基板」と、本実施形態に係る回路基板の製造方法を「本製造方法」ということがある。   A circuit board and a method for manufacturing the circuit board according to the present embodiment will be described in detail. Hereinafter, the circuit board according to the present embodiment may be referred to as “the present circuit board”, and the circuit board manufacturing method according to the present embodiment may be referred to as “the present manufacturing method”.

1.本回路基板
本回路基板は、液晶ポリマーフィルムの少なくとも一方面に無電解めっき層、電解めっき層(以下、これらをまとめて「めっき層」ということがある。)がこの順で積層され、液晶ポリマーフィルムの表面粗さ、めっき層の接着強度が特定範囲内にある。
1. This circuit board This circuit board is formed by laminating an electroless plating layer and an electrolytic plating layer (hereinafter, collectively referred to as “plating layer”) in this order on at least one surface of a liquid crystal polymer film. The surface roughness of the film and the adhesive strength of the plating layer are within specific ranges.

なお、本願にいう回路基板とは、めっき層に未だ回路が形成されていないもの、めっき層に回路が形成されたものの両方を含む。   In addition, the circuit board said to this application includes both the thing in which the circuit is not yet formed in the plating layer, and the thing in which the circuit was formed in the plating layer.

1.1 液晶ポリマーフィルム
本回路基板において、液晶ポリマーフィルムを構成する液晶ポリマーとしては、具体的には、例えば、熱溶融型芳香族ポリエステルなどを例示することができる。
1.1 Liquid Crystal Polymer Film In the present circuit board, specific examples of the liquid crystal polymer constituting the liquid crystal polymer film include, for example, a hot-melt type aromatic polyester.

また、液晶ポリマーフィルムの厚さは、特に限定されるものではなく、本回路基板が組み込まれる電子機器内のスペース、本回路基板に要求される可撓性などを考慮して適宜選択すれば良い。   The thickness of the liquid crystal polymer film is not particularly limited, and may be appropriately selected in consideration of the space in the electronic device in which the circuit board is incorporated, the flexibility required for the circuit board, and the like. .

1.2 めっき層
本回路基板において、めっき層は、液晶ポリマーフィルムの片面に形成されていても良いし、液晶ポリマーフィルムの両面に形成されていても良い。また、電解めっき層は、単層からなっていても良いし、複数層からなっていても良い。電解めっき層が複数層からなる場合、各層は、2種以上の異なる金属または合金からなっていても良いし、もしくは、同種の金属または合金であるが、組成などの膜質が異なるものからなっていても良い。あるいは、これらの組み合わせであっても良い。また、めっき層は、一度に形成されたものであっても良いし、もしくは、分割して形成されたものであっても良い。あるいは、これらの組み合わせであっても良い。
1.2 Plating layer In this circuit board, the plating layer may be formed on one side of the liquid crystal polymer film, or may be formed on both sides of the liquid crystal polymer film. Moreover, the electroplating layer may consist of a single layer, and may consist of multiple layers. When the electroplating layer is composed of a plurality of layers, each layer may be made of two or more different metals or alloys, or the same kind of metal or alloy, but the film quality such as composition is different. May be. Alternatively, a combination thereof may be used. Further, the plating layer may be formed at a time, or may be formed by being divided. Alternatively, a combination thereof may be used.

無電解めっき層を構成する金属としては、具体的には、例えば、Ni、Cu、Coなどの金属またはこれらを含む合金などを例示することができる。一方、電解めっき層を構成する金属としては、具体的には、例えば、Cu、Niなどの金属またはこれらを含む合金などを例示することができる。   Specific examples of the metal constituting the electroless plating layer include, for example, metals such as Ni, Cu, and Co or alloys containing these metals. On the other hand, as a metal which comprises an electroplating layer, specifically, metals, such as Cu and Ni, or an alloy containing these can be illustrated, for example.

また、めっき層の厚さは、それぞれ同じ厚さであっても良いし、異なる厚さであっても良く、特に限定されるものではない。回路形状、回路形成時のエッチング性、基板の総厚みなどを考慮して適宜決定すれば良い。   In addition, the thickness of the plating layer may be the same or different, and is not particularly limited. What is necessary is just to determine suitably considering a circuit shape, the etching property at the time of circuit formation, the total thickness of a board | substrate, etc.

1.3 フィルムの表面粗さ
従来の回路基板では、液晶ポリマーフィルムの表面が、無電解めっき層の表面と物理的に噛み合うほど、すなわち、アンカー効果が得られるほど粗化されているのが通常であった。
1.3 Film surface roughness In conventional circuit boards, the surface of the liquid crystal polymer film is usually roughened to the extent that it physically meshes with the surface of the electroless plating layer, that is, the anchor effect is obtained. Met.

これに対し、本回路基板は、液晶ポリマーフィルムの表面が、従来に比較してほとんど粗化されておらず、フィルムの表面粗さが特定範囲にあることを一つの特徴としている。   On the other hand, this circuit board is characterized in that the surface of the liquid crystal polymer film is hardly roughened as compared to the conventional case, and the surface roughness of the film is in a specific range.

ここで、本回路基板におけるフィルムの表面粗さとは、原子間力顕微鏡(AFM)を用いて測定したフィルム表面の凹凸より求めた、JIS B0601に準拠した算術平均粗さRをいう。 Here, the surface roughness of the film in the circuit board was determined from unevenness of the measured film surface using an atomic force microscope (AFM), it refers to the arithmetic mean roughness R a in conformity to JIS B0601.

フィルム表面の算術平均粗さRの好ましい上限値としては、30nm、25nm、20nmなどを例示することができる。 Preferred upper limit of the arithmetic mean roughness R a of the film surface, can be exemplified 30 nm, 25 nm, 20 nm, and the like.

フィルム表面の算術平均粗さRの上限値が30nmを越えると、アルカリ処理による脆弱層が形成され、接着強度が低下したり、回路形成時の伝送損失が増加するなどの傾向が見られる。 When the upper limit of the arithmetic mean roughness R a of the film surface is more than 30 nm, the fragile layer is formed by alkali treatment, or the adhesive strength is lowered, the tendency of such transmission loss at the circuit formation increases seen.

一方、フィルム表面の算術平均粗さRの下限値は、特に限定されるものではない。なぜならば、微細回路の形成性を向上させる、伝送損失を低減させるなどの観点から、フィルム表面はできる限り平滑である方が有利だからである。 On the other hand, the lower limit of the arithmetic mean roughness R a of the film surface is not particularly limited. This is because it is advantageous to make the film surface as smooth as possible from the viewpoint of improving the formability of the fine circuit and reducing transmission loss.

上記フィルム表面の算術平均粗さRの好ましい上限値と組み合わせ可能な好ましい下限値をあえて例示するとすれば、2nm、5nm、10nmなどを例示することができる。 If you dare illustrate preferred upper limit can be combined with the preferred lower limit of the arithmetic mean roughness R a of the film surface, it can be exemplified 2 nm, 5 nm, 10 nm, and the like.

1.4 180°ピール強度
本回路基板において、めっき層の180°ピール強度は、少なくとも6N/cm以上ある。好ましくは6.5N/cm以上、より好ましくは7.0N/cm以上あると良い。
1.4 180 ° Peel Strength In this circuit board, the 180 ° peel strength of the plating layer is at least 6 N / cm or more. Preferably it is 6.5 N / cm or more, more preferably 7.0 N / cm or more.

ここで、本回路基板における180℃ピール強度とは、液晶ポリマーフィルムと無電解めっき層、電解めっき層とが接合された1cm幅の試料を用い、JIS C5016に準拠して、引張試験機(引張速度50mm/分)にてめっき層を180℃はく離して測定される初期(熱老化前)のピール強度をいう。   Here, the 180 ° C. peel strength in this circuit board refers to a tensile tester (tensile according to JIS C5016 using a 1 cm wide sample in which a liquid crystal polymer film, an electroless plating layer, and an electrolytic plating layer are joined. It means the initial peel strength (before heat aging) measured by peeling the plating layer at 180 ° C. at a speed of 50 mm / min.

本回路基板において、めっき層の180°ピール強度が6N/cm未満になると、回路の接着信頼性が低下するので好ましくない。   In this circuit board, if the 180 ° peel strength of the plating layer is less than 6 N / cm, it is not preferable because the adhesion reliability of the circuit is lowered.

一方、めっき層の180°ピール強度の上限値については、特に限定されるものではない。フィルムとめっき層との接着強度は高ければ高いほど良く、何ら支障がないからである。   On the other hand, the upper limit value of the 180 ° peel strength of the plating layer is not particularly limited. This is because the higher the adhesive strength between the film and the plating layer, the better, and there is no problem.

2.本製造方法
本製造方法は、第1〜第4の工程を有し、第3の工程と第4の工程との間、および/または、第4の工程の後に、特定温度で特定時間、熱処理を行う。以下、各工程、熱処理について詳細に説明する。
2. This manufacturing method This manufacturing method has the 1st-4th process, Between the 3rd process and the 4th process, and / or after the 4th process, it is heat-processed for specific time at specific temperature. I do. Hereinafter, each process and heat treatment will be described in detail.

2.1 第1の工程
本製造方法において、第1の工程は、液晶ポリマーフィルムの少なくとも一方面を液体との接触角が低下するように表面改質する工程である。
2.1 First Step In this production method, the first step is a step of modifying the surface of at least one surface of the liquid crystal polymer film so that the contact angle with the liquid is reduced.

液晶ポリマーフィルムの種類は、上述したものと同様であるので詳しい説明は省略する。また、表面改質するフィルム面は、フィルムの片面であっても良いし、フィルムの両面であっても良い。製造する回路基板の形態を考慮して適宜選択すれば良い。   Since the kind of liquid crystal polymer film is the same as that described above, detailed description thereof is omitted. The film surface to be surface modified may be one side of the film or both sides of the film. What is necessary is just to select suitably in consideration of the form of the circuit board to manufacture.

この第1の工程におけるフィルム表面の表面改質は、主として、次工程に用いるアルカリ溶液との濡れ性を向上させる目的で行うものである。したがって、表面改質を行った後のフィルム表面とアルカリ溶液に含まれる液体との接触角が、表面改質を行う前のフィルム表面と当該液体との接触角と比較して、少なくとも低下しておれば、その目的は達せられる。   The surface modification of the film surface in the first step is mainly performed for the purpose of improving the wettability with the alkaline solution used in the next step. Therefore, the contact angle between the film surface after the surface modification and the liquid contained in the alkaline solution is at least lowered as compared with the contact angle between the film surface before the surface modification and the liquid. If so, you can reach that goal.

このような表面改質を行う手法としては、具体的には、例えば、紫外線処理、プラズマ処理、コロナ処理などを例示することができる。これら手法のうち、好ましくは、紫外線処理を用いると良い。紫外線処理は、他の処理方法と比較して、処理速度が速く均一であるため、連続生産性などに優れるし、また、設備も安価であるなどの利点があるからである。   Specific examples of such a surface modification method include ultraviolet treatment, plasma treatment, corona treatment, and the like. Of these methods, ultraviolet treatment is preferably used. This is because the ultraviolet treatment has advantages such as a high processing speed and uniformity compared with other processing methods, and therefore excellent in continuous productivity, etc., and inexpensive equipment.

紫外線処理を用いる場合、紫外線の波長は、特に限定されるものではないが、エネルギーが比較的高く、フィルム表面の表面改質性に優れることから、254nm以下の波長を主に含んでいると良い。このような短波長の紫外線は、低圧水銀ランプ、エキシマランプなどを用いて発生させることができる。   When the ultraviolet treatment is used, the wavelength of the ultraviolet ray is not particularly limited. However, since the energy is relatively high and the surface modification property of the film surface is excellent, it is preferable to mainly include a wavelength of 254 nm or less. . Such short wavelength ultraviolet rays can be generated using a low-pressure mercury lamp, an excimer lamp, or the like.

2.2 第2の工程
本製造方法において、第2の工程は、上記第1の工程にて表面改質した液晶ポリマーフィルムの表面をアルカリ溶液と接触させ、フィルム表面が粗化されない範囲内でアルカリ処理する工程である。
2.2 Second Step In the present production method, the second step is a step in which the surface of the liquid crystal polymer film whose surface has been modified in the first step is brought into contact with an alkali solution and the film surface is not roughened. This is a step of alkali treatment.

この第2の工程では、従来のように、アンカー効果が得られるほどフィルム表面を粗化させることを目的としているのではなく、液晶ポリマーフィルム表面に官能基を生成させることを主たる目的としている。したがって、この目的を達成することができる程度のアルカリ処理を施せば良い。   This second step is not intended to roughen the film surface to the extent that an anchor effect is obtained as in the prior art, but mainly to generate functional groups on the liquid crystal polymer film surface. Therefore, it is sufficient to perform alkali treatment to such an extent that this purpose can be achieved.

上記アルカリ溶液としては、具体的には、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウムなどのアルカリ金属水酸化物、水酸化マグネシウムなどのアルカリ土類金属水酸化物、アンモニア、エチルアミンなどの塩基性物質などを1種または2種以上、水、アルコールなどの適当な溶媒に溶解した溶液などを例示することができる。   Specific examples of the alkaline solution include alkali metal hydroxides such as sodium hydroxide and potassium hydroxide, alkaline earth metal hydroxides such as magnesium hydroxide, and basic substances such as ammonia and ethylamine. One or two or more of these can be exemplified by a solution in which a suitable solvent such as water or alcohol is dissolved.

ここで、フィルム表面の粗化が進行する要因としては、一般に、アルカリ溶液の種類、当該溶液の濃度、当該溶液の温度、処理時間などを例示することができる。そのため、フィルム表面の平滑性をできる限り維持したまま、より多くの官能基を生成させることができるように、これら要因を適切に設定してアルカリ処理を行う点に留意すると良い。   Here, as a factor which the roughening of the film surface advances, generally the kind of alkaline solution, the density | concentration of the said solution, the temperature of the said solution, processing time, etc. can be illustrated. Therefore, it should be noted that the alkali treatment is performed by appropriately setting these factors so that more functional groups can be generated while maintaining the smoothness of the film surface as much as possible.

アルカリ処理を過度にやり過ぎると、液晶ポリマーフィルム表面の粗度が大きくなるとともに処理過多により脆弱層が形成され、液晶ポリマーフィルムと無電解めっき層との接着強度が低下するなどの傾向が見られる。また、アルカリ処理を過度に少なくすると、液晶ポリマーフィルム表面に官能基が十分に生成し難くなる傾向が見られる。   If the alkali treatment is excessively performed, the surface roughness of the liquid crystal polymer film increases and a brittle layer is formed due to excessive treatment, and the adhesive strength between the liquid crystal polymer film and the electroless plating layer tends to decrease. In addition, when the alkali treatment is excessively reduced, there is a tendency that functional groups are not easily generated on the surface of the liquid crystal polymer film.

上記アルカリ処理の目安は、アルカリ処理した後における液晶ポリマーフィルム表面の算術平均粗さRが、「1.3」にて上述した範囲内になるようにすると良い。 Estimated the alkali treatment, an arithmetic mean roughness R a of the liquid crystal polymer film surface after providing alkali treatment, it may set to be within the range described above in "1.3."

具体的には、例えば、アルカリ溶液として、アルカリ金属水酸化物、アルカリ土類金属水酸化物を水に溶解した溶液を好適に用いる場合、アルカリ金属水酸化物、アルカリ土類金属水酸化物の濃度としては、好ましい上限値として、8mol/L、7mol/L、6mol/Lなどを例示することができる。一方、これら好ましい上限値と組み合わせ可能な好ましい下限値としては、2mol/L、3mol/L、4mol/Lなどを例示することができる。   Specifically, for example, when an alkali metal hydroxide or a solution in which an alkaline earth metal hydroxide is dissolved in water is preferably used as the alkaline solution, the alkali metal hydroxide or alkaline earth metal hydroxide is used. Examples of the concentration include 8 mol / L, 7 mol / L, 6 mol / L and the like as preferable upper limit values. On the other hand, preferable lower limit values that can be combined with these preferable upper limit values include 2 mol / L, 3 mol / L, 4 mol / L, and the like.

また、溶液温度としては、好ましい上限値として、80℃、75℃、70℃などを例示することができる。一方、これら好ましい上限値と組み合わせ可能な好ましい下限値としては、40℃、45℃、50℃などを例示することができる。   Moreover, as a solution temperature, 80 degreeC, 75 degreeC, 70 degreeC etc. can be illustrated as a preferable upper limit. On the other hand, examples of preferable lower limit values that can be combined with these preferable upper limit values include 40 ° C., 45 ° C., and 50 ° C.

また、処理時間としては、好ましい上限値として、30分、20分、10分などを例示することができる。一方、これら好ましい上限値と組み合わせ可能な好ましい下限値としては、1分、2分、3分などを例示することができる。   Moreover, as processing time, 30 minutes, 20 minutes, 10 minutes etc. can be illustrated as a preferable upper limit. On the other hand, examples of preferable lower limit values that can be combined with these preferable upper limit values include 1 minute, 2 minutes, and 3 minutes.

液晶ポリマーフィルムの表面とアルカリ溶液とを接触させる手法としては、具体的には、例えば、液晶ポリマーフィルムをアルカリ溶液中に浸漬する方法、液晶ポリマーフィルムの表面にアルカリ溶液を噴霧する方法、液晶ポリマーフィルムの表面にアルカリ溶液を塗布する方法など、あらゆる手法を用いることができ、特に限定されるものではない。   Specifically, as a method of bringing the surface of the liquid crystal polymer film into contact with the alkaline solution, for example, a method of immersing the liquid crystal polymer film in the alkaline solution, a method of spraying the alkaline solution on the surface of the liquid crystal polymer film, a liquid crystal polymer Any method such as a method of applying an alkaline solution to the surface of the film can be used, and is not particularly limited.

2.3 第3の工程
本製造方法において、第3の工程は、上記アルカリ処理した液晶ポリマーフィルムの表面に無電解めっき層を形成する工程である。
2.3 Third Step In the manufacturing method, the third step is a step of forming an electroless plating layer on the surface of the alkali-treated liquid crystal polymer film.

無電解めっき層は、例えば、アルカリ処理した液晶ポリマーフィルムの表面に適当な触媒を付与し、適当な還元剤を用いて還元処理した後、「1.2」に上述した無電解めっき層を構成する金属イオンを含んだ無電解めっき浴を用いて無電解めっきを行うなど、常法に従って形成すれば良い。この際、無電解めっきは、分割して行うなどしても良い。   The electroless plating layer is formed, for example, by applying an appropriate catalyst to the surface of the alkali-treated liquid crystal polymer film and reducing it with an appropriate reducing agent, and then forming the electroless plating layer described above in “1.2”. For example, electroless plating may be performed using an electroless plating bath containing metal ions to be formed according to a conventional method. At this time, the electroless plating may be performed separately.

また、無電解めっき層の厚さは、特に限定されるものではなく、回路形状、回路形成時のエッチング性などを考慮して適宜決定すれば良い。   In addition, the thickness of the electroless plating layer is not particularly limited, and may be determined as appropriate in consideration of the circuit shape, etching property at the time of circuit formation, and the like.

2.4 第4の工程
本製造方法において、第4の工程は、上記無電解めっき層の表面に電解めっき層を形成する工程である。
2.4 Fourth Step In this manufacturing method, the fourth step is a step of forming an electrolytic plating layer on the surface of the electroless plating layer.

電解めっき層は、例えば、「1.2」に上述した電解めっき層を構成する金属イオンを含んだ電解めっき浴を用いて電解めっきを行うなど、常法に従って形成すれば良い。この際、電解めっきは、分割して行うなどしても良い。   The electrolytic plating layer may be formed in accordance with a conventional method, for example, by performing electrolytic plating using an electrolytic plating bath containing metal ions constituting the electrolytic plating layer described in “1.2”. At this time, the electrolytic plating may be performed separately.

また、電解めっき層の厚さは、特に限定されるものではなく、回路形状、回路形成時のエッチング性、回路基板の総厚みなどを考慮して適宜決定すれば良い。   Further, the thickness of the electrolytic plating layer is not particularly limited, and may be appropriately determined in consideration of the circuit shape, the etching property when forming the circuit, the total thickness of the circuit board, and the like.

2.5 熱処理
本製造方法では、第3の工程と第4の工程との間、および/または、第4の工程の後に熱処理を行う。この加熱処理により、第2工程のアルカリ処理によりフィルム表面に形成された官能基と無電解めっき層表面とが化学的に結合され、高い接着強度が得られるようになる。
2.5 Heat treatment In this manufacturing method, heat treatment is performed between the third step and the fourth step and / or after the fourth step. By this heat treatment, the functional group formed on the film surface by the alkali treatment in the second step and the electroless plating layer surface are chemically bonded, and high adhesive strength is obtained.

熱処理時の温度範囲は、基本的には、用いる液晶ポリマーの種類により異なる。一般的には、熱処理時の温度の好ましい上限値としては、用いる液晶ポリマーの融点以下の温度を例示することができる。一方、この好ましい上限値と組み合わせ可能な好ましい下限値としては、100℃、150℃、200℃などを例示することができる。   The temperature range during the heat treatment basically varies depending on the type of liquid crystal polymer used. Generally, as a preferable upper limit of the temperature at the time of heat treatment, a temperature not higher than the melting point of the liquid crystal polymer to be used can be exemplified. On the other hand, examples of preferable lower limit values that can be combined with this preferable upper limit value include 100 ° C., 150 ° C., and 200 ° C.

熱処理時の温度が、用いる液晶ポリマーの融点を過度に越えると、液晶ポリマーフィルムが変形し、得られる回路基板の寸法安定性などが低下する傾向が見られる。一方、熱処理時の温度が100℃を下回ると、液晶ポリマーフィルムと無電解めっき層との接着強度が低下し、実用性に乏しくなる傾向が見られる。   If the temperature during the heat treatment exceeds the melting point of the liquid crystal polymer used, the liquid crystal polymer film is deformed, and the dimensional stability of the resulting circuit board tends to decrease. On the other hand, when the temperature at the time of heat treatment is less than 100 ° C., the adhesive strength between the liquid crystal polymer film and the electroless plating layer is lowered, and there is a tendency that the practicality becomes poor.

また、熱処理時の加熱時間としては、好ましい上限値として、24時間、6時間、1時間などを例示することができる。一方、これら好ましい上限値と組み合わせ可能な好ましい下限値としては、5分、10分、15分などを例示することができる。   Moreover, as a heating time at the time of heat processing, 24 hours, 6 hours, 1 hour etc. can be illustrated as a preferable upper limit. On the other hand, examples of preferable lower limit values that can be combined with these preferable upper limit values include 5 minutes, 10 minutes, and 15 minutes.

したがって、本製造方法における熱処理を行うにあたっては、上記に留意し、液晶ポリマーフィルムとめっき層との接着強度が最適な値となるように、加熱温度、加熱時間を適宜組み合わせれば良い。   Therefore, when performing the heat treatment in the present production method, the heating temperature and the heating time may be appropriately combined so that the above is taken into consideration and the adhesive strength between the liquid crystal polymer film and the plating layer becomes an optimum value.

なお、上記熱処理は、酸化雰囲気、不活性ガス置換雰囲気などの何れの雰囲気下で行っても良い。   The heat treatment may be performed in any atmosphere such as an oxidizing atmosphere or an inert gas replacement atmosphere.

また、熱処理方法としては、具体的には、例えば、熱オーブンなどを用いてバッチ式で行う方法、加熱ロール、連続熱処理炉など用いてライン式で行う方法などを例示することができ、特に限定されることなく、種々の手法を適宜選択することが可能である。   Specific examples of the heat treatment method include a batch method using a heat oven or the like, a line method using a heating roll or a continuous heat treatment furnace, and the like. It is possible to select various methods as appropriate.

以下、実施例を用いて本発明を詳細に説明する。   Hereinafter, the present invention will be described in detail using examples.

(実施例1)
初めに、20cm×20cm×25μmの液晶ポリマーフィルム((株)クラレ製、「Vecstar FA」、融点280℃)を、紫外線表面改質装置(センエンジニアリング(株)製、「低圧水銀ランプEUV200WS」)にセットし、液晶ポリマーフィルムの表面を紫外線処理した。この際、紫外線処理の条件は、紫外線主波長184.9nm、253.7nm、紫外線照度20mW/cm、出力200W、処理時間60秒とした。
Example 1
First, a 20 cm × 20 cm × 25 μm liquid crystal polymer film (manufactured by Kuraray Co., Ltd., “Vecstar FA”, melting point 280 ° C.) is applied to an ultraviolet surface reformer (manufactured by Sen Engineering Co., Ltd., “low pressure mercury lamp EUV200WS”). And the surface of the liquid crystal polymer film was subjected to ultraviolet treatment. At this time, the conditions of the ultraviolet treatment were as follows: ultraviolet dominant wavelength 184.9 nm, 253.7 nm, ultraviolet illuminance 20 mW / cm 2 , output 200 W, and treatment time 60 seconds.

また、紫外線処理前後における液晶ポリマーフィルムと水との接触角を、接触角計(協和界面科学(株)製、「接触角計CA−X型」)を用いて測定した。その結果、紫外線処理前の水の接触角は90.3°であり、紫外線処理後の水の接触角は36.6°であった。   Further, the contact angle between the liquid crystal polymer film and water before and after the ultraviolet treatment was measured using a contact angle meter (manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd., “contact angle meter CA-X type”). As a result, the contact angle of water before UV treatment was 90.3 °, and the contact angle of water after UV treatment was 36.6 °.

次いで、紫外線処理した液晶ポリマーフィルムの表面を、5mol/L水酸化カリウム水溶液と50℃にて10分間接触させることにより、アルカリ処理した。   Next, the surface of the liquid crystal polymer film treated with ultraviolet rays was subjected to alkali treatment by contacting with a 5 mol / L potassium hydroxide aqueous solution at 50 ° C. for 10 minutes.

次いで、このアルカリ処理前後における液晶ポリマーフィルム表面の算術平均粗さRを、原子間力顕微鏡(セイコーインスツルメンツ(株)製、「SPI3800N」)を用いて測定した。この際、測定条件は、ばね定数3N/m、走査範囲5μm×5μm角とし、5μm角の対角線(5√2μm長)の粗さ曲線からフィルム表面の算術平均粗さRを求めた。その結果、アルカリ処理前における算術平均粗さRは10.3nm、アルカリ処理後における算術平均粗さRは12.9nmであった。 Then, the arithmetic mean roughness R a of the liquid crystal polymer film surface before and after the alkali treatment, an atomic force microscope (Seiko Instruments Co., Ltd., "SPI3800N") was measured using a. At this time, measurement conditions, the spring constant of 3N / m, scanning range 5 [mu] m × 5 [mu] m Shun Sumi to determine the arithmetical mean roughness R a of the film surface from the roughness curve of the diagonal (5√2Myuemu length) of 5 [mu] m square. As a result, the arithmetic mean roughness R a in the previous alkali treatment 10.3 nm, an arithmetic mean roughness R a after the alkali treatment was 12.9 nm.

次いで、アルカリ処理した液晶ポリマーフィルムの表面に、触媒(奥野製薬工業(株)製、「OPC−50インデューサー」)を40℃で5分間付与した後、還元剤(奥野製薬工業(株)製、「OPC−150クリスター」)を用いて25℃で5分間還元処理した。   Next, a catalyst (Okuno Pharmaceutical Co., Ltd., “OPC-50 inducer”) was applied to the surface of the alkali-treated liquid crystal polymer film at 40 ° C. for 5 minutes, and then a reducing agent (Okuno Pharmaceutical Co., Ltd.). , “OPC-150 Cryster”) at 25 ° C. for 5 minutes.

次いで、アルカリニッケル液(奥野製薬工業(株)製、「TMP−化学ニッケル」)を用いて40℃で6分間無電解Niめっきを行い、液晶ポリマーフィルムの片側表面に厚み0.3μmの無電解Niめっき層を形成した。   Next, electroless Ni plating was performed at 40 ° C. for 6 minutes using an alkaline nickel solution (Okuno Pharmaceutical Co., Ltd., “TMP-chemical nickel”), and an electroless film having a thickness of 0.3 μm was formed on one surface of the liquid crystal polymer film. A Ni plating layer was formed.

次いで、乾燥オーブンを用いて80℃で30分間乾燥させた。   Subsequently, it was dried at 80 ° C. for 30 minutes using a drying oven.

次いで、硫酸銅めっき浴を用いて電流密度2A/dmで50分間電気Cuめっきを行い、無電解Niめっき層の表面に厚み18μmの電解Cuめっき層を形成した。なお、上記硫酸銅めっき浴は、硫酸銅70g/リットル、硫酸200g/リットル、塩素イオン50mg/リットル、光沢剤(奥野製薬工業(株)製、「トップルチナSF」)5g/リットルを混合して調製したものである。 Subsequently, electro Cu plating was performed for 50 minutes at a current density of 2 A / dm 2 using a copper sulfate plating bath to form an electrolytic Cu plating layer having a thickness of 18 μm on the surface of the electroless Ni plating layer. The copper sulfate plating bath is prepared by mixing copper sulfate 70 g / liter, sulfuric acid 200 g / liter, chloride ion 50 mg / liter, brightener (Okuno Pharmaceutical Co., Ltd., “Top Lucina SF”) 5 g / liter. It is a thing.

次いで、空気循環型オーブンを用いて250℃で10分間熱処理を行った。   Next, heat treatment was performed at 250 ° C. for 10 minutes using an air circulation oven.

これにより、液晶ポリマーフィルム(25μm)の片側表面に無電解Niめっき層(0.3μm)、電解Cuめっき層(18μm)がこの順で積層された実施例1に係る回路基板を作製した。   As a result, a circuit board according to Example 1 in which the electroless Ni plating layer (0.3 μm) and the electrolytic Cu plating layer (18 μm) were laminated in this order on one surface of the liquid crystal polymer film (25 μm) was produced.

(比較例1)
上記実施例1において、液晶ポリマーフィルムの表面を紫外線処理しなかった以外は同様にして、比較例1に係る回路基板を作製した。
(Comparative Example 1)
A circuit board according to Comparative Example 1 was produced in the same manner as in Example 1 except that the surface of the liquid crystal polymer film was not subjected to ultraviolet treatment.

(比較例2)
上記実施例1において、熱処理を行わなかった以外は同様にして、比較例2に係る回路基板を作製した。
(Comparative Example 2)
A circuit board according to Comparative Example 2 was produced in the same manner as in Example 1 except that heat treatment was not performed.

(接着試験)
次に、得られた実施例および比較例に係る回路基板を用いて、180°ピール強度の測定を行った。
(Adhesion test)
Next, 180 ° peel strength was measured using the circuit boards according to the obtained Examples and Comparative Examples.

すなわち、各回路基板を1cm幅に切り出した試料を用い、JIS C5016に準拠して、引張試験機(引張速度50mm/分)にてめっき層(電解Cuめっき層および無電解Niめっき層)を180℃はく離し、180°ピール強度を測定した。   That is, using a sample obtained by cutting each circuit board into a width of 1 cm, the plating layers (electrolytic Cu plating layer and electroless Ni plating layer) were 180 by a tensile tester (tensile speed 50 mm / min) in accordance with JIS C5016. The peel was carried out and the 180 ° peel strength was measured.

また、各回路基板を150℃で7日間オーブン加熱した後、同様にして、180℃ピール強度を測定した。その結果を表1に示す。   Each circuit board was oven-heated at 150 ° C. for 7 days, and the 180 ° C. peel strength was measured in the same manner. The results are shown in Table 1.

表1によれば、比較例1に係る回路基板は、初期の180℃ピール強度が6N/cmを下回り、初期の接着力が低いことが分かる。これは、アルカリ処理の前に予め紫外線により表面改質しなかったため、液晶ポリマーフィルム表面の濡れ性が悪く、アルカリ処理が均一に行われなかったためであると推察される。   According to Table 1, it can be seen that the circuit board according to Comparative Example 1 has an initial 180 ° C. peel strength of less than 6 N / cm and a low initial adhesive strength. This is presumably because the surface of the liquid crystal polymer film was poor in wettability because the surface was not modified beforehand by ultraviolet rays before the alkali treatment, and the alkali treatment was not performed uniformly.

また、比較例2に係る回路基板は、比較例1に係る回路基板に比較して、著しく初期の接着力が低いことが分かる。これは、熱処理を行わなかったため、フィルム表面と無電解Niめっき層との界面における官能基が増加せず、強固な化学的結合が形成されなかったためであると推察される。   In addition, it can be seen that the circuit board according to Comparative Example 2 has significantly lower initial adhesive force than the circuit board according to Comparative Example 1. This is presumably because the heat treatment was not performed, so the functional groups at the interface between the film surface and the electroless Ni plating layer did not increase, and a strong chemical bond was not formed.

これらに対して、実施例1に係る回路基板は、図1に示すように、液晶ポリマーフィルムの表面が、従来に比較して非常に平滑であるにも係わらず、初期の180℃ピール強度が6N/cmを大きく上回り、初期接着力に優れていることが分かる。   On the other hand, as shown in FIG. 1, the circuit board according to Example 1 has an initial 180 ° C. peel strength despite the fact that the surface of the liquid crystal polymer film is very smooth compared to the conventional case. It can be seen that it greatly exceeds 6 N / cm and is excellent in initial adhesive strength.

したがって、実施例1に係る回路基板は、微細回路の形成性に優れ、また、高い接着信頼性を有していることが分かる。   Therefore, it can be seen that the circuit board according to Example 1 is excellent in the formation of a fine circuit and has high adhesion reliability.

しかも、実施例1に係る回路基板は、表1に示すように、比較例に係る回路基板に比較して、熱老化後においても初期の180°ピール強度を維持できており、長期に亘って高い接着信頼性を発揮できることが分かる。   Moreover, as shown in Table 1, the circuit board according to Example 1 is capable of maintaining the initial 180 ° peel strength even after heat aging as compared with the circuit board according to the comparative example. It can be seen that high adhesion reliability can be exhibited.

以上、本発明について説明したが、本発明は、上記実施形態、実施例に何ら限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の改変が可能である。   Although the present invention has been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments and examples, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.

本実施例に係る回路基板の切断面を示す透過型電子顕微鏡写真である。It is a transmission electron micrograph which shows the cut surface of the circuit board based on a present Example.

Claims (3)

液晶ポリマーフィルムの少なくとも一方面に無電解めっき層、電解めっき層がこの順で積層され、前記液晶ポリマーフィルム表面の算術平均粗さRが30nm以下であり、前記めっき層の180°ピール強度が6N/cm以上あることを特徴とする回路基板。 Electroless plating layer on at least one surface of the liquid crystal polymer film, the electroless plating layer are laminated in this order, the arithmetic mean roughness R a of the liquid crystal polymer film surface is at 30nm or less, 180 ° peel strength of the plating layer is A circuit board characterized by being 6 N / cm or more. 液晶ポリマーフィルムの少なくとも一方面を、液体との接触角が低下するように表面改質する第1の工程と、
前記表面改質した液晶ポリマーフィルムの表面をアルカリ溶液と接触させ、前記フィルム表面が粗化されない範囲内でアルカリ処理する第2の工程と、
前記アルカリ処理した液晶ポリマーフィルムの表面に無電解めっき層を形成する第3の工程と、
前記無電解めっき層の表面に電解めっき層を形成する第4の工程とを有し、
前記第3の工程と前記第4の工程との間、および/または、前記第4の工程の後に、前記液晶ポリマーの融点以下の温度で5分間〜24時間熱処理を行うことを特徴とする回路基板の製造方法。
A first step of surface-modifying at least one surface of the liquid crystal polymer film so that a contact angle with the liquid is reduced;
A second step in which the surface of the surface-modified liquid crystal polymer film is brought into contact with an alkali solution and subjected to an alkali treatment within a range in which the film surface is not roughened;
A third step of forming an electroless plating layer on the surface of the alkali-treated liquid crystal polymer film;
A fourth step of forming an electrolytic plating layer on the surface of the electroless plating layer,
A circuit wherein heat treatment is performed between the third step and the fourth step and / or after the fourth step at a temperature not higher than the melting point of the liquid crystal polymer for 5 minutes to 24 hours. A method for manufacturing a substrate.
前記第2の工程におけるアルカリ処理後の液晶ポリマーフィルム表面の算術平均粗さRは、30nm以下であることを特徴とする請求項2に記載の回路基板の製造方法。 The arithmetic mean roughness R a of the liquid crystal polymer film surface of the alkali treatment after the second step, the manufacturing method of the circuit board according to claim 2, characterized in that at 30nm or less.
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