JP2006339442A - 半導体ウエハ移替装置 - Google Patents

Abstract

【課題】カセットとウエハガイドとの間でウエハを移し替える際におけるウエハの欠けや割れ、異物発生を未然に防止することができる半導体ウエハ移替装置を得ること。
【解決手段】ウエハ１１を収容するカセット１２を載置するカセット載置台２０と、カセット載置台２０に対向して配置され、カセット１２内のウエハ１１を保持するウエハガイド３０と、ウエハ１１を移動させる押上げクシバ４１と、押上げクシバ４１をカセット１２とウエハガイド３０との間で移動させるアクチュエータ４３と、押上げクシバ４１にかかる荷重を検出する荷重センサ４４と、荷重センサ４４によって検出された荷重が、ウエハ１１に損傷を生じさせる所定値以上か否かを判定する荷重表示判定部４５と、荷重表示判定部４５によって押上げクシバ４１にかかる荷重が所定値以上の場合にアクチュエータ４３を停止させる制御部４６と、を備える。
【選択図】 図１

Description

この発明は、ウエハカセットに対する半導体ウエハの移し替えを行う半導体ウエハ移替装置に関するものである。

図４は、従来の半導体ウエハ移替装置の概略構成を模式的に示す正面図である。この半導体ウエハ移替装置は、ウエハ１１１を収納するカセット１１２が載置されるカセット載置台１２０と、カセット載置台１２０上のカセット１１２内のウエハ１１１を一時的に保持するウエハガイド１３０と、カセット１１２からウエハガイド１３０にウエハを移し替えるウエハ移替機構部１４０と、を備える。なお、カセット１１２とウエハガイド１３０は、紙面に垂直方向に複数枚のウエハ１１１を同時に保持することができる構造となっている。

ウエハ移替機構部１４０は、カセット１１２内のウエハ１１１をウエハガイド１３０へと押し上げるための押上げクシバ１４１と、ロッド１４２を介して押上げクシバ１４１を昇降させるためのエアシリンダ１４３と、押上げクシバ１４１にかかる負荷を検出する負荷検出部１４４とから構成される。この負荷検出部１４４は、ロッド１４２中に設けた下部支持板１４５と上部支持板１４６をスプリング１４７で接続し、下部支持板１４５にフォトセンサ１４８を設け、上部支持板１４６にセンサドグ１４９を設けて構成される。

このような構成の半導体ウエハ移替装置の動作について説明する。最初に正常時の動作について説明する。まず、ウエハ１１１が収納されたカセット１１２をカセット載置台１２０の所定の位置に載置した後、エアシリンダ１４３によって押上げクシバ１４１が上方に移動される。押上げクシバ１４１の上昇に伴って、押上げクシバ１４１に形成されたウエハ１１１を保持するための溝には、カセット１１２内のウエハ１１１の下部のエッジ部が嵌り、ウエハ１１１がカセット１１２から上方のウエハガイド１３０まで移動する。ウエハ１１１がウエハガイド１３０の所定の位置まで移動すると、エアシリンダ１４３は押上げクシバ１４１の移動を停止し、ウエハガイド１３０がウエハ１１１をチャッキングする。ウエハガイド１３０へウエハ１１１をチャッキングした後、カセット載置台１２０上のカセット１１２を別のカセット１１２に移し替え、カセット載置台１２０上の所定の位置に載置する。カセット１１２が入れ替えられると、押上げクシバ１４１が上昇してウエハ１１１の下部のエッジ部と押上げクシバ１４１の溝の位置とが合致した後、ウエハガイド１３０のチャッキングが解除され、ウエハ１１１が押上げクシバ１４１に保持される状態となる。エアシリンダ１４３は、このウエハ１１１を載せた押上げクシバ１４１を下降させることによって、カセット１１２にウエハ１１１が収納され、ウエハ１１１をカセット１１２へ移し替える処理が終了する。

図５−１は、ロッド中に設けられた負荷検出部の正常時の状態を示す図である。カセットやチャックに変形がない場合には、この図５−１に示されるように、押上げクシバの昇降動作に伴う負荷が押上げクシバにかかることはない。つまり、スプリング１４７が過度に収縮することはない。そのため、フォトセンサ１４８とセンサドグ１４９とが所定の距離を保った状態にあり、フォトセンサ１４８は異常を示さないＯＦＦ状態となっている。

つぎに、異常時の動作について説明する。図５−２は、ロッド中に設けられた負荷検出部の異常時の状態を示す図である。半導体ウエハ移替装置を長期に使用していると、カセットが変形したり、ウエハガイドのチャックが磨耗したりするなどの現象によって、ウエハの移し替え時に引掛かりなどが発生する。その結果、ウエハの移し替え時にウエハの割れや異物発生の原因となる擦れが生じ、エアシリンダと押上げクシバとの間に所定値以上の力が加わる。この場合、図５−２に示されるように、所定値以上の力によって、スプリングが所定の量以上収縮し、上部支持板１４６のセンサドグ１４９が下部支持板１４５のフォトセンサ１４８に重なるような状態となり、フォトセンサ１４８がセンサドグ１４９を検知して、過負荷異常を示すＯＮ状態となる。これにより、押上げクシバを上昇させるエアシリンダの駆動が停止され、押上げクシバを下降させる。

しかしながら、上記従来のフォトセンサ１４８を過負荷状態の検出に用いる場合には、ウエハ１１１の割れや異物発生の原因となる擦れが生じる位置を検出するために、スプリング１４７の弾性を考慮しながら、下部支持板１４５のフォトセンサ１４８と上部支持板１４６のセンサドグ１４９とが重なるように調整する必要があるために、その調整方法が困難であった。そのため、実際には、ウエハ１１１を割ってから過負荷状態を検出してしまったり、ウエハ１１１とウエハガイド１３０との間の擦れにより異物の発生を検知できなかったりするなど過負荷状態の検知精度が極めて悪いという問題点があった。

この発明は、上記に鑑みてなされたもので、カセットとウエハガイドとの間でウエハを移し替える際におけるウエハの欠けや割れ、異物発生を未然に防止することができる半導体ウエハ移替装置を得ることを目的とする。

上記目的を達成するため、この発明にかかる半導体ウエハ移替装置は、ウエハを収容するカセットを載置するカセット載置台と、前記カセット載置台に対向して配置され、前記カセット内のウエハを保持するウエハガイドと、前記カセット載置台に載置されるカセットと前記ウエハガイドとの間でウエハを移動させるウエハ移動手段と、前記ウエハ移動手段を前記カセットと前記ウエハガイドとの間で移動させる駆動手段と、前記ウエハ移動手段にかかる荷重を検出する荷重検出手段と、前記荷重検出手段によって検出された荷重が、前記ウエハに損傷を生じさせる所定値以上か否かを判定する荷重判定手段と、前記荷重判定手段によって前記ウエハ移動手段にかかる荷重が所定値以上の場合に前記駆動手段を停止させる制御手段と、を備えることを特徴とする。

この発明によれば、荷重検出手段で検知した値からウエハに何らかの影響を与える範囲の押上げ力がかかっているか否かを定量的に判断することができ、ウエハに対する精度の高い調整を行うことができる。これにより、ウエハ移動手段にかかる荷重を検出するだけで、ウエハに悪影響を及ぼす荷重であるか否かを判断して、ウエハへの影響を未然に防ぐことができるという効果を有する。

以下に添付図面を参照して、この発明にかかる半導体ウエハ移替装置の好適な実施の形態を詳細に説明する。

実施の形態１．
図１は、この発明にかかる半導体ウエハ移替装置の実施の形態１の概略構成を模式的に示す図であり、図２は、押上げクシバの押上げ距離と押上げ力との関係を示す図である。図１に示されるように、この半導体ウエハ移替装置は、ウエハ１１を一時的に収納するカセット１２が載置されるカセット載置台２０と、カセット載置台２０上のカセット１２内のウエハ１１を一時的に保持するウエハガイド３０と、カセット１２とウエハガイド３０との間でウエハ１１を保持する押上げクシバ４１と、押上げクシバ４１を支持しアクチュエータ４３による駆動力を押上げクシバ４１に伝えるロッド４２と、押上げクシバ４１の昇降動作を行うエアシリンダやモータなどのアクチュエータ４３と、押上げクシバ４１にかかる負荷（トルクまたは圧力）を検出する歪ゲージやＡＥ（Acoustic Emission）センサなどの荷重センサ４４と、荷重センサ４４によって検出される値が所定値以下か否かを判定するデジタルメータリレーなどの荷重表示判定部４５と、荷重表示判定部４５によって所定値よりも大きい荷重と判定された場合にアクチュエータ４３の動作を制御するプログラマブルコントローラなどの制御部４６と、を備える。なお、カセット１２、ウエハガイド３０および押上げクシバ４１は、紙面に垂直方向に複数枚のウエハ１１を同時に保持することができる構成となっている。また、ここでは、ウエハガイド３０は、押上げクシバ４１から送られるウエハ１１のエッジ部分をチャッキングして保持する構成となっているものとする。このような構成の半導体ウエハ移替装置において、押上げクシバ４１は特許請求の範囲におけるウエハ移動手段に相当し、アクチュエータ４３は同じく駆動手段に相当し、荷重センサ４４は同じく荷重検出手段に相当し、荷重表示判定部４５は同じく荷重判定手段に相当する。

ここで、制御部４６によるアクチュエータ４３の制御処理について説明する。カセット１２からウエハガイド３０へ押上げクシバ４１に余計な負荷がかからない状態でウエハ１１を移し替えることができる正常な状態の場合には、図２の点線で示されるように、所定の押上げ距離までは押上げ力は増加するが、所定の押上げ距離を過ぎるとほとんど押上げ力は増加しなくなる傾向を示す。一方、カセット１２からウエハガイド３０へ押上げクシバ４１に余計な負荷がかかった状態でウエハ１１を移し替える異常な状態の場合には、実線で示されるように、曲線の傾きは変わるが、点線の場合のように押上げ力が飽和することがなく、押上げ距離とともに押上げ力が上昇していく傾向にある。この実線において、実際にウエハ１１がウエハガイド３０に擦れて異物が発生する領域や、ウエハ１１が割れる領域を予め実験によって求めることができる。このように、荷重センサ４４を設けて予め押上げ距離と押上げ力との間の関係を定量化することができ、ウエハ１１の割れる領域の他に擦れなどによる異物の発生する領域などを細かく設定することができるようになる。つまり、どの時点で異常と判定するのかを適宜定めることが可能になる。その結果、制御部４６は荷重表示判定部４５から得られる情報に基づいて、アクチュエータ４３の動作を制御することが可能となる。

荷重表示判定部４５では、この図２に示される押上げ距離と押上げ力との間の関係を使用することで、荷重センサ４４から出力される結果を表示するとともに、押上げクシバ４１にかかる負荷が、正常な範囲内のものであるのか、異常であるのかを判定する。たとえば、異物領域となる領域で正常か異常かを判定する基準値とすると、図中のＦ₀が基準値となる。この場合、荷重表示判定部４５では、荷重センサ４４から出力される結果がＦ₀よりも小さい場合には、正常であるとして、その荷重センサ４４からの出力値を表示するだけである。また、荷重センサ４４から出力される結果がＦ₀以上である場合には、異常であるとして、その荷重センサ４４からの出力値を表示するとともに、異常である旨を示す信号（異常情報）を制御部４６に出力する。制御部４６は、荷重表示判定部４５からの異常情報を取得すると、アクチュエータ４３の現在の駆動状態を停止させる。そして、所定の動作を実行させるように制御する。なお、荷重表示判定部４５で荷重センサ４４から出力される結果を表示することによって、半導体ウエハ移替装置の使用者に押上げクシバ４１にかかる負荷の状態をリアルタイムに表示させることができ、その結果、使用者の判断によっても駆動状態を変更することが可能となる。

つぎに、このような構成を有する半導体ウエハ移替装置の動作について説明する。最初に正常時の動作について説明する。まず、ウエハ１１が収納されたカセット１２をカセット載置台２０の所定の位置に載置した後、制御部４６は押上げクシバ４１を上方に移動させるようにアクチュエータ４３を制御する。押上げクシバ４１の上昇に伴って、押上げクシバ４１に形成されたウエハ１１を保持するための溝には、カセット１２内のウエハ１１の下部のエッジ部が嵌り、ウエハ１１がカセット１２から上方のウエハガイド３０まで移動する。

カセット１２と押上げクシバ４１とウエハガイド３０との位置が正常な関係にある場合には、ウエハ１１が途中で引掛かることなくウエハガイド３０内に納まる。そして、ウエハ１１がウエハガイド３０内の所定の位置まで移動すると、制御部４６はアクチュエータ４３の駆動状態を停止させ、押上げクシバ４１の移動を停止させる。この状態で、ウエハガイド３０がウエハ１１をチャッキングする。なお、このとき押上げクシバ４１にかかる負荷は図２の点線で示されるものとなる。そのため、荷重表示判定部４５では、荷重センサ４４によって計測される荷重（押上げ力）は異常と判定される基準値Ｆ₀よりも小さいものとなるので、押上げクシバ４１にかかる負荷は正常なものであると判定し、荷重（押上げ力）を表示し、制御部４６には異常情報を出力しない。その結果、制御部４６は、通常の動作を行うようにアクチュエータ４３に指示を出す。その後、カセット載置台２０上のカセット１２を別のカセット１２に移し替えてカセット載置台２０上の所定の位置に載置する。

カセット１２が入れ替えられると、押上げクシバ４１が上昇してウエハ１１の下部と押上げクシバ４１の溝の位置とが合致した後、ウエハガイド３０のチャッキングが解除され、ウエハ１１が押上げクシバ４１に保持される状態となる。その後、アクチュエータ４３は、このウエハ１１を載せた押上げクシバ４１を下降させることによって、カセット１２にウエハ１１を収納させる。この場合にも、押上げクシバ４１にかかる負荷は、図示しない所定の押上げ距離−押上げ力情報に基づいて変化し、荷重表示判定部４５では正常範囲内の荷重であると判定し、荷重を表示し、制御部４６には異常情報を出力しない状態にある。その結果、制御部４６は、通常の動作を行うようにアクチュエータ４３に対して指示を出す。以上により、半導体ウエハをカセット１２へ移し替える処理が終了する。

つぎに、半導体ウエハの移し替え時に、異常が発生したときの手順について説明する。たとえば、押上げクシバ４１によるウエハ１１の押上げ時にウエハガイド３０とカセット１２との間に位置ずれなどが生じ、押上げクシバ４１に負荷がかかって、荷重センサ４４からの計測値が基準値Ｆ₀よりも大きくなると、荷重表示判定部４５は、異常情報を制御部４６に出力する。制御部４６は、異常情報を受取ると、アクチュエータ４３へ停止信号を出力し、押上げクシバ４１の上昇を停止させる。ここでは、異物が発生し始める限界の値Ｆ₀で押上げクシバ４１にかかる負荷が異常か否かを判定しているので、ウエハ１１が擦れることによって異物が発生する状態を防止することができる。その結果、押上げクシバ４１にかかる負荷の原因を、速やかに取り除くことが可能となる。

なお、ウエハガイド３０からカセット１２にウエハ１１を移し替える際に、押上げクシバ４１に負荷がかからなくなった場合には、ウエハ１１がウエハガイド３０に引掛かるような状態にあるものとして、荷重表示判定部４５は異常情報を制御部４６に出力させるようにし、制御部４６によってアクチュエータ４３の動作を停止させるようにしてもよい。

また、図１は、半導体ウエハ移替装置の正面図を示すものであるが、この図１が半導体ウエハ移替装置の側面図であってもよいし、上面図であってもよい。さらに、上記の図において、カセット載置台２０に載置されるカセット１２は、紙面に垂直方向に移動させることによって、交換を行うものであるが、紙面に垂直な方向と紙面の上下方向に突き上げ機構を有する固定されたカセット載置台２０があり、ウエハガイド３０がウエハ１１を保持したまま各カセット１２間を移動するような構成を有していてもよい。

この実施の形態１によれば、荷重センサ４４で検知した値からウエハ１１に何らかの影響を与える範囲の押上げ力がかかっているか否かを定量的に判断することができ、ウエハ１１に対する精度の高い調整を行うことができるという効果を有する。これにより、従来では、ウエハ１１にかかる負荷の検出を、フォトセンサとセンサドグとこれらを載置する支持板を結ぶスプリングの弾性とによって調整する困難な作業が必要であり、その上検出制度が悪かったが、押上げクシバ４１にかかる荷重を検出するだけで、ウエハ１１に悪影響を及ぼす荷重であるか否かを判断して、ウエハ１１への影響を未然に防ぐことができるという効果を有する。

実施の形態２．
実施の形態１では、ウエハガイドは、押上げクシバから送られるウエハのエッジ部分をチャック機構で保持する構造を有していたが、ウエハガイドの構造はこれに限定されるものではない。この実施の形態２では、実施の形態１とは異なる構造のウエハガイドについて説明する。

図３−１は、ウエハガイドの構成の一例を示す正面図であり、図３−２は、図３−１のウエハガイドの構成の一例を示す上面図である。この例では、ウエハガイド３０の一端は支持部材３１に軸支され、その軸３５を中心にしてウエハガイド３０が回転可能な構成となっている。この場合、ウエハガイド３０は、棒状の２本のチャック部材３３の上下両端を固定部材３２で固定した構成を有している。２本のチャック部材３３のウエハ１１を保持する側面部には、ウエハ１１を保持するための溝３４が所定の間隔で形成されており、この溝３４でカセットからのウエハ１１のエッジ部を、カセットに収納されていた所定の間隔のまま保持することができるようになっている。

また、これらの図では、ウエハガイド３０は、支持部材３１に埋め込まれたアクチュエータ３６によって、軸支されている部分を中心に回転可能な構成となっている。たとえば、ウエハガイド３０にウエハ１１が収容されていない状態の場合には、アクチュエータ３６は、ウエハガイド３０を図３−１中の矢印ａの方向に回転させて、ウエハ１１がウエハガイド３０に当たることなく受け入れ可能な角度に開いた状態にする。一方、ウエハ１１がウエハガイド３０の位置まで押上げクシバによって運ばれた場合には、アクチュエータ３６は、ウエハガイド３０を図中矢印ｂの方向に回転させて、図３−１に示されるようにウエハ１１のエッジ部分をチャック部材３３の溝３４で保持することができる角度にする。

このような構成のウエハガイド３０の場合、支持部材３１と軸３５で固定された位置を中心にしてウエハガイド３０が開閉する構成となっているので、ウエハガイド３０に実施の形態１のように荷重センサを設けるようにしてもよい。これにより、ウエハガイド３０がウエハ１１を保持するために閉動作を行うときや、逆にウエハガイド３０がウエハ１１を解放するために開動作を行うときに、ウエハ１１がウエハガイド３０のチャック部材３３の溝３４に嵌らないでウエハガイド３０に負荷がかかったことを検出することができる。この場合にも、実施の形態１と同様にしてウエハガイド３０の回転角度とウエハガイド３０にかかる荷重との間の関係を予め求め、さらにウエハ１１が損傷する位置を求めておくことで、ウエハ１１が損傷する前にウエハガイド３０とウエハ１１との間の位置関係の異常を検知することができ、ウエハガイド３０の動作を止めることが可能になる。

なお、この実施の形態２における半導体ウエハ移替装置の構成は、荷重表示判定部４５は、ウエハガイド３０の支持部材３１に組み込まれた荷重センサの計測値を用いて、ウエハガイド３０にかかる荷重が正常であるか否かを判定し、制御部４６はその結果に基づいてウエハガイド３０の支持部材３１に組み込まれたアクチュエータ３６を制御する点を除いて、実施の形態１と同一の構成であるものとする。

つぎに、このようなウエハガイドを有する半導体ウエハ移替装置の動作について説明する。ウエハ１１がウエハガイド３０の所定の位置まで移動すると、アクチュエータ４３は押上げクシバ４１の上昇動作を停止させる。その後、支持部材３１に組み込まれたアクチュエータ３６によってウエハガイド３０が開いた状態からウエハ１１を保持するように閉じた状態へと駆動される。このウエハガイド３０の閉じる動作によって、押上げクシバ４１に保持されているウエハ１１のエッジ部分がチャック部材３３に形成された溝３４に嵌り、ウエハガイド３０によって保持される状態となる。なお、このときウエハガイド３０にかかる負荷は正常のものであり、荷重表示判定部４５では、ウエハガイド３０に取り付けられた荷重センサによって計測される荷重は異常と判定される基準値よりも小さいものとなるので、ウエハガイド３０にかかる負荷は正常なものであると判定し、制御部４６には異常情報を出力しない。その結果、制御部４６は、通常のウエハ１１の保持動作を行うようにアクチュエータ３６に指示を出す。その後、カセット載置台２０上のカセット１２を移し替え、別のカセット１２をカセット載置台２０上の所定の位置に載置する。

カセット１２が入れ替えられると、押上げクシバ４１が上昇し、ウエハ１１の下部と押上げクシバ４１の溝の位置とが合致した後、ウエハガイド３０のチャッキングが解除され、ウエハ１１が押上げクシバ４１に保持される状態となる。このとき、支持部材３１に組み込まれたアクチュエータ３６によってウエハガイド３０が閉じた状態から開いた状態へと駆動される。このウエハガイド３０の開く動作によって、ウエハガイド３０の溝３４からウエハ１１のエッジ部分が解放され、押上げクシバ４１にのみ保持される状態となる。この場合にも、ウエハガイド３０にかかる負荷は正常のものであり、荷重表示判定部４５では正常範囲内の荷重であると判定し、制御部４６には異常を示す信号を出力しない状態にある。その結果、制御部４６は、通常のウエハ１１の解放動作を行うようにアクチュエータ３６に対して指示を出す。その後、押上げクシバ４１を駆動するアクチュエータ４３は、このウエハ１１を載せた押上げクシバ４１を下降させることによって、カセット１２にウエハ１１を収納させる。以上により、正常時における半導体ウエハをカセットへ移し替える処理が終了する。

つぎに、半導体ウエハの移し替え時に、異常が発生したときの手順について説明する。たとえば、押上げクシバ４１によるウエハ１１の押上げ時にウエハガイド３０とカセット１２との間に位置ずれなどが生じ、ウエハガイド３０がウエハ１１を保持しようと閉動作を行っているときにウエハガイド３０に負荷がかかり、荷重センサからの計測値が基準値よりも大きくなると、荷重表示判定部４５は異常情報を制御部４６に出力する。制御部４６は、異常情報を受取ると、ウエハガイド３０を駆動するアクチュエータ３６へ停止信号を出力し、ウエハガイド３０の駆動を停止させる。たとえば、異物が発生する限界の値でウエハガイド３０にかかる負荷が異常か否かを判定している場合には、ウエハ１１が擦れることによって異物が発生する状態を防止することができる。その結果、ウエハガイド３０にかかる負荷の原因を速やかに取り除くことが可能となる。

この実施の形態２によれば、一端を支持部材３１に軸支させ、この軸３５を中心にしてアクチュエータ３６で回転可能に構成したウエハガイド３０に、荷重センサを設け、その検出値によってウエハガイド３０の支持部材３１に対する角度を制御するようにしたので、ウエハ１１とウエハガイド３０の位置にずれが生じて、ウエハガイド３０に何らかの損傷が発生してしまうことを未然に防ぐことができるという効果を有する。

以上のように、この発明にかかる半導体ウエハ移替装置は、あるカセットに収納されているウエハを一時的にウエハガイドに保持させて、別のカセットに収納する場合に有用である。

この発明にかかる半導体ウエハ移替装置の実施の形態１の概略構成を模式的に示す図である。 押上げクシバの押上げ距離と押上げ力との関係を示す図である。 ウエハガイドの構成の一例を示す正面図である。 図３−１のウエハガイドの構成の一例を示す上面図である。 従来の半導体ウエハ移替装置の概略構成を模式的に示す正面図である。 ロッド中に設けられた負荷検出部の正常時の状態を示す図である。 ロッド中に設けられた負荷検出部の異常時の状態を示す図である。

符号の説明

１１ ウエハ
１２ カセット
２０ カセット載置台
３０ ウエハガイド
３１ 支持部材
３２ 固定部材
３３ チャック部材
３４ 溝
３５ 軸
３６ アクチュエータ
４１ 押上げクシバ
４２ ロッド
４３ アクチュエータ
４４ 荷重センサ
４５ 荷重表示判定部
４６ 制御部

Claims (6)

1. ウエハを収容するカセットを載置するカセット載置台と、
   前記カセット載置台に対向して配置され、前記カセット内のウエハを保持するウエハガイドと、
   前記カセット載置台に載置されるカセットと前記ウエハガイドとの間でウエハを移動させるウエハ移動手段と、
   前記ウエハ移動手段を前記カセットと前記ウエハガイドとの間で移動させる駆動手段と、
   前記ウエハ移動手段にかかる荷重を検出する荷重検出手段と、
   前記荷重検出手段によって検出された荷重が、前記ウエハに損傷を生じさせる所定値以上か否かを判定する荷重判定手段と、
   前記荷重判定手段によって前記ウエハ移動手段にかかる荷重が所定値以上の場合に前記駆動手段を停止させる制御手段と、
   を備えることを特徴とする半導体ウエハ移替装置。
2. 前記荷重判定手段は、前記荷重検出手段によって検出された荷重の値を表示する機能をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の半導体ウエハ移替装置。
3. 前記荷重判定手段は、前記ウエハ移動手段が前記ウエハガイドから前記ウエハを保持して前記カセットへと移動する場合に、前記荷重検出手段によって検出された荷重がなくなると、異常と判定することを特徴とする請求項１に記載の半導体ウエハ移替装置。
4. 前記荷重判定手段は、前記ウエハ移動手段の移動量と荷重との間の関係を示す移動量−荷重情報に基づいて、前記ウエハにかかる荷重が異常であるか否かを判定する請求項１〜３のいずれか１つに記載の半導体ウエハ移替装置。
5. 前記荷重検出手段は、前記ウエハ移動手段のウエハ移動時に発生する引掛かりによる振動を検地するＡＥセンサであることを特徴とする請求項１に記載の半導体ウエハ移替装置。
6. ウエハを収容するカセットを載置するカセット載置台と、前記カセット載置台に対向して配置され、前記カセット内のウエハを保持するウエハガイドと、前記カセット載置台に載置されるカセットと前記ウエハガイドとの間でウエハを移動させるウエハ移動手段と、を有し、前記カセットに収容されるウエハを他のカセットに移し替える半導体ウエハ移替装置において、
   前記ウエハガイドは、ウエハを保持可能に形成された溝を有する複数の棒状のチャック部材と、前記チャック部材の上下の端部を固定する固定部材とから構成され、
   前記ウエハガイドを、軸を介して支持する支持部材と、
   前記ウエハガイドを、前記軸を中心にして、前記ウエハの保持または解放を行うために回転させる駆動手段と、
   前記ウエハガイドにかかる荷重を検出する荷重検出手段と、
   前記荷重検出手段によって検出された荷重が、前記ウエハに損傷を生じさせる所定値以上か否かを判定する荷重判定手段と、
   前記荷重判定手段によって前記ウエハ移動手段にかかる荷重が所定値以上の場合に前記駆動手段を停止させる制御手段と、
   を備えることを特徴とする半導体ウエハ移替装置。

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