JP2006336031A - 硫酸銅メッキ浴及びそのメッキ浴を使用したメッキ方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 絶縁基板上への金属薄膜形成の際に生じるピンホールを効果的に穴埋めできる硫酸銅メッキ浴及びそれを使用したメッキ方法を提供する。
【解決手段】 硫酸銅メッキ浴における組成物の内、硫酸/硫酸銅5水和物の重量比率が0.1以下で、そのメッキ液のPHが4.5以下であることを特徴としており、また、その硫酸銅メッキ浴を使用して、絶縁基板上に形成された厚さ1μm以下の金属薄膜上又はその金属薄膜上に、感光性樹脂により形成されたパターン状に銅メッキを行うことで前記金属薄膜上に生じるピンホールを効果的に潰す、つまり、穴埋めすることができるメッキ方法である。
【選択図】なし
【解決手段】 硫酸銅メッキ浴における組成物の内、硫酸/硫酸銅5水和物の重量比率が0.1以下で、そのメッキ液のPHが4.5以下であることを特徴としており、また、その硫酸銅メッキ浴を使用して、絶縁基板上に形成された厚さ1μm以下の金属薄膜上又はその金属薄膜上に、感光性樹脂により形成されたパターン状に銅メッキを行うことで前記金属薄膜上に生じるピンホールを効果的に潰す、つまり、穴埋めすることができるメッキ方法である。
【選択図】なし
Description
本発明は、硫酸銅メッキ浴及びそのメッキ浴を使用して絶縁基板上に形成された金属薄膜上へメッキを行うメッキ方法に関する。
周知のように、硫酸銅メッキ浴はプリント配線板のスルーホールメッキ、装飾メッキの下地処理用として従来から用いられ、最近においては半導体ウエハーの超微細配線形成のダマシンメッキ用として、微細で高アスペクト部分へのメッキ形成のための添加剤の開発が進められている。
このような用途に用いられるメッキ浴は、例えば、特許文献1にも記載されているように、硫酸銅5水和物/硫酸/添加剤の系に必要に応じて塩素イオンを有する塩酸、塩化ナトリウムを添加した組成物からなっている。なかでも、硫酸を添加するとメッキ浴のイオンの移動がスムースになるので、メッキ時に必要な電流を低電圧で流す事が可能となる。
従って、通常のメッキでは硫酸を添加することは硫酸銅メッキに極めて有効であり、硫酸銅メッキ浴の硫酸/硫酸銅5水和物の重量比率は0.3〜3程度で建浴されている。
ところで、絶縁基板上にメッキ用の電極としてスパッタリング等の方法で金属薄膜を形成する際、金属薄膜が存在しないか、金属薄膜が非常に薄くなってピンホールと称される部分が生じ、これを皆無にすることは非常に困難である。このようなピンホールが存在すると、形成される配線が大きい間は余り問題にならないが、配線が微細になってきたときに配線の断線の原因となり問題となっていた。
本発明の目的は、絶縁基板上への金属薄膜の形成の際に生じるピンホールを効果的に潰す硫酸銅メッキ浴について鋭意検討した結果、従来から周知である硫酸の添加を実質的にしないか、あるいは、従来からの添加量に比べて微量に添加すればよいことを見出したことにより、その硫酸銅メッキ浴及びそれを使用したメッキ方法を提供することである。
上述の課題を解決するため本発明は、硫酸銅メッキ浴における組成物の内、硫酸/硫酸銅5水和物の重量比率が0.1以下で、そのメッキ液のPHが4.5以下である硫酸銅メッキ浴を特徴としており、また、その硫酸銅メッキ浴を使用して、絶縁基板上に形成された金属薄膜上又はその金属薄膜上に形成されたパターン状に銅メッキを行うことで前記金属薄膜上に生じるピンホールを効果的に潰す、つまり、穴埋めすることができるメッキ方法を特徴としている。
本発明の硫酸銅メッキ浴を使用して、絶縁基板上に形成された金属薄膜に銅メッキをすることで、従来からの硫酸銅メッキ浴では得られなかった、金属薄膜上に存在するピンホールを効果的に潰す、つまり、穴埋めすることが可能であり、メッキによる微細配線形成の際問題となる、ピンホールに起因する断線等のメッキ不良を防止する事ができる。
本発明の硫酸銅メッキ浴は、組成物の内の、硫酸/硫酸銅5水和物の重量比率が0.1以下、好ましくは0.05以下、さらに好ましくは0.03以下であり、そのメッキ液のPHが4.5以下のものである。本発明の硫酸銅メッキ浴の特徴は前述しているように硫酸の添加量の微量化が特徴であるが、必ずしも硫酸の添加は必要ではなく実質添加しなくても構わない。本発明の硫酸銅メッキ浴に用いる硫酸、硫酸銅5水和物の純度は、市販の特級試薬あるいはメッキ用に販売されている高濃度水溶液のものでよい。
本発明でいう絶縁基板とは、石英ガラス、低アルカリ硼珪酸ガラス、シリコンウエハー、アルミナセラミック、炭化珪素セラミック、ガラスエポキシ樹脂、ガラス不織布に芳香族ポリアミド樹脂を含浸させたもの等のリジッド基板、あるいは、ポリイミドフイルム、液晶ポリマーフイルム、ポリフェニレンスルフィドフイルム、芳香族ポリアミドフイルム、ポリエステルイミドフイルム等の絶縁樹脂基板をいう。厚みはリジッド基板においては0.05〜2mm程度が好適に用いられ、絶縁樹脂基板においては、0.01〜0.1mm程度が好適に用いられる。
絶縁基板上に形成される金属薄膜としては、銅が最も好ましい。この場合、Ni、NiCr、Cr、Ti等を数μm程度の薄さで絶縁基板と銅薄膜の間に設けると絶縁基板と銅薄膜との密着性が良好になる。銅以外でも、Ni、ITO、Sn、ZnO、等を用いる事が出来る。この金属薄膜の形成方法としてはスパッタリングによるのが最も好ましいが、それ以外に無電解メッキ、蒸着等の方法を用いる事も出来る。
また、絶縁基板上の金属薄膜上にパターンを形成する感光性樹脂としては、ネガ型ドライフィルム、ネガ型又はポジ型の液状レジスト等が好適に用いられる。
これらの感光性樹脂を用いてのパターン化の方法としては、例えば、感光性樹脂がドライフィルムの場合は膜厚10μm〜50μm程度のものが好ましく、これを金属膜上に90〜120℃の温度、圧力0.1MPa、1m/分の速度でラミネートし、この基板上にCr薄膜を厚さ2mmのガラス上に所定のパターン状に形成したマスクを置いて真空吸引し、次に高圧水銀灯を用いて全波長で5秒間露光する。そして、炭酸ナトリウムの1%溶液を用いて現像する。
以上により、所定のパターンを金属薄膜上に形成することができる。なお、前記露光においては、他に、50μm程度の隙間を空けたプロキシミティ露光やマスクを用いないで直接パターンを描画するダイレクト露光等の方法によることも可能である。
また、他の例として、感光性樹脂にポジ型液状レジストを用いたパターン化の場合は、所定の膜厚になるようにスピナー等を用いて金属薄膜上に塗布して所定の温度、時間(例えば、100℃で30分間)で乾燥し、ポジ型用のマスクを用いてドライフィルムの場合と同様の方法で所定時間(例えば、1分間)露光して、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド(TMAH)2.3%溶液で現像することにより所定のパターンを金属薄膜上に形成することができる。
次に、本発明の硫酸銅メッキ浴を使用したメッキ方法によって、絶縁基板上に形成された金属薄膜に生じるピンホールを潰す(以後、ピンホール穴埋めという)効率を評価するに当たり、まず、ピンホール穴埋め効率の評価基準を次により設定する。
前記評価基準を設定するための評価モデルとして、宇部興産(株)製ポリイミドフイルム“ユーピレックス”Sの75μmフイルムに0.2μm厚みでスパッタリングにより銅薄膜を形成した銅薄膜形成ポリイミドフイルムを用い、これにニチゴーモートン(株)社製感光性ドライフイルムNIT225をラミネートし、露光、現像して、50μmφのパターンを銅薄膜上に形成し、ドライフイルムをマスクにして、銅薄膜をエッチングした後ドライフイルムをアルカリ水溶液で剥離して、50μmφのピンホールが形成されたサンプルを作製した。
そして、硫酸銅5水和物:200g/L、塩化ナトリウム:100mg/L、光沢剤:5mL/Lからなる硫酸銅メッキ浴を建浴し、このメッキ浴を使用して、前記モデルサンプルを1A/dm2の電流密度、液温25℃で、10分間銅メッキを実施した。
結果、メッキ膜厚は4μmであり、50μmφのモデルピンホールの直径は31μmΦになった。このモデルピンホールのメッキ後の直径は図1に示すように真円ではなくなるので、近接円を取って円近似した。
ここで、ピンホールを埋める効率を評価する基準としてピンホール穴埋め効率(Pe)を、Pe={(メッキ前のピンホール直径−メッキ後のピンホール直径)/2}/(メッキ膜厚)と定義し、このPeの値によって穴埋め効率を評価する。この値が高いほど、ピンホール穴埋め効率は良いと判断される。
このモデルサンプルの場合、Pe値は2.4となるが、従来の硫酸を添加した硫酸/硫酸銅5水和物の重量比率(0.3〜3)の硫酸銅メッキ浴ではメッキは等方的に成長して、ほぼ1.0でありモデルサンプルの場合より格段に低い値である。
このように、硫酸を添加しない硫酸銅メッキ浴を使用する事により、メッキは膜厚方向よりも横方向に優先的に成長し、ピンホールを効率的に穴埋めするので微細配線におけるピンホールを起因とする断線の発生を抑制する事が出来る。
以下、実施例により本発明によるピンホールの穴埋めの効果をさらに具体的に説明する。
[実施例1]宇部興産(株)製ポリイミドフイルム“ユーピレックス”Sの75μmフィルムに0.25μmの銅薄膜を片面に形成した200mm×200mmの絶縁基板に、ニチゴーモートン(株)製ドライフイルムNIT225を温度100℃、圧力0.1MPa、ラミネートスピード1m/分でラミネートし、この基板上に50μmφの円を形成したガラスマスクを置いて真空吸引し、その後、全波長で5秒間露光(露光エネルギーは100mJ/cm2である。)し、その後、炭酸ナトリウム1%溶液を用いて27℃で20秒間スプレー現像し、つづいて、20秒間スプレー水洗した後、エアーブローにより水滴を飛ばして乾燥することによって50μmφのパターンを得た。
その後、メルテックス(株)社製AD485の15重量%水溶液に硫酸を1%加えた水溶液で2分間銅エッチングし、そして、3%水酸化カリウム水溶液に50℃で5分間浸漬し、ドライフイルムを剥離して、50μmφのモデルピンホールを作製した。
この基板を、巾250mm、長さ350mm、厚み2mmのステンレス鋼板(SUS304)に銅薄膜を形成した面を表側にして、35μm厚の銅箔で前記ステンレス鋼板(SUS304)と電気的導通を取って貼り付け、この基板が貼り付けられたステンレス鋼板(SUS304)を、5mm厚の硬質塩化ビニール板で製作された容積50Lの槽に建浴された硫酸銅5水和物(関東化学(株)製、試薬特級)10kg、イオン交換水40kg、塩酸5g、光沢剤スーパースロー2000(奥野製薬工業(株)製)1Lからなる硫酸銅メッキ浴に浸漬した。
次に、前記浸漬された基板を陰極とし、別途Ti社製のメッシュケースに直径15mmのCuボールを詰めた物を陽極として、直流定電流装置SANREX850((株)三社電機製作所)を電源として用いて、1A/dm2の電流密度で10分間メッキした。このときの硫酸銅メッキ浴のPHは1.5であった。
メッキ後、銅メッキ膜厚とピンホール径を形状測定顕微鏡VK−8500((株)キーエンス社製)を用いて測定した。膜厚は4μm、50μmφのピンホール径は27μmφになっていた。
この場合のピンホール穴埋め効率はPe={(50−27)/2}/4=2.9であり、前述の評価モデルサンプルのPe=2.4と比較して格段に穴埋め効率が高いことが分かる。なお、このときのメッキ後の走査電子顕微鏡による写真を図−2に示す。
[実施例2]実施例1における硫酸銅メッキ浴に代えて、硫酸銅5水和物(関東化学(株)製、試薬特級)10kg、硫酸0.3kg、イオン交換水40kg、塩酸5g、光沢剤スーパースロー2000(奥野製薬工業(株)製)1Lからなる硫酸銅メッキ浴を建浴し、実施例1と同様の評価用サンプルを用いて実施例1と同条件でメッキした。このときの硫酸銅メッキ浴のPHは1.0以下であった。
メッキ後、銅メッキ膜厚とピンホール径を形状測定顕微鏡VK−8500((株)キーエンス社製)を用いて測定した。膜厚は4.3μm、50μmφのピンホール径は33μmφになっていた。
この場合のピンホール穴埋め効率はPe={(50−33)/2}/4.3=2.0であり、前述の評価モデルサンプルのPe=2.4と比較して近似値であり、穴埋め効率について良好であることが分かる。
[実施例3]実施例1における硫酸銅メッキ浴に代えて、硫酸銅5水和物(関東化学(株)製、試薬特級)10kg、硫酸0.7kg、イオン交換水40kg、塩酸5g、光沢剤スーパースロー2000(奥野製薬工業(株)製)1Lからなる硫酸銅メッキ浴を建浴し、実施例1と同様の評価用サンプルを用いて、実施例1と同条件でメッキした。このときの硫酸銅メッキ浴のPHは1.0以下であった。
メッキ後、銅メッキ膜厚とピンホール径を形状測定顕微鏡VK−8500((株)キーエンス社製)を用いて測定した。膜厚は4.7μm、50μmφのピンホール径は38μmφになっていた。
この場合のピンホール穴埋め効率はPe={(50−38)/2}/4.7=1.3であった。
[実施例4]絶縁基板として、200mm×200mmの板厚1mmの低アルカリ硼珪酸ガラス板に銅薄膜0.2μmを形成したものを用い、実施例1と同様に、50μmφの評価用ピンホールを形成し、硫酸銅メッキ浴としては、実施例1と同様のメッキ浴を用いて、実施例1と同条件でメッキした。
ピンホール穴埋め効率Pe=2.3であった。前述の評価モデルサンプルのPe=2.4と比較して近似値であり、穴埋め効率について良好であることが分かる。
なお、ここで、ピンホール穴埋め効率Peを縦軸に、横軸に硫酸/硫酸銅5水和物にしてプロットした結果を図−3に示す。
[実施例5]宇部興産製ポリイミドフイルム“ユーピレックス”S 75μmに0.25μmの銅薄膜を片面に形成した200mm×200mmの絶縁基板に、同じ大きさで20μm厚みの透明なポリエステルフイルムを乗せ、4辺を粘着テープで固定する。これを光学顕微鏡((株)ニコン社製)に乗せ、100倍の倍率で透過光を用いて、ピンホールの存在箇所を観察し、油性マジックを用いてポリエステルフイルムの上からその箇所に目印を付けた。ピンホールは7箇所観察された。ピンホールの形状、大きさは区々で、大きいものは100μm以上あり、小さい物は、10〜20μm程度であった。
次に、ポリエステルフイルムと絶縁基板の位置合せ用の印を付けた後、粘着テープを一旦剥して、絶縁基板を取り出し、この基板を実施例1と同様にステンレス鋼板(SUS304)に貼り付け、実施例1の硫酸銅メッキ浴を用いて実施例1と同様に1A/dm2の電流密度で10分間メッキした。このときのメッキ膜厚は4μmであった。
この絶縁基板に再度前記ポリエステルフイルムを位置合せした後粘着テープで固定し、前述の光学顕微鏡下での透過光による観察と同様にピンホールを観察した結果、100μm程度の物は80μm程度に、また、10〜20μm程度のものは、ピンホールがほぼ消失している事が観察された。実際に存在するピンホールでも、ピンホールを効率的に埋める効果が確認できた。
[実施例6]宇部興産製ポリイミドフイルム“ユーピレックス”Sの75μmフィルムに0.25μmの銅薄膜を片面に形成した200mm×200mmの絶縁基板に、ニチゴーモートン(株)製ドライフイルムNIT225を温度100℃、圧力0.1MPa、ラミネートスピード1m/分でラミネートし、この基板上に、Cr薄膜を厚さ2mmのガラス上に20μmの配線幅を有する40μmピッチの配線パターンからなるガラスマスクを置いて真空吸引し、次に高圧水銀灯を用いて全波長で5秒間露光(露光エネルギーは100mJ/cm2である。)した。
そして、炭酸ナトリウムの1%溶液を用いて27℃で20秒間スプレー現像して20秒間スプレー水洗し、その後エアーブローにより水滴を飛ばし、その後乾燥して40μmピッチのパターンを得た。
この基板を巾250mm、長さ350mm、厚み2mmのステンレス鋼板(SUS304)の板に銅薄膜を形成した面を表側にして、35μm厚の銅箔で前記ステンレス鋼板(SUS304)と電気的導通を取って貼り付け、この基板が貼り付けられたステンレス鋼板(SUS304)を、5mm厚の硬質塩化ビニール板で製作された容積50Lの槽に建浴された硫酸銅5水和物(関東化学(株)製、試薬特級)10kg、イオン交換水40kg、塩酸5g、光沢剤スーパースロー2000(奥野製薬工業(株)製)1Lからなる硫酸銅メッキ浴に浸漬した。
次に、前記浸漬された基板を陰極として、別途Ti社製のメッシュケースに直径15mmのCuボールを詰めた物を陽極として、直流定電流装置SANREX850((株)三社電機製作所)を電源として用いて、1A/dm2の電気密度で10分間メッキした。このときのメッキ膜厚は3.8μmであり、メッキ浴のPHは1.5であった。
その後、3%水酸化カリウム水溶液に50℃で5分浸漬してドライフイルムを剥離し、その後、メルテックス(株)製AD485の15重量%水溶液に硫酸を1%加えた水溶液でスパッタリングにより形成した薄膜銅を1分間エッチングした。
そして、前記形成した40μmピッチのパターンを光学顕微鏡、100倍の倍率で観察した結果、断線は観測されず、微細パターンを感光性樹脂で形成後、メッキしてもパターン上のピンホールを有効に埋め得る事が確認できた。
[比較例1]実施例1と同様にして、基板に50μmφのピンホールが形成された穴埋め評価用のモデルサンプルを作製し、その基板を巾250mm、長さ350mm、厚み2mmのステンレス鋼板(SUS304)に銅薄膜を形成した面を表側にして、35μm厚の銅箔で前記ステンレス鋼板(SUS304)と電気的導通を取って貼り付け、この基板が貼り付けられたステンレス鋼板(SUS304)を、5mm厚の硬質塩化ビニール板で製作された容積50Lの槽に建浴された硫酸2.75kg、硫酸銅5水和物(関東化学(株)製、試薬特級)10kg、イオン交換水40kg、塩酸5g、光沢剤スーパースロー2000(奥野製薬工業(株)製)1Lからなる硫酸銅メッキ浴に浸漬した。
次に、前記浸漬された基板を陰極とし、別途Ti社製のメッシュケースに直径15mmのCuボールを詰めた物を陽極として、直流定電流装置SANREX850((株)三社電機製作所)を電源として用いて、1A/dm2の電流密度で10分間メッキした。このときのメッキ浴のPHは1以下であった。
メッキ後、銅メッキ膜厚とピンホール径を形状測定顕微鏡VK−8500((株)キーエンス社製)を用いて測定した。膜厚は4.5μm、50μmφのピンホール径は40μmφであった。
この場合のピンホール穴埋め効率はPe={(50−40)/2}/4.5=1.1と低い値であり、硫酸銅メッキ浴への硫酸の添加量がこの比較例1のように従来並みの場合、穴埋め効果は期待できない。
この場合のピンホール穴埋め効率はPe={(50−40)/2}/4.5=1.1と低い値であり、硫酸銅メッキ浴への硫酸の添加量がこの比較例1のように従来並みの場合、穴埋め効果は期待できない。
Claims (5)
- 硫酸銅メッキ浴における組成物の内の、硫酸/硫酸銅5水和物の重量比率が0.1以下であって、そのメッキ液のPHが4.5以下であることを特徴とする硫酸銅メッキ浴。
- 絶縁基板上に形成された厚さ1μm以下の金属薄膜上に、請求項1に記載の硫酸銅メッキ浴を使用して銅メッキすることを特徴とするメッキ方法。
- 絶縁基板上に形成された厚さ1μm以下の金属薄膜上に、感光性樹脂によりパターンを形成し、その後、請求項1に記載の硫酸銅メッキ浴を使用して前記パターン状に銅メッキすることを特徴とするメッキ方法。
- 絶縁基板がリジッド基板であることを特徴とする請求項2又は3に記載のメッキ方法。
- 絶縁基板が絶縁樹脂基板であることを特徴とする請求項2又は3に記載のメッキ方法。
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