JP2006329954A - ガラス転移温度測定装置、及びガラス転移温度測定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数の試料2を同一面上に形成する基板1と、各試料2を加圧する加圧装置と、各試料2を加熱する加熱装置5と、各試料2の温度を測定する温度測定装置8と、を備え、各試料2を加熱し、各試料2の被加圧部を加圧し、被加圧部の変形を測定し、試料2のガラス転移温度を求める、ガラス転移温度測定装置、及び測定方法。
【選択図】 図1
Description
(2)また、本発明は、ガラス転移を多点同時に測定することにある。
(3)また、本発明は、微小な物質のガラス転移を測定することにある。
(4)また、本発明は、コンビナトリアルマテリアル技術に適したガラス転移の測定手段又は方法を提供することにある。
(2)また、本発明は、基板の同一面上に複数の試料を形成し、各試料をほぼ均一な力で加圧しながら、各試料を加熱し、試料の被加圧部を変形し、被加圧部の変形を測定し、各試料のガラス転移温度を求める、ガラス転移温度測定方法にある。
(2)また、本発明は、ガラス転移を多点同時に測定することができる。
(3)また、本発明は、微小な物質のガラス転移を測定することができる。
(4)また、本発明は、コンビナトリアルマテリアル技術に適したガラス転移の測定手段又は方法を提供することができる。
本発明のガラス転移温度測定は、試料のガラス転移に伴う粘度変化を利用して機械的に測定するものである。このガラス転移温度測定は、薄膜などの極少量試料や、マトリクス中に部分的にガラス転移を示す部位が存在するような試料でも、押圧部材を当てることができるだけの面積があれば、多点同時に測定可能であり、また、高真空にも対応できるアモルファス物質のガラス転移温度の同定手段を提供できるものである。特に、多数の試料群を一度に製作し、高速評価するコンビナトリアルマテリアル技術に適するものである。
ガラス転移温度測定装置は、複数の試料を同一面上に形成する基板と、試料を加圧する加圧装置と、試料を加熱する加熱装置と、試料の温度を測定する温度測定装置と、を備え、加熱装置により試料を加熱し、加圧装置により試料の被加圧部を加圧し、被加圧部の変形を測定し、複数の試料のガラス転移温度を求めるものである。ガラス転移温度測定装置は、必要に応じて、試料の被加圧部の変形によって生じる変位を測定する変位測定装置を、また、被加圧部の変形によって生じる圧痕を測定する形状測定装置を備えている。このガラス転移温度測定装置は、基板の同一面上に膜状に形成される多数の試料を加熱し、加圧するという単純な機構であるため、真空チャンバに収納して高真空に容易に引くことが可能であり、その上に、多数の試料を同時に測定することができる。
ガラス転移温度測定方法は、押圧部材3に変位測定装置6を具備している場合は、参照面7との変位の差分を測定しながら、温度測定装置8で温度を測定し、加熱装置5を用い加熱することにより、ガラス転移を生じた時点で、押圧部材3が試料2に埋没しはじめるため、変位測定装置6により、埋没量を検出することができる。試料2の熱膨張による誤差は、参照面7との変位の差分を測定することで相殺できる。試料の加熱は、一定昇温速度で行うと変動の少ない測定が可能となる。
ガラス転移温度測定装置の具体的な例を図1を用いて説明する。ステンレス製のケース10内に、厚さ200μmのシリコン基板1を配置する。シリコン基板1上に厚さ約1μmの測定対象のLaAlNi薄膜2を1mm×1mm角に組成を変化させて成膜する。LaAlNi薄膜2上には、セラミック球の押圧部材3を上下の自由度を保ったまま保持し、加圧するためのシャフトとバネからなる保持部材4を具備している。保持部材4の変位を測定するため、保持部材4の後端に光学式の変位センサ(変位測定装置)6が配置されている。また、押圧部材3内部には、温度測定用の熱電対(温度測定装置)8が挿入されている。
図3にガラス転移温度測定装置の具体的な例を示す。モリブデン製のケース11内に、厚さ約1μmの測定対象のPdCuSi薄膜12を成膜した厚さ300μmの石英基板13が配置されている。PdCuSi薄膜12上には、直径1mmの鋼球(押圧部材)14が5×5の25個配置される。鋼球14は、モリブデン製板ばね15により押圧され、ずれないように保持部材の金網16で保持される。モリブデン製板ばね15はケース11の蓋が押材となり、複数の鋼球14に均一な押圧力が付与できるようにする。鋼球14、モリブデン製板ばね15、金網16、押材が加圧装置を構成している。PdCuSi薄膜12には、熱電対(温度測定装置)17が接触しており、温度をモニタできるようになっている。モリブデン製のケース11には、抵抗線加熱ヒータ(加熱装置)18が具備されている。
2・・・試料
3・・・押圧部材
4・・・保持部材
5・・・加熱装置
6・・・変位測定装置
7・・・参照面
8・・・温度測定装置
9・・・冷却装置
10・・ケース
11・・ケース
12・・基板
13・・試料
14・・鋼球
15・・ばね
16・・金網
17・・熱電対
18・・加熱装置
20・・圧痕
Claims (9)
- 複数の試料を同一面上に形成する基板と、
各試料を加圧する加圧装置と、
各試料を加熱する加熱装置と、
各試料の温度を測定する温度測定装置と、を備え、
各試料を加熱し、各試料の被加圧部を加圧し、被加圧部の変形を測定し、試料のガラス転移温度を求める、ガラス転移温度測定装置。
- 請求項1に記載のガラス転移温度測定装置において、
複数の試料は、組成の異なる多数の試料からなる試料群であり、複数の試料を一括して測定する、ガラス転移温度測定装置。
- 請求項1に記載のガラス転移温度測定装置において、
各試料の被加圧部の変形を測定する変位測定装置を備え、
変位測定装置により各試料の被加圧部に形成された変形を測定し、各試料のガラス転移温度を求める、ガラス転移温度測定装置。
- 請求項1に記載のガラス転移温度測定装置において、
試料の被加圧部の変形を示す圧痕を測定する形状測定装置を備え、
試料の被加圧部の圧痕を測定し、各試料のガラス転移温度を求める、ガラス転移温度測定装置。
- 請求項1に記載のガラス転移温度測定装置において、
加圧装置は、各試料を加圧する押圧部材と、各試料の押圧部材にほぼ均一な力が作用するように形成されたばね部材と、各ばね部材を一体で押す押材とを備え、
押圧部材が各試料にほぼ均一な力を作用するようにした、ガラス転移温度測定装置。
- 基板の同一面上に複数の試料を形成し、各試料をほぼ均一な力で加圧しながら、各試料を加熱し、試料の被加圧部を変形し、被加圧部の変形を測定し、各試料のガラス転移温度を求める、ガラス転移温度測定方法。
- 請求項6に記載のガラス転移温度測定方法において、
複数の試料は、多数の試料からなる試料群であり、複数の試料を一括して測定する、ガラス転移温度測定方法。
- 請求項6に記載のガラス転移温度測定方法において、
複数の試料を加熱しながら、試料の被加圧部の変位を測定して、各試料のガラス転移温度を求める、ガラス転移温度測定方法。
- 請求項6に記載のガラス転移温度測定方法において、
各試料を加圧しながら所定の温度まで加熱し、各試料の被加圧部の圧痕を測定し、更に、温度を上昇し、各試料の被加圧部の圧痕を測定し、これを繰り返して、各試料のガラス転移温度を求める、ガラス転移温度測定方法。
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