JP2006329868A - Electromagnetic ultrasonic flaw detection method and apparatus thereof - Google Patents

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将史 成重
Yoshiaki Nagashima
良昭 永島
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electromagnetic ultrasonic flaw detection method and apparatus capable of removing transmission frequency component noise by a magnetostrictive electromagnetic ultrasonic sensor. <P>SOLUTION: A current of an additional magnetic field by burst waves is synchronized with a normal waveform and an inverted waveform of a bias magnetic field. SH waves by the normal waveform and SH waves by the inverted waveform are alternately transmitted. By determining the difference between the SH waves by the normal waveform and the SH waves by the inverted waveform when reflected waves from a flaw are received by an electromagnetic ultrasonic sensor for reception, it is possible to suppress transmission noise and achieve an increase in the level of reflected waves from the flaw. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、電磁超音波センサを用いた超音波探傷方法及び装置に係り、特に、磁歪駆動型電磁超音波センサを用いた電磁超音波探傷方法と装置に関するものである。   The present invention relates to an ultrasonic flaw detection method and apparatus using an electromagnetic ultrasonic sensor, and more particularly to an electromagnetic ultrasonic flaw detection method and apparatus using a magnetostrictive drive type electromagnetic ultrasonic sensor.

発電プラントなど高温高圧の流体を扱う施設では、安全性の確保が重要な課題であることはいうまでもなく、このためには、当該施設の構造物を定期的に検査し、その健全性を確認することが不可欠であり、このため、このような施設には、ビデオカメラを用いた目視検査や圧電型探触子を用いた超音波検査が従来から適用されてきた。   In facilities that handle high-temperature and high-pressure fluids such as power plants, it goes without saying that ensuring safety is an important issue. To this end, the facilities' structures are regularly inspected to ensure their soundness. For this reason, visual inspection using a video camera and ultrasonic inspection using a piezoelectric probe have been conventionally applied to such facilities.

ここで、いずれの検査の場合も、検査期間中は発電プラントなどの運転を停止させる必要があるが、このとき経済性の見地から検査期間の短縮が強く求められる。そこで、検査装置を自動化し、センサ位置を遠隔操作することにより、検査時間の短縮を図るための工夫がこれまでにも進められてきている。   Here, in any inspection, it is necessary to stop the operation of the power plant or the like during the inspection period. At this time, shortening of the inspection period is strongly required from the viewpoint of economy. Thus, efforts have been made to reduce the inspection time by automating the inspection apparatus and remotely operating the sensor position.

しかしながら近年、更なる安全性追求の見地から、検査要求箇所が構造物の複雑な形状部や狭隘部へと広がり、これに伴い機械的な操作や制御によっては検査時間の短縮が困難になってきた。そこで、このような背景のもと、超音波を検査対象内で長い距離にわたり伝搬(伝播)させ、広範囲を1回の操作で探傷する技術が近年注目されており、そのためのセンサの一例にEMAT(Electromagnetic Acoustic Transducer)と呼ばれる電磁超音波センサがある。   However, in recent years, from the standpoint of further pursuing safety, inspection requirements have spread to complicated shapes and narrow parts of structures, and it has become difficult to reduce inspection time depending on mechanical operation and control. It was. Therefore, in recent years, a technique for propagating (propagating) ultrasonic waves over a long distance within an inspection object and flaw-detecting a wide area with a single operation has attracted attention in recent years, and EMAT is an example of a sensor for that purpose. There is an electromagnetic ultrasonic sensor called (Electromagnetic Acoustic Transducer).

ところで、この電磁超音波センサにも、磁歪駆動型EMATとローレンツ型EMATの2種類があるが、ここでは磁歪駆動型EMATについて説明すると、これは、その名の如く磁性材料の磁歪効果を利用したもので、このとき磁歪効果とは、磁性材料に磁場が印加されたとき、当該磁性材料に磁場の方向の応力が現われる現象のことであり、従って、この磁歪駆動型EMATは、検査対象である磁性材料の一部に磁歪効果による伸縮を周期的に発生させ、この伸縮に伴って検査対象自体の中で超音波が発生されるようにしたものである。   By the way, this electromagnetic ultrasonic sensor also has two types of magnetostrictive drive type EMAT and Lorentz type EMAT. Here, the magnetostrictive drive type EMAT will be described, which uses the magnetostrictive effect of the magnetic material as the name suggests. In this case, the magnetostrictive effect is a phenomenon in which when a magnetic field is applied to a magnetic material, a stress in the direction of the magnetic field appears on the magnetic material. Therefore, the magnetostrictive drive type EMAT is an inspection object. Expansion and contraction due to the magnetostriction effect is periodically generated in a part of the magnetic material, and ultrasonic waves are generated in the inspection object itself along with the expansion and contraction.

そこで、次に、この磁歪駆動型EMATの一例について、図8により更に詳しく説明すると、これは、図示のように、バイアス磁場用電磁石10と蛇行コイル12により構成されているもので、ここで、まずバイアス磁場用電磁石10は、高透磁率磁性材料で作られている馬蹄形のコア11にコイル13を巻回して電磁石としたものであり、次に蛇行コイル12は、詳細は図9に示すように、導線14を平面上で一定間隔Lを保って蛇行させたものである。   Therefore, an example of the magnetostrictive drive type EMAT will be described in more detail with reference to FIG. 8. This is constituted by the bias field electromagnet 10 and the meandering coil 12, as shown in the figure. First, an electromagnet 10 for a bias magnetic field is obtained by winding a coil 13 around a horseshoe-shaped core 11 made of a high permeability magnetic material to form an electromagnet. Next, the meandering coil 12 is shown in detail in FIG. In addition, the conductor 14 is meandered at a constant interval L on a plane.

そして、これらバイアス磁場用電磁石10と蛇行コイル12を、図8に示す位置関係を保って検査対象Oの表面に配置したとすると、この検査対象Oが磁性材の場合、その中でSH波(水平剪断波:Shear Horizontal Wave)を発生させることができる。ここで、SH波とは、波動の伝搬方向に対して垂直で入射面に対して平行な方向に振動する弾性波のことであり、この場合、弾性波とは超音波のことである。   If the bias field electromagnet 10 and the meandering coil 12 are arranged on the surface of the inspection object O while maintaining the positional relationship shown in FIG. 8, when the inspection object O is a magnetic material, the SH wave ( A horizontal shear wave can be generated. Here, the SH wave is an elastic wave that oscillates in a direction perpendicular to the propagation direction of the wave and parallel to the incident surface. In this case, the elastic wave is an ultrasonic wave.

次に、この図8に示した磁歪駆動型EMATの動作について、図10により説明する。ここで、この図10は、図8を上面からみた模式図であり、このときバイアス磁場用電磁石10のN極が左側になるようにコイル13に電流を流すと、矢印で示す方向のバイアス磁場Bが生成される。ここで蛇行コイル12には矢印a1、a2で示す向きに電流が流されているものとすると、この場合、検査対象Oの表層部の磁場は、図11に示すようになる。   Next, the operation of the magnetostrictive drive type EMAT shown in FIG. 8 will be described with reference to FIG. Here, FIG. 10 is a schematic view of FIG. 8 as viewed from above. When a current is passed through the coil 13 so that the north pole of the bias field electromagnet 10 is on the left side, the bias magnetic field in the direction indicated by the arrow is shown. B is generated. Here, assuming that a current flows through the meandering coil 12 in the directions indicated by the arrows a1 and a2, the magnetic field of the surface layer portion of the inspection object O is as shown in FIG.

ここで、まず、バイアス磁場Bは、図11に示すように、x軸のN極側からS極側に一様な磁場を形成する。一方、蛇行コイル12による磁場はy軸方向に現われ、バイアス磁場Bに対して付加磁場となるが、このとき蛇行コイル12の蛇行毎にその向きを反転させるので、図示のように、付加磁場A1と付加磁場A2として、ベクトル表示できる。このとき、矢印a1方向の電流による磁場が付加磁場A1で、矢印a2方向の電流による磁場が付加磁場A2である。   Here, first, as shown in FIG. 11, the bias magnetic field B forms a uniform magnetic field from the north pole side to the south pole side of the x axis. On the other hand, the magnetic field generated by the meandering coil 12 appears in the y-axis direction and becomes an additional magnetic field with respect to the bias magnetic field B. At this time, the direction of the meandering coil 12 is reversed every time the meandering coil 12 is meandered. As an additional magnetic field A2, a vector can be displayed. At this time, the magnetic field due to the current in the direction of the arrow a1 is the additional magnetic field A1, and the magnetic field due to the current in the direction of the arrow a2 is the additional magnetic field A2.

そこで、これらのベクトル和は各々複合磁場V1と複合磁界V2となる。そして、これら複合磁場V1、V2のベクトル和をセンサ全体としてみると、x軸方向成分のみが残ることになり、この結果、図示のように、磁性材である検査対象Oの中に磁歪効果による歪Dが発生する。   Therefore, these vector sums become a composite magnetic field V1 and a composite magnetic field V2, respectively. When the vector sum of these composite magnetic fields V1 and V2 is viewed as a whole sensor, only the x-axis direction component remains, and as a result, as shown in the drawing, due to the magnetostrictive effect in the inspection object O that is a magnetic material. Distortion D occurs.

このとき、これら複合磁場V1、V2は、蛇行コイル12が蛇行するごとにそのベクトルの向きが変わっている。そこで、図12に示すように、この複合磁場のx軸方向成分に従って検査対象Oの中で方向が異なった歪が局部的に発生じ、その歪による振動がSH波を誘発する。   At this time, the directions of the vectors of the composite magnetic fields V1 and V2 change each time the meandering coil 12 meanders. Accordingly, as shown in FIG. 12, a distortion having a different direction is locally generated in the inspection object O in accordance with the x-axis direction component of the composite magnetic field, and vibration due to the distortion induces an SH wave.

そこで、蛇行コイル12に、発生すべき超音波に対応した周波数の交流信号を供給することにより、検査対象Oをy軸方向に伝搬してゆく超音波が得られることになり、送信用のセンサとして動作させることができる。   Therefore, by supplying an alternating current signal having a frequency corresponding to the ultrasonic wave to be generated to the meandering coil 12, an ultrasonic wave propagating through the inspection object O in the y-axis direction can be obtained. Can be operated as

一方、超音波が検査対象Oをy軸方向から伝搬してきた場合、バイアス磁場Bの中で弾性波よる歪が発生し、磁性材である検査対象Oの磁歪効果により、蛇行コイル12に弾性波の周波数と同じ周波数の交流電圧が誘起されるので、受信用のセンサとしても動作させることができる。   On the other hand, when the ultrasonic wave propagates through the inspection object O from the y-axis direction, distortion due to the elastic wave is generated in the bias magnetic field B, and the elastic wave is generated in the meandering coil 12 by the magnetostriction effect of the inspection object O that is a magnetic material. Since an alternating voltage having the same frequency as that of the first frequency is induced, it can be operated as a receiving sensor.

この電磁超音波センサは、上記したように、電磁気的な作用のみを利用して超音波の送受信を行っているので、圧電型探触子による探傷には不可欠な接触媒質の塗布やセンサの押し付けが不要で、これらのことに伴う不確定要素の虞がないため、定量性に富み再現性に優れている。   As described above, since this electromagnetic ultrasonic sensor transmits and receives ultrasonic waves using only electromagnetic action, application of a contact medium and pressing of the sensor, which are indispensable for flaw detection by a piezoelectric probe, are performed. Is unnecessary, and there is no risk of uncertainties associated with them, so that it is rich in quantitativeness and excellent in reproducibility.

しかして、このような長所の一方で、電磁超音波センサの検出感度は圧電型探触子より2桁以上低いという問題がある。そこで、この点を改善するため、信号処理技術と組み合わせた電磁超音波センサによる検査方法が従来から提案されているが、その一例として、送信用電磁超音波センサの前方に受信用電磁超音波センサを配置し、反射波に加えて透過波も併せて測定し、反射波と透過波の両波形の相互相関を算出することによりランダムノイズを低減し、検出感度を改善するようにした従来技術が提案されている(例えば、特許文献1参照。)。
特開2003−294714号公報
However, on the other hand, there is a problem that the detection sensitivity of the electromagnetic ultrasonic sensor is two orders of magnitude lower than that of the piezoelectric probe. Therefore, in order to improve this point, an inspection method using an electromagnetic ultrasonic sensor combined with a signal processing technique has been proposed in the past. As an example, an electromagnetic ultrasonic sensor for reception is provided in front of the electromagnetic ultrasonic sensor for transmission. The conventional technology is designed to reduce the random noise and improve the detection sensitivity by measuring the transmitted wave in addition to the reflected wave and calculating the cross-correlation of both the reflected wave and the transmitted wave. It has been proposed (see, for example, Patent Document 1).
JP 2003-294714 A

上記従来技術は、送信周波数成分がノイズになりやすい点に配慮がされておらず、送信周波数成分によるノイズの除去に問題があった。   The above prior art does not take into consideration that the transmission frequency component tends to be noise, and has a problem in removing noise due to the transmission frequency component.

従来技術は、上記したように、送信波と相関をとるため、ランダムノイズの低減が可能である。しかしながら、送信周波数成分はランダムに発生するわけではないので、相関をとっても除去することができないのである。   As described above, since the conventional technique correlates with the transmission wave, it is possible to reduce random noise. However, since the transmission frequency component does not occur at random, it cannot be removed even if correlation is taken.

本発明の目的は、磁歪形電磁超音波センサによる送信周波数成分ノイズの除去が得られるようにした電磁超音波探傷方法及び電磁超音波探傷装置を提供することである。   An object of the present invention is to provide an electromagnetic ultrasonic flaw detection method and an electromagnetic ultrasonic flaw detection apparatus in which transmission frequency component noise can be removed by a magnetostrictive electromagnetic ultrasonic sensor.

上記目的は、電磁超音波センサを用いた超音波探傷方法において、前記電磁超音波センサから送信される超音波波形の位相を制御し、位相が異なる2種の反射波形を観測し、前記2種の反射波形の差分を計算する信号処理を行い、表示するようにして達成される。   The object is to control the phase of an ultrasonic waveform transmitted from the electromagnetic ultrasonic sensor in an ultrasonic flaw detection method using an electromagnetic ultrasonic sensor, observe two types of reflected waveforms having different phases, and This is accomplished by performing signal processing for calculating the difference between the reflected waveforms and displaying it.

このとき、電磁超音波センサとして磁歪駆動型電磁超音波センサを用いるようにしてもよく、前記電磁超音波センサから送信される超音波が横波せん断波であるようにしてもよく、前記前記電磁超音波センサから送信される超音波波形の位相が180°異なるようにしてもよい。   At this time, a magnetostrictive drive type electromagnetic ultrasonic sensor may be used as the electromagnetic ultrasonic sensor, and the ultrasonic wave transmitted from the electromagnetic ultrasonic sensor may be a shear wave, and the electromagnetic ultrasonic wave may be used. The phase of the ultrasonic waveform transmitted from the acoustic wave sensor may be 180 ° different.

また、このとき、前記磁歪駆動型電磁超音波センサのバイアス磁場の向きを変えることにより前記位相が変えられるようにしてもよく、前記超音波の発生時点が前記バイアス磁場の最大値時点と最小値時点に同期しているようにしてもよい。   Further, at this time, the phase may be changed by changing the direction of the bias magnetic field of the magnetostrictive drive type electromagnetic ultrasonic sensor, and the generation point of the ultrasonic wave is the maximum value point and the minimum value of the bias magnetic field. It may be synchronized with the time.

また、上記目的は、電磁超音波センサを用いた超音波探傷装置において、前記電磁超音波センサから送信される超音波信号の位相を制御する手段と、位相が異なる超音波信号による2種の反射波を観測する手段と、前記2種の反射波の差波形を計算する手段と、前記差波形を表示する手段とを備えるようにしても達成される。   Further, the above object is to provide an ultrasonic flaw detection apparatus using an electromagnetic ultrasonic sensor, a means for controlling the phase of an ultrasonic signal transmitted from the electromagnetic ultrasonic sensor, and two types of reflection by ultrasonic signals having different phases. It is also achieved by including means for observing a wave, means for calculating a difference waveform between the two kinds of reflected waves, and means for displaying the difference waveform.

このとき、前記電磁超音波センサが磁歪駆動型電磁超音波センサであり、更に、これから送信される超音波が横波せん断波であるようにしてもよく、このとき、前記磁歪駆動型電磁超音波センサは、バイアス磁場用電磁石と付加磁場用蛇行コイルにより構成されていてもよく、ここで、前記バイアス磁場用電磁石のコイルに交流電流を流すことによりバイアス磁場の向きを変えるようにしてもよい。   At this time, the electromagnetic ultrasonic sensor is a magnetostrictive drive type electromagnetic ultrasonic sensor, and the ultrasonic wave transmitted from now on may be a shear wave, and at this time, the magnetostrictive drive type electromagnetic ultrasonic sensor May be constituted by a bias magnetic field electromagnet and an additional magnetic field meandering coil, and the direction of the bias magnetic field may be changed by passing an alternating current through the coil of the bias magnetic field electromagnet.

また、このとき、前記バイアス磁場用コイルの電流波形と超音波の送信波形を表示する手段と、前記超音波の送信タイミングを調整する手段とが備えられているようにしても上記目的が達成され、ここで、送信のタイミングの調整に信号遅延装置を用いるようにしてもよい。   Further, at this time, the above object can be achieved even if means for displaying the current waveform of the bias magnetic field coil and the transmission waveform of the ultrasonic wave and means for adjusting the transmission timing of the ultrasonic wave are provided. Here, a signal delay device may be used to adjust the transmission timing.

本発明によれば、位相を変えた2種の波形を測定し、両波形の差分を観測するようにしたので、検出感度の向上と共に電気ノイズの抑制が可能になり、精度の高い探傷を行うことができる。   According to the present invention, since two types of waveforms with different phases are measured and the difference between the two waveforms is observed, it is possible to improve detection sensitivity and suppress electrical noise, and perform highly accurate flaw detection. be able to.

以下、本発明による電磁超音波探傷方法及び電磁超音波探傷装置について、図示の実施形態により詳細に説明する。   Hereinafter, an electromagnetic ultrasonic flaw detection method and an electromagnetic ultrasonic flaw detection apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to illustrated embodiments.

図1は、本発明の一実施形態に係る電磁超音波探傷装置のブロック構成図で、この図において、送信用電磁超音波センサ1と受信用電磁超音波センサ2は、それぞれ図8で説明したバイアス磁場用電磁石10と蛇行コイル12を備えた磁歪形電磁超音波センサで構成されている。   FIG. 1 is a block diagram of an electromagnetic ultrasonic flaw detector according to an embodiment of the present invention. In this figure, the transmission electromagnetic ultrasonic sensor 1 and the reception electromagnetic ultrasonic sensor 2 have been described with reference to FIG. The magnetostrictive electromagnetic ultrasonic sensor includes a bias magnetic field electromagnet 10 and a meandering coil 12.

このとき、バイアス磁場用電磁石10は、軟磁性材を馬蹄形に切り出し加工したコア11に絶縁電線を一様に巻き付けてコイル13としたもので、蛇行コイル12は、エナメル線を蛇行数6段で平面状に配置し、この後、全体をプラスチックシートで覆ったものである。   At this time, the bias field electromagnet 10 is obtained by uniformly winding an insulated wire around a core 11 obtained by cutting a soft magnetic material into a horseshoe shape to form a coil 13, and the meandering coil 12 has six stages of enameled wires. They are arranged in a plane and then covered with a plastic sheet.

ここで、まず、送信用電磁超音波センサ1には、交流のバイアス電圧VB とバースト波WB が供給されるようになっている。このときバイアス電圧VB は、正弦波発生器3から電力増幅器4を介して供給され、バースト波WB は、バースト波送受信器5の送信部から供給される。 Here, first, the transmission electromagnetic ultrasonic sensor 1 is supplied with an AC bias voltage V B and a burst wave W B. In this case the bias voltage V B is supplied via the power amplifier 4 from the sine wave generator 3, the burst wave W B is supplied from the transmission unit of the burst wave transceiver 5.

そして、このときのバイアス電圧VB としては、周波数が例えば100Hzの正弦波の信号が用いられ、バースト波WB としては、周波数が例えば375KHzの信号が用いられるが、ここで、バースト波送受信器5の送信部は、信号遅延装置6を介して正弦波発生器3から供給される正弦波電圧をトリガとしてバースト波WB を発生するようになっている。 Then, as the bias voltage V B at this time, the frequency is e.g. 100Hz sine wave signal is used as the burst wave W B, the frequency is for example 375KHz signal is used, wherein the burst wave transceiver transmitting portion 5 is made a sine wave voltage supplied from the sine wave generator 3 via a signal delay device 6 to generate a burst wave W B as a trigger.

従って、送信用電磁超音波センサ1のコイル13には周波数が100Hzの正弦波のバイアス磁場用電流が供給され、蛇行コイル12にはバースト波WB による付加磁場用電流が供給されることになる。そして、このとき正弦波発生器3の出力とバースト波送受信器5の出力は、それぞれAD変換器8にモニタ用として供給されるようにしてある。 Thus, frequency current is supplied bias magnetic field 100Hz sine wave to the coil 13 of the transmitting electromagnetic ultrasonic wave sensor 1, so that the current use additional magnetic field generated by the burst wave W B is supplied to the serpentine coil 12 . At this time, the output of the sine wave generator 3 and the output of the burst wave transmitter / receiver 5 are supplied to the AD converter 8 for monitoring.

一方、電力増幅器4の出力であるバイアス電圧VB は受信用電磁超音波センサ2にも供給されていて、これより受信用電磁超音波センサ2のコイル13にも正弦波のバイアス磁場用電流が供給されるようになっている。そして、このとき受信用電磁超音波センサ2の蛇行コイル12により検出された受信信号Rが信号増幅器7に取り込まれ、増幅波形ARがバースト波送受信器5の受信部に供給され、これにより信号波形WがAD変換器8に入力される。 On the other hand, the bias voltage V B, which is the output of the power amplifier 4, is also supplied to the receiving electromagnetic ultrasonic sensor 2, so that a sinusoidal bias magnetic field current is also applied to the coil 13 of the receiving electromagnetic ultrasonic sensor 2. To be supplied. At this time, the reception signal R detected by the meandering coil 12 of the reception electromagnetic ultrasonic sensor 2 is taken into the signal amplifier 7, and the amplified waveform AR is supplied to the reception unit of the burst wave transmitter / receiver 5. W is input to the AD converter 8.

そこでAD変換器8は、この信号波形WをAD変換してコンピュータ9に入力し、この結果、モニタ10に必要な情報が表示されるようになる。このとき、上記したように、正弦波発生器3の出力とバースト波送受信器5の出力もAD変換器8でAD変換され、コンピュータ9に入力されるようになっている。   Therefore, the AD converter 8 AD-converts this signal waveform W and inputs it to the computer 9, and as a result, necessary information is displayed on the monitor 10. At this time, as described above, the output of the sine wave generator 3 and the output of the burst wave transmitter / receiver 5 are also AD-converted by the AD converter 8 and input to the computer 9.

次に、この実施形態に係る電磁超音波計測装置の動作について説明すると、この実施形態では、図2のブロック図にステップ101として示したように、送信波形の位相を制御する。このとき、図1で説明したように、正弦波発生器3は、任意の周波数、例えば上記した100Hzの周波数の正弦波信号と矩形波信号を生成し、バイアス電圧とトリガを発生する。   Next, the operation of the electromagnetic ultrasonic measurement apparatus according to this embodiment will be described. In this embodiment, the phase of the transmission waveform is controlled as shown as step 101 in the block diagram of FIG. At this time, as described with reference to FIG. 1, the sine wave generator 3 generates a sine wave signal and a rectangular wave signal having an arbitrary frequency, for example, a frequency of 100 Hz, and generates a bias voltage and a trigger.

そして、まず、バイアス電圧は電力増幅器2を介して送信用電磁超音波センサ1のバイアス磁場用コイル13に印加され、この結果、図3に示すバイアス磁場用電流がコイル13に流れてバイアス磁場用電磁石10が励磁され、図4に示すように、交流のバイアス磁場Bが検査対象Oの表層部に生成される。   First, the bias voltage is applied to the bias magnetic field coil 13 of the transmission electromagnetic ultrasonic sensor 1 via the power amplifier 2, and as a result, the bias magnetic field current shown in FIG. The electromagnet 10 is excited, and an alternating bias magnetic field B is generated on the surface layer portion of the inspection object O as shown in FIG.

また、このとき正弦波発生器3から出力されるトリガは、図1に示すように、信号遅延装置6にも入力される。そこで、信号遅延装置6は、入力されたトリガを基準信号とし、その遅延時間を制御してバースト波送受信器5に外部トリガとして入力し、この外部トリガに同期してバースト波BW を発生させ、これを送信用蛇行コイル12に印加させ、これにより、図3に示すように、送信用蛇行コイル12にバースト波形の電流が流れ、図4に示すように、送信用蛇行コイル12による付加磁場A1が検査対象Oの表層部に発生することになる。 At this time, the trigger output from the sine wave generator 3 is also input to the signal delay device 6 as shown in FIG. Therefore, the signal delay device 6 uses the input trigger as a reference signal, controls the delay time and inputs it as an external trigger to the burst wave transmitter / receiver 5, and generates a burst wave B W in synchronization with the external trigger. This is applied to the transmission meandering coil 12, whereby a burst waveform current flows through the transmission meandering coil 12 as shown in FIG. 3, and as shown in FIG. 4, the additional magnetic field generated by the transmission meandering coil 12. A1 occurs in the surface layer portion of the inspection object O.

このときのバイアス磁場Bの励起に必要なバイアス磁場用コイル13の電流と、付加磁場A1の励起に必要な送信用蛇行コイル12の電流の関係は、上記した図3に示すようになり、このときバイアス磁場用コイル13の電流は、図1に示すように、正弦波発生器3から出力されるモニタ用バイアス信号からモニタ10により観測することができ、付加磁場A1を励起する送信用蛇行コイル12の電流は、同じく図1に示すように、バースト波送受信器5から出力されるモニタ用バースト波からモニタ10により観測することができる。   The relationship between the current of the bias magnetic field coil 13 necessary for exciting the bias magnetic field B and the current of the transmitting meandering coil 12 necessary for exciting the additional magnetic field A1 is as shown in FIG. As shown in FIG. 1, the current of the bias magnetic field coil 13 can be observed by the monitor 10 from the monitor bias signal output from the sine wave generator 3, and the transmission meander coil that excites the additional magnetic field A1. Similarly, as shown in FIG. 1, the current 12 can be observed by the monitor 10 from the monitoring burst wave output from the burst wave transceiver 5.

ここで、この実施形態では、図3から明らかなように、バイアス磁場Bを励起する電流が最大値と最小値を示す時点に同期して送信用蛇行コイル12に付加磁場用電流、つまりバースト波形の電流が供給されるように、信号遅延装置6の遅延時間が設定してあり、従って、バイアス磁場Bは、バースト波BW の各波形の間の時点で交互にN極からS極、或いはS極からN極に反転する。 In this embodiment, as is apparent from FIG. 3, the additional magnetic field current, that is, the burst waveform is applied to the transmitting meandering coil 12 in synchronization with the time when the current for exciting the bias magnetic field B exhibits the maximum value and the minimum value. Thus, the delay time of the signal delay device 6 is set so that the current of 1 is supplied, so that the bias magnetic field B is alternately changed from the N pole to the S pole at the time between each waveform of the burst wave B W , or Invert from S pole to N pole.

このときのバイアス磁場Bの反転による歪の方向を左右に並べて比較して示したのが図4で、この図から、バイアス磁場Bの磁極が反転することにより複合磁場V1の向きが変わり、歪の方向が反転してSH波の位相が180°異なったものとなることがわかる。なお、この図4では、図11で説明した付加磁場A2と、これによる複合磁場V2については省略してある。   FIG. 4 shows a comparison of the directions of distortion caused by the reversal of the bias magnetic field B side by side, and FIG. 4 shows that the direction of the composite magnetic field V1 is changed by reversing the magnetic poles of the bias magnetic field B. It can be seen that the direction of is reversed and the phase of the SH wave is 180 ° different. In FIG. 4, the additional magnetic field A2 described in FIG. 11 and the resultant composite magnetic field V2 are omitted.

ここで、以後、バイアス磁場BがN極からS極(N極→S極)に変化するタイミングで発生するSH波の観測波形を正転波形とし、バイアス磁場BがS極からN極(S極→N極)に変化するタイミングで発生するSH波の観測波形を反転波形とすると、受信側での波形の観測は、図2のステップ102とステップ103に示すようになる。   Hereafter, the observed waveform of the SH wave generated at the timing when the bias magnetic field B changes from the N pole to the S pole (N pole → S pole) is referred to as a normal rotation waveform, and the bias magnetic field B is changed from the S pole to the N pole (S Assuming that the observed waveform of the SH wave generated at the timing of changing from the pole to the N pole is an inverted waveform, the waveform on the receiving side is observed in steps 102 and 103 in FIG.

いま、図1の送信用電磁超音波センサ1が励振された結果、検査対象Oの中を伝搬するSH波が現われ、受信用電磁超音波センサ2の受信用蛇行コイル12の直下にSH波が到達したとすると、磁歪効果により当該コイル12の磁束に変化が現われ、それが電圧信号に変換され、受信波形Rが信号増幅器7を介して増幅波形ARとしてバースト波送受信器5に取り込まれ、その受信部で信号の帯域制限及び増幅が行われた結果、信号波形WがAD変換器8でデジタル信号に変換され、コンピュータ9に取り込まれる。   Now, as a result of the excitation of the transmitting electromagnetic ultrasonic sensor 1 of FIG. 1, an SH wave propagating through the inspection object O appears, and the SH wave is directly below the receiving meandering coil 12 of the receiving electromagnetic ultrasonic sensor 2. If it reaches, a change appears in the magnetic flux of the coil 12 due to the magnetostriction effect, which is converted into a voltage signal, and the received waveform R is taken into the burst wave transmitter / receiver 5 as the amplified waveform AR via the signal amplifier 7, As a result of the signal band limitation and amplification performed by the receiving unit, the signal waveform W is converted into a digital signal by the AD converter 8 and taken into the computer 9.

このとき、ステップ102では、信号波形Wの正転波形が観測され、ステップ103では、信号波形Wの反転波形が観測される。そこで、コンピュータ9では、ステップ104に示すように、デジタル信号に変換された信号波形Wについて信号処理を行い、その結果をステップ105に示すように、モニタ10に表示させる。   At this time, in step 102, the normal waveform of the signal waveform W is observed, and in step 103, the inverted waveform of the signal waveform W is observed. Therefore, the computer 9 performs signal processing on the signal waveform W converted into a digital signal as shown in step 104, and displays the result on the monitor 10 as shown in step 105.

このとき、コンピュータ9は、ステップ104の波形信号処理の一環として、正転波形のデジタル信号と反転波形のデジタル信号を各々メモリに保存する。次に、これらメモリに保存した正転波形と反転波形のデジタル信号の中から同一時刻tの正転波形と反転波形のデジタル信号を取り出し、それらのデジタル値の差分を計算し、時刻tの差波形信号値とする。そして、この信号処理による結果を時刻tの差波形として、モニタ10に表示するのである。   At this time, as part of the waveform signal processing in step 104, the computer 9 stores the digital signal of the normal waveform and the digital signal of the inverted waveform in the memory. Next, a normal waveform and an inverted waveform digital signal at the same time t are extracted from the normal waveform and inverted waveform digital signals stored in these memories, and the difference between the digital values is calculated. The waveform signal value. Then, the result of this signal processing is displayed on the monitor 10 as a difference waveform at time t.

次に、この実施形態の動作について、図5に示すように、検査対象Oとして、その一方の端部の近傍に予めスリット状の欠陥Fが形成してある略矩形の磁性板材を用い、その他方の端部の近傍に、図示のように、送信用電磁超音波センサ1と受信用電磁超音波センサ2を欠陥Fに対向するようにして配置した場合について説明する。   Next, with respect to the operation of this embodiment, as shown in FIG. 5, a substantially rectangular magnetic plate material in which a slit-like defect F is previously formed in the vicinity of one end thereof is used as an inspection object O. A case where the transmitting electromagnetic ultrasonic sensor 1 and the receiving electromagnetic ultrasonic sensor 2 are arranged so as to face the defect F as shown in the figure will be described in the vicinity of the other end.

そして、次に、送信用電磁超音波センサ1から、図3で説明したように、バイアス磁界Bの正転波形によるSH波と反転波形によるSH波を交互に送信し、欠陥Fからの反射波を受信用電磁超音波センサ2により受信し、このとき観測された正転波形及び反転波形によるSH波をモニタ10に表示した結果が図6で、この図から、欠陥Fからの反射波の場合、実線で示した正転波形のSH波と破線で示した反転波形のSH波がレベル反転していて、信号の位相が180°異なっていることが確認でき、他方、送信ノイズでは、実線で示した正転波形と破線で示した反転波形が重なっていて、両波形が同相になっていることが判る。   Then, as described with reference to FIG. 3, the transmission electromagnetic ultrasonic sensor 1 alternately transmits the SH wave based on the normal waveform of the bias magnetic field B and the SH wave based on the inverted waveform, and the reflected wave from the defect F Is received by the receiving electromagnetic ultrasonic sensor 2, and the result of displaying the SH wave with the normal waveform and the inverted waveform observed at this time on the monitor 10 is shown in FIG. It can be confirmed that the SH wave of the normal rotation waveform shown by the solid line and the SH wave of the inverted waveform shown by the broken line are level-inverted, and the phase of the signal is 180 ° different. It turns out that the normal rotation waveform shown and the inversion waveform shown with the broken line overlap, and both waveforms are in phase.

また、この図6の正転波形と反転波形の差分を計算した結果、つまり差波形を示したのが図7で、この図から、欠陥Fからの反射波では信号振幅が約2倍になっている一方、送信ノイズが大幅に抑制されており、このことから、正転波形と反転波形の差分をとることで、送信ノイズの抑制が得られ、且つ、欠陥Fからの信号成分が最大2倍のレベルに向上することが判る。   Further, FIG. 7 shows the result of calculating the difference between the normal waveform and the inverted waveform in FIG. 6, that is, the differential waveform. From this figure, the signal amplitude is approximately doubled in the reflected wave from the defect F. On the other hand, the transmission noise is greatly suppressed. Therefore, by taking the difference between the normal waveform and the inverted waveform, the transmission noise can be suppressed and the signal component from the defect F is 2 at the maximum. It can be seen that the level is doubled.

従って、この実施形態によれば、磁歪形電磁超音波センサの送信周波数成分によるノイズが抑制でき、且つ欠陥Fからは大きなレベルの信号が得られることになり、この結果、S/Nが改善され、超音波探傷精度の向上を得ることができる。   Therefore, according to this embodiment, noise due to the transmission frequency component of the magnetostrictive electromagnetic ultrasonic sensor can be suppressed, and a large level signal can be obtained from the defect F. As a result, the S / N is improved. In addition, improvement in ultrasonic flaw detection accuracy can be obtained.

本発明による電磁超音波探傷方法及び電磁超音波探傷装置の一実施形態を示すブロック図である。1 is a block diagram showing an embodiment of an electromagnetic ultrasonic flaw detection method and an electromagnetic ultrasonic flaw detection apparatus according to the present invention. 本発明の一実施形態による制御ブロック図である。It is a control block diagram by one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態における電流波形の説明図である。It is explanatory drawing of the current waveform in one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態の動作説明図である。It is operation | movement explanatory drawing of one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態によるセンサの配置説明図である。It is arrangement | positioning explanatory drawing of the sensor by one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態の動作を説明するための正転波形と反転波形図である。It is a normal rotation waveform and inversion waveform diagram for demonstrating operation | movement of one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態の動作を説明するための差波形図である。It is a difference waveform diagram for demonstrating operation | movement of one Embodiment of this invention. 磁歪駆動型電磁超音波センサの一例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows an example of a magnetostriction drive type | mold electromagnetic ultrasonic sensor. 磁歪駆動型電磁超音波センサの一例における蛇行コイルの説明図である。It is explanatory drawing of the meander coil in an example of a magnetostriction drive type | mold electromagnetic ultrasonic sensor. 磁歪駆動型電磁超音波センサの一例を示す上面断面図である。It is a top surface sectional view showing an example of a magnetostriction drive type electromagnetic ultrasonic sensor. 磁歪駆動型電磁超音波センサの一例におけるバイアス磁場と付加磁場の関係を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the relationship between the bias magnetic field and additional magnetic field in an example of a magnetostriction drive type | mold electromagnetic ultrasonic sensor. 磁歪駆動型電磁超音波センサの一例による水平剪断波の発生と伝搬状況の説明図である。It is explanatory drawing of the generation | occurrence | production and propagation state of a horizontal shear wave by an example of a magnetostriction drive type | mold electromagnetic ultrasonic sensor.

符号の説明Explanation of symbols

1:送信用電磁超音波センサ
2:受信用電磁超音波センサ
3:正弦波発生器
4:電力増幅器
5:バースト波送受信器
6:信号遅延装置
7:信号増幅器
8:AD変換器
9:コンピュータ
10:モニタ
10:バイアス磁場用電磁石
11:コア
12:蛇行コイル
13:バイアス磁場用のコイル
a1、a2:矢印
B:バイアス磁場
A1、A2:付加磁場
V1、V2:複合磁場
O:検査対象
F:欠陥
B:バイアス電圧
AR:増幅信号
W:信号波形
W:バースト波形
1: Electromagnetic ultrasonic sensor for transmission 2: Electromagnetic ultrasonic sensor for reception 3: Sine wave generator 4: Power amplifier 5: Burst wave transceiver 6: Signal delay device 7: Signal amplifier 8: AD converter 9: Computer 10 : Monitor 10: Electromagnet for bias magnetic field 11: Core 12: Coiled coil 13: Coil for bias magnetic field a1, a2: Arrow B: Bias magnetic field A1, A2: Additional magnetic field V1, V2: Compound magnetic field O: Inspection object F: Defect V B : Bias voltage AR: Amplified signal W: Signal waveform B W : Burst waveform

Claims (13)

電磁超音波センサを用いた超音波探傷方法において、
前記電磁超音波センサから送信される超音波波形の位相を制御し、位相が異なる2種の反射波形を観測し、前記2種の反射波形の差分を計算する信号処理を行い、表示することを特徴とする電磁超音波探傷方法。
In the ultrasonic flaw detection method using an electromagnetic ultrasonic sensor,
Controlling the phase of an ultrasonic waveform transmitted from the electromagnetic ultrasonic sensor, observing two types of reflected waveforms with different phases, performing signal processing for calculating a difference between the two types of reflected waveforms, and displaying A characteristic electromagnetic ultrasonic flaw detection method.
請求項1に記載の発明において、
前記電磁超音波センサが磁歪駆動型電磁超音波センサであることを特徴とする電磁超音波探傷方法。
In the invention of claim 1,
An electromagnetic ultrasonic flaw detection method, wherein the electromagnetic ultrasonic sensor is a magnetostrictive drive type electromagnetic ultrasonic sensor.
請求項1に記載の発明において、
前記電磁超音波センサから送信される超音波が横波せん断波であることを特徴とする電磁超音波探傷方法。
In the invention of claim 1,
An ultrasonic ultrasonic flaw detection method, wherein the ultrasonic wave transmitted from the electromagnetic ultrasonic sensor is a shear wave.
請求項1に記載の発明において、
前記電磁超音波センサから送信される超音波波形の位相が180°異なることを特徴とする電磁超音波探傷方法。
In the invention of claim 1,
An electromagnetic ultrasonic flaw detection method, wherein phases of ultrasonic waveforms transmitted from the electromagnetic ultrasonic sensor differ by 180 °.
請求項2に記載の発明において、
前記磁歪駆動型電磁超音波センサのバイアス磁場の向きを変えることにより前記位相が変えられていることを特徴とする電磁超音波探傷方法。
In the invention of claim 2,
An electromagnetic ultrasonic flaw detection method characterized in that the phase is changed by changing the direction of a bias magnetic field of the magnetostrictive drive type electromagnetic ultrasonic sensor.
請求項5に記載の発明において、
前記超音波の発生時点が前記バイアス磁場の最大値時点と最小値時点に同期していることを特徴とする電磁超音波探傷方法。
In the invention of claim 5,
The electromagnetic ultrasonic flaw detection method, wherein the generation time of the ultrasonic wave is synchronized with the maximum value time and the minimum value time of the bias magnetic field.
電磁超音波センサを用いた超音波探傷装置において、
前記電磁超音波センサから送信される超音波信号の位相を制御する手段と、
位相が異なる超音波信号による2種の反射波を観測する手段と、
前記2種の反射波の差波形を計算する手段と、
前記差波形を表示する手段とを備えていることを特徴とする電磁超音波探傷装置。
In an ultrasonic flaw detector using an electromagnetic ultrasonic sensor,
Means for controlling the phase of an ultrasonic signal transmitted from the electromagnetic ultrasonic sensor;
Means for observing two kinds of reflected waves by ultrasonic signals having different phases;
Means for calculating a difference waveform of the two kinds of reflected waves;
An electromagnetic ultrasonic flaw detector comprising: means for displaying the difference waveform.
請求項7に記載の発明において、
前記電磁超音波センサが磁歪駆動型電磁超音波センサであることを特徴とする電磁超音波探傷装置。
In the invention of claim 7,
The electromagnetic ultrasonic flaw detector is characterized in that the electromagnetic ultrasonic sensor is a magnetostrictive drive type electromagnetic ultrasonic sensor.
請求項8記載の発明において、
前記電磁超音波センサから送信される超音波が横波せん断波であることを特徴とする電磁超音波探傷装置。
In the invention of claim 8,
The ultrasonic ultrasonic flaw detector characterized in that the ultrasonic wave transmitted from the electromagnetic ultrasonic sensor is a shear wave.
請求項8に記載の発明において、
前記磁歪駆動型電磁超音波センサは、バイアス磁場用電磁石と付加磁場用蛇行コイルにより構成されていることを特徴とする電磁超音波探傷装置。
In the invention of claim 8,
The magnetostrictive drive type electromagnetic ultrasonic sensor comprises an electromagnet for bias magnetic field and a meandering coil for additional magnetic field, and an electromagnetic ultrasonic flaw detector.
請求項7に記載の発明において、
前記バイアス磁場用電磁石のコイルに交流電流を流すことによりバイアス磁場の向きを変えることを特徴とする電磁超音波探傷装置。
In the invention of claim 7,
An electromagnetic ultrasonic flaw detector characterized in that the direction of a bias magnetic field is changed by passing an alternating current through a coil of the bias magnetic field electromagnet.
請求項7に記載の発明において、
前記バイアス磁場用コイルの電流波形と超音波の送信波形を表示する手段と、
前記超音波の送信タイミングを調整する手段とが備えられていることを特徴とする検査装置。
In the invention of claim 7,
Means for displaying the current waveform of the bias magnetic field coil and the transmission waveform of the ultrasonic wave;
An inspection apparatus comprising: means for adjusting the transmission timing of the ultrasonic wave.
請求項12において、送信のタイミングの調整に信号遅延装置を用いることを特徴とする検査装置。   13. The inspection apparatus according to claim 12, wherein a signal delay device is used to adjust transmission timing.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102520065A (en) * 2011-12-14 2012-06-27 杭州浙大精益机电技术工程有限公司 Magnetostriction guided wave detector
CN107192356A (en) * 2017-03-31 2017-09-22 中国特种设备检测研究院 Pulsed difference electromagnetism ultrasound measuring instrument device
US10175200B2 (en) 2014-05-30 2019-01-08 Prime Photonics, Lc Methods and systems for detecting nonuniformities in a material, component, or structure
US20230160858A1 (en) * 2020-04-30 2023-05-25 ULC Technologies Electro-Magnetic Acoustic Transducer (EMAT) having Electromagnet Array for Generating Configurable Bias Magnetic Field Patterns
CN116592988A (en) * 2023-07-17 2023-08-15 中国特种设备检测研究院 In-plane omnidirectional fluctuation field vector detection system

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5726744A (en) * 1980-04-18 1982-02-12 Studsvik Energiteknik Ab Method of and apparatus for transmitting or receiving electromagentic ultrasonic pulses
JP2001208526A (en) * 2000-01-26 2001-08-03 Takekazu Miya Method and apparatus for measuring thickness of surface heterogeneous layer

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5726744A (en) * 1980-04-18 1982-02-12 Studsvik Energiteknik Ab Method of and apparatus for transmitting or receiving electromagentic ultrasonic pulses
JP2001208526A (en) * 2000-01-26 2001-08-03 Takekazu Miya Method and apparatus for measuring thickness of surface heterogeneous layer

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102520065A (en) * 2011-12-14 2012-06-27 杭州浙大精益机电技术工程有限公司 Magnetostriction guided wave detector
US10175200B2 (en) 2014-05-30 2019-01-08 Prime Photonics, Lc Methods and systems for detecting nonuniformities in a material, component, or structure
CN107192356A (en) * 2017-03-31 2017-09-22 中国特种设备检测研究院 Pulsed difference electromagnetism ultrasound measuring instrument device
CN107192356B (en) * 2017-03-31 2023-12-01 中国特种设备检测研究院 Pulse differential electromagnetic ultrasonic detecting instrument
US20230160858A1 (en) * 2020-04-30 2023-05-25 ULC Technologies Electro-Magnetic Acoustic Transducer (EMAT) having Electromagnet Array for Generating Configurable Bias Magnetic Field Patterns
CN116592988A (en) * 2023-07-17 2023-08-15 中国特种设备检测研究院 In-plane omnidirectional fluctuation field vector detection system
CN116592988B (en) * 2023-07-17 2023-10-13 中国特种设备检测研究院 In-plane omnidirectional fluctuation field vector detection system

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