JP2006324549A - 素子転写装置、素子転写方法および表示装置の製造方法 - Google Patents
素子転写装置、素子転写方法および表示装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006324549A JP2006324549A JP2005147658A JP2005147658A JP2006324549A JP 2006324549 A JP2006324549 A JP 2006324549A JP 2005147658 A JP2005147658 A JP 2005147658A JP 2005147658 A JP2005147658 A JP 2005147658A JP 2006324549 A JP2006324549 A JP 2006324549A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- bonded
- adhesive layer
- contact
- actuator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67092—Apparatus for mechanical treatment
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Led Device Packages (AREA)
Abstract
【解決手段】第1基板51が載置される第1基板支持部11と、第1基板51に対向される第2基板52を支持する第2基板支持部12と、第1基板51上の素子55が第2基板52側に平行に接触するように第1基板支持部11の位置調整を行うあおり部21と、あおり部21を支持して移動させる可動ステージ41と、第1基板51上の素子55が第2基板52側に接触した状態を感知するもので、第1基板支持部11とあおり部21に形成されたセンサ支持部13との間に設けたセンサ部15と、第1基板51が第2基板52と接触したことで第1基板51の動作が停止した位置を測定するとともに、第1基板の接近動作が停止した後のあおり部21の動作量を測定する測定部61とを備えたものである。
【選択図】図1
Description
Claims (15)
- 第1基板に接着された素子を第2基板に接着させる素子転写装置であって、
第1基板が載置される第1基板支持部と、
前記第1基板に対向するように配置される第2基板を支持する第2基板支持部と、
前記第1基板に接着された素子が前記第2基板側に平行に接触するように前記第1基板支持部の位置調整を行うあおり部と、
前記あおり部を支持して移動させる可動ステージと、
前記第1基板に接着されている素子が前記第2基板側に接触した状態を感知するもので、前記第1基板支持部と前記あおり部側に形成されたセンサ支持部との間に設けたセンサ部と、
前記第1基板を前記第2基板に接近させたときに前記第1基板の動作が停止した位置を測定するとともに、前記第1基板が停止した後の前記あおり部の動作量を測定する測定部と
を備えたことを特徴とする素子転写装置。 - 前記あおり部は、
前記第1基板面の3角形の頂点となる各位置を支持して前記第1基板を昇降動作させるアクチュエータと、
前記各アクチュエータと前記センサ支持部との間に設けた弾性部と
を備えたことを特徴とする請求項1記載の素子転写装置。 - 前記可動ステージは、
規準となる第1基板と規準となる第2基板とが接触する位置における前記あおり部の位置を予め測定して求めてその位置を規準位置とし、
前記規準位置から所定の範囲内に前記あおり部を配置させる動作を有する
ことを特徴とする請求項1記載の素子転写装置。 - 前記可動ステージは、
前記第2基板に形成された接着層に前記素子を接着させた状態にして前記素子から前記第1基板は引き離す動作を有する
ことを特徴とする請求項1記載の素子転写装置。 - 前記センサ部は、
前記第1基板に接着した素子を前記第2基板側に押し当てたときにかかる荷重を測定する荷重センサからなる
ことを特徴とする請求項1記載の素子転写装置。 - 前記第2基板に対して前記第1基板を位置合わせするアライメント部
を備えたことを特徴とする請求項1記載の素子転写装置。 - 第1基板に接着された複数の素子を第2基板に形成された接着層に接着させる素子転写方法であって、
前記第1基板に接着された複数の素子を前記第2基板に形成された接着層に接近させる基板接近工程と、
前記第1基板に接着された複数の素子の少なくとも一部を前記第2基板に形成された接着層に接触させながら前記第1基板と前記第2基板とが平行になるように前記第1基板の位置調整を行って、前記複数の素子の全てを前記接着層に接触させる素子接触工程と、
前記第1基板に接着された素子を前記第2基板に形成された接着層に接触させた状態で接着させる素子接着工程と
を備えたことを特徴とする素子転写方法。 - 第1基板に接着された複数の素子を第2基板に接着させる素子転写方法であって、
第1基板が載置される第1基板支持部と、
前記第1基板に対向するように配置される第2基板を支持する第2基板支持部と、
前記第1基板に接着された素子が前記第2基板側に平行に接触するように前記第1基板支持部の位置調整を行うあおり部と、
前記あおり部を支持して移動させる可動ステージと、
前記第1基板に接着されている素子が前記第2基板側に接触した状態を感知するもので、前記第1基板支持部と前記あおり部側に形成されたセンサ支持部との間に設けたセンサ部と、
前記第1基板を前記第2基板に接近させたときに前記第1基板の動作が停止した位置を測定するとともに、前記第1基板が停止した後の前記あおり部の動作量を測定する測定部と
を備えた素子転写装置を用いる
ことを特徴とする請求項7記載の素子転写方法。 - 前記基板接近工程は、
前記第1基板を前記第2基板の所定の位置に対向させるアライメントを行うアライメント工程と、
規準となる第1基板と規準となる第2基板とが接触する位置を予め測定して求めた規準位置から所定の範囲内に前記第1基板が配置されるように、前記第1基板と前記第2基板とを配置する基板配置工程と
を備えたことを特徴とする請求項7記載の素子転写方法。 - 前記素子接触工程は、
前記第1基板に接着されている素子が前記第2基板側に接触した状態を前記第1基板が受ける圧力を測定することで感知するセンサ部を用いて、
第1基板に接着された素子が第2基板側に接触した際に発生する第1基板が受ける圧力を測定することで素子が第2基板側に接触したことを検出するとともに、
前記第1基板面の3角形の頂点となる各位置を支持して前記第1基板を昇降動作させるアクチュエータと、前記各アクチュエータと前記第1基板側との間に設けた弾性部とを備えたあおり部を用いて、前記第1基板を前記第2基板側に押し付ける方向に前記各アクチュエータを動作させた際に、
前記第1基板に接着された素子が前記第2基板側に接触したときの前記各アクチュエータの位置をアクチュエータの規準位置とし、
さらに前記アクチュエータを動作させた際の前記各アクチュエータの移動量を測定し、前記各規準位置からの前記各アクチュエータの移動量が所定の範囲内に収まるように前記各アクチュエータの移動量を調整することで、前記第1基板と前記第2基板とを平行に調整する
ことを特徴とする請求項7記載の素子転写方法。 - 前記素子接触工程は、
前記第1基板に接着されている素子が前記第2基板側に接触した状態を前記第1基板が受ける圧力を測定することで感知するセンサ部を用いるとともに、
前記第1基板面の3角形の頂点となる各位置を支持して前記第1基板を昇降動作させるアクチュエータと、前記各アクチュエータと前記第1基板側との間に設けた弾性部とを備えたあおり部を用いて、
前記第1基板の位置測定および圧力測定に対応した複数箇所を動作させて該第1基板を前記第2基板に接近、接触させる第1基板の動作工程と、
前記第1基板と前記第2基板とを接近させる際に、前記第2基板側に前記素子が接触することで前記第1基板に掛かる圧力を測定する圧力測定工程と、
前記第1基板に掛かる圧力値が、前記素子が前記接着層に接着可能な範囲内か否かを判定する圧力判定工程と、
前記圧力判定工程で前記圧力測定値が増加しつつあり、前記素子が前記接着層に接着可能な範囲内に前記圧力測定値がある場合には、前記圧力測定を行った第1基板の位置に対応する第1基板の接近動作を停止する動作停止工程と、
前記圧力判定工程で、前記素子が前記接着層に接着可能な範囲内に前記圧力測定値が達していない場合には、前記第1基板の接近動作工程の継続を指示する第1基板の接近動作の継続指示工程と、
前記第1基板と前記第2基板とを接近させる際に、前記素子が前記第2基板側に接触することで前記第1基板が停止される位置と、前記素子が前記第2基板側に接触した後に前記第1基板を押し付ける各アクチュエータの位置とを測定する位置測定工程と、
前記第1基板の停止位置と、前記アクチュエータの位置との差が、前記第1基板と前記第2基板とが平行と判断できる範囲内か否かを判定する位置判定工程と、
前記位置判定工程で、前記第1基板と前記第2基板とが平行と判断できる範囲内に前記第1基板の停止位置と、前記アクチュエータの位置との差がある場合には、前記位置測定を行った第1基板の位置に対応する第1基板の接近動作を停止する動作停止工程と、
前記位置判定工程で、前記第1基板と前記第2基板とが平行と判断できる範囲内に前記第1基板の停止位置と、前記アクチュエータの位置との差がない場合には、前記第1基板の接近動作工程の継続を指示する第1基板の接近動作の継続指示工程と、
前記位置測定位置および圧力測定位置の全ての位置で前記動作停止条件が満たされたか否かを判定する動作停止判定工程とを備え、
前記動作停止判定工程で
前記第1基板の動作停止条件が全て満たされている場合には、第1基板の接近動作が停止されて前記素子接着工程に移行し、
前記第1基板の動作停止条件の一部もしくは全部が満たされていない場合には、前記第1基板の動作停止条件の満たされていない位置において前記第1基板の接近動作工程に戻る
ことを特徴とする請求項7記載の素子転写方法。 - 前記素子接着工程は、
前記素子を前記接着層に接着させた状態を保持する素子接着保持工程と、
前記素子を前記接着層に接着させた状態で前記第1基板と前記第2基板とを引き離して前記素子から前記第1基板を引き離す基板離間工程と
を備えたことを特徴とする請求項7記載の素子転写方法。 - 前記第1基板に接着された素子を前記第2基板に形成された接着層に接着させた後、
前記第1基板を新たな素子が接着された第1基板に交換する工程を行い、
その後、前記基板接近工程と、前記素子接触工程と、前記素子接着工程とを行って、
前記新たな素子を前記第2基板の別の位置に接着させる
ことを特徴とする請求項7記載の素子転写方法。 - 前記第1基板に接着された素子を前記第2基板に形成された接着層に接着させた後、
前記第1基板を新たな素子が接着された第1基板に交換する工程を行い、
その後、前記基板接近工程と、前記素子接触工程と、前記素子接着工程とを行って、
前記新たな素子を前記第2基板の別の位置に接着させる
ことを複数回繰り返す
ことを特徴とする請求項7記載の素子転写方法。 - 第1基板に接着された発光素子を第2基板に形成された接着層に接着させて、複数の発光素子を配列実装する表示装置の製造方法において、
第1基板に接着された複数の素子を第2基板に形成された接着層に接着させる素子転写方法であって、
前記第1基板に接着された複数の素子を前記第2基板に形成された接着層に接近させる基板接近工程と、
前記第1基板に接着された複数の素子の少なくとも一部を前記第2基板に形成された接着層に接触させながら前記複数の素子の全てが前記接着層に均一に接触するように前記第1基板の位置調整を行って、前記複数の素子の全てを前記接着層に接触させる素子接触工程と、
前記第1基板に接着された素子を前記第2基板に形成された接着層に均一に接触させたれた状態で接着させる素子接着工程と
を備えたことを特徴とする表示装置の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005147658A JP2006324549A (ja) | 2005-05-20 | 2005-05-20 | 素子転写装置、素子転写方法および表示装置の製造方法 |
US11/383,892 US7572649B2 (en) | 2005-05-20 | 2006-05-17 | Device transferring system, device transferring method, and display manufacturing method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005147658A JP2006324549A (ja) | 2005-05-20 | 2005-05-20 | 素子転写装置、素子転写方法および表示装置の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006324549A true JP2006324549A (ja) | 2006-11-30 |
Family
ID=37464003
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005147658A Pending JP2006324549A (ja) | 2005-05-20 | 2005-05-20 | 素子転写装置、素子転写方法および表示装置の製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7572649B2 (ja) |
JP (1) | JP2006324549A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013015515A1 (ko) * | 2011-07-28 | 2013-01-31 | 주식회사 쎄믹스 | 척에 대한 평탄도 외부조정장치 및 이를 구비하는 프로버 |
JP2020528660A (ja) * | 2017-07-18 | 2020-09-24 | ルーメンス カンパニー リミテッド | 発光ダイオードモジュール製造装置及び方法 |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2929758B1 (fr) * | 2008-04-07 | 2011-02-11 | Commissariat Energie Atomique | Procede de transfert a l'aide d'un substrat ferroelectrique |
US10520769B2 (en) | 2014-10-31 | 2019-12-31 | eLux, Inc. | Emissive display with printed light modification structures |
US9825202B2 (en) | 2014-10-31 | 2017-11-21 | eLux, Inc. | Display with surface mount emissive elements |
US10543486B2 (en) | 2014-10-31 | 2020-01-28 | eLux Inc. | Microperturbation assembly system and method |
US10381332B2 (en) | 2014-10-31 | 2019-08-13 | eLux Inc. | Fabrication method for emissive display with light management system |
US10242977B2 (en) | 2014-10-31 | 2019-03-26 | eLux, Inc. | Fluid-suspended microcomponent harvest, distribution, and reclamation |
US10418527B2 (en) | 2014-10-31 | 2019-09-17 | eLux, Inc. | System and method for the fluidic assembly of emissive displays |
US10381335B2 (en) | 2014-10-31 | 2019-08-13 | ehux, Inc. | Hybrid display using inorganic micro light emitting diodes (uLEDs) and organic LEDs (OLEDs) |
US10446728B2 (en) | 2014-10-31 | 2019-10-15 | eLux, Inc. | Pick-and remove system and method for emissive display repair |
US10535640B2 (en) | 2014-10-31 | 2020-01-14 | eLux Inc. | System and method for the fluidic assembly of micro-LEDs utilizing negative pressure |
US10236279B2 (en) | 2014-10-31 | 2019-03-19 | eLux, Inc. | Emissive display with light management system |
US10319878B2 (en) | 2014-10-31 | 2019-06-11 | eLux, Inc. | Stratified quantum dot phosphor structure |
KR102396878B1 (ko) * | 2020-06-30 | 2022-05-12 | 유니버셜 서킷 보드 이큅먼트 컴퍼니 리미티드 | 표면 처리 장치 |
CN114520176B (zh) * | 2020-11-18 | 2023-12-26 | 长鑫存储技术有限公司 | 真空腔室及晶圆机台 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0485839A (ja) * | 1990-07-26 | 1992-03-18 | Sharp Corp | チップボンディング装置 |
JP2004281630A (ja) * | 2003-03-14 | 2004-10-07 | Sony Corp | 素子転写方法、素子転写用基板および表示装置 |
JP2004304161A (ja) * | 2003-03-14 | 2004-10-28 | Sony Corp | 発光素子、発光装置、画像表示装置、発光素子の製造方法及び画像表示装置の製造方法 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4082242B2 (ja) | 2003-03-06 | 2008-04-30 | ソニー株式会社 | 素子転写方法 |
-
2005
- 2005-05-20 JP JP2005147658A patent/JP2006324549A/ja active Pending
-
2006
- 2006-05-17 US US11/383,892 patent/US7572649B2/en active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0485839A (ja) * | 1990-07-26 | 1992-03-18 | Sharp Corp | チップボンディング装置 |
JP2004281630A (ja) * | 2003-03-14 | 2004-10-07 | Sony Corp | 素子転写方法、素子転写用基板および表示装置 |
JP2004304161A (ja) * | 2003-03-14 | 2004-10-28 | Sony Corp | 発光素子、発光装置、画像表示装置、発光素子の製造方法及び画像表示装置の製造方法 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013015515A1 (ko) * | 2011-07-28 | 2013-01-31 | 주식회사 쎄믹스 | 척에 대한 평탄도 외부조정장치 및 이를 구비하는 프로버 |
KR101228099B1 (ko) | 2011-07-28 | 2013-02-01 | 주식회사 쎄믹스 | 척에 대한 평탄도 외부조정장치 및 이를 구비하는 프로버 |
JP2020528660A (ja) * | 2017-07-18 | 2020-09-24 | ルーメンス カンパニー リミテッド | 発光ダイオードモジュール製造装置及び方法 |
JP7096261B2 (ja) | 2017-07-18 | 2022-07-05 | ルーメンス カンパニー リミテッド | 発光ダイオードモジュール製造装置及び方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7572649B2 (en) | 2009-08-11 |
US20060270188A1 (en) | 2006-11-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2006324549A (ja) | 素子転写装置、素子転写方法および表示装置の製造方法 | |
JP4761026B2 (ja) | 素子転写装置、素子の転写方法および表示装置の製造方法 | |
US7998833B2 (en) | Method for bonding wafers | |
JP5372156B2 (ja) | 液晶表示装置の製造装置及び液晶表示装置の製造方法 | |
TW201801203A (zh) | 使用器件晶片之電子器件的製造方法及其製造裝置 | |
JP6337108B2 (ja) | 半導体ウェーハのレベリング、力の平衡化、および接触感知のための装置および方法 | |
JP6988801B2 (ja) | 積層装置および積層方法 | |
US20180366353A1 (en) | Chip-bonding system and method | |
JP2013187393A (ja) | 貼り合わせ装置及び貼り合わせ方法 | |
KR102169271B1 (ko) | Led 구조체 전사 장치 | |
TWI509720B (zh) | A foreign object inspection apparatus and a semiconductor manufacturing apparatus | |
CN109075105A (zh) | 用于制造多个电子电路的设备和方法 | |
CN102403196B (zh) | 薄片粘贴装置及粘贴方法 | |
JP2008300414A (ja) | 薄膜形成装置および薄膜形成方法 | |
JP4715301B2 (ja) | 素子転写装置、素子転写方法および表示装置の製造方法 | |
JP2016525284A (ja) | ウェーハを位置合わせおよび中心化するための装置および方法 | |
KR101390063B1 (ko) | 레벨링 장치 및 이를 포함하는 원자현미경 | |
TWI454418B (zh) | 將膠帶自基板移除之方法與系統 | |
JP4247296B1 (ja) | 積層接合装置および積層接合方法 | |
JP4209456B1 (ja) | 積層接合装置用治具 | |
JP5347235B2 (ja) | 基板接合装置および基板接合方法 | |
JP2021162821A (ja) | 位置合わせ装置、パターン形成装置及び物品の製造方法 | |
KR101217825B1 (ko) | Led 칩 정렬 방법 및 led 칩 정렬 장치 | |
JP2009194264A (ja) | 基板貼り合わせ装置 | |
TWI653699B (zh) | 用於組件堆疊及/或取放流程之多個微小化拾取元件 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080501 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20091021 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20091026 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20091109 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101228 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110113 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20110628 |