JP2006322534A - 防振装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 水平に固定配置された下板と、この下板に対して上方に所定間隔で水平に配置され且つ構造物等の被支持物を支持する上板と、上記下板と上板とを互いに連結する粘弾性体と、上記下板と上板との間にて鉛直方向に配置される圧縮コイルバネと、を含んでいる防振装置であって、上記コイルバネが、上記下板から上板に向かって鉛直に延びる中心線の周りに点対称である複数対の等角度間隔の位置に配置されていて、それぞれ外径と比較して自由長の長いコイルバネから成るように、防振装置10を構成する。
【選択図】 図1
Description
(数1)
構造物を支持する際の撓み量に従属し、撓み量が大きくなるほど、固有振動数が低くなり、除振効果が向上することを利用している。
すなわち、上記防振装置においては、鉛直方向の振動を抑制するように構成されており、水平方向の振動を抑制するようには構成されていない。このため、水平方向の振動を抑制することは困難であった。
これにより、被支持物の重心より下方の回転(一次回転)の固有振動数が重心より上方の回転(二次回転)の固有振動数より低くなり、上板そして被支持物の水平方向の揺れが、重心より下方側の揺れが低周波となって、鉛直方向よりも水平方向のたわみ量が相対的に大きくなるので、水平方向の固有振動数が低下し、水平方向の除振効果が向上することになる。
なお、水平方向のバネ定数が鉛直方向のバネ定数に対して1/5を超える場合、または水平方向のバネ定数が鉛直方向のバネ定数に対して1/25未満の場合には、被支持物の重心より上方の回転中心がこの重心位置から離れてしまうので、被支持物の水平方向の揺れを抑制することが困難になってしまう。
これにより、水平方向の揺れの原因となる一次回転と鉛直方向の揺れの原因となる二次回転が分離され得るので、水平方向の揺れが効果的に抑制され得ることになる。
なお、以下に述べる実施形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。
図1において、防振装置10は、下板11と、上板12と、これらの下板11と上板12との間に配置される複数対(図示の場合、二対)の圧縮コイルバネ13と、から構成されている。
上記上板12は、同様に例えば平板から構成されており、上記下板11に対して、その上方に所定間隔で水平に配置されている。
さらに、上記上板12は、その上面に載置された構造物等の被支持物(例えば電子顕微鏡)14を支持するようになっている。
さらに、各圧縮コイルバネ13は、水平方向のバネ定数Khが、鉛直方向のバネ定数Kzに対して、その1/5乃至1/25程度となるように選定されている。
これにより、下板11が振動したとき、この下板11の振動が各圧縮コイルバネ13により吸収されることにより、上板12そして装置14の振動が抑制され得ることになる。
Lをマウント位置(上板12の上面)から重心点までの距離(cm),Kz及びKhをそれぞれ圧縮コイルバネ13の鉛直方向及び水平方向のバネ定数(kg/cm),Gを重心位置,Sをマウント位置からの重心高さ(cm)とすると、このときの回転運動の中心の上記重心位置からの距離Zrは、
(数2)
で表わされる。ここで、B,e0 ,Kh,i0 は、以下の式、即ち
(数3)
(数4)
(数5)
(数6)
で表わされる。なお、Igは、重心周りの慣性モーメント(kg・cm2 )である。
そして、この回転中心での固有振動数は、以下の式
(数7)
で表わされる。これを解くと、再び二個の解、即ち重心より下方側の(一次回転による)固有振動数fr1及び重心より上方側の(二次回転による)固有振動数fr2(ここで、fr1<fr2)が得られる。
そして、これらの固有振動数から、上記防振装置10により支持された装置14の水平方向の揺れは、重心より下方側の揺れが低周波となり、重心より上方側の揺れがより高周波となることが分かる。
従って、上述した各圧縮コイルバネ13のバネ定数比Kh/Kzを変化させて、前述した剛体モードを計算する。
これに対して、Kh/Kz=0.2の場合には、図4(B)に示すように、二次回転の中心が重心位置Gに近くなり、二次回転による揺れが小さくなる。
さらに、Kh/Kz=0.07の場合には、図4(C)に示すように、二次回転の中心が重心位置Gとほぼ同じになり、二次回転による揺れがさらに小さくなる。
従って、バネ定数比Kh/Kz≦1/5となることが、装置14の水平方向の揺れを抑制するために有効であることが分かる。
即ち、図5(A)においては、三対の圧縮コイルバネ13が互いに等角度間隔に、そして一つおきに同じバネ定数を有するように配置されている。
図5(B)においては、同様に一つおきに同じバネ定数の圧縮コイルバネ13が配置されている。
図5(C)においては、所定のバネ定数を有する一対の圧縮コイルバネ13が対角線上に配置されていると共に、他の圧縮コイルバネはこれとは異なるバネ定数を有するようになっている。
図5(D)においては、第一のバネ定数を有する一対の圧縮コイルバネ13が対角線上に配置されていると共に、第二のバネ定数を有する一対の圧縮コイルバネ13が、上記圧縮コイルバネとは直角方向の対角線上に配置されており、他の圧縮コイルバネはこれとは異なるバネ定数を有するようになっている。
図6において、防振装置20は、下板21と、上板22と、これらの下板21と上板22との間に配置される複数対の圧縮コイルバネ23と、下板21及び上板22の中心軸に沿って配置された粘弾性体24と、から構成されている。
上記下板21及び上板22は、図1に示した防振装置10における下板11及び上板12と同様の構成であるので、詳細な説明は省略する。
すなわち、各圧縮コイルバネ23は、それぞれ下側バネ23aと上側バネ23bから構成されており、下側バネ23aと上側バネ23bとは同じバネ比率となるように配置されている。
そして、上記粘弾性体24は、下端が下板21の上面中心に設けられた比較的浅い溝孔21b内に挿入され、接着等により固定されている。
さらに、上記粘弾性体24は、その上端面に平坦な円板状の金具24aが取り付けられている。
また、上記調整ネジ22cをねじ込むことにより、粘弾性体24が中空円筒部22a内で上下方向に圧縮されて、その側面が中空円筒部22aの内壁面に当たることによって、水平方向の減衰力が増大され得ることになる。
この場合、各圧縮コイルバネ23のバネ定数比Kh/Kzは、Kh/Kz≧1/25とすることによって、一次回転の揺れと二次回転の揺れを分離することが可能になる。これにより、水平方向の揺れがより一層効果的に抑制され得ることになる。
図7(A)は、粘弾性体なしで、fr1=1.7Hz,fr2=4.0Hzの場合の振動伝達率を示しており、一次回転及び二次回転の固有振動周波数fr1,fr2が互いに近いと、一次回転の揺れが収まる周波数帯で二次回転の揺れが発生することになり、除振特性が悪化することになる。
また、図7(B)は、同様に粘弾性体なしで、fr1=1.2Hz,fr2=5.1Hzの場合の振動伝達率を示しており、上記固有振動周波数fr1,fr2が互いに離れることによって、二次回転による振動伝達率の立上りが小さくなり、除振特性が改善されることが分かる。
これに対して、図7(C)は、図7(B)の条件に、粘弾性体24を追加した場合の振動伝達率を示しており、粘弾性体24により鉛直方向に強い減衰力が作用することにより、鉛直方向に作用する二次回転による振動が効果的に抑制され、除振特性がより一層改善されることが分かる。
図8において、防振装置30は、図6に示した防振装置20と同様の構成であるので、同じ構成要素には同じ符号を付して、その説明を省略する。
上記防振装置30は、図6に示した防振装置20と比較して、粘弾性体24が上下逆に配置されていると共に、粘弾性体24を受容する中空円筒部22aの代わりに、下板21側に備えられた中空円筒部21cを備えている点でのみ異なる構成になっている。
図9において、防振装置40は、図6に示した防振装置20と同様の構成であるので、同じ構成要素には同じ符号を付して、その説明を省略する。
上記防振装置40は、図6に示した防振装置20と比較して、上板22側の中空円筒部22aに加えて、下板21側に備えられた中空円筒部21cを備えている点で異なる構成になっている。尚、この場合には、下板21側の中空円筒部21cは、調整ネジを備えていない。
さらに、この場合、粘弾性体24の比Hk/Hnを小さくすることができるので、水平方向に関する減衰力をより大きく設定することができると共に、粘弾性体24の全長を長くすることができることから、鉛直方向の減衰力を小さく設定することも可能になる。
図11において、防振装置50は、下板51と、上板52と、これらの下板51と上板52との間にて中心軸に沿って配置されるただ一つの圧縮コイルバネ53と、下板21及び上板22の側縁にて鉛直方向に配置された粘弾性体54と、から構成されている。
上記下板51及び上板52は、図1に示した防振装置10における下板11及び上板12と同様の構成であるので、詳細な説明は省略する。
ここで、前記数式(1)から、f0 を2.0Hz以下に設定するためには、たわみ量δが65mm以上にする必要がある。このとき、上記圧縮コイルバネ53を撓ませた状態で、図6に示すように、粘弾性体54を圧縮コイルバネ53の内側に配置することは困難である。
これにより、鉛直方向に作用する一次回転の揺れが効果的に抑制されるが、二次回転の中心は重心位置Gより高い位置に在るので、水平方向の減衰力を高める必要がある。このため、粘弾性体54は、図9に示した防振装置40におけると同様に、下板51側及び上板52側にそれぞれ設けられた双方の中空円筒部内に挿入されることにより、水平方向の減衰力が高められるようになっている。
さらに、この場合、粘弾性体54が圧縮コイルバネ53の外側に配置されているので、鉛直方向に柔らかく、たわみ量の大きいバネを使用した場合でも、確実に粘弾性体54を配置することができる。
図13において、防振装置60は、図6に示した防振装置20と同様の構成であるので、同じ構成要素には同じ符号を付して、その説明を省略する。
上記防振装置60は、図6に示した防振装置20と比較して、鉛直方向に配置された粘弾性体24の代わりに、上方に向かって所定角度θだけ互いに逆方向に外側に向かって傾斜して配置された一対の粘弾性体61を備えている点で異なる構成になっている。
なお、この場合、上記一対の粘弾性体61の上記所定角度θはそれぞれ異なっていてもよい。
これにより、装置14の一次回転及び二次回転による回転運動の向きに沿って各粘弾性体61を配置することにより、より大きな減衰量が得られ、共振現象が抑制され得ることになる。
ここで、各粘弾性体61は、図14(A)に示すように、図5(A)と同様に環状に配置された四対の圧縮コイルバネ23のうち、対角線上に位置する一対の圧縮コイルバネが省略され、省略された圧縮コイルバネが在ったスペースに、配置されるようになっている。
なお、圧縮コイルバネ23が、図14(B)に示すように二列に並んで配置され、これらの列の間に、上記各粘弾性体61が配置されていてもよい。
これにより、装置14に関して水平方向に作用する一次回転の揺れが、粘弾性体61によって重心位置Gに関して効果的に抑制され、X方向及びY方向の揺れが抑制されることになる。
その際、二次回転の固有振動数は一次回転の固有振動数より高いことから、減衰力の大きい粘弾性体61を使用することによって、より強い減衰効果が得られることになる。
すなわち、粘弾性体が垂直に配置されている場合には、水平方向の減衰力を得るために、粘弾性体を調整ネジで圧縮したり、長手方向の有効長を変化させる等により水平方向の減衰力を調整していたので、大きな水平方向の減衰力を得ることができず、さらに水平方向の減衰力の調整に伴って鉛直方向の減衰力も変化してしまった。
これに対して、本発明実施形態の防振装置60によれば、粘弾性体61が傾斜して配置されていることによって、鉛直方向に関して粘弾性体61の曲げ変形による減衰力が得られることになるので、鉛直方向の減衰力をあまり強くすることなく、水平方向に関して強い減衰力が得られることになる。
また、図18は、装置14として電子顕微鏡を使用した場合における種々の減衰定数、即ち減衰定数0.15,0.22及び0.4に対する電子顕微鏡のステージ移動時の振動減衰波形を示すグラフである。これらのグラフによって、減衰定数0.4であれば、防振装置60の除振作用によって、2秒以内に振動が収まることが分かる。
これにより、図19(B)に詳細に示すように、二次回転による揺れが、粘弾性体61の長手方向とほぼ一致することにより、粘弾性体61の長手方向の減衰力により効果的に抑制されると共に、一次回転による低周波の揺れが、粘弾性体61の曲げによる減衰力により抑制されることになる。
図20において、上段の三つのグラフ(図20(A),(B),(C))が粘弾性体61を備えていない場合の除振特性(振動伝達率)を示しており、下段の三つのグラフ(図20(D),(E),(F))が粘弾性体61を備えた場合の除振特性を示している。
また、各段の三つのグラフは、左から順に、水平X方向,水平Y方向そして鉛直Z方向の除振特性を示している。
これに対して、下段の三つのグラフから、粘弾性体61を備えている場合には、二次回転の揺れが粘弾性体61により減衰されることから、共振周波数は、それぞれ水平方向に関して約0.85(共振倍率2dB)、そして鉛直方向に関して約4.65Hz(共振倍率14dB)のみになる。すなわち、共振領域が水平方向の一次回転の揺れ、そして鉛直並進モードのみとなり、広い範囲で除振効果が得られることが分かる。
11 下板
12 上板
13 圧縮コイルバネ
14 装置(電子顕微鏡)
20,30,40 防振装置
21 下板
21c 中空円筒部
21d バネ受け孔
22 上板
22a 中空円筒部
22c 調整ネジ
22d バネ受け孔
23 圧縮コイルバネ
23a 下側バネ
23b 上側バネ
24 粘弾性体
50 防振装置
51 下板
52 上板
53 圧縮コイルバネ
54 粘弾性体
60 防振装置
61 粘弾性体
Claims (16)
- 水平に固定配置された下板と、この下板に対して上方に所定間隔で水平に配置され且つ構造物等の被支持物を支持する上板と、上記下板と上板とを互いに連結する粘弾性体と、上記下板と上板との間にて鉛直方向に配置される圧縮コイルバネと、を含んでいる防振装置であって、
上記コイルバネが、上記下板から上板に向かって鉛直に延びる中心線の周りに点対称である複数対の等角度間隔の位置に配置されていて、それぞれ外径と比較して自由長の長いコイルバネから構成されていることを特徴とする、防振装置。 - 上記各コイルバネの水平方向のバネ定数が、鉛直方向のバネ定数に対して、1/5乃至1/25であることを特徴とする、請求項1に記載の防振装置。
- 上記コイルバネのうち、上記中心線に関して一つおきに同じバネ定数のコイルバネが配置されていることを特徴とする、請求項1または2に記載の防振装置。
- 上記コイルバネのうち、上記中心線に関して対称位置に同じバネ定数のコイルバネが配置されていることを特徴とする、請求項1または2に記載の防振装置。
- 上記各コイルバネが、鉛直方向に関して中間板を介して互いに連結された二段に構成されていることを特徴とする、請求項1から4の何れかに記載の防振装置。
- 上記コイルバネが、鉛直方向に関して中間板を介して互いに連結された二段に構成されている防振装置において、上側のバネの弾性中心は下側のバネの弾性中心と同軸に配置することを特徴とする、請求項1から5の何れかに記載の防振装置。
- 上記コイルバネが、鉛直方向に関して中間板を介して互いに連結された二段に構成されている防振装置において、上側のバネ構成は下側のバネ構成と同一のバネ比率を有し、上記バネ構成のうちバネ定数の大きいバネの上にはバネ定数の大きいバネを構成することを特徴とする、請求項1から6の何れかに記載の防振装置。
- 上記粘弾性体が、上板及び下板の中心線上に配置されていることを特徴とする、請求項1から7の何れかに記載の防振装置。
- 上記粘弾性体が、上板及び下板の中心線から外れて配置されていることを特徴とする、請求項1から7の何れかに記載の防振装置。
- 上記粘弾性体が、上記中心線方向に延び且つ下板及び/または上板に固定された中空円筒部内に配置されており、上記中空円筒部内に挿脱可能な調整ネジにより中心軸方向に圧縮調整されることを特徴とする、請求項1から7の何れかに記載の防振装置。
- 上記粘弾性体が、上板及び下板の中心線に対して線対称に且つこの中心線に対して傾斜して配置されていることを特徴とする、請求項1から7の何れかに記載の防振装置。
- 上記粘弾性体の傾斜角度がそれぞれ異なっていることを特徴とする、請求項11に記載の防振装置。
- 上記粘弾性体の内側粘弾性体の傾斜が、一次回転の中心に対してほぼ垂直な接線方向と一致するように、また外側粘弾性体の傾斜が、二次回転の中心に対してほぼ垂直な接線方向と一致するように、それぞれ選定されることを特徴とする、請求項11に記載の防振装置。
- 上記粘弾性体の受け台傾斜面がそれぞれ異なっていることを特徴とする、請求項11に記載の防振装置。
- 上記粘弾性体が、その長手方向に延び且つ一端が下板または上板に固定された中空円筒部内に配置されており、他端が上板または下板側に固定されていて、上記中空円筒部内に挿脱可能な調整ネジにより長手軸方向に圧縮調整されることを特徴とする、請求項11に記載の防振装置。
- 上記粘弾性体が、調整ネジ側に向かって徐々に小径になるテーパ状に形成されていることを特徴とする、請求項8に記載の防振装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005146185A JP2006322534A (ja) | 2005-05-19 | 2005-05-19 | 防振装置 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005146185A JP2006322534A (ja) | 2005-05-19 | 2005-05-19 | 防振装置 |
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JP2006322534A true JP2006322534A (ja) | 2006-11-30 |
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---|---|---|---|
JP2005146185A Pending JP2006322534A (ja) | 2005-05-19 | 2005-05-19 | 防振装置 |
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5828035A (ja) * | 1981-08-11 | 1983-02-18 | Saiichi Okamoto | 防振軌道とその防振装置 |
JP2002147528A (ja) * | 2000-11-14 | 2002-05-22 | Nec Environment Eng Ltd | 除振マウント |
JP2004270732A (ja) * | 2003-03-05 | 2004-09-30 | Tokkyokiki Corp | 防振具 |
-
2005
- 2005-05-19 JP JP2005146185A patent/JP2006322534A/ja active Pending
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