JP2006321229A - Polyimide film laminate - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a polyimide film laminate suppressed of foaming and delaminating in a high temperature stage in its production by enhancing rate of gas and moisture permeation through the use of a diamine component of a specified structure as to the polyimide obtained from a tetracarboxylic acid dianhydride component and a diamine component. <P>SOLUTION: This polyimide film laminate comprises a metal layer and a polyimide layer directly laminated thereon, which is produced by applying a polyamic acid solution composition, obtained from a tetracarboxylic acid dianhydride component and a diamine containing 0.5-30 mol% diamine of a specific structure in 100 mol% diamine, on a metal foil in a film state, and vaporizing the solvent and concurrently imidizing the polyamic acid. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

この発明は、電子・電気工業関係に使用されるプリント配線板を製造するための銅張配線基板などとして好適に使用することができ、金属材料の種類によってはその他の電子材料、例えばヒ−タ−、放熱板、熱応答素子、ハ−ドディスクサスペンションなどとしても使用することができる、ポリイミド膜層の製膜用のド−プ液として使用されるポリアミック酸の溶液組成物から形成されたポリイミド層と金属層とが直接積層されているポリイミドフィルム積層体に関するものである。
さらに詳しくは、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物を必須成分とするテトラカルボン酸二無水物が出発テトラカルボン酸二無水物成分であり、特定の構造を有する芳香族ジアミンを必須成分とするジアミンが出発ジアミン成分であるポリアミック酸溶液組成物を、金属薄膜上に膜状に流延し、溶媒を揮発させるとともにポリアミック酸をイミド化して形成された、芳香族ポリイミド層と金属層とからなるポリイミドフィルム積層体に関するものである。
The present invention can be suitably used as a copper-clad wiring board or the like for manufacturing a printed wiring board used in the electronic / electrical industry. Depending on the type of metal material, other electronic materials such as heaters can be used. -A polyimide formed from a polyamic acid solution composition used as a dope liquid for forming a polyimide film layer, which can also be used as a heat sink, a heat responsive element, a hard disk suspension, etc. The present invention relates to a polyimide film laminate in which a layer and a metal layer are directly laminated.
More specifically, a tetracarboxylic dianhydride having 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride as an essential component is a starting tetracarboxylic dianhydride component, and has a specific structure. Aromatic polyimide formed by casting a polyamic acid solution composition in which a diamine containing an aromatic diamine as an essential component is a starting diamine component into a film on a metal thin film, volatilizing the solvent and imidizing the polyamic acid It is related with the polyimide film laminated body which consists of a layer and a metal layer.

耐熱性のポリイミドを与える3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物系のポリイミドとしては3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物とパラフェニレンジアミンとをそれぞれ出発酸二無水物成分および出発ジアミン成分とするポリイミドが一般的であり、低線膨張係数で高弾性率のポリイミドを与えることが知られている。   3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride-based polyimide that gives heat-resistant polyimide includes 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, paraphenylenediamine, Are generally known to have a starting acid dianhydride component and a starting diamine component, respectively, and are known to give a polyimide having a low coefficient of linear expansion and a high elastic modulus.

また、このポリイミドからなるフィルムは、熱的性質および電気的性質に優れているため、電子機器類の用途に広く使用されている。しかしながら、通常電子分野で使用される接着剤では大きな接着強度が得られず、金属蒸着やスパッタリングして金属層を設けた積層体は剥離強度が比較的小さい。   Moreover, since the film which consists of this polyimide is excellent in a thermal property and an electrical property, it is widely used for the use of electronic devices. However, an adhesive usually used in the electronic field does not provide a large adhesive strength, and a laminate provided with a metal layer by metal deposition or sputtering has a relatively low peel strength.

さらに、このポリイミドからなるフィルムは、飽和吸水率が低く、吸湿膨張係数が低いため環境変化に対する寸法安定性を有するという利点がある。しかしながら、反面透湿速度が比較的小さいため、キャスティング法で製造した積層体は金属−ポリイミド界面で発泡や剥離が生じる傾向がある。   Furthermore, this polyimide film has a low saturated water absorption rate and a low hygroscopic expansion coefficient, and therefore has the advantage of having dimensional stability against environmental changes. However, since the moisture permeation rate is relatively small, the laminate produced by the casting method tends to foam or peel off at the metal-polyimide interface.

従来、芳香族ポリイミド膜層と金属材料層とからなるポリイミド積層体およびその製造方法については、例えば特許文献1、特許文献2、特許文献3、特許文献4に記載、示唆されていることが知られていた。   Conventionally, a polyimide laminate comprising an aromatic polyimide film layer and a metal material layer and a method for producing the same are described and suggested in, for example, Patent Document 1, Patent Document 2, Patent Document 3, and Patent Document 4. It was done.

また特許文献5には、ビフェニルテトラカルボン酸無水物類とピロメリット酸無水物類とからなる芳香族テトラカルボン酸成分と、フェニレンジアミン類とジアミノジフェニルエ−テル類とからなる芳香族ジアミン成分を重合して得られた芳香族ポリアミック酸溶液組成物を金属薄膜上に流延し、その膜を乾燥すると共に高温下にイミド化して形成された芳香族ポリイミド膜層と金属膜層とからなるポリイミド複合シ−トが提案されている。   Patent Document 5 discloses an aromatic tetracarboxylic acid component composed of biphenyltetracarboxylic acid anhydrides and pyromellitic acid anhydrides, and an aromatic diamine component composed of phenylenediamines and diaminodiphenyl ethers. A polyimide comprising an aromatic polyimide film layer and a metal film layer formed by casting an aromatic polyamic acid solution composition obtained by polymerization onto a metal thin film, drying the film and imidizing at a high temperature A composite sheet has been proposed.

また特許文献6には、ビフェニルテトラカルボン酸無水物類とピロメリット酸無水物類とからなる芳香族テトラカルボン酸成分と、フェニレンジアミン類とジアミノジフェニルエ−テル類とからなる芳香族ジアミン成分を重合して得られた芳香族ポリアミック酸溶液組成物を、アルカリエッチング可能な金属基材上に流延、イミド化したのち、金属基材をエッチングして形成された芳香族ポリイミド膜層と金属膜層とからなるプリント配線基板が提案されている。   Patent Document 6 discloses an aromatic tetracarboxylic acid component composed of biphenyltetracarboxylic anhydrides and pyromellitic acid anhydride, and an aromatic diamine component composed of phenylenediamines and diaminodiphenyl ethers. Aromatic polyimide film layer and metal film formed by casting and imidizing an aromatic polyamic acid solution composition obtained by polymerization onto an alkali-etchable metal substrate and then etching the metal substrate A printed wiring board composed of layers has been proposed.

また特許文献7には、脂肪族テトラカルボン酸無水物とジアミン類とからなる成分を重合して得られたポリアミック酸溶液組成物を金属基材上に流延、イミド化して形成されたポリイミド膜層と金属膜層とからなるフレキシブルプリント配線基板が提案されている。   Patent Document 7 discloses a polyimide film formed by casting and imidizing a polyamic acid solution composition obtained by polymerizing a component comprising an aliphatic tetracarboxylic acid anhydride and a diamine on a metal substrate. A flexible printed wiring board composed of a layer and a metal film layer has been proposed.

特公昭59−18221号公報Japanese Patent Publication No.59-18221 特開昭57−181857号公報JP-A-57-181857 特開昭62−212140号公報JP-A-62-212140 特公平1−52843号公報Japanese Patent Publication No. 1-52843 特開昭61−111359号公報JP-A-61-111359 特開平3−85789号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 3-85789 特開2004−358961号公報JP 2004-358916 A

この発明の目的は、テトラカルボン酸二無水物成分とジアミン成分とから得られるポリイミドとして、特定の構造を有するジアミン成分を用いることにより、ガス透過速度、透湿速度の向上により、ポリイミドフィルム積層体の製造時の高温工程における発泡剥離を抑制したポリイミドフィルム積層体を提供することである。
特にテトラカルボン酸二無水物成分として、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物を必須成分として用い、ジアミン成分としてパラフェニレンジアミンを必須成分として用いて、これら酸成分とジアミン成分とから得られるポリアミック酸溶液を、金属箔上に膜状に塗布し、溶媒を揮発させるとともにポリアミック酸をイミド化して、ポリイミド層と金属層とが直接積層しているポリイミドフィルム積層体を製造する場合に、製造時の高温工程に発泡剥離が起きる場合があり、この発泡剥離を抑制したポリイミドフィルム積層体を提供することである。
The object of the present invention is to use a diamine component having a specific structure as a polyimide obtained from a tetracarboxylic dianhydride component and a diamine component, thereby improving the gas permeation rate and moisture permeation rate. It is providing the polyimide film laminated body which suppressed foaming peeling in the high temperature process at the time of manufacture of.
In particular, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride is used as an essential component as a tetracarboxylic dianhydride component, and paraphenylenediamine is used as an essential component as a diamine component. A polyamic acid solution obtained from a diamine component is applied in the form of a film on a metal foil, the solvent is volatilized and the polyamic acid is imidized, and a polyimide film laminate in which a polyimide layer and a metal layer are directly laminated is obtained. When manufacturing, foam peeling may occur in a high temperature process at the time of manufacturing, and it is to provide a polyimide film laminate in which this foam peeling is suppressed.

本発明の第一は、テトラカルボン酸二無水物成分と、ジアミン100モル%中下記一般式(1)で表されるジアミンを0.5〜30モル%含むジアミン成分とから得られるポリアミック酸溶液を、金属箔上に膜状に塗布し、溶媒を揮発させるとともにポリアミック酸をイミド化して、ポリイミド層と金属層とが直接積層されていることを特徴とするポリイミドフィルム積層体に関するものである。

Figure 2006321229
(但し、式(1)中において、Aは直接結合あるいは架橋基であり、R〜Rは水素原子、炭素数1〜6の炭化水素基、ヒドロキシル基、カルボキシル基、炭素数1〜6のアルコキシ基、カルボアルコキシ基から選ばれる置換基を表し、RおよびRの少なくとも1つは水素原子ではなく、RおよびRの少なくとも1つは水素原子ではない。) The first of the present invention is a polyamic acid solution obtained from a tetracarboxylic dianhydride component and a diamine component containing 0.5 to 30 mol% of a diamine represented by the following general formula (1) in 100 mol% of the diamine. Is applied to a metal foil in the form of a film, the solvent is volatilized and polyamic acid is imidized, and the polyimide layer and the metal layer are directly laminated.
Figure 2006321229
(However, in the formula (1), A is a direct bond or a bridging group, R 1 to R 4 is a hydrogen atom, a hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms, hydroxyl group, carboxyl group, 1 to 6 carbon atoms And at least one of R 1 and R 2 is not a hydrogen atom, and at least one of R 3 and R 4 is not a hydrogen atom.)

本発明の第二は、本発明の第一のポリイミドフィルム積層体のポリイミド層に直接あるいは耐熱性接着剤を介して基材が積層されているポリイミドフィルム積層体に関するものである。   2nd of this invention is related with the polyimide film laminated body by which the base material is laminated | stacked on the polyimide layer of the 1st polyimide film laminated body of this invention directly or through a heat resistant adhesive agent.

本発明の第一の好ましい態様を示し、これらは複数組み合わせることが出来る。
1)一般式(1)のジアミンは、式中のAが直接結合あるいは架橋基であり、R〜Rが炭素数1〜6の炭化水素基から選ばれる置換基を表していること。
2)ジアミン成分が、パラフェニレンジアミンを含むこと。
3)テトラカルボン酸二無水物成分は、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物を含むこと。
4)金属箔を除去した後のポリイミド膜の弾性率が4GPa以上9GPa未満であること。
5)ポリアミック酸溶液がシランカップリング剤を含有していること。
6)金属箔が、銅箔であること。
7)金属箔が、剥離可能なキャリア層を有する厚さ1〜10μmの銅箔であること、さらに好ましくはポリイミドフィルム積層体からキャリア層を剥離することにより得られる厚さ1〜10μmの銅層を有すること。
The 1st preferable aspect of this invention is shown, These can be combined multiplely.
1) In the diamine of the general formula (1), A in the formula represents a direct bond or a crosslinking group, and R 1 to R 4 represent a substituent selected from a hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms.
2) The diamine component contains paraphenylenediamine.
3) The tetracarboxylic dianhydride component contains 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride.
4) The elastic modulus of the polyimide film after removing the metal foil is 4 GPa or more and less than 9 GPa.
5) The polyamic acid solution contains a silane coupling agent.
6) The metal foil is a copper foil.
7) The metal foil is a 1-10 μm thick copper foil having a peelable carrier layer, more preferably a 1-10 μm thick copper layer obtained by peeling the carrier layer from the polyimide film laminate. Having

本発明の第ニの好ましい態様を示し、これらは複数組み合わせることが出来る。
1)基材が、金属層であること。
The 2nd preferable aspect of this invention is shown, These can be combined multiplely.
1) The substrate is a metal layer.

本発明の第一によれば、特定の構造を有するジアミン成分を導入することにより、ポリイミドフィルム積層体の製造時の高温工程における発泡剥離を抑制することができ、優れた破断強度と、優れた引張り弾性率と、優れたピール強度とを有するポリイミドフィルム積層体を提供することができる。
特に本発明の第一によれば、テトラカルボン酸二無水物成分として、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物を主成分として用い、ジアミン成分としてパラフェニレンジアミンを主成分として用いて、これらの酸成分とジアミン成分とから得られるポリアミック酸溶液を、金属箔上に膜状に塗工し、溶媒を揮発させるとともにポリアミック酸をイミド化して、ポリイミド層と金属層とが直接積層しているポリイミドフィルム積層体を製造する場合に、製造時の高温工程における発泡剥離が起きる場合があり、特定の構造を有するジアミン成分を導入することにより、製造時に発泡剥離を抑制することができ、優れた破断強度と、優れた引張り弾性率と、優れたピール強度とを有するポリイミドフィルム積層体を提供することができる。
本発明の第一のポリイミドフィルム積層体は、ポリイミド層が、高い機械的特性を有し、低線膨張係数といった特徴を維持したまま、接着性、透湿速度が改良されており、高温処理工程による接着界面での発泡や剥離が起こりにくい。
本発明の第一のポリイミドフィルム積層体は、表面の接着性並びに透湿速度の向上した積層体を与えることができる。
また本発明の第二の積層体は、ポリイミド層と基材との接着強度が大きく、ポリイミド層の透湿速度が大きく、高温処理工程による接着界面での発泡や剥離が起こりにくい。
According to the first aspect of the present invention, by introducing a diamine component having a specific structure, it is possible to suppress foam peeling in a high-temperature process during the production of a polyimide film laminate, and an excellent breaking strength and excellent A polyimide film laminate having a tensile elastic modulus and excellent peel strength can be provided.
In particular, according to the first aspect of the present invention, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride is used as a main component as a tetracarboxylic dianhydride component, and paraphenylenediamine is mainly used as a diamine component. As a component, a polyamic acid solution obtained from these acid component and diamine component is applied in a film form on a metal foil, the solvent is volatilized and the polyamic acid is imidized, and a polyimide layer and a metal layer When manufacturing a polyimide film laminate that is directly laminated, foam peeling may occur in the high-temperature process during manufacturing, and by introducing a diamine component having a specific structure, foam peeling is suppressed during manufacturing. And providing a polyimide film laminate having excellent breaking strength, excellent tensile elastic modulus, and excellent peel strength It can be.
In the first polyimide film laminate of the present invention, the polyimide layer has high mechanical properties and maintains characteristics such as a low coefficient of linear expansion, while improving adhesiveness and moisture transmission rate. It is difficult for foaming and peeling at the adhesive interface.
The first polyimide film laminate of the present invention can provide a laminate with improved surface adhesion and moisture transmission rate.
In addition, the second laminate of the present invention has a high adhesive strength between the polyimide layer and the substrate, a high moisture permeability rate of the polyimide layer, and foaming and peeling at the adhesive interface due to the high temperature treatment process are unlikely to occur.

本発明のポリイミドフィルム積層体は、テトラカルボン酸二無水物成分と、ジアミン100モル%中下記一般式(1)で表されるジアミンを0.5〜30モル%含むジアミン成分とから得られるポリアミック酸溶液を、金属箔上に膜状に塗布し、溶媒を揮発させるとともにポリアミック酸をイミド化して、ポリイミド層と金属層とが直接積層されていることを特徴とするポリイミドフィルム積層体である。

Figure 2006321229
(但し、式(1)中において、Aは直接結合あるいは架橋基であり、R〜Rは水素原子、炭素数1〜6の炭化水素基、ヒドロキシル基、カルボキシル基、炭素数1〜6のアルコキシ基、カルボアルコキシ基から選ばれる置換基を表し、RおよびRの少なくとも1つは水素原子ではなく、RおよびRの少なくとも1つは水素原子ではない。) The polyimide film laminate of the present invention is a polyamic acid obtained from a tetracarboxylic dianhydride component and a diamine component containing 0.5 to 30 mol% of a diamine represented by the following general formula (1) in 100 mol% of a diamine. It is a polyimide film laminate in which an acid solution is applied in a film form on a metal foil, the solvent is volatilized and polyamic acid is imidized, and a polyimide layer and a metal layer are directly laminated.
Figure 2006321229
(However, in the formula (1), A is a direct bond or a bridging group, R 1 to R 4 is a hydrogen atom, a hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms, hydroxyl group, carboxyl group, 1 to 6 carbon atoms And at least one of R 1 and R 2 is not a hydrogen atom, and at least one of R 3 and R 4 is not a hydrogen atom.)

本発明のポリイミドフィルム積層体は、金属箔にポリアミック酸溶液を膜状に流延や吹き付けなどの塗布を行い、溶媒を揮発させるとともにポリアミック酸をイミド化してポリイミド層を形成することによって得ることができる。   The polyimide film laminate of the present invention can be obtained by applying a polyamic acid solution to a metal foil in the form of a film or spraying, volatilizing the solvent and imidizing the polyamic acid to form a polyimide layer. it can.

金属箔としては単一金属あるいは合金、例えば、銅、アルミニウム、金、銀、ニッケル、ステンレスなどの金属箔、金属メッキ層(好適には蒸着金属下地層−金属メッキ層あるいは化学金属メッキ層等の多くの公知技術が適用できる)が挙げられるが、好適には圧延銅箔、電解銅箔などの銅箔などが挙げられる。
金属箔の厚さは実用上あるいは製造上用いられる厚みを有していればよく特に制限はないが、好ましくは0.1μm〜10mm、さらに好ましくは1〜100μm、特に好ましくは2〜18μmが好ましい。
また、これら金属箔に更なる接着力の向上を目的として、その表面にサイディング、ニッケルメッキ、銅−亜鉛合金メッキ、又はアルミニウムアルコラ−ト、アルミニウムキレ−ト、シランカップリング剤、トリアジンチオ−ル類、ベンゾトリアゾ−ル類、アセチレンアルコ−ル類、アセチルアセトン類、カテコ−ル類、o−ベンゾキノン類、タンニン類、キノリノ−ル類などによって化学的あるいは機械的な表面処理を施してもよい。
As the metal foil, a single metal or alloy, for example, metal foil such as copper, aluminum, gold, silver, nickel, and stainless steel, metal plating layer (preferably vapor deposition metal underlayer-metal plating layer or chemical metal plating layer, etc. Many known techniques can be used), and copper foils such as rolled copper foil and electrolytic copper foil are preferable.
The thickness of the metal foil is not particularly limited as long as it has a thickness that is practically used or manufactured, but is preferably 0.1 μm to 10 mm, more preferably 1 to 100 μm, and particularly preferably 2 to 18 μm. .
Further, for the purpose of further improving the adhesive strength to these metal foils, siding, nickel plating, copper-zinc alloy plating, or aluminum alcoholate, aluminum chelate, silane coupling agent, triazine thiol on the surface thereof. Chemical or mechanical surface treatment may be carried out with benzene, benzotriazoles, acetylene alcohols, acetylacetones, catechols, o-benzoquinones, tannins, quinolinols, and the like.

金属箔として、厚さ0.1〜10μm、好ましくは1〜5μmの極薄銅箔を使用する場合は、取り扱い性の良いキャリア付銅箔を好適に用いることができる。
キャリア付銅箔のキャリア層としては、特に制限はないが、厚さ5μm〜150μmの圧延銅箔や電解銅箔が好ましい。キャリア層は極薄銅箔から容易に力学的に剥離できることが好ましく、剥離強度が0.01〜0.3Kg/cmであることが好ましい。
When an ultrathin copper foil having a thickness of 0.1 to 10 μm, preferably 1 to 5 μm is used as the metal foil, a copper foil with a carrier having good handleability can be suitably used.
Although there is no restriction | limiting in particular as a carrier layer of copper foil with a carrier, Rolled copper foil and electrolytic copper foil with a thickness of 5 micrometers-150 micrometers are preferable. The carrier layer is preferably easily and mechanically peelable from the ultrathin copper foil, and preferably has a peel strength of 0.01 to 0.3 Kg / cm.

テトラカルボン酸二無水物としては、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ピロメリット酸二無水物、2,3,3’,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)プロパン、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)メタン、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エ−テル、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)スルホン、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)スルフィド、p−フェニレンビス(トリメリット酸モノエステル酸無水物)、エチレンビス(トリメリット酸モノエステル酸無水物)、ビスフェノールAビス(トリメリット酸モノエステル酸無水物)などの芳香族テトラカルボン酸二無水物などを、単独で、或いは2種以上組み合わせて用いることができる。   As tetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, pyromellitic dianhydride, 2,3,3 ′, 4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) propane, bis (3,4-dicarboxyphenyl) methane, bis ( 3,4-dicarboxyphenyl) ether, bis (3,4-dicarboxyphenyl) sulfone, bis (3,4-dicarboxyphenyl) sulfide, p-phenylenebis (trimellitic acid monoester anhydride) Aromatic tetracarboxylic acids such as ethylene bis (trimellitic acid monoester acid anhydride) and bisphenol A bis (trimellitic acid monoester acid anhydride) Anhydride, etc., may be used singly or in combination of two or more.

テトラカルボン酸二無水物としては、テトラカルボン酸二無水物100モル%中、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物を50モル%以上、好ましくは60モル%以上、より好ましくは70モル%以上、さらに好ましくは80モル%以上、特に好ましくは90モル%以上含み、さらに本発明の特性を損なわない範囲で、ピロメリット酸二無水物、2,3,3’,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)プロパン、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)メタン、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エ−テル、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)スルホン、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)スルフィド、p−フェニレンビス(トリメリット酸モノエステル酸無水物)、エチレンビス(トリメリット酸モノエステル酸無水物)、ビスフェノールAビス(トリメリット酸モノエステル酸無水物)などの芳香族テトラカルボン酸二無水物を単独で、或いは2種以上組み合わせて含んでもよい。   As tetracarboxylic dianhydride, in 100 mol% of tetracarboxylic dianhydride, 3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride is 50 mol% or more, preferably 60 mol% or more, More preferably 70 mol% or more, still more preferably 80 mol% or more, particularly preferably 90 mol% or more, and within the range not impairing the properties of the present invention, pyromellitic dianhydride, 2,3,3 ', 4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,3 ', 4,4'-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) propane, bis (3,4 -Dicarboxyphenyl) methane, bis (3,4-dicarboxyphenyl) ether, bis (3,4-dicarboxyphenyl) sulfone, bis (3,4-dicarboxyphe) A) aromatic tetra, such as sulfide, p-phenylenebis (trimellitic acid monoester acid anhydride), ethylene bis (trimellitic acid monoester acid anhydride), bisphenol A bis (trimellitic acid monoester acid anhydride) Carboxylic dianhydrides may be included alone or in combination of two or more.

一般式(1)のジアミンにおいて、
一般式(1)中の架橋基Aとしては、酸素原子、硫黄原子、メチレン基、カルボニル基、スルホキシル基、スルホン基、1,1’−エチリデン基、1,2−エチリデン基、2,2’−イソプロピリデン基、2,2’−ヘキサフルオロイソプロピリデン基、シクロヘキシリデン基、フェニレン基、1,3−フェニレンジメチレン基、1,4−フェニレンジメチレン基、1,3−フェニレンジエチリデン基、1,4−フェニレンジエチリデン基、1,3−フェニレンジプロピリデン基、1,4−フェニレンジプロピリデン基、1,3−フェニレンジオキシ基、1,4−フェニレンジオキシ基、ビフェニレンジオキシ基、メチレンジフェノキシ基、エチリデンジフェノキシ基、プロピリデンジフェノキシ基、ヘキサフルオロプロピリデンジフェノキシ基、オキシジフェノキシ基、チオジフェノキシ基、スルホンジフェノキシ基などを挙げることができるが、架橋基を介することなく直接結合していても良い。
In the diamine of general formula (1):
Examples of the bridging group A in the general formula (1) include an oxygen atom, a sulfur atom, a methylene group, a carbonyl group, a sulfoxyl group, a sulfone group, a 1,1′-ethylidene group, a 1,2-ethylidene group, and 2,2 ′. -Isopropylidene group, 2,2'-hexafluoroisopropylidene group, cyclohexylidene group, phenylene group, 1,3-phenylenedimethylene group, 1,4-phenylenedimethylene group, 1,3-phenylenediethylidene group 1,4-phenylenediethylidene group, 1,3-phenylenedipropylidene group, 1,4-phenylenedipropylidene group, 1,3-phenylenedioxy group, 1,4-phenylenedioxy group, biphenylenedi Oxy group, methylene diphenoxy group, ethylidene diphenoxy group, propylidene diphenoxy group, hexafluoropropylidenediphenoxy group Oxy diphenoxy group, Chiojifenokishi group, there may be mentioned a sulfonic diphenoxy group may be bonded directly without via a bridging group.

一般式(1)のジアミンにおいて、
一般式(1)中のR〜Rは、水素原子、炭素数1〜6の炭化水素基(好ましくは炭素数1、2,3,4、5又は6の炭化水素基)、ヒドロキシル基、カルボキシル基、炭素数1〜6のアルコキシ基(好ましくは炭素数1、2,3,4、5又は6のアルコキシ基)、カルボアルコキシ基から選ばれる置換基を表し、R及びRの少なくとも1つは水素原子ではなく、R及びRの少なくとも1つは水素原子ではない。
In the diamine of general formula (1):
R 1 to R 4 in the general formula (1) are a hydrogen atom, a hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms (preferably a hydrocarbon group having 1, 2, 3, 4, 5 or 6 carbon atoms), a hydroxyl group Represents a substituent selected from a carboxyl group, an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms (preferably an alkoxy group having 1, 2, 3, 4, 5 or 6 carbon atoms), and a carboalkoxy group, and R 1 and R 2 At least one is not a hydrogen atom and at least one of R 3 and R 4 is not a hydrogen atom.

一般式(1)中のR〜Rの例としては、
a)R〜Rは、炭素数1〜6の炭化水素基(好ましくは炭素数1、2、3、4、5又は6の炭化水素基)、ヒドロキシル基、カルボキシル基、炭素数1〜6のアルコキシ基(好ましくは炭素数1、2、3、4、5又は6のアルコキシ基)、カルボアルコキシ基から選ばれる置換基の組合せ、
b)R〜Rは、炭素数1〜6の炭化水素基(好ましくは炭素数1、2、3、4、5又は6の炭化水素基)、ヒドロキシル基、カルボキシル基、炭素数1〜6のアルコキシ基(好ましくは炭素数1、2、3、4、5又は6のアルコキシ基)、カルボアルコキシ基から選ばれる置換基であり、Rのみが水素原子の組合せ、
c)R及びRは、炭素数1〜6の炭化水素基(好ましくは炭素数1、2、3、4、5又は6の炭化水素基)、ヒドロキシル基、カルボキシル基、炭素数1〜6のアルコキシ基(好ましくは炭素数1、2、3、4、5又は6のアルコキシ基)、カルボアルコキシ基から選ばれる置換基であり、R及びRが水素原子の組合せ、
を挙げることができる。
Examples of R 1 to R 4 in the general formula (1) include
a) R 1 to R 4 are each a hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms (preferably a hydrocarbon group having 1, 2, 3, 4, 5 or 6 carbon atoms), a hydroxyl group, a carboxyl group, 1 to 1 carbon atom. 6 alkoxy groups (preferably alkoxy groups having 1, 2, 3, 4, 5 or 6 carbon atoms), a combination of substituents selected from carboalkoxy groups,
b) R 1 to R 3 are each a hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms (preferably a hydrocarbon group having 1, 2, 3, 4, 5 or 6 carbon atoms), a hydroxyl group, a carboxyl group, 1 to 1 carbon atom. 6 is a substituent selected from an alkoxy group (preferably an alkoxy group having 1, 2, 3, 4, 5 or 6 carbon atoms), a carboalkoxy group, and only R 4 is a combination of hydrogen atoms,
c) R 1 and R 3 are each a hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms (preferably a hydrocarbon group having 1, 2, 3, 4, 5 or 6 carbon atoms), a hydroxyl group, a carboxyl group, 1 to 1 carbon atom. An alkoxy group having 6 carbon atoms (preferably an alkoxy group having 1, 2, 3, 4, 5 or 6 carbon atoms), a carboalkoxy group, and R 2 and R 4 are a combination of hydrogen atoms,
Can be mentioned.

一般式(1)中のR〜Rの具体的な例としては、水素、メチル基、エチル基、n−プロピル基、i−プロピル基、n−ブチル基、s−ブチル基、i−ブチル基、t−ブチル基、ペンチル基、シクロヘキシル基、フェニル基等の炭化水素基、ヒドロキシル基、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基等のアルコキシ基、カルボキシル基、カルボメトキシ基、カルボエトキシ基、カルボプロポキシ基、カルボブトキシ基等のカルボアルコキシ基等が挙げられる。R〜Rは全て同じでもよく、それぞれ独立に異なっていてもよい。 Specific examples of R 1 to R 4 in the general formula (1) include hydrogen, methyl group, ethyl group, n-propyl group, i-propyl group, n-butyl group, s-butyl group, i- Hydrocarbon group such as butyl group, t-butyl group, pentyl group, cyclohexyl group, phenyl group, alkoxy group such as hydroxyl group, methoxy group, ethoxy group, propoxy group, butoxy group, carboxyl group, carbomethoxy group, carboethoxy And carboalkoxy groups such as carbopropoxy group and carbobutoxy group. R 1 to R 4 may all be the same or different from each other.

上記一般式(1)のa)で表される芳香族ジアミンの具体的な例としては、
3,3’,5,5’−テトラメチル−4,4’−ジアミノビフェニル、
3,3’,5,5’−テトラメチル−4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、
3,3’,5,5’−テトラメチル−4,4’−ジアミノジフェニルメタン、
3,3’,5,5’−テトラエチル−4,4’−ジアミノビフェニル、
3,3’,5,5’−テトラエチル−4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、
3,3’,5,5’−テトラエチル−4,4’−ジアミノジフェニルメタン、
4,4−メチレン−ビス(2,6−ジイソプロピルアニリン)、
3,3’−ジカルボキシ−4,4’−ジアミノ−5,5’−ジメチルジフェニルメタン、などを挙げることができる。
As a specific example of the aromatic diamine represented by a) of the general formula (1),
3,3 ′, 5,5′-tetramethyl-4,4′-diaminobiphenyl,
3,3 ′, 5,5′-tetramethyl-4,4′-diaminodiphenyl ether,
3,3 ′, 5,5′-tetramethyl-4,4′-diaminodiphenylmethane,
3,3 ′, 5,5′-tetraethyl-4,4′-diaminobiphenyl,
3,3 ′, 5,5′-tetraethyl-4,4′-diaminodiphenyl ether,
3,3 ′, 5,5′-tetraethyl-4,4′-diaminodiphenylmethane,
4,4-methylene-bis (2,6-diisopropylaniline),
3,3′-dicarboxy-4,4′-diamino-5,5′-dimethyldiphenylmethane, and the like.

上記一般式(1)のc)で表される芳香族ジアミンの具体的な例としては、
3,3’−ジメチル−4,4’−ジアミノビフェニル、3,3’−ジエチル−4,4’−ジアミノビフェニル、3,3’−ジヒドロキシ−4,4’−ジアミノビフェニル、3,3’−ジカルボキシ−4,4’−ジアミノビフェニル、3,3’−ジメトキシ−4,4’−ジアミノビフェニル、
3,3’−ジメチル−4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,3’−ジエチル−4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,3’−ジヒドロキシ−4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,3’−ジカルボキシ−4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,3’−ジメトキシ−4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、
3,3’−ジメチル−4,4’−ジアミノジフェニルメタン、3,3’−ジエチル−4,4’−ジアミノジフェニルメタン、3,3’−ジヒドロキシ−4,4’−ジアミノジフェニルメタン、3,3’−ジカルボキシ−4,4’−ジアミノジフェニルメタン、3,3’−ジメトキシ−4,4’−ジアミノジフェニルメタン、などを挙げることができる。
As a specific example of the aromatic diamine represented by c) of the general formula (1),
3,3′-dimethyl-4,4′-diaminobiphenyl, 3,3′-diethyl-4,4′-diaminobiphenyl, 3,3′-dihydroxy-4,4′-diaminobiphenyl, 3,3′- Dicarboxy-4,4′-diaminobiphenyl, 3,3′-dimethoxy-4,4′-diaminobiphenyl,
3,3′-dimethyl-4,4′-diaminodiphenyl ether, 3,3′-diethyl-4,4′-diaminodiphenyl ether, 3,3′-dihydroxy-4,4′-diaminodiphenyl ether, 3,3′- Dicarboxy-4,4′-diaminodiphenyl ether, 3,3′-dimethoxy-4,4′-diaminodiphenyl ether,
3,3′-dimethyl-4,4′-diaminodiphenylmethane, 3,3′-diethyl-4,4′-diaminodiphenylmethane, 3,3′-dihydroxy-4,4′-diaminodiphenylmethane, 3,3′- And dicarboxy-4,4′-diaminodiphenylmethane, 3,3′-dimethoxy-4,4′-diaminodiphenylmethane, and the like.

本発明のポリイミドのジアミンは、一般式(1)で表されるジアミンを0.5〜30モル%、好ましくは1〜20モル%、さらに好ましくは8〜20モル%と、一般式(1)で表されるジアミンを除くジアミン、例えばp−フェニレンジアミン、m−フェニレンジアミン、4,4’−ジアミノジフェニルプロパン、4,4−ジアミノジフェニルメタン、ベンジジン、3,3’−ジクロロベンジジン、4,4’−ジアミノジフェニルスルフィド、3,3’−ジアミノジフェニルスルホン、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、4,4’−オキシジアニリン、3,3’−オキシジアニリン、3,4’−オキシジアニリン、1,5−ジアミノナフタレン、4,4’−ジアミノジフェニルジエチルシラン、4,4’−ジアミノジフェニルシラン、4,4’−ジアミノジフェニルエチルホスフィンオキシド、1,4−ジアミノベンゼン(p−フェニレンジアミン)、ビス{4−(4−アミノフェノキシ)フェニル}スルホン、ビス{4−(3−アミノフェノキシ)フェニル}スルホン、4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、4,4’−ビス(3−アミノフェノキシ)ビフェニル、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、3,3’−ジアミノベンゾフェノン、4,4’−ジアミノベンゾフェノン及びそれらの類似物などを99.5〜70モル%、好ましくは99〜80モル%、さらに好ましくは92〜80モル%とを含むものである(一般式(1)で表されるジアミンと、一般式(1)で表されるジアミンを除くジアミンとの総計100モル%である。)。
一般式(1)で表されるジアミン及び一般式(1)で表されるジアミンを除くジアミンは、単独で、或いは2種以上組み合わせて用いることができる。
The diamine of the polyimide of this invention is 0.5-30 mol% of the diamine represented by General formula (1), Preferably it is 1-20 mol%, More preferably, it is 8-20 mol%, General formula (1) Diamines other than the diamines represented by, for example, p-phenylenediamine, m-phenylenediamine, 4,4′-diaminodiphenylpropane, 4,4-diaminodiphenylmethane, benzidine, 3,3′-dichlorobenzidine, 4,4 ′ -Diaminodiphenyl sulfide, 3,3'-diaminodiphenyl sulfone, 4,4'-diaminodiphenyl sulfone, 4,4'-oxydianiline, 3,3'-oxydianiline, 3,4'-oxydianiline, 1,5-diaminonaphthalene, 4,4′-diaminodiphenyldiethylsilane, 4,4′-diaminodiphenylsilane, 4,4′-dia Nodiphenylethylphosphine oxide, 1,4-diaminobenzene (p-phenylenediamine), bis {4- (4-aminophenoxy) phenyl} sulfone, bis {4- (3-aminophenoxy) phenyl} sulfone, 4,4 '-Bis (4-aminophenoxy) biphenyl, 4,4'-bis (3-aminophenoxy) biphenyl, 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene, 3,3′-diaminobenzophenone, 4,4′-diaminobenzophenone and the like, and the like. 5 to 70 mol%, preferably 99 to 80 mol%, more preferably 92 to 80 mol% (A diamine represented by general formula (1), a total of 100 mol% of a diamine excluding diamine represented by general formula (1).).
The diamine except the diamine represented by the general formula (1) and the diamine represented by the general formula (1) can be used alone or in combination of two or more.

特に本発明のポリイミドのジアミンは、一般式(1)で表されるジアミンを0.5〜30モル%、好ましくは1〜20モル%、さらに好ましくは8〜20モル%と、p−フェニレンジアミン70モル%以上、好ましくは80モル%以上とを含むジアミン、さらに一般式(1)で表されるジアミンを0.5〜30モル%、好ましくは1〜20モル%、さらに好ましくは8〜20モル%と、p−フェニレンジアミン99.5〜70モル%、好ましくは99〜80モル%、さらに好ましくは92〜80モル%とを含むジアミンを用いることにより、耐熱性に優れ、飽和吸水率の小さな、線膨張係数の小さな、相対透湿速度の大きなポリイミド、さらに好ましくは引張弾性率の大きなポリイミドを得ることができる。   In particular, the diamine of the polyimide of the present invention is 0.5 to 30 mol%, preferably 1 to 20 mol%, more preferably 8 to 20 mol% of the diamine represented by the general formula (1), and p-phenylenediamine. Diamine containing 70 mol% or more, preferably 80 mol% or more, and further diamine represented by the general formula (1) is 0.5 to 30 mol%, preferably 1 to 20 mol%, more preferably 8 to 20 By using a diamine containing 10% by mole and 99.5 to 70% by mole of p-phenylenediamine, preferably 99 to 80% by mole, and more preferably 92 to 80% by mole, it has excellent heat resistance and has a saturated water absorption rate. A polyimide having a small linear expansion coefficient and a high relative moisture transmission rate, and more preferably a polyimide having a high tensile elastic modulus can be obtained.

本発明のポリイミドでは、最も優れた組合わせの一例として、
3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物を50モル%以上、好ましくは60モル%以上、さらに好ましくは80モル%以上、特に好ましくは90モル%以上含むテトラカルボン酸二無水物と、一般式(1)のa)で表される4置換−ジアミンを0.5〜30モル%、好ましくは1〜20モル%、さらに好ましくは8〜20モル%と、残りのジアミン成分がp−フェニレンジアミンとからなる組合せにより、高弾性率で透湿速度が高く、しかも接着性が向上し、発泡剥離が抑制されたポリイミドフィルム積層体を得ることができ好適である。
In the polyimide of the present invention, as an example of the most excellent combination,
A tetracarboxylic acid dihydrate containing 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride in an amount of 50 mol% or more, preferably 60 mol% or more, more preferably 80 mol% or more, particularly preferably 90 mol% or more. 0.5 to 30 mol%, preferably 1 to 20 mol%, more preferably 8 to 20 mol% of the anhydride and the tetrasubstituted diamine represented by a) in the general formula (1), and the remaining diamine A combination of p-phenylenediamine as a component is preferable because it can provide a polyimide film laminate having a high elastic modulus, a high moisture transmission rate, improved adhesion, and suppressed foam peeling.

本発明のポリイミドでは、ジアミン成分100モル%中に、
3,3’,5,5’−テトラメチル−4,4’−ジアミノジフェニルメタン、3,3’,5,5’−テトラエチル−4,4’−ジアミノジフェニルメタンなどの一般式(1)のa)で表される4置換−ジアミンを、
1)0.5〜30モル%、好ましくは1〜20モル%、さらに好ましくは8〜20モル%含有することにより、線膨張係数が小さく、飽和吸水率が小さく、相対透湿速度が大きく、破断応力、引張弾性率及び破断伸びの優れるポリイミドを得ることが出来、
2)好ましくは6〜30モル%、より好ましくは6〜20モル%、さらに好ましくは8〜17モル%、さらに好ましくは9〜17モル%、特に好ましくは9〜13モル%含有することにより、相対透湿速度が極めて大きく、線膨張係数が小さく、飽和吸水率が小さく、破断応力、引張弾性率及び破断伸びの優れるポリイミドを得ることが出来る。
In the polyimide of the present invention, in 100 mol% of the diamine component,
A) of the general formula (1) such as 3,3 ′, 5,5′-tetramethyl-4,4′-diaminodiphenylmethane, 3,3 ′, 5,5′-tetraethyl-4,4′-diaminodiphenylmethane A 4-substituted diamine represented by
1) By containing 0.5 to 30 mol%, preferably 1 to 20 mol%, more preferably 8 to 20 mol%, the linear expansion coefficient is small, the saturated water absorption is small, and the relative moisture transmission rate is large. A polyimide having excellent breaking stress, tensile modulus and elongation at break can be obtained,
2) Preferably 6 to 30 mol%, more preferably 6 to 20 mol%, further preferably 8 to 17 mol%, further preferably 9 to 17 mol%, particularly preferably 9 to 13 mol%, A polyimide having an extremely high relative moisture transmission rate, a low linear expansion coefficient, a low saturated water absorption rate, and an excellent breaking stress, tensile elastic modulus and breaking elongation can be obtained.

この発明のポリイミドフィルム積層体を与えるポリアミック酸溶液組成物として、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物とピロメリット酸二無水物との割合は芳香族テトラカルボン酸二無水物の全量中3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物が7.5〜100モル%、特に15〜100モル%でピロメリット酸二無水物が0〜92.5モル%であることが好ましく、その中でも特に3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物を単独で用いることが好ましい。   As a polyamic acid solution composition that gives the polyimide film laminate of the present invention, the ratio of 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride to pyromellitic dianhydride is aromatic tetracarboxylic acid dihydric acid. In the total amount of anhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride is 7.5 to 100 mol%, particularly 15 to 100 mol%, and pyromellitic dianhydride is 0 to 92.5 It is preferable that it is mol%, and among these, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride is particularly preferably used alone.

この発明のポリイミドを与えるポリアミック酸溶液は、
(a)テトラカルボン酸二無水物と、前記一般式(1)で表される芳香族ジアミンを除くジアミンとを有機溶媒中で重合させたポリアミック酸溶液と、
(b)テトラカルボン酸二無水物と前記一般式(1)で表される芳香族ジアミンを含むジアミンとを有機溶媒中で重合させたポリアミック酸溶液とを混合して、ポリアミック酸中に含まれるジアミン100モル%中、一般式(1)で表される芳香族ジアミンが0.5モル%以上30モル%以下、好ましくは1モル%以上25モル%以下、さらに好ましくは8モル%以上20モル%以下のポリアミック酸溶液を得ることができる。
The polyamic acid solution that gives the polyimide of this invention is:
(A) a polyamic acid solution obtained by polymerizing tetracarboxylic dianhydride and a diamine other than the aromatic diamine represented by the general formula (1) in an organic solvent;
(B) A tetramic dianhydride and a polyamic acid solution obtained by polymerizing a diamine containing the aromatic diamine represented by the general formula (1) in an organic solvent are mixed and contained in the polyamic acid. In 100 mol% of the diamine, the aromatic diamine represented by the general formula (1) is 0.5 mol% to 30 mol%, preferably 1 mol% to 25 mol%, more preferably 8 mol% to 20 mol. % Or less polyamic acid solution can be obtained.

またこの発明のポリイミドを与えるポリアミック酸溶液は、
(c)テトラカルボン酸二無水物と、前記一般式(1)で表される芳香族ジアミンと前記一般式(1)で表される芳香族ジアミンを除くパラフェニレンジアミンなどのジアミンとを有機溶媒中で共重合させたポリアミック酸溶液(ポリアミック酸中に含まれるジアミン100モル%中、一般式(1)で表される芳香族ジアミンが0.5モル%以上30モル%以下、好ましくは1モル%以上25モル%以下、さらに好ましくは8モル%以上20モル%以下)を得ることができる。
Moreover, the polyamic acid solution which gives the polyimide of this invention is
(C) an organic solvent containing tetracarboxylic dianhydride, an aromatic diamine represented by the general formula (1), and a diamine such as paraphenylene diamine excluding the aromatic diamine represented by the general formula (1) The polyamic acid solution copolymerized in (in 100 mol% of the diamine contained in the polyamic acid, the aromatic diamine represented by the general formula (1) is 0.5 mol% or more and 30 mol% or less, preferably 1 mol. % To 25 mol%, more preferably 8 mol% to 20 mol%).

特に、この発明のポリイミドを与えるポリアミック酸溶液として、
(a)3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物を含む酸二無水物と、前記一般式(1)で表される芳香族ジアミンを除くパラフェニレンジアミンなどのジアミン成分とを有機溶媒中で重合させたポリアミック酸溶液と、
(b)3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物を含む酸二無水物と前記一般式(1)で表される芳香族ジアミンを含むジアミン成分とを有機溶媒中で重合させたポリアミック酸溶液とを混合して、ポリアミック酸中に含まれるジアミン100モル%中、一般式(1)で表される芳香族ジアミンが0.5モル%以上30モル%以下、好ましくは1モル%以上25モル%以下、さらに好ましくは8モル%以上20モル%以下のポリアミック酸溶液を得ることができる。
In particular, as a polyamic acid solution that gives the polyimide of the present invention,
(A) Diamine components such as paraphenylene diamine except for acid dianhydride including 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride and aromatic diamine represented by the general formula (1) And a polyamic acid solution obtained by polymerizing in an organic solvent,
(B) An acid dianhydride containing 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride and a diamine component containing an aromatic diamine represented by the general formula (1) in an organic solvent By mixing with the polymerized polyamic acid solution, the aromatic diamine represented by the general formula (1) is 0.5 mol% or more and 30 mol% or less, preferably 100 mol% of the diamine contained in the polyamic acid, preferably A polyamic acid solution having a concentration of 1 mol% to 25 mol%, more preferably 8 mol% to 20 mol% can be obtained.

また、この発明のポリイミドを与えるポリアミック酸溶液として、
(c)3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物を含む酸二無水物と、前記一般式(1)で表される芳香族ジアミンと前記一般式で表される芳香族ジアミンを除くパラフェニレンジアミンなどのジアミンとを有機溶媒中で共重合させたポリアミック酸溶液(ポリアミック酸中に含まれるジアミン100モル%中、一般式で表される芳香族ジアミンが0.5モル%以上30モル%以下、好ましくは1モル%以上25モル%以下、さらに好ましくは8モル%以上20モル%以下)を得ることができる。
Moreover, as a polyamic acid solution that gives the polyimide of the present invention,
(C) Acid dianhydride including 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, aromatic diamine represented by the general formula (1), and fragrance represented by the general formula A polyamic acid solution obtained by copolymerizing a diamine such as paraphenylene diamine excluding an aromatic diamine in an organic solvent (0.5 mol of the aromatic diamine represented by the general formula in 100 mol% of the diamine contained in the polyamic acid) % To 30 mol%, preferably 1 mol% to 25 mol%, and more preferably 8 mol% to 20 mol%.

ポリアミック酸溶液を製造するための有機極性溶媒としては、N−メチル−2−ピロリドン、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジエチルアセトアミド、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジエチルホルムアミド、ヘキサメチルスルホルアミドなどのアミド類、ジメチルスルホキシド、ジエチルスルホキシドなどのスルホキシド類、ジメチルスルホン、ジエチルスルホンなどのスルホン類を挙げることができる。これらの溶媒は単独で用いてもよく、混合して用いてもよい。   As an organic polar solvent for producing a polyamic acid solution, N-methyl-2-pyrrolidone, N, N-dimethylacetamide, N, N-diethylacetamide, N, N-dimethylformamide, N, N-diethylformamide, Examples thereof include amides such as hexamethylsulfuramide, sulfoxides such as dimethyl sulfoxide and diethyl sulfoxide, and sulfones such as dimethyl sulfone and diethyl sulfone. These solvents may be used alone or in combination.

ポリアミック酸溶液の重合反応を実施するに際して、有機極性溶媒中の全モノマ−の濃度は、使用する塗工法や製造する目的に応じて適宜選択すればよく、例えばポリアミック酸溶液は、有機極性溶媒中の全モノマ−の濃度が、好ましくは1〜40質量%、さらに好ましくは3〜35質量%、特に好ましくは5〜30質量%であることが好ましい。   In carrying out the polymerization reaction of the polyamic acid solution, the concentration of all monomers in the organic polar solvent may be appropriately selected according to the coating method used and the purpose of production. For example, the polyamic acid solution is used in the organic polar solvent. The total monomer concentration is preferably 1 to 40% by mass, more preferably 3 to 35% by mass, and particularly preferably 5 to 30% by mass.

(a)ポリアミック酸溶液及び(b)ポリアミック酸溶液、或いは(c)ポリアミック酸溶液の製造例の一例として、前記の芳香族テトラカルボン酸成分と芳香族ジアミン成分との重合反応は、例えば、それぞれを実質的に等モル或いはどちらかの成分(酸成分、或いはジアミン成分)を少し過剰にして混合し、反応温度100℃以下、好ましくは80℃以下にて約0.2〜60時間の反応を行わせることにより実施して、ポリアミック酸(ポリイミド前駆体)溶液を得ることができる。   As an example of production examples of (a) polyamic acid solution and (b) polyamic acid solution, or (c) polyamic acid solution, the polymerization reaction of the aromatic tetracarboxylic acid component and the aromatic diamine component is, for example, Substantially equimolar or either component (acid component or diamine component) is mixed slightly in excess, and the reaction is carried out at a reaction temperature of 100 ° C. or lower, preferably 80 ° C. or lower for about 0.2 to 60 hours. By carrying out, it can carry out and a polyamic acid (polyimide precursor) solution can be obtained.

ポリアミック酸(ポリイミド前駆体)溶液の重合反応を実施するに際して、溶液粘度は、使用する目的(塗工、流延、吹き付けなど)や製造する目的に応じて適宜選択すればよく、ポリアミック(ポリイミド前駆体)酸溶液は、30℃で測定した回転粘度が、約0.1〜5000ポイズ、特に0.5〜2000ポイズ、さらに好ましくは1〜2000ポイズ程度のものであることが、このポリアミック酸溶液を取り扱う作業性の面から好ましい。したがって、前記の重合反応は、生成するポリアミック酸が上記のような粘度を示す程度にまで実施することが望ましい。   In carrying out the polymerization reaction of the polyamic acid (polyimide precursor) solution, the solution viscosity may be appropriately selected according to the purpose of use (coating, casting, spraying, etc.) and the purpose of production. The polyamic acid solution has a rotational viscosity measured at 30 ° C. of about 0.1 to 5000 poise, particularly 0.5 to 2000 poise, more preferably about 1 to 2000 poise. It is preferable from the viewpoint of workability in handling. Therefore, it is desirable to carry out the polymerization reaction to such an extent that the produced polyamic acid exhibits the above viscosity.

また、(a)ポリアミック酸溶液と(b)ポリアミック酸溶液との両成分を混合した後、ポリアミック酸のアミン末端を封止するため、ジカルボン酸無水物、例えば無水フタル酸およびその置換体(例えば3−メチル又は4−メチルフタル酸無水物)、ヘキサヒドロ無水フタル酸およびその置換体、無水コハク酸およびその置換体など、好適には無水フタル酸を添加してもよい。
いずれの場合にも、加熱によってポリアミック酸がイミド化される過程でポリマ−鎖の切断−再結合が生じてブロック結合を有する又はランダムなシ−ケンスとなった共重合ポリイミドが得られる。ポリアミック酸溶液の流延物を加熱乾燥する工程において、加熱によって粘度が一旦大きくなった後さらに加熱すると粘度が大幅に低下し低粘度になり、更に加熱を続けると高粘度物となり、最終的に高分子量のポリイミドからなるポリイミドフィルムが得られる。
In addition, after mixing both components of (a) polyamic acid solution and (b) polyamic acid solution, dicarboxylic acid anhydride, such as phthalic anhydride and its substitution product (for example, (3-methyl or 4-methylphthalic anhydride), hexahydrophthalic anhydride and substituted products thereof, succinic anhydride and substituted products thereof, and the like, preferably phthalic anhydride may be added.
In any case, a copolymerized polyimide having a block bond or a random sequence is obtained in the process in which the polyamic acid is imidized by heating, resulting in cleavage-recombination of the polymer chains. In the process of heating and drying the cast product of the polyamic acid solution, once the viscosity has been increased by heating, further heating further reduces the viscosity to a low viscosity. A polyimide film made of a high molecular weight polyimide is obtained.

また、(c)ポリアミック酸溶液のポリアミック酸のアミン末端を封止するため、ジカルボン酸無水物、例えば無水フタル酸およびその置換体(例えば3−メチル又は4−メチルフタル酸無水物)、ヘキサヒドロ無水フタル酸およびその置換体、無水コハク酸およびその置換体など、好適には無水フタル酸を添加してもよい。   (C) In order to seal the amine terminal of the polyamic acid in the polyamic acid solution, dicarboxylic acid anhydrides such as phthalic anhydride and its substitutes (eg 3-methyl or 4-methylphthalic anhydride), hexahydrophthalic anhydride An phthalic anhydride such as an acid and a substituted product thereof, a succinic anhydride and a substituted product thereof may be preferably added.

また、フィルムのゲル化を制限する目的でリン系安定剤、例えば亜リン酸トリフェニル、リン酸トリフェニル等をポリアミック酸重合時或いはポリアミック酸溶液に固形分(ポリマ−)濃度に対して0.01〜1%の範囲で添加することができる。
また、イミド化促進の目的で、ド−プ液(ポリアミック酸溶液)中にイミド化剤を添加することができ、例えば、イミダゾ−ル、1−メチルイミダゾ−ル、2−メチルイミダゾ−ル、1,2−ジメチルイミダゾ−ル、2−フェニルイミダゾ−ル、ベンズイミダゾ−ル、イソキノリン、置換ピリジンなどをポリアミック酸に対して0.05〜10質量%、特に好ましくは0.1〜2質量%の割合で使用することができる。これらにより比較的低温でイミド化を完了することができる。
Further, for the purpose of limiting the gelation of the film, a phosphorus stabilizer such as triphenyl phosphite, triphenyl phosphate or the like is added at the time of polyamic acid polymerization or to a solid content (polymer) concentration in the polyamic acid solution. It can be added in the range of 01 to 1%.
For the purpose of promoting imidization, an imidizing agent can be added to the dope solution (polyamic acid solution). For example, imidazole, 1-methylimidazole, 2-methylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 2-phenylimidazole, benzimidazole, isoquinoline, substituted pyridine and the like are 0.05 to 10% by mass, particularly preferably 0.1 to 2% by mass, based on the polyamic acid. Can be used in proportions. With these, imidization can be completed at a relatively low temperature.

ポリイミドフィルム積層体の製造におけるポリイミド層の形成方法には特に制限はないが、金属箔上にポリアミック酸溶液を塗布(流延、吹き付け、塗工など)、乾燥、熱処理してイミド化することが有利である。また、イミド化反応としては、ポリアミック酸溶液を塗布(流延、吹き付け、塗工など)し、乾燥し、これを更に200℃以上、好ましくは300℃以上の加熱処理をして、イミド化反応を行う。
イミド化反応としては、任意の方法が活用可能であるが、予備乾燥した未硬化のポリアミック酸溶液を含む層を所定の温度に設定可能な熱風乾燥炉の中で、一定時間静置させるか、あるいは乾燥炉エリア範囲内を連続移動させ所定の乾燥硬化時間を確保させることで高温での熱処理(200℃以上、好ましくは300℃以上)を行う方法が一般的である。また、作業の効率化、歩留まりなどを考慮して、ポリアミック酸溶液を塗工したのち、予備乾燥した未硬化体を、ロ−ル状に巻き取り、更に高温での熱効果を行うバッチ処理方式も可能である。このバッチ処理方式の際、導体の酸化を防ぐことを目的として、高温(200℃以上)での熱処理を、減圧下、還元性気体雰囲気減圧下にて行うことが好ましい。なお、乾燥硬化工程において、ポリアミック酸溶液は金属箔上に均一に塗布され、次いで熱処理によって溶媒が除去され、更にイミド閉環される。この際、急激に高温で熱処理すると樹脂表面にスキン層が生成して溶媒が蒸発しづらくなったり、発泡したりするおそれがあるので、低温から除々に高温まで上昇させながら熱処理していくのが好ましい。この加熱乾燥の最高加熱処理温度は、350−600℃の範囲であることが好ましい。
Although there is no restriction | limiting in particular in the formation method of the polyimide layer in manufacture of a polyimide film laminated body, A polyamic acid solution is apply | coated (casting, spraying, coating, etc.) on metal foil, and it can imidize by drying and heat processing. It is advantageous. Also, as the imidization reaction, a polyamic acid solution is applied (casting, spraying, coating, etc.), dried, and further subjected to a heat treatment at 200 ° C. or higher, preferably 300 ° C. or higher, to obtain an imidization reaction. I do.
As an imidation reaction, any method can be used, but a layer containing a pre-dried uncured polyamic acid solution is allowed to stand for a certain period of time in a hot air drying furnace that can be set to a predetermined temperature, Alternatively, a method of performing heat treatment at a high temperature (200 ° C. or higher, preferably 300 ° C. or higher) by continuously moving within the drying furnace area range and securing a predetermined drying and curing time is common. In addition, in consideration of work efficiency, yield, etc., a batch processing method is applied in which a pre-dried uncured body is wound into a roll shape after applying a polyamic acid solution, and a thermal effect is further obtained at a high temperature. Is also possible. In the batch processing method, it is preferable to perform heat treatment at a high temperature (200 ° C. or higher) under reduced pressure and reduced pressure in a reducing gas atmosphere for the purpose of preventing the conductor from being oxidized. In the drying and curing step, the polyamic acid solution is uniformly applied on the metal foil, then the solvent is removed by heat treatment, and the imide is ring-closed. At this time, if the heat treatment is suddenly performed at a high temperature, a skin layer may be formed on the resin surface, and the solvent may not easily evaporate or foam, so the heat treatment may be performed while gradually raising the temperature from a low temperature to a high temperature. preferable. The maximum heat treatment temperature for this heat drying is preferably in the range of 350-600 ° C.

通常は、金属箔上にポリアミック酸溶液を塗布し、溶媒の乾燥を行った後、更に高温で熱処理を施すことによりイミド化反応を進行させるが、その際ピリジンやキノリンなどのアミン類や無水酢酸などを添加してイミド化反応を促進させることもできる。   Usually, after applying a polyamic acid solution on a metal foil and drying the solvent, the imidization reaction proceeds by applying a heat treatment at a higher temperature. In this case, amines such as pyridine and quinoline and acetic anhydride are used. Etc. can be added to promote the imidization reaction.

この発明の積層体において反り等を制御するためには、金属箔とこの発明におけるポリイミドフィルム層との間に金属箔に接する比較的熱膨張性が高いポリイミド系樹脂層を設けてもよい。   In order to control warpage or the like in the laminate of the present invention, a polyimide resin layer having a relatively high thermal expansion property contacting the metal foil may be provided between the metal foil and the polyimide film layer of the present invention.

積層体の製造例の一例を示すと、
1)ジアミン成分とテトラカルボン酸二無水物とを、有機溶媒中で重合させてポリアミック酸の溶液(均一な溶液状態が保たれていれば一部がイミド化されていてもよい)を作成し、必要に応じて2種以上のポリイミック酸を混合し、必要に応じてリン系安定剤やイミド化剤を配合し、
2)ポリアミック酸溶液を金属薄膜上に膜状に塗布し、乾燥・イミド化・加熱乾燥(キュア)することによって、製造することができる。
When showing an example of a production example of a laminate,
1) A diamine component and tetracarboxylic dianhydride are polymerized in an organic solvent to prepare a polyamic acid solution (which may be partially imidized as long as a uniform solution state is maintained). , If necessary, mixing two or more polyimic acids, if necessary, compounding phosphorus stabilizers and imidizing agents,
2) A polyamic acid solution can be produced by applying a film on a metal thin film and drying, imidizing, and heat drying (curing).

前記のポリイミドフィルム積層体は、金属層を除去した後のポリイミド層が以下の特性を少なくとも1つ有することが好ましい。
1)引張弾性率が好ましくは4GPa以上、さらに好ましくは5〜10GPa、より好ましくは6〜9GPa、特に好ましくは6〜8.5GPaである。
2)破断強度が200MPa以上、特に200〜500MPaである。
3)線膨張係数(100〜250℃)が1×10−5〜3×10−5cm/cm/℃、特に1×10−5〜2.5×10−5cm/cm/℃である。
In the polyimide film laminate, it is preferable that the polyimide layer after removing the metal layer has at least one of the following characteristics.
1) The tensile modulus is preferably 4 GPa or more, more preferably 5 to 10 GPa, more preferably 6 to 9 GPa, and particularly preferably 6 to 8.5 GPa.
2) The breaking strength is 200 MPa or more, particularly 200 to 500 MPa.
3) The linear expansion coefficient (100 to 250 ° C.) is 1 × 10 −5 to 3 × 10 −5 cm / cm / ° C., particularly 1 × 10 −5 to 2.5 × 10 −5 cm / cm / ° C. .

本発明に用いるポリイミドは、ポリイミドフィルムを単独で製造した場合、以下の特性を少なくとも1つ有することが好ましい。
1)飽和吸水率が3%以下であり、さらに1.3〜3%であること。
2)相対透湿速度が、25μm厚みで3以上、さらに4以上であること。
3)引張弾性率が、400kg/mm以上、さらに400kg/mm以上900kg/mm未満、特に470kg/mm以上900kg/mm未満であること。
4)線膨張係数(25μm厚み)は、10〜40×10−6cm/cm/℃、さらに12〜30×10−6cm/cm/℃、特に12〜25×10−6cm/cm/℃であること。
When the polyimide used for this invention manufactures a polyimide film independently, it is preferable to have at least one of the following characteristics.
1) The saturated water absorption is 3% or less, and further 1.3 to 3%.
2) The relative moisture transmission rate is 3 or more, further 4 or more at a thickness of 25 μm.
3) The tensile elastic modulus is 400 kg / mm 2 or more, further 400 kg / mm 2 or more and less than 900 kg / mm 2 , particularly 470 kg / mm 2 or more and less than 900 kg / mm 2 .
4) The linear expansion coefficient (25 μm thickness) is 10 to 40 × 10 −6 cm / cm / ° C., more preferably 12 to 30 × 10 −6 cm / cm / ° C., and particularly 12 to 25 × 10 −6 cm / cm / ° C. Must be in ° C.

この発明のポリイミドフィルム積層体を加工するためにエッチングする場合、エッチング液としてはアルカリ水溶液、好ましくはアルカリ金属の水溶液又はこれを含有する混合液が好ましい。アルカリとしては、水酸化カリウムが最も効率的にエッチングが進み好ましいが、この他に水酸化ナトリウム、水酸化リチウムを用いることもでき、アルカリ土類金属の水酸化物も使用可能であるが、エッチング性の点からカリウム、ナトリウム又はその混合物が好ましい。更に、アルカリ金属の水溶液には、ポリイミドと親和性を高めるために、エタノ−ルアミン、プロパノ−ルアミン、ブタノ−ルアミンなどの第一級アミン、ジエタノ−ルアミン、ジプロパノ−ルアミンなどの第二級アミンからなるオキシアルキルアミン系、ヒドラジン1水和物、エチレンジアミン、ジメチルアミン、ジメチルホルムアミド、クレゾ−ル、エチレングリコ−ルなどアルコ−ル系や有機系の溶剤を含有させることも有利である。また、ポリイミド樹脂との親和性の高い溶剤であれば、上記有機系の溶剤に限らない。   When etching to process the polyimide film laminate of the present invention, the etching solution is preferably an aqueous alkali solution, preferably an aqueous alkali metal solution or a mixed solution containing the same. As the alkali, potassium hydroxide is preferred because etching is most efficient, but in addition, sodium hydroxide and lithium hydroxide can be used, and alkaline earth metal hydroxides can also be used. From the viewpoint of sex, potassium, sodium or a mixture thereof is preferred. Furthermore, in order to increase the affinity with polyimide, the alkali metal aqueous solution may contain primary amines such as ethanolamine, propanolamine and butanolamine, and secondary amines such as diethylamine and dipropanolamine. It is also advantageous to contain an alcoholic or organic solvent such as oxyalkylamine, hydrazine monohydrate, ethylenediamine, dimethylamine, dimethylformamide, cresol, ethylene glycol. The solvent is not limited to the organic solvent as long as it has a high affinity with the polyimide resin.

また、アルカリ水溶液の濃度は、アルカリ金属水酸化物の場合、水とアルカリ金属水酸化物の合計に対してアルカリ金属水酸化物30〜70質量%が好ましく、また、エッチングの温度範囲としては温度が高いほどエッチング速度が速く、好ましくは50℃以上である。 In the case of an alkali metal hydroxide, the concentration of the alkali aqueous solution is preferably 30 to 70% by mass of the alkali metal hydroxide with respect to the total of water and the alkali metal hydroxide, and the etching temperature range is temperature. Is higher, the etching rate is higher, preferably 50 ° C. or higher.

この発明のポリイミドフィルム積層体は、ポリイミド層に他の基材、例えば金属層などを直接あるいは接着剤を介して積層することができる。
この発明において、ポリイミドフィルムの接着強度および機械強度の向上の目的でシランカップリング剤、例えば3−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−フェニル−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、3−グリシジルプロピルトリメトキシシラン、3−イソシアネ−トプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン等をポリアミック酸重合時に固形分(ポリマ−)濃度に対して0.01〜10%、特に好ましくは0.1〜5質量%の割合で添加することができる。
In the polyimide film laminate of the present invention, another substrate such as a metal layer can be laminated directly or via an adhesive on the polyimide layer.
In this invention, a silane coupling agent such as 3-aminopropyltrimethoxysilane, N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane is used for the purpose of improving the adhesive strength and mechanical strength of the polyimide film. , 3-glycidylpropyltrimethoxysilane, 3-isocyanatopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, etc., in the polyamic acid polymerization, 0.01 to 10% with respect to the solid content (polymer) concentration, especially Preferably it can add in the ratio of 0.1-5 mass%.

本発明の第二のポリイミドフィルム積層体は、ポリイミド表面層に直接あるいは接着剤を介して金属層などの基材、好適には銅層などの金属層などを積層して得ることができる。
この金属層などの基材は、ラミネ−ト法によって金属箔を積層するかあるいは薄膜成膜法および電気めっき法を用いて形成することができる。また、この薄膜成膜法および電気めっき法を用いた金属薄膜および銅めっき層を形成する銅層の積層法としては、それ自体公知のすべての方法が採用できる。
The second polyimide film laminate of the present invention can be obtained by laminating a substrate such as a metal layer, preferably a metal layer such as a copper layer, directly or via an adhesive on the polyimide surface layer.
The base material such as the metal layer can be formed by laminating metal foils by a laminating method or by using a thin film forming method and an electroplating method. Moreover, as a method of laminating the metal thin film and the copper layer for forming the copper plating layer using the thin film deposition method and the electroplating method, all methods known per se can be adopted.

前記のラミネ−ト法において、ポリイミド層に耐熱性接着剤などの接着剤層を設け、さらに金属箔などの基材を重ね合わせ、加熱・加圧して積層体を得ることができる。
前記の耐熱性接着剤としては、電子分野で使用されている耐熱性接着剤であれば特に制限はなく、例えばポリイミド系接着剤、エポキシ変性ポリイミド系接着剤、フェノ−ル樹脂変性エポキシ樹脂接着剤、エポキシ変性アクリル樹脂系接着剤、エポキシ変性ポリアミド系接着剤などが挙げられる。この耐熱性接着剤層はそれ自体電子分野で実施されている任意の方法で設けることができ、例えば前記のポリイミド層、積層体に接着剤溶液を塗布・乾燥してもよく、別途に形成したフィルム状接着剤と張り合わせてもよい。
In the above laminating method, a laminate can be obtained by providing an adhesive layer such as a heat-resistant adhesive on the polyimide layer, and further superposing a base material such as a metal foil, and heating and pressing.
The heat-resistant adhesive is not particularly limited as long as it is a heat-resistant adhesive used in the electronic field. For example, a polyimide-based adhesive, an epoxy-modified polyimide-based adhesive, a phenol resin-modified epoxy resin adhesive. , Epoxy-modified acrylic resin-based adhesives, epoxy-modified polyamide-based adhesives, and the like. This heat-resistant adhesive layer can be provided by any method used in the electronic field itself. For example, an adhesive solution may be applied to the polyimide layer or laminate and dried, or formed separately. It may be laminated with a film adhesive.

基材として金属層を用いることが出来、金属層としては単一金属あるいは合金、例えば、銅、アルミニウム、金、銀、ニッケル、ステンレスの金属箔、金属メッキ層(好適には蒸着金属下地層−金属メッキ層あるいは化学金属メッキ層等の多くの公知技術が適用できる)が挙げられるが、好適には圧延銅箔、電解銅箔などが挙げられる。金属箔の厚さは特に制限はないが、0.1μm〜10mm、特に1〜18μmが好ましい。   A metal layer can be used as the substrate, and the metal layer can be a single metal or an alloy, for example, copper, aluminum, gold, silver, nickel, stainless steel metal foil, metal plating layer (preferably a deposited metal underlayer- Many known techniques such as a metal plating layer or a chemical metal plating layer can be applied), and a rolled copper foil, an electrolytic copper foil and the like are preferable. The thickness of the metal foil is not particularly limited, but is preferably 0.1 μm to 10 mm, particularly 1 to 18 μm.

厚さ1〜10μの極薄銅箔を基材として使用する場合は、取り扱い性の良いキャリア付銅箔を好適に用いることができる。キャリア付銅箔のキャリア層としては、特に制限はないが、厚さ5μm〜150μmの圧延銅箔や電解銅箔が好ましい。キャリア層は極薄銅箔から容易に力学的に剥離できることが好ましく、剥離強度が0.01〜0.3Kg/cmであることが好ましい。   When an ultrathin copper foil having a thickness of 1 to 10 μm is used as a substrate, a copper foil with a carrier having good handleability can be suitably used. Although there is no restriction | limiting in particular as a carrier layer of copper foil with a carrier, Rolled copper foil and electrolytic copper foil with a thickness of 5 micrometers-150 micrometers are preferable. The carrier layer is preferably easily and mechanically peelable from the ultrathin copper foil, and preferably has a peel strength of 0.01 to 0.3 Kg / cm.

積層体は、耐熱性、高弾性率、低線膨張係数といった特徴を維持したまま、接着性、透湿速度が改良されており、高温処理工程による接着界面での発泡や剥離が起こりにくい。
積層体には、基材として、例えばセラミックス、ガラス基板、シリコンウエハ−や同種あるいは異種の金属あるいはポリイミドフィルムなどの成形体をさらに耐熱性接着剤によって接着してもよい。
The laminate has improved adhesiveness and moisture permeation rate while maintaining characteristics such as heat resistance, high elastic modulus, and low linear expansion coefficient, and foaming and peeling at the adhesion interface due to a high-temperature treatment process hardly occur.
For example, ceramics, glass substrates, silicon wafers, the same or different metals, or polyimide films may be further bonded to the laminate by a heat resistant adhesive.

この発明は、ガス透過速度、透湿速度に優れ、低膨張係数を有し、優れた機械的特性を有するポリイミド層を有するために、積層体製造時の高温工程或いは、配線基板として用いる場合の高温工程における発泡・剥離が抑制されたポリイミドフィルム積層体を提供することができる。   This invention is excellent in gas permeation rate and moisture permeation rate, has a low expansion coefficient, and has a polyimide layer having excellent mechanical properties. A polyimide film laminate in which foaming / peeling in a high-temperature process is suppressed can be provided.

本発明の第一及び第二の積層体は電子部品用基板として好適に使用できる。例えば、プリント回路基板、電力用回路基板、フレキシブルヒ−タ−、抵抗器用基板、放熱板、熱応答素子、ハ−ドディスクサスペンションとして好適に使用することができる。   The first and second laminates of the present invention can be suitably used as an electronic component substrate. For example, it can be suitably used as a printed circuit board, a power circuit board, a flexible heater, a resistor board, a heat sink, a thermal response element, and a hard disk suspension.

以下、本発明を実施例に基づき、さらに詳細に説明する。但し、本発明は下記実施例により制限されるものでない。   Hereinafter, the present invention will be described in more detail based on examples. However, the present invention is not limited by the following examples.

(原料ド−プの合成例1)
反応容器にN、N−ジメチルアセトアミド(DMAc)を加え、撹拌および窒素流通下、パラフェニレンジアミン(PPD)を添加し、50℃に保温し完全に溶解させた。この溶液にジアミン成分とジカルボン酸成分とが等モル量となる割合の3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BPDA)を発熱に注意しながら徐々に添加し、添加終了後50℃を保ったまま3時間反応を続けて、モノマ−濃度18質量%のポリアミック酸溶液(黄色粘調液体、25℃における溶液粘度は約1000ポイズ)を得た。この溶液を第1液と称する。
(Synthesis example 1 of raw material dope)
N, N-dimethylacetamide (DMAc) was added to the reaction vessel, paraphenylenediamine (PPD) was added under stirring and nitrogen flow, and the mixture was kept at 50 ° C. and completely dissolved. To this solution, gradually add 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA) in an equimolar amount of the diamine component and the dicarboxylic acid component while paying attention to heat generation. The reaction was continued for 3 hours while maintaining the temperature at 50 ° C. to obtain a polyamic acid solution having a monomer concentration of 18% by mass (yellow viscous liquid, solution viscosity at 25 ° C. was about 1000 poise). This solution is referred to as the first liquid.

(原料ド−プの合成例2)
PPDの代わりに3,3’−ジカルボキシ−4,4’−ジアミノジフェニルメタン(MBAA)を添加した以外は合成例1と同様の反応を行って、モノマ−濃度18質量%のポリアミック酸溶液(淡褐色粘調液体、25℃における溶液粘度は約500ポイズ)を得た。この溶液を第2液と称する。
(Synthesis example 2 of raw material dope)
The same reaction as in Synthesis Example 1 was conducted except that 3,3′-dicarboxy-4,4′-diaminodiphenylmethane (MBAA) was added in place of PPD, and a polyamic acid solution (a light 18% by weight monomer concentration) was obtained. A brown viscous liquid having a solution viscosity of about 500 poise at 25 ° C. was obtained. This solution is referred to as the second liquid.

(原料ド−プの合成例3)
PPDの代わりに4,4’−メチレン−ビス(2,6−ジメチルアニリン)(MDX)を添加した以外は合成例1と同様の反応を行って、モノマ−濃度18質量%のポリアミック酸溶液(淡褐色粘調液体、25℃における溶液粘度は約1000ポイズ)を得た。この溶液を第3液と称する。
(Synthesis example 3 of raw material dope)
A polyamic acid solution having a monomer concentration of 18% by mass was prepared by performing the same reaction as in Synthesis Example 1 except that 4,4′-methylene-bis (2,6-dimethylaniline) (MDX) was added instead of PPD. A light brown viscous liquid having a solution viscosity of about 1000 poise at 25 ° C. was obtained. This solution is referred to as the third liquid.

(原料ド−プの合成例4)
PPDの代わりに4,4’−メチレン−ビス(2−メチルアニリン)(MDT)を添加した以外は合成例1と同様の反応を行って、モノマ−濃度18質量%のポリアミック酸溶液(濃赤色粘調液体、25℃における溶液粘度は約1000ポイズ)を得た。この溶液を第4液と称する。
(Synthesis example 4 of raw material dope)
A polyamic acid solution (dark red color) having a monomer concentration of 18% by mass was prepared in the same manner as in Synthesis Example 1 except that 4,4′-methylene-bis (2-methylaniline) (MDT) was added instead of PPD. A viscous liquid, a solution viscosity at 25 ° C. of about 1000 poise) was obtained. This solution is referred to as the fourth liquid.

(原料ド−プの合成例5)
PPDの代わりに3,3’−ジメトキシ−4,4’−ジアミノビフェニル(DANS)を添加した以外は合成例1と同様の反応を行って、モノマ−濃度18質量%のポリアミック酸溶液(淡黒褐色粘調液体、25℃における溶液粘度は約1500ポイズ)を得た。この溶液を第5液と称する。
(Synthesis example 5 of raw material dope)
The same reaction as in Synthesis Example 1 was performed except that 3,3′-dimethoxy-4,4′-diaminobiphenyl (DANS) was added instead of PPD, and a polyamic acid solution (light blackish brown having a monomer concentration of 18% by mass) was obtained. A viscous liquid having a solution viscosity at 25 ° C. of about 1500 poise) was obtained. This solution is referred to as the fifth solution.

(原料ド−プの合成例6)
PPDの代わりに3,3’−ジメチル−4,4’−ジアミノビフェニル(TB)を添加した以外は合成例1と同様の反応を行って、モノマ−濃度18質量%のポリアミック酸溶液(淡褐色粘調液体、25℃における溶液粘度は約800ポイズ)を得た。この溶液を第6液と称する。
(Synthesis Example 6 of raw material dope)
A polyamic acid solution (light brown) having a monomer concentration of 18% by mass was prepared in the same manner as in Synthesis Example 1 except that 3,3′-dimethyl-4,4′-diaminobiphenyl (TB) was added instead of PPD. A viscous liquid, a solution viscosity at 25 ° C. of about 800 poise) was obtained. This solution is referred to as the sixth liquid.

(原料ド−プの合成例7)
BPDAの代わりにピロメリット酸二無水物(PMDA)、PPDの代わりに4,4’−ジアミノジフェニルエ−テル(ODA)を添加した以外は合成例1と同様の反応を行って、モノマ−濃度18質量%のポリアミック酸溶液(淡黄色粘調液体、25℃における溶液粘度は約600ポイズ)を得た。この溶液を第7液と称する。
(Synthesis example 7 of raw material dope)
The same reaction as in Synthesis Example 1 was conducted except that pyromellitic dianhydride (PMDA) instead of BPDA and 4,4′-diaminodiphenyl ether (ODA) were added instead of PPD. An 18 mass% polyamic acid solution (light yellow viscous liquid, solution viscosity at 25 ° C. was about 600 poise) was obtained. This solution is referred to as the seventh solution.

(測定法)
1.エッチングした後に得られるポリイミドフィルムの弾性率、破断強度の測定:
幅4mmのダンベル状に打ち抜いた試験片について、ASTM・D882に従い、オリエンテック社製TENSILONUTM−II−20を用いて測定した。測定条件は、チャック間30mm、引張り速度2mm/分、温度23℃、湿度55%の環境下で行なった。測定は5試料行い、測定結果は5試料の平均値とする。
2.180°ピール強度の測定:
JIS・C6471に準じて、オリエンテック社製TENSILONUTM−II−20を用い、引張り速度40mm/分の条件で180°方向の剥離強度を測定。
3.線膨張係数の測定:
株式会社島津製作所製、TMA−50を用いて、初期荷重5g、加熱速度5℃/分で、100〜250℃の線膨張係数を測定。
4.溶液粘度の測定:
E型回転粘度計(VISCOMETERTOKIMEC社製)を用いて25℃で測定しました。
5.積層体の「発泡、剥離」の観察:
得られた積層体の外観を目視で観察して、発泡や剥離が認められるか、を判断した。
(Measurement method)
1. Measurement of elastic modulus and breaking strength of polyimide film obtained after etching:
A test piece punched into a 4 mm width dumbbell was measured according to ASTM D882 using TENSILONUTM-II-20 manufactured by Orientec Corporation. The measurement conditions were 30 mm between chucks, 2 mm / min pulling speed, 23 ° C. temperature and 55% humidity. The measurement is performed on 5 samples, and the measurement result is an average value of 5 samples.
2. Measurement of 180 ° peel strength:
In accordance with JIS C6471, the peel strength in the 180 ° direction was measured under the condition of a tensile speed of 40 mm / min using TENSILONUTM-II-20 manufactured by Orientec.
3. Measurement of linear expansion coefficient:
Using a TMA-50 manufactured by Shimadzu Corporation, a linear expansion coefficient of 100 to 250 ° C. was measured at an initial load of 5 g and a heating rate of 5 ° C./min.
4). Measurement of solution viscosity:
Measured at 25 ° C using an E-type rotational viscometer (VISCOMETERTOKIMEC).
5. Observation of “foaming and peeling” of the laminate:
The appearance of the obtained laminate was visually observed to determine whether foaming or peeling was observed.

以下の実施例及び比較例では、ポリアミック酸溶液は銅箔の粗面側に塗布した。   In the following examples and comparative examples, the polyamic acid solution was applied to the rough surface side of the copper foil.

(実施例1〜5)
第1液と第2〜第6液とを、第1液に含まれるジアミンのモル量と第2〜第6液に含まれるジアミンのモル量との比(モル比)が90モル%:10モル%となるような割合で混合し、さらに1,2−ジメチルイミダゾ−ルをポリアミック酸に対して2重量%添加した溶液を、銅箔(日本電解株式会社製:SLP銅箔、厚さ18μm)上に最終膜厚25μm程度となるように塗布し、135℃で3分加熱して固化フィルムを形成した後、ステンレス枠に固定し、130℃で3分間、180℃で1分間加熱した後、450℃まで5分で昇温し、450℃に2分保持して熱処理することによりポリイミド銅箔積層体を得た。得られた積層体に発泡、剥離等は認められなかった。この積層体の界面の180°ピ−ル強度を測定し、接着強度を評価した。さらに、積層体の銅箔を40%塩化第二鉄水溶液でエッチングした後に得られるポリイミドフィルムの弾性率、破断強度を測定した。結果を表1に示した。
(Examples 1-5)
The ratio (molar ratio) between the molar amount of the diamine contained in the first liquid and the molar amount of the diamine contained in the second to sixth liquids is 90 mol%: 10. A solution in which 1,2-dimethylimidazole was added in an amount of 2% by weight with respect to polyamic acid was mixed with copper foil (manufactured by Nippon Electrolytic Co., Ltd .: SLP copper foil, thickness 18 μm). ) After coating to a final film thickness of about 25 μm and heating at 135 ° C. for 3 minutes to form a solidified film, fixing to a stainless steel frame and heating at 130 ° C. for 3 minutes and 180 ° C. for 1 minute The temperature was raised to 450 ° C. over 5 minutes, and the temperature was maintained at 450 ° C. for 2 minutes for heat treatment to obtain a polyimide copper foil laminate. Foaming, peeling and the like were not observed in the obtained laminate. The 180 ° peel strength at the interface of this laminate was measured to evaluate the adhesive strength. Furthermore, the elastic modulus and breaking strength of the polyimide film obtained after etching the copper foil of the laminate with 40% ferric chloride aqueous solution were measured. The results are shown in Table 1.

(比較例1)
第1液のみを用いた以外は実施例1と同様にして、ポリイミド銅箔積層体を得た。広範囲で発泡、剥離が認められ、均質な積層体が得られなかった。積層体の接着が認められる一部界面の180°ピ−ル強度を測定し、接着強度を評価した。さらに、積層体の銅箔を40%塩化第二鉄水溶液でエッチングした後に得られるポリイミドフィルムの弾性率、破断強度を測定した。結果を表1に示した。
(Comparative Example 1)
A polyimide copper foil laminate was obtained in the same manner as in Example 1 except that only the first liquid was used. Foaming and peeling were observed in a wide range, and a homogeneous laminate was not obtained. The 180 ° peel strength at a partial interface where adhesion of the laminate was observed was measured to evaluate the adhesive strength. Furthermore, the elastic modulus and breaking strength of the polyimide film obtained after etching the copper foil of the laminate with 40% ferric chloride aqueous solution were measured. The results are shown in Table 1.

(比較例2)
第1液と第7液とを、第1液に含まれるジアミンのモル量と第7液に含まれるジアミンのモル量との比(モル比)が50モル%:50モル%となるような割合で混合して用いた以外は実施例1と同様にして、ポリイミド銅箔積層体を得た。一部で発泡、剥離が認められ、均質な積層体が得られなかった。積層体の接着が認められる一部界面の180°ピ−ル強度を測定し、接着強度を評価した。さらに、積層体の銅箔を40%塩化第二鉄水溶液でエッチングした後に得られるポリイミドフィルムの弾性率、破断強度を測定した。結果を表1に示した。
(Comparative Example 2)
The first liquid and the seventh liquid are such that the ratio (molar ratio) between the molar amount of the diamine contained in the first liquid and the molar amount of the diamine contained in the seventh liquid is 50 mol%: 50 mol%. A polyimide copper foil laminate was obtained in the same manner as in Example 1 except that the mixture was used at a ratio. Foaming and peeling were observed in part, and a homogeneous laminate was not obtained. The 180 ° peel strength at a partial interface where adhesion of the laminate was observed was measured to evaluate the adhesive strength. Furthermore, the elastic modulus and breaking strength of the polyimide film obtained after etching the copper foil of the laminate with 40% ferric chloride aqueous solution were measured. The results are shown in Table 1.

Figure 2006321229
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(実施例6〜9、比較例3)
第1液と第3液とを、第1液に含まれるジアミンのモル量と第3液に含まれるジアミンのモル量との比(モル比)が表2の比率となるように混合し、さらに1,2−ジメチルイミダゾ−ルをポリアミック酸に対して2重量%添加した溶液を銅箔(日本電解株式会社製 SLP 厚さ18μm)上に最終膜厚25μmとなるように塗布し、実施例1と同様にしてポリイミド銅箔積層体を得た。得られた積層体に発泡、剥離等は認められなかった。この積層体の界面の180°ピ−ル強度を測定し、接着強度を評価した。さらに、積層体の銅箔を40%塩化第二鉄水溶液でエッチングした後に得られるポリイミドフィルムの弾性率、破断強度を測定した。結果を表2に示した。
(Examples 6 to 9, Comparative Example 3)
The first liquid and the third liquid are mixed so that the ratio (molar ratio) between the molar amount of the diamine contained in the first liquid and the molar amount of the diamine contained in the third liquid is the ratio shown in Table 2. Further, a solution in which 2% by weight of 1,2-dimethylimidazole was added to the polyamic acid was applied on a copper foil (SLP thickness 18 μm, manufactured by Nihon Electrolytic Co., Ltd.) so as to have a final film thickness of 25 μm. In the same manner as in Example 1, a polyimide copper foil laminate was obtained. Foaming, peeling and the like were not observed in the obtained laminate. The 180 ° peel strength at the interface of this laminate was measured to evaluate the adhesive strength. Furthermore, the elastic modulus and breaking strength of the polyimide film obtained after etching the copper foil of the laminate with 40% ferric chloride aqueous solution were measured. The results are shown in Table 2.

(実施例10)
最終膜厚15μmとなるように塗布した以外は実施例2と同様にしてポリイミド銅箔積層体を得た。得られた積層体に発泡、剥離等は認められなかった。結果を表2に示した。
(Example 10)
A polyimide copper foil laminate was obtained in the same manner as in Example 2 except that the final film thickness was 15 μm. Foaming, peeling and the like were not observed in the obtained laminate. The results are shown in Table 2.

Figure 2006321229
Figure 2006321229

(実施例11)
銅箔としてUSLPR2(日本電解株式会社製 厚さ9μm)を用いた以外は実施例2と同様にしてポリイミド銅箔積層体を得た。得られた積層体に発泡、剥離等は認められなかった。結果を表3に示した。
(Example 11)
A polyimide copper foil laminate was obtained in the same manner as in Example 2 except that USLPR2 (Nippon Electrolytic Co., Ltd., thickness 9 μm) was used as the copper foil. Foaming, peeling and the like were not observed in the obtained laminate. The results are shown in Table 3.

(実施例12)
銅箔として3EC−VLP(三井金属鉱業株式会社製 厚さ9μm)を用いた以外は実施例2と同様にしてポリイミド銅箔積層体を得た。得られた積層体に発泡、剥離等は認められなかった。結果を表3に示した。
(Example 12)
A polyimide copper foil laminate was obtained in the same manner as in Example 2 except that 3EC-VLP (Mitsui Metal Mining Co., Ltd., thickness 9 μm) was used as the copper foil. Foaming, peeling and the like were not observed in the obtained laminate. The results are shown in Table 3.

(実施例13)
銅箔としてUSLPR2(日本電解株式会社製 厚さ12μm)を用いた以外は実施例2と同様にしてポリイミド銅箔積層体を得た。得られた積層体に発泡、剥離等は認められなかった。結果を表3に示した。
(Example 13)
A polyimide copper foil laminate was obtained in the same manner as in Example 2 except that USLPR2 (Nippon Electrolytic Co., Ltd., thickness 12 μm) was used as the copper foil. Foaming, peeling and the like were not observed in the obtained laminate. The results are shown in Table 3.

(実施例14)
銅箔としてHLA2(日本電解株式会社製 厚さ12μm)を用いた以外は実施例2と同様にしてポリイミド銅箔積層体を得た。得られた積層体に発泡、剥離等は認められなかった。結果を表3に示した。
(Example 14)
A polyimide copper foil laminate was obtained in the same manner as in Example 2 except that HLA2 (Nippon Electrolytic Co., Ltd., thickness 12 μm) was used as the copper foil. Foaming, peeling and the like were not observed in the obtained laminate. The results are shown in Table 3.

(実施例15)
銅箔としてF2WS(古川サ−キットフォイル株式会社製 厚さ12μm)を用いた以外は実施例2と同様にしてポリイミド銅箔積層体を得た。得られた積層体に発泡、剥離等は認められなかった。結果を表3に示した。
(Example 15)
A polyimide copper foil laminate was obtained in the same manner as in Example 2 except that F2WS (thickness 12 μm, manufactured by Furukawa Sakit Foil Co., Ltd.) was used as the copper foil. Foaming, peeling and the like were not observed in the obtained laminate. The results are shown in Table 3.

Figure 2006321229
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(実施例16)
銅箔としてYSNAP−1B(日本電解株式会社製 キャリア層厚さ18μm、銅箔厚さ1μm)を用いた以外は実施例2と同様にしてポリイミド銅箔積層体を得た。キャリア層を剥離することにより、金属層1μm、ポリイミド層25μmの積層体が得られた。積層体に発泡、剥離等は認められなかった。
(Example 16)
A polyimide copper foil laminate was obtained in the same manner as in Example 2 except that YSNAP-1B (manufactured by Nippon Electrolytic Co., Ltd., carrier layer thickness 18 μm, copper foil thickness 1 μm) was used as the copper foil. By peeling off the carrier layer, a laminate having a metal layer of 1 μm and a polyimide layer of 25 μm was obtained. No foaming or peeling was observed in the laminate.

(実施例17)
銅箔としてYSNAP−3B(日本電解株式会社製 キャリア層厚さ18μm、銅箔厚さ3μm)を用いた以外は実施例2と同様にしてポリイミド銅箔積層体を得た。キャリア層を剥離することにより、金属層3μm、ポリイミド層25μmの積層体が得られた。積層体に発泡、剥離等は認められなかった。
(Example 17)
A polyimide copper foil laminate was obtained in the same manner as in Example 2 except that YSNAP-3B (carrier layer thickness 18 μm, copper foil thickness 3 μm, manufactured by Nippon Electrolytic Co., Ltd.) was used as the copper foil. By peeling off the carrier layer, a laminate having a metal layer of 3 μm and a polyimide layer of 25 μm was obtained. No foaming or peeling was observed in the laminate.

(実施例18)
銅箔としてXTF−1(日本オ−リンブラス株式会社製 キャリア層厚さ35μm、銅箔厚さ1μm)を用いた以外は実施例2と同様にしてポリイミド銅箔積層体を得た。キャリア層を剥離することにより、金属層1μm、ポリイミド層25μmの積層体が得られた。積層体に発泡、剥離等は認められなかった。
(Example 18)
A polyimide copper foil laminate was obtained in the same manner as in Example 2 except that XTF-1 (Carrier layer thickness 35 μm, copper foil thickness 1 μm, manufactured by Nippon Olympus Co., Ltd.) was used as the copper foil. By peeling off the carrier layer, a laminate having a metal layer of 1 μm and a polyimide layer of 25 μm was obtained. No foaming or peeling was observed in the laminate.

(実施例19)
銅箔としてXTF−3(日本オ−リンブラス株式会社製 キャリア層厚さ35μm、銅箔厚さ3μm)を用いた以外は実施例2と同様にしてポリイミド銅箔積層体を得た。キャリア層を剥離することにより、金属層3μm、ポリイミド層25μmの積層体が得られた。積層体に発泡、剥離等は認められなかった。
(Example 19)
A polyimide copper foil laminate was obtained in the same manner as in Example 2, except that XTF-3 (Carrier layer thickness 35 μm, copper foil thickness 3 μm, manufactured by Nippon Olympus Co., Ltd.) was used as the copper foil. By peeling off the carrier layer, a laminate having a metal layer of 3 μm and a polyimide layer of 25 μm was obtained. No foaming or peeling was observed in the laminate.

(実施例20)
第1液と第3液とを、第1液に含まれるジアミンのモル量と第3液に含まれるジアミンのモル量との比(モル比)が590モル%:10モル%となるような割合で混合し、さらに、1,2−ジメチルイミダゾ−ルをポリアミック酸に対して2重量%、N−フェニル−3−アミノプロピルトリメトキシシランをポリアミック酸に対して1重量%となるように添加した。この溶液を銅箔(日本電解株式会社製 SLP 厚さ18μm)上に最終膜厚25μmとなるように塗布し、実施例1と同様にしてポリイミド銅箔積層体を得た。得られた積層体に発泡、剥離等は認められなかった。
この積層体の界面の180°ピ−ル強度を測定し、接着強度を評価した。さらに、積層体の銅箔を40%塩化第二鉄水溶液でエッチングした後に得られるポリイミドフィルムの弾性率、破断強度を測定した。結果を表4に示した。
(Example 20)
The first liquid and the third liquid are such that the ratio (molar ratio) between the molar amount of the diamine contained in the first liquid and the molar amount of the diamine contained in the third liquid is 590 mol%: 10 mol%. In addition, 1,2-dimethylimidazole was added at 2% by weight with respect to the polyamic acid, and N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane was added at 1% by weight with respect to the polyamic acid. did. This solution was applied onto a copper foil (SLP thickness 18 μm, manufactured by Nippon Electrolytic Co., Ltd.) so as to have a final film thickness of 25 μm, and a polyimide copper foil laminate was obtained in the same manner as in Example 1. Foaming, peeling and the like were not observed in the obtained laminate.
The 180 ° peel strength at the interface of this laminate was measured to evaluate the adhesive strength. Furthermore, the elastic modulus and breaking strength of the polyimide film obtained after etching the copper foil of the laminate with 40% ferric chloride aqueous solution were measured. The results are shown in Table 4.

(実施例21)
N−フェニル−3−アミノプロピルトリメトキシシランを、ポリアミック酸に対して3重量%となるように添加した以外は、実施例20と同様にしてポリイミド銅箔積層体を得た。得られた積層体に発泡、剥離等は認められなかった。結果を表4に示した。
(Example 21)
A polyimide copper foil laminate was obtained in the same manner as in Example 20, except that N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane was added to 3 wt% with respect to the polyamic acid. Foaming, peeling and the like were not observed in the obtained laminate. The results are shown in Table 4.

(実施例22)
N−フェニル−3−アミノプロピルトリメトキシシランを、ポリアミック酸に対して5重量%となるように添加した以外は、実施例20と同様にしてポリイミド銅箔積層体を得た。得られた積層体に発泡、剥離等は認められなかった。結果を表4に示した。
(Example 22)
A polyimide copper foil laminate was obtained in the same manner as in Example 20 except that N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane was added to 5 wt% with respect to the polyamic acid. Foaming, peeling and the like were not observed in the obtained laminate. The results are shown in Table 4.

(実施例23)
第1液と第3液とを、第1液に含まれるジアミンのモル量と第3液に含まれるジアミンのモル量との比(モル比)が90モル%:10モル%となるような割合で混合し、さらに、3−メルカプトプロピルトリメトキシシランを、ポリアミック酸に対して1重量%、1,2−ジメチルイミダゾ−ルをポリアミック酸に対して2重量%となるように添加した。この溶液を銅箔(日本電解株式会社製 SLP 厚さ18μm)上に最終膜厚25μmとなるように塗布し、実施例1と同様にしてポリイミド銅箔積層体を得た。得られた積層体に発泡、剥離等は認められなかった。この積層体の界面の180°ピ−ル強度を測定し、接着強度を評価した。さらに、積層体の銅箔を40%塩化第二鉄水溶液でエッチングした後に得られるポリイミドフィルムの弾性率、破断強度、破断伸びを測定した。結果を表4に示した。
(Example 23)
The first liquid and the third liquid are such that the ratio (molar ratio) between the molar amount of the diamine contained in the first liquid and the molar amount of the diamine contained in the third liquid is 90 mol%: 10 mol%. Further, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane was added at 1% by weight with respect to the polyamic acid, and 1,2-dimethylimidazole was added at 2% by weight with respect to the polyamic acid. This solution was applied onto a copper foil (SLP thickness 18 μm, manufactured by Nippon Electrolytic Co., Ltd.) so as to have a final film thickness of 25 μm, and a polyimide copper foil laminate was obtained in the same manner as in Example 1. Foaming, peeling and the like were not observed in the obtained laminate. The 180 ° peel strength at the interface of this laminate was measured to evaluate the adhesive strength. Furthermore, the elastic modulus, breaking strength, and breaking elongation of the polyimide film obtained after etching the copper foil of the laminate with 40% ferric chloride aqueous solution were measured. The results are shown in Table 4.

(実施例24)
3−メルカプトプロピルトリメトキシシランを、ポリアミック酸に対して3重量%となるように添加した以外は、実施例23と同様にしてポリイミド銅箔積層体を得た。得られた積層体に発泡、剥離等は認められなかった。結果を表4に示した。
(Example 24)
A polyimide copper foil laminate was obtained in the same manner as in Example 23, except that 3-mercaptopropyltrimethoxysilane was added to 3 wt% with respect to the polyamic acid. Foaming, peeling and the like were not observed in the obtained laminate. The results are shown in Table 4.

(実施例25)
3−メルカプトプロピルトリメトキシシランを、ポリアミック酸に対して5重量%となるように添加した以外は、実施例23と同様にしてポリイミド銅箔積層体を得た。得られた積層体に発泡、剥離等は認められなかった。結果を表4に示した。
(Example 25)
A polyimide copper foil laminate was obtained in the same manner as in Example 23, except that 3-mercaptopropyltrimethoxysilane was added to 5% by weight with respect to the polyamic acid. Foaming, peeling and the like were not observed in the obtained laminate. The results are shown in Table 4.

Figure 2006321229
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実施例1〜25、比較例1〜2で得られた積層板について、次の評価法によって高温処理工程による接着界面での発泡や剥離の発生の有無について評価した。
評価法:得られた積層体を、23℃で24時間純水に浸漬し、付着した水を拭き取った後、280℃のハンダ浴に10秒間浸漬した。結果は以下の通りであった。
・発泡、剥離が認められたもの:比較例1、比較例2。
・発泡が認められなかったもの:実施例1〜10、実施例12〜25。
About the laminated board obtained in Examples 1-25 and Comparative Examples 1-2, the presence or absence of generation | occurrence | production of foaming and peeling in the adhesion interface by a high-temperature treatment process was evaluated by the following evaluation method.
Evaluation method: The obtained laminate was immersed in pure water at 23 ° C. for 24 hours, wiped off the adhered water, and then immersed in a solder bath at 280 ° C. for 10 seconds. The results were as follows.
-Foaming and peeling were observed: Comparative Example 1 and Comparative Example 2.
-No foaming was observed: Examples 1 to 10, Examples 12 to 25.

(参考例1〜10)
第1液と第3液とを表5の比率で混合し、ガラス基板上に最終膜厚25μm及び50μmとなるように塗布し、135℃で3分(最終膜厚25μm)又は5分(最終膜厚50μm)加熱して固化フィルムを形成し、ガラス基板から剥離した後、ピンテンタ−に貼り付けて130℃で5分、180℃で5分、210℃で5分、320℃で2分間加熱した後、450℃まで5分で昇温し、450℃に2分保持して熱処理することによりポリイミドフィルムを得た。
得られたポリイミドフィルムの飽和吸水率、相対透湿速度、線膨張係数及び機械的特性(破断応力、引張弾性率、破断伸び)を測定し、結果を表 5に示す。
(Reference Examples 1 to 10)
The first liquid and the third liquid are mixed at a ratio shown in Table 5 and applied onto a glass substrate so as to have a final film thickness of 25 μm and 50 μm, and at 135 ° C. for 3 minutes (final film thickness 25 μm) or 5 minutes (final) (Film thickness 50 μm) Heated to form a solidified film, peeled off from the glass substrate, and then attached to a pin tenter and heated at 130 ° C. for 5 minutes, 180 ° C. for 5 minutes, 210 ° C. for 5 minutes, and 320 ° C. for 2 minutes Then, the temperature was raised to 450 ° C. in 5 minutes, and the polyimide film was obtained by heat-treating at 450 ° C. for 2 minutes.
Saturated water absorption, relative moisture transmission rate, linear expansion coefficient and mechanical properties (breaking stress, tensile elastic modulus, breaking elongation) of the obtained polyimide film were measured, and the results are shown in Table 5.

(参考例1〜10で得られるポリイミドフィルム特性の評価)
1)飽和吸水率(%):ポリイミドフィルムを乾燥窒素雰囲気下で恒量になるまで乾燥させて乾燥時のフィルム重量を測定し、その後、23℃で24時間純水に浸漬し、付着した水を拭き取った後、吸水時のフィルム重量を測定し、飽和吸水率は、数式(1)に従い、算出した。

Figure 2006321229
(Evaluation of polyimide film characteristics obtained in Reference Examples 1 to 10)
1) Saturated water absorption (%): The polyimide film was dried to a constant weight in a dry nitrogen atmosphere, the film weight at the time of drying was measured, and then immersed in pure water at 23 ° C. for 24 hours. After wiping off, the film weight at the time of water absorption was measured, and the saturated water absorption was calculated according to the formula (1).
Figure 2006321229

2)相対透湿速度:得られたポリイミドフィルムを乾燥窒素雰囲気下で恒量になるまで乾燥させて乾燥時のフィルム重量を測定し、その後、乾燥したポリイミドフィルムを温度27℃、湿度55%RHの雰囲気中下において1時間、重量変化を追跡し、初期の重量増加率(重量変化曲線の傾き)を透湿速度とし、比較例2における50μフィルムの透湿速度を1とした相対値を相対透湿速度とした。 2) Relative moisture permeation rate: The obtained polyimide film was dried to a constant weight in a dry nitrogen atmosphere, and the film weight at the time of drying was measured. Thereafter, the dried polyimide film was measured at a temperature of 27 ° C. and a humidity of 55% RH. The change in weight was traced for 1 hour in the atmosphere, the initial weight increase rate (the slope of the weight change curve) was taken as the moisture transmission rate, and the relative value with the moisture transmission rate of the 50 μ film in Comparative Example 2 as 1 was measured as relative permeability. The wet speed was used.

3)線膨張係数:TMA−50を用い、5℃/分、100℃〜250℃の範囲で測定した。 3) Linear expansion coefficient: measured using TMA-50 in the range of 5 ° C / min and 100 ° C to 250 ° C.

4)機械的特性(破断応力、引張弾性率、破断伸び):膜厚25μmのポリイミドフィルムを用いてASTM・D882に従って測定した。測定条件は、TENSILONを用いて、引張り速度2mm/分、温度23℃、湿度55%の環境下で行なった。測定は5試料行い、測定結果は5試料の平均値とする。 4) Mechanical properties (breaking stress, tensile modulus, breaking elongation): Measured according to ASTM D882 using a polyimide film with a film thickness of 25 μm. The measurement conditions were performed using TENSILON in an environment of a pulling speed of 2 mm / min, a temperature of 23 ° C., and a humidity of 55%. The measurement is performed on 5 samples, and the measurement result is an average value of 5 samples.

5)ガラス転移温度:動的粘弾性測定装置RSAIIIを用いて室温から500℃の範囲で動的粘弾性を測定した。 5) Glass transition temperature: Dynamic viscoelasticity was measured in the range of room temperature to 500 ° C. using a dynamic viscoelasticity measuring device RSAIII.

Figure 2006321229
Figure 2006321229



Claims (11)

テトラカルボン酸二無水物成分と、ジアミン100モル%中下記一般式(1)で表されるジアミンを0.5〜30モル%含むジアミン成分とから得られるポリアミック酸溶液を、金属箔上に膜状に塗布し、溶媒を揮発させるとともにポリアミック酸をイミド化して、ポリイミド層と金属層とが直接積層されていることを特徴とするポリイミドフィルム積層体。
Figure 2006321229
(但し、式(1)中において、Aは直接結合あるいは架橋基であり、R〜Rは水素原子、炭素数1〜6の炭化水素基、ヒドロキシル基、カルボキシル基、炭素数1〜6のアルコキシ基、カルボアルコキシ基から選ばれる置換基を表し、RおよびRの少なくとも1つは水素原子ではなく、RおよびRの少なくとも1つは水素原子ではない。)
A polyamic acid solution obtained from a tetracarboxylic dianhydride component and a diamine component containing 0.5 to 30 mol% of a diamine represented by the following general formula (1) in 100 mol% of a diamine is formed on a metal foil as a film. The polyimide film laminate is characterized in that the polyimide layer and the metal layer are directly laminated by applying in the shape of a liquid, volatilizing the solvent and imidizing the polyamic acid.
Figure 2006321229
(However, in the formula (1), A is a direct bond or a bridging group, R 1 to R 4 is a hydrogen atom, a hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms, hydroxyl group, carboxyl group, 1 to 6 carbon atoms And at least one of R 1 and R 2 is not a hydrogen atom, and at least one of R 3 and R 4 is not a hydrogen atom.)
一般式(1)のジアミンは、式中のAが直接結合あるいは架橋基であり、R〜Rが炭素数1〜6の炭化水素基から選ばれる置換基を表していることを特徴とする請求項1に記載のポリイミドフィルム積層体。 The diamine of the general formula (1) is characterized in that A in the formula is a direct bond or a crosslinking group, and R 1 to R 4 represent a substituent selected from a hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms. The polyimide film laminate according to claim 1. ジアミン成分が、パラフェニレンジアミンを含むことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のポリイミドフィルム積層体。   The polyimide film laminate according to claim 1 or 2, wherein the diamine component contains paraphenylenediamine. テトラカルボン酸二無水物成分は、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物を含むことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のポリイミドフィルム積層体。   The polyimide film laminate according to any one of claims 1 to 3, wherein the tetracarboxylic dianhydride component includes 3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride. . 金属箔を除去した後のポリイミド膜の弾性率が4GPa以上9GPa未満であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載のポリイミドフィルム積層体。   The polyimide film laminate according to any one of claims 1 to 4, wherein the elastic modulus of the polyimide film after removing the metal foil is 4 GPa or more and less than 9 GPa. ポリアミック酸溶液がさらにアルコキシシラン化合物からなるシランカップリング剤を含有していることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載のポリイミドフィルム積層体。   The polyimide film laminate according to any one of claims 1 to 5, wherein the polyamic acid solution further contains a silane coupling agent comprising an alkoxysilane compound. 金属箔が、銅箔であることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載のポリイミドフィルム積層体。   The polyimide film laminate according to any one of claims 1 to 6, wherein the metal foil is a copper foil. 金属箔が、剥離可能なキャリア層を有する厚さ1〜10μmの銅箔であることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載のポリイミドフィルム積層体。   The polyimide film laminate according to any one of claims 1 to 6, wherein the metal foil is a copper foil having a thickness of 1 to 10 µm having a peelable carrier layer. 請求項8に記載のポリイミドフィルム積層体からキャリア層を剥離することにより得られる厚さ1〜10μmの銅層を有するポリイミドフィルム積層体。   The polyimide film laminated body which has a copper layer with a thickness of 1-10 micrometers obtained by peeling a carrier layer from the polyimide film laminated body of Claim 8. 請求項1〜9のいずれか1項に記載のポリイミドフィルム積層体のポリイミド層に直接あるいは耐熱性接着剤を介して基材が積層されているポリイミドフィルム積層体。   The polyimide film laminated body by which the base material is laminated | stacked directly or via the heat resistant adhesive on the polyimide layer of the polyimide film laminated body of any one of Claims 1-9. 基材が、金属層である請求項10に記載のポリイミドフィルム積層体。

The polyimide film laminate according to claim 10, wherein the substrate is a metal layer.

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