JP2006319252A - 気体抽出装置、及び基板処理装置 - Google Patents

Abstract

【課題】チャンバ内の予め定められた抽出位置まで抽出用配管の先端を確実にガイドできると共に、チャンバ内の雰囲気環境測定のための気体を良好に抽出することができる気体抽出装置及び基板処理装置を提供する。
【解決手段】チャンバ１５の隔壁１５ａには配管挿入部２４が形成されており、チャンバ１５内には配管挿入部２４の挿入孔２４ａに連通するガイド管２７が設けられている。このガイド管２７は予め定められた抽出位置２２まで延設されており、その先端部２７ａには環状突出部２８が設けられている。そして、抽出位置２２の空気を抽出する際には、挿入孔２４ａを介して抽出用配管２６がガイド管２７内に挿入され、このガイド管２７内に挿入された抽出用配管２６は、その先端（面）２６ａが抽出位置２２に位置する環状突出部２８に当接することにより位置規制された状態で抽出位置２２の空気を抽出する。
【選択図】 図３

Description

本発明は、例えば内部で基板の処理を行うチャンバ内における予め定められた抽出位置の気体を抽出するための気体抽出装置、及び該気体抽出装置を備えた基板処理装置に関するものである。

一般に、基板処理装置の一種である露光装置は、例えば特許文献１に記載されるように、内部が所定の雰囲気環境（温度や気圧等）に設定されたチャンバを備えており、このチャンバ内でフォトリソグラフィ工程を実行するようになっている。フォトリソグラフィ工程は、半導体デバイスなどを製造する際に行われる工程である。そして、この場合に露光対象物とされる基板（例えばシリコンウエハ）の上面（表面）には、通常、レジスト（感光剤）が塗布されている。

ところで、このレジストは揮発性を有しているため、レジストの一部がチャンバ内で揮発してしまうことがある。同様に、チャンバ内には、レチクルステージやウエハステージを駆動させるためのモータが設けられており、これら各モータに使用される潤滑油がチャンバ内で揮発することもある。また、チャンバ内に配線されている電気配線の被膜から揮発性物質が揮発することもある。そして、このようにチャンバ内で揮発した揮発性物質（レジストも含む）は、露光光源から出射された露光光の光路周辺の雰囲気環境を変化させることがあり、露光光による基板に対する正確な露光を妨げる可能性があった。

そのため、従来から、露光装置には、チャンバ内の雰囲気環境（空気の汚染具合等）の変化を測定すべく、チャンバ内の予め定められた抽出位置（例えば基板を保持するウエハステージ近傍）の空気を抽出する気体抽出装置が設けられている。図９に示すように、この気体抽出装置７０は、チャンバ７１の側壁（隔壁）７２に形成された開口部７２ａから抽出位置７３まで延びる常設の抽出用管体７４を備えており、気体抽出時には開閉蓋７２ｂを開いて開口部７２ａにチャンバ７１外から気体吸引管（図示略）が接続されるようになっている。そして、チャンバ７１の外部に設けられたポンプ（図示略）の駆動に基づき、抽出用管体７４及び気体吸引管を介して抽出位置７３の空気を抽出し、抽出された空気が気体吸引管から気体測定装置（図示略）に送られることにより、チャンバ７１内の雰囲気環境（空気の汚染具合等）が測定されるようになっている。
特開２００２−６４３００号公報（図１）

ところで、上述した気体抽出装置７０では、抽出用管体７４がチャンバ７１内に常設された構成となっている。そのため、特に抽出用管体７４の先端７４ａには、時間が経過するにつれて次第にウエハ７５に塗布されたレジスト７６の揮発により汚染物質が付着するということがあった。そして、そのような汚染物質が抽出用管体７４の内周面に付着してしまった場合には、その抽出用管体７４を介して抽出位置７３の空気を抽出した際に、その抽出した空気中に上述した汚染物質が混入する可能性があった。したがって、このような空気を気体測定装置などで測定した場合には、抽出した空気の汚染原因に抽出用管体７４内の汚染が含まれる可能性もあり得るため、チャンバ７１内の雰囲気環境を正確に測定できなくなるという問題があった。

ここで、上記のような問題を解決する一つの方法として、図１０に示すように、常設の抽出用管体７４を設けることなく、チャンバ７１内の空気を抽出する場合にのみ、チャンバ７１の側壁７２に設けられた開口部７２ａから抽出位置７３に向けて抽出用配管７７をチャンバ７１内に挿入するという方法も提案されている。しかし、この場合においては、チャンバ７１内に挿入された抽出用配管７７の先端７７ａが、作業者のスキルによっては抽出位置７３からずれてしまうということがあった。また、そのように位置ずれした場合には、挿入された抽出用配管７７の先端７７ａが鏡筒や基板などに干渉するおそれもあった。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、チャンバ内の予め定められた抽出位置まで抽出用配管の先端を確実にガイドできると共に、チャンバ内の雰囲気環境測定のための気体を良好に抽出することができる気体抽出装置及び基板処理装置を提供することにある。

上記目的を達成させるために、請求項１に記載の発明は、内部が所定の雰囲気環境に設定されたチャンバ内の予め定められた抽出位置の気体を抽出する気体抽出装置であって、前記チャンバの隔壁に設けられ、前記チャンバ外から前記チャンバ内の前記抽出位置に向けて抽出用配管を挿入するための配管挿入部と、前記チャンバ内に設けられ、前記配管挿入部から前記抽出位置に向けて延び、且つ前記配管挿入部から前記チャンバ内に挿入された前記抽出用配管を前記抽出位置までガイドするガイド部材とを備えたことを要旨とする。

この請求項１に記載の発明によれば、チャンバ内の抽出位置から気体を抽出する場合、ガイド部材によって抽出用配管が抽出位置までガイドされる。そのため、作業者のスキルによって抽出用配管の先端が抽出位置からずれたり、他の部材と干渉したりすることを防ぐことができる。

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の気体抽出装置において、前記ガイド部材によって前記抽出位置までガイドされた前記抽出用配管の一部と当接することにより、該抽出用配管における先端の位置を規制するための規制部を備えたことを要旨とする。この請求項２に記載の発明によれば、抽出用配管は、抽出用配管の先端が抽出位置まで導かれると、抽出用配管の一部が規制部と当接することにより、ガイド部材によって更にそれ以上ガイドされることを規制される。そのため、抽出用配管のチャンバ内への挿入過多を抑制できる。

請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の気体抽出装置において、前記規制部は、前記ガイド部材によってガイドされる前記抽出用配管のガイド方向と交差する方向に沿って延びるように設けられていることを要旨とする。この請求項３に記載の発明によれば、抽出用配管のチャンバ内への挿入過多を抑制し得る規制部を非常に簡単な構成でもって形成できる。

請求項４に記載の発明は、請求項２又は請求項３に記載の気体抽出装置において、前記規制部は、前記抽出用配管の一部と当接した際に、該抽出用配管の先端を前記ガイド部材の抽出位置側端部又は該抽出位置側端部よりも配管挿入部側に位置させる配置構成とされていることを要旨とする。この請求項４に記載の発明によれば、抽出用配管の先端がガイド部材によって抽出位置まで導かれた場合において、その抽出用配管の先端がガイド部材の抽出位置側端部から突出してチャンバ内で不必要に他の部材と干渉することを防ぐことができる。

請求項５に記載の発明は、請求項２〜請求項４のうち何れか一項に記載の気体抽出装置において、前記規制部は、前記ガイド部材の抽出位置側端部に設けられ、該ガイド部材によって前記抽出位置までガイドされた前記抽出用配管の先端が当接する構成とされていることを要旨とする。この請求項５に記載の発明によれば、抽出用配管の外周面側にガイド部材側の規制部と当接するための部材構成を設けたりする必要がないため、抽出用配管の構成が複雑になることを抑制できる。

請求項６に記載の発明は、請求項１〜請求項５のうち何れか一項に記載の気体抽出装置において、前記ガイド部材は、筒状をなすガイド管であることを要旨とする。この請求項６に記載の発明によれば、配管挿入部から抽出位置に向けて延びるガイド管が、たとえ曲がったりしていたとしても、抽出用配管の先端をガイド管の内周面に沿って確実に抽出位置までガイドできる。

請求項７に記載の発明は、請求項６に記載の気体抽出装置において、前記ガイド管の抽出位置側端部には、前記抽出用配管の先端が前記ガイド管の内周面に沿って前記抽出位置までガイドされた場合に、前記ガイド管の抽出位置側端部において前記抽出用配管の外周面と前記ガイド管の内周面との間の隙間をシールするシール部が設けられていることを要旨とする。この請求項７に記載の発明によれば、シール部によってガイド管の抽出位置側端部がシールされるため、抽出用配管を介して抽出位置の気体を抽出する場合に、この抽出位置の気体と共にガイド管の内周面と抽出用配管の外周面との間に形成された隙間の気体が一緒に抽出されることを抑制できる。

請求項８に記載の発明は、請求項１〜請求項７のうち何れか一項に記載の気体抽出装置において、前記ガイド部材は、前記配管挿入部に連通するガイド管を含んでなる複数の異径のガイド管が隣接するガイド管同士を互いに摺動可能とした状態で順次に嵌合接続された構成をしていることを要旨とする。この請求項８に記載の発明によれば、必要に応じて各ガイド管を摺動させてガイド部材を伸縮させることができる。例えば、抽出位置の気体を抽出する場合には、ガイド部材全体が伸長するように隣接するガイド管同士を摺動させることにより、抽出用配管の先端を抽出位置まで容易に導くことができる。また、上記以外の場合には、ガイド部材全体が収縮するように隣接するガイド管同士を摺動させることにより、ガイド部材がチャンバ内の可動装置（例えば基板処理装置）の駆動を邪魔しないようにできる。

請求項９に記載の発明は、チャンバ内で基板を処理する基板処理装置であって、請求項１〜請求項８のうち何れか一項に記載の気体抽出装置を備えたことを要旨とする。この請求項９に記載の発明によれば、本発明の気体抽出装置を用いて抽出位置の気体を抽出する場合、基板処理装置との不要な干渉を回避しつつ、抽出位置の気体を確実に抽出することができる。

請求項１０に記載の発明は、請求項９に記載の基板処理装置において、前記ガイド部材内に前記抽出用配管が取り付けられたか否かを判定する判定装置と、該判定装置が肯定判定した場合に前記チャンバ内での基板の処理を停止又は開始させる制御装置とをさらに備えたことを要旨とする。この請求項１０に記載の発明によれば、抽出位置の気体を抽出する場合に、必要に応じて基板処理装置の駆動を停止又は駆動させることにより、チャンバ内（特に抽出位置）から所望の抽出条件下で気体を抽出することができる。

本発明によれば、チャンバ内の予め定められた抽出位置まで抽出用配管の先端を確実にガイドできると共に、チャンバ内の雰囲気環境測定のための気体を良好に抽出することができる。

以下に、本発明を基板処理装置の一種である露光装置に具体化した一実施形態について図１〜図５に基づき説明する。
図１に示すように、本実施形態の露光装置１１は、所定のクリーン度に設定されたクリーンルーム内に設置されており、露光光源１２と露光装置本体１３と図示しないビーム・マッチング・ユニット（以下、「ＢＭＵ」という。）とから構成されている。露光光源１２は、露光光ＥＬとして、例えばＡｒＦエキシマレーザ光（・≠P９３ｎｍ）を出射するレーザ光源となっている。また、ＢＭＵは、ＢＭＵ室１４に収容された複数の光学素子で構成されており、露光光源１２と露光装置本体１３とを光学的に接続している。そして、ＢＭＵを介して露光光源１２から出射された露光光ＥＬが露光装置本体１３内に導かれるようになっている。露光装置本体１３は、露光光ＥＬの照射により、マスクとしてのレチクルＲ上に形成されたパターンの像を基板としてのウエハＷ上に転写するものである。以下に、露光装置本体１３の概略構成について説明する。

露光装置本体１３は、内部が所定の温度及び湿度（所定の雰囲気環境）に設定されたチャンバ１５内に配置されており、このチャンバ１５内には図示しないケミカルフィルタなどを介してクリーンルーム内の空気が送り込まれている。また、露光装置本体１３は、チャンバ１５内に照明光学系鏡筒１６と投影光学系鏡筒１７とがＢＭＵを介して導入された露光光ＥＬの光軸方向に順次配置されている。

照明光学系鏡筒１６内には、レチクルＲを照明するための照明光学系（図示略）が収容されている。この照明光学系は、図示しないミラー及びオプティカルインテグレータとして機能するフライアイレンズ等の各種光学素子から構成されている。また、投影光学系鏡筒１７内には、照明光学系によって照明されるレチクルＲ上のパターンの像をウエハＷ上に投影するための投影光学系（図示略）が収容されている。この投影光学系は、図示しないカバーガラス及びレンズエレメント等の各種光学素子から構成されている。そして、各鏡筒１６，１７の内部には気密室（図示略）がそれぞれ形成されており、これら各気密室内には不活性ガス（例えば窒素）がそれぞれ充満されている。

また、照明光学系鏡筒１６と投影光学系鏡筒１７との間（すなわち、投影光学系の物体面側）には、レチクルステージＲＳＴが配置されている。このレチクルステージＲＳＴにより、所定のパターンが形成されたレチクルＲが、露光光ＥＬの光軸と直交する面内で移動可能に保持されている。また、投影光学系の像面側には、ウエハステージＷＳＴが配置されている。このウエハステージＷＳＴにより、露光光ＥＬに対して感光性を有するレジスト１８が塗布されたウエハＷが、その露光光ＥＬの光軸と直交する面内において移動可能に、且つその光軸に沿って微動可能に保持されている。

また、本実施形態の露光装置１１は、図２（ａ）に示すように、主制御系１９を備えており、この主制御系１９は、レチクルステージＲＳＴ、ウエハステージＷＳＴ及び露光光源１２などの動作を制御するようになっている。すなわち、露光装置１１には、主制御系１９からの制御信号に基づきレチクルステージＲＳＴを駆動させるＲＳＴ制御系２０が設けられており、このＲＳＴ制御系２０が出力した制御信号に基づき、レチクルステージＲＳＴは、露光光ＥＬの光軸と直交する方向へ移動するようになっている。また、露光装置１１には、主制御系１９からの制御信号に基づきウエハステージＷＳＴを駆動させるＷＳＴ制御系２１が設けられており、このＷＳＴ制御系２１が出力した制御信号に基づき、ウエハステージＷＳＴは、露光光ＥＬの光軸と直交する方向へ移動するようになっている。

チャンバ１５内にはウエハＷに塗布されたレジスト１８などのようにチャンバ１５内の空気を汚染し得る要素が多く含まれており、レジスト１８などの揮発性物質がチャンバ１５内における空気汚染の原因の一つになっている。また、チャンバ１５内の空気を汚染する物質としては、レジスト１８以外に、レチクルステージＲＳＴを駆動させるための駆動系（モータなど）やウエハステージＷＳＴを駆動させるための駆動系（モータなど）に使用される潤滑油から揮発する揮発性物質、及びチャンバ１５内に配線される電気配線の被膜から揮発する揮発性物質などが挙げられる。

これら揮発性物質は、チャンバ１５内を浮遊し、チャンバ１５内に露出する箇所に付着する可能性がある。特に、揮発性物質が付着し、露光光ＥＬによるウエハＷへの露光に支障をきたす可能性がある箇所としては、照明光学系鏡筒１６のレチクルステージＲＳＴ側端部の光学素子表面、及び投影光学系鏡筒１７のレチクルステージＲＳＴ側端部の光学素子表面が挙げられる。さらに、投影光学系鏡筒１７のウエハステージＷＳＴ側端部の光学素子表面、及びレチクルステージＲＳＴに載置されるウエハＷの表面（レチクルＲの表面）なども同様に挙げられる。

また、チャンバ１５内を浮遊する揮発性物質が露光光ＥＬを吸収し、露光光ＥＬの強度（照度）が低下してしまう可能性がある。特に、露光光ＥＬの光路がチャンバ１５内に吐出している箇所としては、照明光学系鏡筒１６と投影光学系鏡筒１７との間、及び投影光学系鏡筒１７とウエハステージＷＳＴとの間が挙げられる。そのため、本実施形態の露光装置１１には、レチクルステージＲＳＴの周辺及びウエハステージＷＳＴの周辺にて予め定められた各抽出位置２２の空気（気体）を抽出するために複数（本実施形態では２つ）の気体抽出装置２３が設けられている。

次に、本実施形態の気体抽出装置２３について図２〜図４に基づき以下説明する。なお、露光装置１１に設けられた２つの気体抽出装置２３は同一の構成とされている。そのため、以下では、図３（ａ）（ｂ）に示すウエハステージＷＳＴの周辺に設定された抽出位置２２の空気を抽出する気体抽出装置２３について説明することとし、レチクルステージＲＳＴの周辺に設定された抽出位置２２の空気を抽出する気体抽出装置２３については重複説明を省略する。

図１〜図３に示すように、配管挿入部２４がチャンバ１５の隔壁（図１では右側壁）１５ａに形成されている。チャンバ１５の隔壁１５ａにおいて配管挿入部２４の形成部位には、挿入孔２４ａが貫通形成されると共に、この挿入孔２４ａを開放状態又は閉鎖状態とするための開閉扉２５が設けられている。そして、この開閉扉２５が開放状態とされた場合に、図３（ａ）に示すように、チャンバ１５内の抽出位置２２の空気を抽出するための抽出用配管２６が、チャンバ１５外からチャンバ１５内の抽出位置２２に向けて配管挿入部２４の挿入孔２４ａを介して挿入されるようになっている。なお、開閉扉２５は、チャンバ１５の隔壁１５ａに対して、スライド移動（上下方向や左右方向へのスライド移動）可能に構成したり、着脱可能に構成したりしてもよい。

本実施形態の場合、抽出用配管２６は、可撓性材料であるフッ素樹脂製の円筒管から構成されており、その外径が略φ４ｍｍとされている。また、抽出用配管２６は、その先端側が挿入孔２４ａを介してチャンバ１５内に挿入される一方、その基端側がチャンバ１５外に設置された気体測定装置Ｍに連結されている。そして、この気体測定装置Ｍへ図示しないポンプの駆動に基づき抽出用配管２６を介してチャンバ１５内の抽出位置２２から抽出された空気が送られ、この抽出した空気の汚染具合が測定されるようになっている。なお、抽出用配管２６は、ガイド管２７内に挿入される前に、埃などの付着物を除去すべく洗浄処理に付される。

チャンバ１５の隔壁１５ａにおいて配管挿入部２４の挿入孔２４ａ近傍には、挿入孔２４ａを介して抽出用配管２６がチャンバ１５内に挿入された状態にあるか否かを検知する挿入検知センサＳＥ１が設けられている。この挿入検知センサＳＥ１は、抽出用配管２６が挿入孔２４ａを介してチャンバ１５内に挿入されたことを検知した場合、その検知信号を主制御系１９に向けて出力するようになっている。

また、チャンバ１５内には、配管挿入部２４の挿入孔２４ａを取り囲むように配置されたガイド管（ガイド部材）２７が設けられており、このガイド管２７は耐食性材料であるステンレススチール製の円筒管から構成されている。ガイド管２７は、チャンバ１５の隔壁１５ａから抽出位置２２に向けて延びており、その先端部２７ａが抽出位置２２まで延設されている。本実施形態の場合、ガイド管２７は、その外径がφ６ｍｍとされており、その内径が抽出用配管２６の外径（略φ４ｍｍ）よりも若干大きい寸法（例えば４．５ｍｍ）に形成されている。そのため、挿入孔２４ａを介してガイド管２７内に挿入された抽出用配管２６は、その先端２６ａがガイド管２７内の内周面２７ｂに沿って摺動しながら抽出位置２２に向けてガイドされる。なお、図３（ａ）（ｂ）においては、説明理解の便宜上、抽出用配管２６の外周面２６ｂとガイド管２７の内周面２７ｂとの間には、本来よりも大きな隙間Ｓが形成された状態に図示している。

ガイド管２７の先端部（抽出位置側端部）２７ａには、図３（ａ）（ｂ）に示すように、内向きフランジ状をなす環状突出部２８が設けられており、この環状突出部２８は、ガイド管２７の内周面２７ｂに沿ってガイドされる抽出用配管２６のガイド方向と直交（交差）する方向に沿って延びるように突出形成されている。また、環状突出部２８の内径は、抽出用配管２６の外径よりも小さく、且つ抽出用配管２６の内径よりは大きくなるように形成されている。そして、環状突出部２８の配管挿入部側（図３（ｂ）では右側）となる当接面２８ａには、ガイド管２７の内周面２７ｂに沿ってガイドされてきた抽出用配管２６の先端（抽出用配管２６の一部であり、本実施形態の場合は「先端面」）２６ａが面接触状態で圧接（当接）するようになっている。このように、抽出用配管２６の先端（面）２６ａが環状突出部２８の当接面２８ａに当接した場合、抽出用配管２６は、ガイド管２７の内周面２７ｂに沿ってチャンバ１５内に更にそれ以上挿入されることを環状突出部２８と当接したことによって規制される。従って、この点で、本実施形態では、環状突出部２８がガイド管（ガイド部材）２７によって抽出位置２２までガイドされた抽出用配管２６の先端２６ａの位置を規制するための規制部として機能するようになっている。

また、抽出用配管２６の先端（面）２６ａが環状突出部２８の当接面２８ａに当接した場合、環状突出部２８の当接面２８ａには、抽出用配管２６の先端（面）２６ａと協働して環状の当接領域が形成されることになる。すなわち、この場合、環状突出部２８は、抽出用配管２６の外周面２６ｂとガイド管２７の内周面２７ｂとの間の隙間Ｓをシールすることになる。従って、この点で、本実施形態では、環状突出部２８がガイド管２７の先端部（抽出位置側端部）２７ａにおいて抽出用配管２６の外周面２６ｂとガイド管２７の内周面２７ｂとの間の隙間Ｓをシールするシール部としても機能するようになっている。

次に、本実施形態の主制御系１９が実行する各種処理ルーチンのうちレチクルステージＲＳＴ及びウエハステージＷＳＴの駆動制御処理ルーチンについて図４に示すフローチャートに基づき以下説明する。

駆動制御処理ルーチンにおいて、主制御系１９は、まず抽出用配管２６が配管挿入部２４を介してガイド管２７内に挿入されたか否かを判定する（ステップＳ１０）。すなわち、主制御系１９は、挿入検知センサＳＥ１からの検知信号を入力したか否かを判定する。従って、この点で、本実施形態では、挿入検知センサＳＥ１及び主制御系１９が、ガイド管（ガイド部材）２７内に抽出用配管２６が挿入されたか否かを判定する判定装置として機能することになる。

そして、ステップＳ１０の判定結果が肯定判定である場合（すなわち、挿入検知センサＳＥ１からの検知信号を入力した場合）、主制御系１９は、レチクルステージＲＳＴ及びウエハステージＷＳＴの駆動を停止させるための制御信号をＲＳＴ制御系２０及びＷＳＴ制御系２１に向けてそれぞれ出力する（ステップＳ１１）。一方、ステップＳ１０の判定結果が否定判定である場合（すなわち、挿入検知センサＳＥ１からの検知信号を入力していない場合）、主制御系１９は、レチクルステージＲＳＴ及びウエハステージＷＳＴの駆動を許可するための制御信号をＲＳＴ制御系２０及びＷＳＴ制御系２１に向けてそれぞれ出力する（ステップＳ１２）。

従って、この点で、本実施形態では、主制御系１９が、判定装置（主制御系１９）が肯定判定した場合にチャンバ１５内のウエハ（基板）Ｗの処理を停止（又は開始）させる制御装置として機能することになる。そして、ステップＳ１１又はステップＳ１２の処理が終了すると、その後、主制御系１９は駆動制御処理ルーチンを終了する。

次に、本実施形態の気体抽出装置２３がチャンバ１５内の抽出位置２２の空気を抽出する際の作用について以下説明する。なお、以下の説明においては、ウエハステージＷＳＴ近傍に設定された抽出位置２２の空気を抽出する場合について説明するものとする。

まず、洗浄処理された抽出用配管２６の基端側が気体測定装置Ｍに連結される。そして次に、開閉扉２５が開かれて挿入孔２４ａが開放状態とされる（図２（ｂ）参照）と、その挿入孔２４ａを介してチャンバ１５外からガイド管２７内に抽出用配管２６の先端側が挿入される（図３（ａ）参照）。ここで、チャンバ１５内においてレチクルステージＲＳＴ及びウエハステージＷＳＴが駆動していた場合には、抽出用配管２６がガイド管２７内に挿入されたことを契機に、レチクルステージＲＳＴ及びウエハステージＷＳＴは、その駆動が停止される。

そして、ガイド管２７内へ挿入した抽出用配管２６をチャンバ１５内の抽出位置２２に向けて更に送り挿入すると、抽出用配管２６は、その先端（面）２６ａがガイド管２７の内周面２７ｂに沿って摺動しながらガイド管２７の先端部２７ａまで位置ずれすることなく導かれる。そして、ガイド管２７の先端部２７ａにおいて環状突出部２８の当接面２８ａに抽出用配管２６の先端（面）２６ａが当接すると、抽出用配管２６の先端（面）２６ａは環状突出部２８の当接面２８ａに当接し、ガイド管２７の内周面２７ｂに沿って更にそれ以上挿入されることが規制される。そのため、抽出用配管２６の先端（面）２６ａは、ガイド管２７の先端部２７ａからチャンバ１５内へ突出することなく、抽出位置２２であるガイド管２７の先端部２７ａにおいて移動が規制される。そして次に、チャンバ１５外に設けられたポンプを駆動させることにより、抽出位置２２の空気が抽出用配管２６を介して気体測定装置Ｍ内に抽出される。

その際、ガイド管２７の先端部２７ａにおいては、抽出用配管２６の外周面２６ｂとガイド管２７の内周面２７ｂとの間の隙間Ｓが環状突出部２８によりシールされる。すなわち、環状突出部２８の当接面２８ａに抽出用配管２６の先端（面）２６ａが環状の当接領域を形成して面接触する。そのため、抽出用配管２６を介して抽出位置２２の空気が抽出される際に、ガイド管２７の内周面２７ｂと抽出用配管２６の外周面２６ｂとの間に形成された隙間Ｓの空気（汚染している可能性のある空気）がガイド管２７の先端部２７ａ側にまわり込んで抽出用配管２６内に流入することが抑制される。

従って、たとえウエハＷに塗布されたレジスト１８が揮発してガイド管２７の内周面２７ｂに付着していたとしても、抽出用配管２６からは、ガイド管２７の内周面２７ｂに付着した汚染物質からの揮発成分が抽出位置２２の空気と共に抽出用配管２６を介して抽出されることはほとんどない。また、前述したように、抽出用配管２６はチャンバ１５内に挿入される前に洗浄されているため、抽出用配管２６の内周面には汚染物質が付着していることもない。従って、抽出用配管２６を介して抽出された空気はガイド管２７などの汚染に影響されることがほとんどなく、抽出用配管２６を介して抽出した抽出位置２２の空気を気体測定装置Ｍにて測定した場合には、より正確な測定結果が得られるようになる。

そして、抽出位置２２からの空気の抽出及び測定が終了すると、抽出用配管２６をガイド管２７から挿入孔２４ａを介してチャンバ１５外へ取り出して、開閉扉２５が閉鎖状態とされる（図２（ａ）参照）。すると、抽出位置２２の空気を抽出する前にレチクルステージＲＳＴ及びウエハステージＷＳＴが駆動していた場合においては、抽出位置２２の空気の抽出が終了したことを契機に、再びレチクルステージＲＳＴ及びウエハステージＷＳＴの駆動が開始する。

本実施形態では、以下に示す効果を得ることができる。
（１）チャンバ１５内の抽出位置２２から空気（気体）を抽出する場合には、ガイド管（ガイド部材）２７によって抽出用配管２６が抽出位置２２までガイドされる。そのため、作業者のスキルによって抽出用配管２６の先端２６ａが抽出位置２２からずれたり、レチクルステージＲＳＴやウエハステージＷＳＴなどに干渉したりすることを抑制でき、抽出用配管２６を確実に抽出位置２２までガイドすることができる。しかも、その際において、抽出用配管２６の内周面には、常設された抽出用管体の場合とは異なり、レジスト１８などの汚染物質が付着していることはほとんどない。従って、抽出用配管２６を介してチャンバ１５内の雰囲気環境測定のための空気（気体）を良好に抽出することができる。

（２）抽出用配管２６は、その先端（面）２６ａが抽出位置２２まで導かれると、環状突出部（規制部）２８と当接することにより、ガイド管（ガイド部材）２７によって更にそれ以上ガイドされることを規制される。そのため、抽出用配管２６のチャンバ１５内への挿入過多を確実に抑制できる。

（３）また、そのような抽出用配管２６のチャンバ１５内への挿入過多を抑制するための規制部を、ガイド管（ガイド部材）２７に内向きフランジ状をなす環状突出部２８を設けるという非常に簡単な構成で実現することができる。

（４）しかも、その環状突出部２８は、ガイド管２７の先端部２７ａに設けられて抽出用配管２６の一部である先端（面）２６ａが当接する構成とされているため、抽出用配管２６の先端（面）２６ａがガイド管２７の先端部２７ａからチャンバ１５内に突出することはない。従って、ガイド管２７により抽出位置２２までガイドされてきた抽出用配管２６の先端（面）２６ａがチャンバ１５内でウエハＷやレチクルＲなどと不必要に干渉することを抑制できる。

（５）一方、抽出用配管２６に関しては、その先端（面）２６ａが環状突出部２８に当接することにより移動が規制される構成となっているため、抽出用配管２６の外周面２６ｂ側に例えば環状突出部２８との当接用に鍔部などを加工形成する必要もなく、抽出用配管２６の構成が複雑になることを抑制できる。

（６）配管挿入部２４から抽出位置２２まで延びるガイド部材が、たとえ曲がったりしていたとしても、そのガイド部材は、円筒管からなるガイド管２７にて構成されているため、抽出用配管２６の先端（面）２６ａをガイド管２７の内周面２７ｂに沿って確実に抽出位置２２までガイドできる。

（７）ガイド管２７により抽出位置２２までガイドされた抽出用配管２６の先端（面）２６ａが環状突出部（シール部）２８の当接面２８ａに当接した場合には、ガイド管２７の内周面２７ｂと抽出用配管２６の外周面２６ｂとの間の隙間Ｓが環状突出部２８によりシールされる。そのため、抽出用配管２６を介して抽出位置２２の空気を抽出する場合に、この抽出位置２２の空気と共にガイド管２７の内周面２７ｂと抽出用配管２６の外周面２６ｂとの間の隙間Ｓの汚染空気が一緒に混合抽出されることを抑制できる。従って、ガイド管２７の内周面２７ｂの汚染具合に影響されることなく、抽出位置２２の空気が抽出用配管２６を介して気体測定装置Ｍ内に抽出される。

（８）抽出位置２２の空気（気体）を抽出する場合に、レチクルステージＲＳＴやウエハステージＷＳＴの駆動を停止させることにより、チャンバ１５内（特に抽出位置２２）の雰囲気環境が変化することを抑制できる。

（９）抽出用配管２６は、可撓性材料であるフッ素樹脂から構成されているため、たとえガイド管２７が曲がっていても、容易に対応できる。
（１０）もし仮にガイド管２７を腐食しやすい材料で構成した場合、ガイド管２７の内周面２７ｂ等が腐食して、その錆が、抽出用配管２６を介して抽出される抽出位置２２の空気と共に抽出されてしまう可能性がある。しかし、本実施形態のガイド管２７は、耐食性材料であるステンレススチールより構成されているため、ガイド管２７が錆びる可能性が低いことから、ガイド管２７の腐食に基づく錆が抽出位置２２の空気と共に抽出用配管２６を介して抽出されることを抑制できる。

なお、本実施形態は以下のような別の実施形態（別例）に変更してもよい。
・実施形態において、主制御系１９は、挿入検知センサＳＥ１を設けなくてもよい。この場合、レチクルステージＲＳＴやウエハステージＷＳＴの駆動を停止させることができないため、実際にウエハＷへの露光が行われている条件下での抽出位置２２の空気を抽出することができる。

・実施形態において、ガイド部材は、図５（ａ）（ｂ）に示すように、複数（例えば３つ）の異径のガイド管３０，３１，３２からなるガイド部材３３であってもよい。各ガイド管３０〜３２のうち内径が最も大きいガイド管３０は、配管挿入部２４の挿入孔２４ａと連通するように、その基端側がチャンバ１５の隔壁１５ａに固定されている。ガイド管３１は、その外径がガイド管３０の内径よりも僅かに小さく形成されており、ガイド管３０の内周面に沿って摺動可能に嵌合接続されている。また、ガイド管３２は、その外径がガイド管３１の内径よりも僅かに小さく形成されており、ガイド管３１の内周面に沿って摺動可能に嵌合接続されている。

そして、抽出位置２２の空気を抽出する場合には、図５（ａ）に示すように、ガイド部材３３全体が伸長するようにガイド管３１とガイド管３２を抽出位置２２側に向けてそれぞれ摺動させ、最も小径のガイド管３２の先端を抽出位置２２まで延設させる。その後、ガイド部材３３内に抽出用配管２６を挿入し、抽出位置２２の空気の抽出を行う。一方、上記のように抽出位置２２の空気を抽出する以外の場合は、図５（ｂ）に示すように、ガイド部材３３全体が収縮するように、ガイド管３１とガイド管３２を配管挿入部２４側に向けてそれぞれ摺動させる。このように構成した場合、抽出位置２２の空気を抽出する以外の場合に、ガイド部材３３がレチクルステージＲＳＴやウエハステージＷＳＴの駆動を邪魔にならないようにコンパクトにできる。なお、ガイド部材３３は、作業者による手動にて各ガイド管３１，３２が摺動して伸縮するようにしてもよいし、主制御系１９からの制御信号に基づき各ガイド管３１，３２が摺動して伸縮するようにしてもよい。

・実施形態において、規制部としての環状突出部２８は、ガイド管２７の先端部２７ａに対してガイド管２７とは別体構成の円環状体を付加的に取り付ける構成であってもよい。

・実施形態において、規制部は、図６（ａ）に示すように、ガイド管２７の先端部２７ａを先細り形状に加工したものであってもよい。このように構成した場合、ガイド管２７の先端部２７ａには、ガイド管２７の内周面２７ｂに沿って抽出位置２２までガイドされてきた抽出用配管２６の先端（面）２６ａにおける外側縁部が当接することになる。そして、このガイド管２７の先端部２７ａの内周面２７ｂと抽出用配管２６の先端（面）２６ａにおける外側縁部とが当接した場合にも環状をなす当接領域が形成されるため、先細り形状をなすガイド管２７の先端部２７ａは、規制部及びシール部として機能することになる。

・実施形態において、規制部は、図６（ｂ）に示すように、ガイド管２７の先端部２７ａに形成された突起部３４であってもよい。このように構成しても、ガイド管２７の内周面２７ｂに沿ってガイドされてきた抽出用配管２６の先端（面）２６ａが各突起部３４に当接することにより、各突起部３４は、抽出位置２２まで導かれた抽出用配管２６がガイド管２７によって更にそれ以上ガイドされることを規制できる。

・実施形態において、突出部は、図７（ａ）に示すように、ガイド管２７の先端部２７ａではなく、ガイド管２７の内周面２７ｂの中途に設けられた突起部３５であってもよい。ただし、抽出用配管２６の外周面２６ｂには、各突起部３５に当接する鍔部３６を設けることが望ましい。この場合、抽出用配管２６に設けられた鍔部３６と各突起部３５とが当接することにより、抽出用配管２６の先端（面）２６ａが抽出位置２２であるガイド管２７の先端部２７ａにおいて移動規制される。また、この場合には、ガイド管２７における先端部２７ａの内周面２７ｂ側にシール部として機能するＯリング３７を設け、このＯリング３７に抽出用配管２６の先端外周面２６ｃが嵌合されるようにするのが望ましい。

また、図７（ｂ）に示すように、ガイド管２７の先端部２７ａは、抽出位置２２に向けて延びた構成であれば、必ずしも抽出位置２２まで延設されていなくてもよい。この場合、例えば図７（ｂ）に示すように、鍔部３６と各突起部３５とが当接した場合に、抽出用配管２６の先端（面）２６ａは、ガイド管２７の軸線方向に沿って抽出位置２２まで至り、ウエハＷなどに干渉することがないようにされる。また、図７（ａ）（ｂ）に示す別例において、各ガイド管２７内にはＯリング３７が設けられていなくてもよい。

・実施形態において、規制部は、ガイド管２７の内周面２７ｂに沿って抽出位置２２までガイドされた抽出用配管２６の先端（面）２６ａの位置を移動規制できる構成であれば、例えば抽出位置２２までガイドされた抽出用配管２６の先端（面）２６ａを引っ掛けることが可能な釣り針形状（「フック形状」ともいう。）をなすものであってもよい。

・実施形態において、ガイド部材を構成するガイド管２７は、筒状をなしていれば、例えば四角筒状などの角筒状をなすガイド管であってもよい。
・実施形態において、ガイド部材は、配管挿入部２４の挿入孔２４ａから挿入された抽出用配管２６の先端（面）２６ａをチャンバ１５内の抽出位置２２までガイド可能な構成であれば、必ずしも筒状をなすガイド管２７に限らない。例えば、ガイド部材は、図８に示すように、３枚の長板３８がガイド空間を囲み形成するように配置されたガイド部材３９であってもよい。この場合、抽出用配管２６の先端は、各長板３８の間に形成されたガイド空間内を通過して、抽出位置２２まで導かれることになる。また、この場合、ガイド部材３９は、４枚以上の任意枚数の長板３８から構成されたものでもよいし、長板３８ではなく３本以上の任意本数のガイド棒がガイド空間を囲むように配置されたものでもよい。

また、ガイド部材は、筒状のガイド管２７に限らず樋形状をなすものであってもよい。
・実施形態において、ガイド管２７には、規制部としての環状突出部２８を設けない構成であってもよい。

・実施形態において、抽出位置２２は、レチクルステージＲＳＴ近傍やウエハステージＷＳＴ近傍に設定されているが、揮発性物質などによって空気が汚染されやすい場所であれば、任意の場所（例えば、レチクルステージＲＳＴやウエハステージＷＳＴを駆動させるモータ付近）に設定されていてもよい。

・実施形態において、気体測定装置Ｍは、例えば抽出した空気の圧力や温度を測定する構成のものであってもよい。
・実施形態において、ガイド管２７は、耐食性材料であれば任意の素材（例えば合成樹脂）から構成されたものであってもよい。

・実施形態において、露光光ＥＬとしては、ＡｒＦエキシマレーザ光ではなく、ｉ線（λ＝３６５ｎｍ）、ＫｒＦエキシマレーザ光（λ＝２４８ｎｍ）、及びＦ₂ レーザ光（λ＝１５７ｎｍ）などを用いてもよい。

本実施形態における露光装置の全体構成を示す概略断面図。 （ａ）は開閉扉が閉じ状態である場合を示す側面図、（ｂ）は開閉扉が開き状態である場合を示す側面図。 （ａ）はガイド管内に抽出用配管が挿入される様子を示す概略断面図、（ｂ）抽出用配管の先端面が環状突出部の当接面に当接した状態を示す概略断面図。 本実施形態の駆動制御処理ルーチンを示すフローチャート。 （ａ）は別例のガイド部材が伸長された状態を示す概略断面図、（ｂ）は別例のガイド部材が収縮された状態を示す概略断面図。 （ａ）は別例の規制部を示す概略断面図、（ｂ）は他の別例の規制部を示す概略斜視図。 （ａ）は更なる別例の規制部を示す概略断面図、（ｂ）はガイド管が抽出位置まで延設されていない別例のガイド管を示す概略断面図。 別例のガイド部材を示す斜視図。 従来の気体抽出装置を示す概略断面図。 従来における抽出位置の空気の抽出方法を示す概略断面図。

符号の説明

１１…露光装置（基板処理装置）、１５…チャンバ、１５ａ…隔壁、１９…主制御系（判定装置、制御装置）、２２…抽出位置、２３…気体抽出装置、２４…配管挿入部、２４ａ…挿入孔、２６…抽出用配管、２６ａ…先端、２６ｂ…外周面、２７…ガイド管（ガイド部材）、２７ａ…先端部（抽出位置側端部、規制部、シール部）、２７ｂ…内周面、２８…環状突出部（規制部、シール部）、３０，３１，３２…ガイド管、３３，３９…ガイド部材、３４，３５…突起部（規制部）、３７…Ｏリング（シール部）、ＳＥ１…挿入検知センサ（判定装置）、Ｓ…隙間。

Claims (10)

1. 内部が所定の雰囲気環境に設定されたチャンバ内の予め定められた抽出位置の気体を抽出する気体抽出装置であって、
   前記チャンバの隔壁に設けられ、前記チャンバ外から前記チャンバ内の前記抽出位置に向けて抽出用配管を挿入するための配管挿入部と、
   前記チャンバ内に設けられ、前記配管挿入部から前記抽出位置に向けて延び、且つ前記配管挿入部から前記チャンバ内に挿入された前記抽出用配管を前記抽出位置までガイドするガイド部材とを備えた気体抽出装置。
2. 前記ガイド部材によって前記抽出位置までガイドされた前記抽出用配管の一部と当接することにより、該抽出用配管における先端の位置を規制するための規制部を備えた請求項１に記載の気体抽出装置。
3. 前記規制部は、前記ガイド部材によってガイドされる前記抽出用配管のガイド方向と交差する方向に沿って延びるように設けられている請求項２に記載の気体抽出装置。
4. 前記規制部は、前記抽出用配管の一部と当接した際に、該抽出用配管の先端を前記ガイド部材の抽出位置側端部又は該抽出位置側端部よりも配管挿入部側に位置させる配置構成とされている請求項２又は請求項３に記載の気体抽出装置。
5. 前記規制部は、前記ガイド部材の抽出位置側端部に設けられ、該ガイド部材によって前記抽出位置までガイドされた前記抽出用配管の先端が当接する構成とされている請求項２〜請求項４のうち何れか一項に記載の気体抽出装置。
6. 前記ガイド部材は、筒状をなすガイド管である請求項１〜請求項５のうち何れか一項に記載の気体抽出装置。
7. 前記ガイド管の抽出位置側端部には、前記抽出用配管の先端が前記ガイド管の内周面に沿って前記抽出位置までガイドされた場合に、前記ガイド管の抽出位置側端部において前記抽出用配管の外周面と前記ガイド管の内周面との間の隙間をシールするシール部が設けられている請求項６に記載の気体抽出装置。
8. 前記ガイド部材は、前記配管挿入部に連通するガイド管を含んでなる複数の異径のガイド管が隣接するガイド管同士を互いに摺動可能とした状態で順次に嵌合接続された構成をしている請求項１〜請求項７のうち何れか一項に記載の気体抽出装置。
9. チャンバ内で基板を処理する基板処理装置であって、請求項１〜請求項８のうち何れか一項に記載の気体抽出装置を備えた基板処理装置。
10. 前記ガイド部材内に前記抽出用配管が取り付けられたか否かを判定する判定装置と、該判定装置が肯定判定した場合に前記チャンバ内での基板の処理を停止又は開始させる制御装置とをさらに備えた請求項９に記載の基板処理装置。

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