JP2006313121A - 無接点型変位検出装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 回転変位を360°近くまで検出でき、小型・安価に構成できる無接点型変位検出装置を提供する。
【解決手段】 コイル34と、シャフト31と、シャフト31に一体化され、シャフト31の回転によりコイル34と対向する面積が変化する一対の導電性部材32,33とを具備する。導電性部材32,33はシャフト31の軸心と板面が直交する平板状をなし、外形線が上記軸心を中心とする渦巻線と、その始端と終端とを径方向につなぐ線とによって構成されて、それら外形線が上記軸心方向から見て一致するように軸心方向に所定の間隙Sを介して配置される。コイル34は開口形状が細長とされて、その長手方向が上記径方向とされ、かつ上記渦巻線と開口が対向するように間隙Sの上記軸心方向中央に配置される。上記対向面積の変化によるコイル34のインダクタンスの変化を電気信号として取り出す。
【選択図】 図1
【解決手段】 コイル34と、シャフト31と、シャフト31に一体化され、シャフト31の回転によりコイル34と対向する面積が変化する一対の導電性部材32,33とを具備する。導電性部材32,33はシャフト31の軸心と板面が直交する平板状をなし、外形線が上記軸心を中心とする渦巻線と、その始端と終端とを径方向につなぐ線とによって構成されて、それら外形線が上記軸心方向から見て一致するように軸心方向に所定の間隙Sを介して配置される。コイル34は開口形状が細長とされて、その長手方向が上記径方向とされ、かつ上記渦巻線と開口が対向するように間隙Sの上記軸心方向中央に配置される。上記対向面積の変化によるコイル34のインダクタンスの変化を電気信号として取り出す。
【選択図】 図1
Description
この発明は渦電流効果によるコイルのインダクタンスの変化を利用した無接点型変位検出装置に関する。
コイルと、シャフトと、そのシャフトに取り付けられ、シャフトの回転と共に回転してコイルと対向する面積が変化するように構成された導電性部材とを具備し、導電性部材のコイルに対する対向面積の変化によって生じるコイルのインダクタンスの変化を電気信号として取り出すことにより、シャフトの回転変位を検出できるようにした無接点型の変位検出装置が従来より各種提案されている。
図6はこの種の無接点型変位検出装置の従来構成例として、特許文献1に記載されている構成の要部を示したものであり、この例ではシャフト11に半円の扇形をなす金属体12が取り付けられ、円筒状のハウジング13の内周面の周方向各半部に一対のコイル14,15が配置されている。
ハウジング13はシャフト11と同軸心とされて金属体12の回りに配置され、これにより金属体12の半円筒面がコイル14,15と所定の間隙を介して対向される。金属体12と各コイル14,15との対向面積はシャフト11の回転により変化し、これによりコイル14,15のインダクタンスが変化する。
ハウジング13はシャフト11と同軸心とされて金属体12の回りに配置され、これにより金属体12の半円筒面がコイル14,15と所定の間隙を介して対向される。金属体12と各コイル14,15との対向面積はシャフト11の回転により変化し、これによりコイル14,15のインダクタンスが変化する。
ここで、シャフト11と一体化されている金属体12がシャフト11と共に回転し、金属体12がコイル14と完全に重なった時の回転角度を0°とし、金属体12がコイル14,15に半分ずつ重なった時の回転角度を90°、金属体12がコイル15と完全に重なった時の回転角度を180°とすると、回転角度0°の時、コイル14と15のインダクタンスの差分値は最大(+)となり、回転角度90°でインダクタンス差分値が0となり、回転角度180°の時、インダクタンス差分値は、再び最大(−)となる。従って、この図6に示したような構成を有する無接点型変位検出装置では回転変位の検出角度は最大で180°となる。
これに対し、本出願人は先に特願2004−356949号にて、回転変位の検出角度を大幅に増大し、360°近くまで回転変位を検出することができるようにした無接点型変位検出装置を提案した。図7はその要部構成を分解して示したものであり、この例では導電性部材21は薄い金属板を用いて形成されており、シャフト22と同軸心とされて一体化された絶縁性部材よりなる円柱体23の周面上に全周に渡り貼り付けられている。
導電性部材21は円筒形をなすものとされ、その両端部21a,21bはシャフト22の軸心方向に円柱体23の周面に沿って次第に位置が変化する螺旋形状をなすものとされており、それら両端部21a,21bの螺旋形状はシャフト22の軸心方向から見て円柱体23の円周上の同一位置より始まり、円柱体23の周面を同一方向に螺旋しているものとされる。
導電性部材21は円筒形をなすものとされ、その両端部21a,21bはシャフト22の軸心方向に円柱体23の周面に沿って次第に位置が変化する螺旋形状をなすものとされており、それら両端部21a,21bの螺旋形状はシャフト22の軸心方向から見て円柱体23の円周上の同一位置より始まり、円柱体23の周面を同一方向に螺旋しているものとされる。
円筒状のハウジング24はシャフト22と同軸心とされ、ハウジング24の外周面上に一対のコイル25,26がシャフト22の軸心方向に配列されて設置される。シャフト22と共に回転する導電性部材21はハウジング24の内周面側に配置され、導電性部材21の端部21a,21bはそれぞれコイル25,26と対向するように位置される。
コイル25,26の開口形状はシャフト22の回転方向に幅狭とされ、シャフト22の回転により導電性部材21の端部21a,21bが回転してシャフト22の軸心方向に変化する位置をカバーできるようにシャフト22の軸心方向は幅広とされており、つまりシャフト22の軸心方向に延びる細長形状とされている。
図8は導電性部材21の回転によるコイル25,26のインダクタンスの変化を説明するため、導電性部材21を平面展開し、それに対向して設置されているコイル25,26と共にXY座標系に示したものである。導電性部材21の端部21a,21bとX軸とのなす角度をα(°)とした場合、端部21a,21bは傾きtanαの直線となり、導電性部材21の平面展開図は平行四辺形となる。
コイル25,26の開口形状はシャフト22の回転方向に幅狭とされ、シャフト22の回転により導電性部材21の端部21a,21bが回転してシャフト22の軸心方向に変化する位置をカバーできるようにシャフト22の軸心方向は幅広とされており、つまりシャフト22の軸心方向に延びる細長形状とされている。
図8は導電性部材21の回転によるコイル25,26のインダクタンスの変化を説明するため、導電性部材21を平面展開し、それに対向して設置されているコイル25,26と共にXY座標系に示したものである。導電性部材21の端部21a,21bとX軸とのなす角度をα(°)とした場合、端部21a,21bは傾きtanαの直線となり、導電性部材21の平面展開図は平行四辺形となる。
図7における円筒形導電性部材21の半径をR、円周長をXO(2πR)、回転角度をφ(°)とし、平面展開された導電性部材21のなす平行四辺形の左端を図8に示したようにY軸上(X=0)に配し、コイル25,26の左端X座標をXCとする。コイル25,26に対し、シャフト22を回転させることと、コイル25,26が図8においてX方向へ移動することとは等価となる。つまり、コイル25,26の左端位置XCは、
XC=2πR×φ/360
で表すことができる。一方、シャフト22をΔφ回転させた場合、コイル25,26が図8においてX方向へ移動する距離ΔXは、
ΔX=2πR×Δφ/360
で表すことができる。従って、コイル25,26の幅狭方向の幅をWとし、コイル25,26の幅狭方向全体がX=0からX=XOの範囲に入っているとした場合、シャフト22がΔφ回転した時のコイル25の開口と導電性部材21との対向する面積の増加ΔS1は以下の式で表すことができる。
ΔS1=W×ΔX tanα
=W×tanα×2πR×Δφ/360
XC=2πR×φ/360
で表すことができる。一方、シャフト22をΔφ回転させた場合、コイル25,26が図8においてX方向へ移動する距離ΔXは、
ΔX=2πR×Δφ/360
で表すことができる。従って、コイル25,26の幅狭方向の幅をWとし、コイル25,26の幅狭方向全体がX=0からX=XOの範囲に入っているとした場合、シャフト22がΔφ回転した時のコイル25の開口と導電性部材21との対向する面積の増加ΔS1は以下の式で表すことができる。
ΔS1=W×ΔX tanα
=W×tanα×2πR×Δφ/360
同様に、シャフト22がΔφ回転した時のコイル26の開口と導電性部材21との対向する面積の減少ΔS2は以下の式で表すことができる。
ΔS2=−W×tanα×2πR×Δφ/360
以上の式から分かるように、コイル25,26の開口と導電性部材21との対向する面積の変化は回転角度と比例関係にあり、コイル25,26のインダクタンスの変化は回転角度と比例するものとなる。なお、コイル25,26のインダクタンスの変化はそれらの差分値の変化として取り出される。
ΔS2=−W×tanα×2πR×Δφ/360
以上の式から分かるように、コイル25,26の開口と導電性部材21との対向する面積の変化は回転角度と比例関係にあり、コイル25,26のインダクタンスの変化は回転角度と比例するものとなる。なお、コイル25,26のインダクタンスの変化はそれらの差分値の変化として取り出される。
この図7、8を用いて説明した無接点型変位検出装置の検出角度φOはコイル25,26の幅狭方向全体がX=0からX=XOの範囲内で移動するとして、以下の式で表せる。
φO=360×(XO−W)/XO
=360−180×W/πR
ここで、例えば導電性部材21の半径Rを5mmとし、コイル25,26の幅Wを2mmとすると、検出角度φOは約337°となる。
特開2002−90177号公報
φO=360×(XO−W)/XO
=360−180×W/πR
ここで、例えば導電性部材21の半径Rを5mmとし、コイル25,26の幅Wを2mmとすると、検出角度φOは約337°となる。
上述したように、図6に示した無接点型変位検出装置では回転変位の最大検出角度は180°であり、これに対し、図7に示した無接点型変位検出装置では360°近くまで回転変位を検出できるものとなっているものの、両端部21a,21bが螺旋形状をなす円筒形の導電性部材21をシャフト22の回りに配置固定する構造となっているため、シャフト22の軸心方向において大きな設置スペースを必要とし、よって例えば実用上のスペース制限からこのような構成を採用することができないといった問題が生じる虞れがあった。
また、両端が螺旋形状をなす円筒形導電性部材は加工に手間がかかり、その点でコストがかかるものとなっていた。
この発明の目的はこのような問題に鑑み、回転変位を360°近くまで検出することができるものであって、シャフトの軸心方向の必要スペースが少なくて済み、かつ安価に構成することができる無接点型変位検出装置を提供することにある。
この発明の目的はこのような問題に鑑み、回転変位を360°近くまで検出することができるものであって、シャフトの軸心方向の必要スペースが少なくて済み、かつ安価に構成することができる無接点型変位検出装置を提供することにある。
請求項1の発明によれば、コイルと、シャフトと、そのシャフトに一体化され、シャフトの回転によりコイルと対向する面積が変化する一対の導電性部材とを具備し、上記対向面積の変化によるコイルのインダクタンスの変化を電気信号として取り出すようにした無接点型変位検出装置は、一対の導電性部材がそれぞれシャフトの軸心と板面が直交する平板状をなし、その外形線が上記軸心を中心とする渦巻線と、その渦巻線の始端と終端とをシャフトの径方向につなぐ線とによって構成されて、それら外形線が上記軸心方向から見て一致するように上記軸心方向に所定の間隙を介して配置されており、コイルはその開口形状が細長とされて、その長手方向が上記径方向とされ、かつ上記渦巻線と開口が対向するように、上記間隙の上記軸心方向中央に配置されているものとされる。
請求項2の発明によれば、コイルと、シャフトと、そのシャフトに一体化され、シャフトの回転によりコイルと対向する面積が変化する導電性部材とを具備し、上記対向面積の変化によるコイルのインダクタンスの変化を電気信号として取り出すようにした無接点型変位検出装置は、導電性部材がシャフトの軸心と板面が直交する平板状とされて、その外形線が上記軸心を中心とする渦巻線と、その渦巻線の始端と終端とをシャフトの径方向につなぐ線とによって構成されており、コイルはその開口形状が細長とされて、その長手方向が上記径方向とされ、かつ開口が上記渦巻線と対向するように配置されているものとされる。
請求項3の発明によれば、一対のコイルと、シャフトと、そのシャフトに一体化され、シャフトの回転により一対のコイルと対向する面積が変化する導電性部材とを具備し、上記対向面積の変化による一対のコイルのインダクタンスの変化を電気信号として取り出すようにした無接点型変位検出装置は、導電性部材がシャフトの軸心と板面が直交する平板状とされて、その外形線が上記軸心を中心とする渦巻線と、その渦巻線の始端と終端とをシャフトの径方向につなぐ線とによって構成されており、一対のコイルはそれぞれその開口形状が細長とされて、その長手方向が上記径方向とされ、かつ上記軸心方向から見て同一位置に位置し、導電性部材を挟むように配置されて開口が上記渦巻線と対向されているものとされる。
この発明によれば、上記構成を採用したことにより、回転変位を360°近くまで検出することができる。また、コイルのインダクタンスを変化させる導電性部材を外形線が渦巻線をなす平板状のものとしたことにより、従来の両端が螺旋形状をなす円筒形のものを用いる構成に比し、シャフトの軸心方向の必要スペースを削減でき、かつ部品コストも削減でき、その点で小型・安価な無接点型変位検出装置を得ることができる。
この発明の実施形態を図面を参照して実施例により説明する。
図1はこの発明による無接点型変位検出装置の一実施例の構成を示したものである。この例ではシャフト31に一対の導電性部材32,33が取り付けられる。これら導電性部材32,33はシャフト31の軸心と板面が直交する平板状をなすものとされ、この例では金属板によって構成されている。各導電性部材32,33の外形線はシャフト31の軸心を中心として一回転している渦巻線と、その渦巻線の始端と終端とをシャフト31の径方向につなぐ直線とによって構成されており、それら外形線がシャフト31の軸心方向から見て一致するように導電性部材32,33はシャフト31の軸心方向に所定の間隙Sを介して取り付けられている。
コイル34はその開口形状が細長とされており、その開口の長手方向がシャフト31の径方向とされ、かつ渦巻線によって構成されている導電性部材32,33の周端32a,33aと開口が対向するように間隙S内に配置される。なお、図1では図示を省略しているが、コイル34はシャフト31に対して固定側の機構(支持部材)に固定支持されており、間隙S内においてシャフト31の軸心方向中央に、つまり両導電性部材32,33の板面から等距離の位置に位置されている。
図1はこの発明による無接点型変位検出装置の一実施例の構成を示したものである。この例ではシャフト31に一対の導電性部材32,33が取り付けられる。これら導電性部材32,33はシャフト31の軸心と板面が直交する平板状をなすものとされ、この例では金属板によって構成されている。各導電性部材32,33の外形線はシャフト31の軸心を中心として一回転している渦巻線と、その渦巻線の始端と終端とをシャフト31の径方向につなぐ直線とによって構成されており、それら外形線がシャフト31の軸心方向から見て一致するように導電性部材32,33はシャフト31の軸心方向に所定の間隙Sを介して取り付けられている。
コイル34はその開口形状が細長とされており、その開口の長手方向がシャフト31の径方向とされ、かつ渦巻線によって構成されている導電性部材32,33の周端32a,33aと開口が対向するように間隙S内に配置される。なお、図1では図示を省略しているが、コイル34はシャフト31に対して固定側の機構(支持部材)に固定支持されており、間隙S内においてシャフト31の軸心方向中央に、つまり両導電性部材32,33の板面から等距離の位置に位置されている。
次に、上記のような構成を有する無接点型変位検出装置の動作について説明する。図2はシャフト31の回転に伴って回転する導電性部材32,33の回転によるコイル34のインダクタンスの変化を説明するための図であって、シャフト31の軸心方向から見た図であり、座標原点をシャフト31の軸心とし、導電性部材32,33とコイル34とを極座標系(r,θ)上に示したものである。
導電性部材32,33の周端32a,33aがなす渦巻線は、渦巻線の始端(内端)の半径をRmin、終端(外端)の半径をRmaxとし、θの単位系を度(°)とすると、
r=Rmin+(Rmax−Rmin)θ/360
で表すことができる。
導電性部材32,33の周端32a,33aがなす渦巻線は、渦巻線の始端(内端)の半径をRmin、終端(外端)の半径をRmaxとし、θの単位系を度(°)とすると、
r=Rmin+(Rmax−Rmin)θ/360
で表すことができる。
一方、図2中に示したように、コイル34の開口の長手方向の長さをL、幅狭方向の幅をWとし、コイル34の開口の内端(原点寄り端部)と原点との距離をROとすると、シャフト31と共に回転する導電性部材32,33の回転によって変化する周端32a,33aの位置をカバーできるように、コイル34はその位置(距離RO)及び形状(長さL)が下記の条件を満たすものとされる。
RO≦Rmin
RO+L≧Rmax
なお、実際はコイル34が固定でシャフト31と一体化された導電性部材32,33が回転するが、図2では等価的に導電性部材32,33を固定とし、コイル34がシャフト31の軸心回りに、つまり原点回りに回転するものとして考える。
RO≦Rmin
RO+L≧Rmax
なお、実際はコイル34が固定でシャフト31と一体化された導電性部材32,33が回転するが、図2では等価的に導電性部材32,33を固定とし、コイル34がシャフト31の軸心回りに、つまり原点回りに回転するものとして考える。
ここで、コイル34の角度位置を図2中に示したようにα(°)とすると、コイル34の開口が導電性部材32,33の周端急変部(シャフト31の径方向の直線によって構成されている部分)32b,33bと対向しない角度範囲は、
360×(W/2)/2πRO<α<360−360×(W/2)/2πRO
となり、つまり
90×W/πRO<α<360−90×W/πRO
で表すことができる。
この角度範囲内において、コイル34の開口と導電性部材32,33との対向する面積をS1とし、その位置からコイル34を左回りに角度Δα回転した後のコイル34の開口と導電性部材32,33との対向する面積をS2とすると、対向面積の変化量ΔSは以下の式で表すことができる。
ΔS=S2−S1≒W×(Rmax−Rmin)×Δα/360
360×(W/2)/2πRO<α<360−360×(W/2)/2πRO
となり、つまり
90×W/πRO<α<360−90×W/πRO
で表すことができる。
この角度範囲内において、コイル34の開口と導電性部材32,33との対向する面積をS1とし、その位置からコイル34を左回りに角度Δα回転した後のコイル34の開口と導電性部材32,33との対向する面積をS2とすると、対向面積の変化量ΔSは以下の式で表すことができる。
ΔS=S2−S1≒W×(Rmax−Rmin)×Δα/360
上式から分かるように、コイル34の開口と導電性部材32,33との対向する面積の変化は回転角度と比例関係にあり、コイル34のインダクタンスの変化はシャフト31の回転角度と直線比例の関係になる。
なお、この無接点型変位検出装置の検出角度αOは以下の式で表すことができる。
αO=360−360×W/2πRO
=360−180×W/πRO
ここで、コイル34と原点(シャフト31の軸心)との距離ROを例えば12mmとし、コイル34の幅Wを2mmとすると、検出角度αOは、
αO=360−180×2/12π≒350(°)
となる。
なお、この無接点型変位検出装置の検出角度αOは以下の式で表すことができる。
αO=360−360×W/2πRO
=360−180×W/πRO
ここで、コイル34と原点(シャフト31の軸心)との距離ROを例えば12mmとし、コイル34の幅Wを2mmとすると、検出角度αOは、
αO=360−180×2/12π≒350(°)
となる。
図3は上記のような構成を有し、RO及びWを上記値とした無接点型変位検出装置の出力特性及びその直線性を示したものであり、出力はコイル34のインダクタンスの変化を電圧の変化として取り出したものである。なお、この例では2.5Vのオフセット電圧をかけたものとなっている。
図3から分かるように出力は上記した検出角度αOの範囲内において単調変化を示しており、即ち理論値通りの特性が得られた。
このように、この例によれば回転変位を360°近くまで検出することができる。また、図7に示した円筒形とされ、かつ両端が螺旋形状をなす導電性部材を用いる構成の無接点型変位検出装置に比し、この例では導電性部材32,33はシャフト31の軸心と板面が直交する平板状をなすものであり、よってシャフト31の軸心方向に大きな設置スペースを必要とせず、さらに加工も容易に行うことができる。
図3から分かるように出力は上記した検出角度αOの範囲内において単調変化を示しており、即ち理論値通りの特性が得られた。
このように、この例によれば回転変位を360°近くまで検出することができる。また、図7に示した円筒形とされ、かつ両端が螺旋形状をなす導電性部材を用いる構成の無接点型変位検出装置に比し、この例では導電性部材32,33はシャフト31の軸心と板面が直交する平板状をなすものであり、よってシャフト31の軸心方向に大きな設置スペースを必要とせず、さらに加工も容易に行うことができる。
なお、この例では一対の導電性部材32,33間にコイル34が配され、つまりシャフト31の軸心方向においてコイル34を一対の導電性部材32,33で挟む構造となっているため、例えば回転時にシャフト31にその軸心方向に微小な動きが生じたとしても、コイル34のインダクタンスはその動きの影響を受けず、シャフト31の軸心方向の動きによってインダクタンスが変化しないものとなっているため、優れた検出精度を得ることができる。
図4は図1に示した構成に対し、導電性部材33を削除し、一つの導電性部材32を用いるだけとした構成を示したものであり、このような構成を採用することにより装置の簡易化を図ることができ、シャフトの軸心方向の必要スペースをさらに低減することができる。なお、この場合は上述したようなシャフト31の軸心方向の動きによるインダクタンスの変化を抑制することができないため、その点で図1に示した構成に比し、検出精度は劣るものとなる。
一方、図5は図4に示した構成に対し、コイル35をもう一つ配置し、二つのコイル34,35で導電性部材32を挟むようにしたものであり、コイル35はコイル34と同一仕様のものであって、一対のコイル34,35はシャフト31の軸心方向から見て同一位置に位置される。
この図5に示した無接点型変位検出装置では両コイル34,35のインダクタンスの変化の平均値を検出出力とするものであり、これにより図1に示した無接点型変位検出装置と同様、シャフト31の軸心方向の動きに起因するインダクタンスの変化を抑制することができるものとなっている。
なお、上述した例では導電性部材32,33を金属板によって形成しているが、これに限らず、例えば樹脂板に導電めっきを施したものを用いることもできる。
この図5に示した無接点型変位検出装置では両コイル34,35のインダクタンスの変化の平均値を検出出力とするものであり、これにより図1に示した無接点型変位検出装置と同様、シャフト31の軸心方向の動きに起因するインダクタンスの変化を抑制することができるものとなっている。
なお、上述した例では導電性部材32,33を金属板によって形成しているが、これに限らず、例えば樹脂板に導電めっきを施したものを用いることもできる。
Claims (3)
- コイルと、シャフトと、そのシャフトに一体化され、シャフトの回転により上記コイルと対向する面積が変化する一対の導電性部材とを具備し、上記対向面積の変化による上記コイルのインダクタンスの変化を電気信号として取り出すようにした無接点型変位検出装置であって、
上記一対の導電性部材はそれぞれ上記シャフトの軸心と板面が直交する平板状をなし、その外形線が上記軸心を中心とする渦巻線と、その渦巻線の始端と終端とを上記シャフトの径方向につなぐ線とによって構成されて、それら外形線が上記軸心方向から見て一致するように上記軸心方向に所定の間隙を介して配置され、
上記コイルはその開口形状が細長とされて、その長手方向が上記径方向とされ、かつ上記渦巻線と開口が対向するように、上記間隙の上記軸心方向中央に配置されていることを特徴とする無接点型変位検出装置。 - コイルと、シャフトと、そのシャフトに一体化され、シャフトの回転により上記コイルと対向する面積が変化する導電性部材とを具備し、上記対向面積の変化による上記コイルのインダクタンスの変化を電気信号として取り出すようにした無接点型変位検出装置であって、
上記導電性部材は上記シャフトの軸心と板面が直交する平板状とされて、その外形線が上記軸心を中心とする渦巻線と、その渦巻線の始端と終端とを上記シャフトの径方向につなぐ線とによって構成されており、
上記コイルはその開口形状が細長とされて、その長手方向が上記径方向とされ、かつ開口が上記渦巻線と対向するように配置されていることを特徴とする無接点型変位検出装置。 - 一対のコイルと、シャフトと、そのシャフトに一体化され、シャフトの回転により上記一対のコイルと対向する面積が変化する導電性部材とを具備し、上記対向面積の変化による上記一対のコイルのインダクタンスの変化を電気信号として取り出すようにした無接点型変位検出装置であって、
上記導電性部材は上記シャフトの軸心と板面が直交する平板状とされて、その外形線が上記軸心を中心とする渦巻線と、その渦巻線の始端と終端とを上記シャフトの径方向につなぐ線とによって構成されており、
上記一対のコイルはそれぞれその開口形状が細長とされて、その長手方向が上記径方向とされ、かつ上記軸心方向から見て同一位置に位置し、上記導電性部材を挟むように配置されて開口が上記渦巻線と対向されていることを特徴とする無接点型変位検出装置。
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