JP2006309207A5 - - Google Patents

Claims (15)

1. 第２主点がビーム入射側前方に位置する光路短縮型前側アレイレンズと第１主点がビーム射出側後方に位置する光路短縮型後側アレイレンズと集光レンズとを備え、更に前記前側アレイレンズの第２主点と前記後側アレイレンズの第１主点との間隔を前記後側アレイレンズの焦点距離としたことを特徴とするビームホモジナイザ。
2. 第２主点がビーム入射側前方に位置する光路短縮型前側アレイレンズと光路非短縮型後側アレイレンズと集光レンズとを備え、更に前記前側アレイレンズの第２主点と前記後側アレイレンズの第１主点との間隔を後側アレイレンズの焦点距離としたことを特徴とするビームホモジナイザ。
3. 光路非短縮型前側アレイレンズと第１主点がビーム射出側後方に位置する光路短縮型後側アレイレンズと集光レンズとを備え、更に前記前側アレイレンズの第２主点と前記後側アレイレンズの第１主点との間隔を前記後側アレイレンズの焦点距離としたことを特徴とするビームホモジナイザ。
4. 前記光路短縮型前側アレイレンズは、合成アレイレンズ又は両面に曲面を持つアレイレンズであって、
   前記合成アレイレンズは、２枚以上のアレイレンズで構成され、各アレイレンズがシリンドリカルレンズアレイ又はフライレンズアレイであり、
   前記両面に曲面を持つアレイレンズは、前方及び後方の両面に曲面を持つシリンドリカルレンズアレイ、フライアイレンズ、又はクロスドシリンドリカルレンズアレイのいずれかである請求項１又は２に記載のビームホモジナイザ。
5. 前記光路短縮型後側アレイレンズは、合成アレイレンズ又は両面に曲面を持つアレイレンズであって、
   前記合成アレイレンズは、２枚以上のアレイレンズで構成され、各アレイレンズがシリンドリカルレンズアレイ又はフライアイレンズであり、
   前記両面に曲面を持つアレイレンズは、前方及び後方の両面に曲面を持つシリンドリカルレンズアレイ、フライアイレンズ、又はクロスドシリンドリカルレンズアレイのいずれかである請求項１又は３に記載のビームホモジナイザ。
6. 前記光路非短縮型後側アレイレンズを構成するアレイレンズは、シリンドリカルレンズアレイ又はフライアイレンズである請求項２に記載のビームホモジナイザ。
7. 前記光路非短縮型前側アレイレンズを構成するアレイレンズは、シリンドリカルレンズアレイ又はフライアイレンズである請求項３に記載のビームホモジナイザ。
8. 前記集光レンズは、シリンドリカルレンズ、トーリックレンズ又はクロスドシリンドリカルレンズである請求項１ないし７のいずれか１項に記載のビームホモジナイザ。
9. 前記光路短縮型前側アレイレンズは、それぞれ一方の面に曲面を有する２個のアレイレンズで構成され、
   前記２個のアレイレンズは、前方アレイレンズの曲面が凸型、後方アレイレンズの曲面が凹型である請求項１、２、又は４に記載のビームホモジナイザ。
10. 前記光路短縮型後側アレイレンズは、それぞれ一方の面に曲面を有する２個のアレイレンズで構成され、
    前記２個のアレイレンズの前方アレイレンズの曲面が凹型、後方アレイレンズの曲面が凸型である請求項１、３、又は５に記載のビームホモジナイザ。
11. 前記２個のアレイレンズは、それぞれ他方の面が向かい合って配置される請求項９又は１０に記載のビームホモジナイザ。
12. 前記２個のアレイレンズは、いずれもシリンドリカルレンズである請求項９ないし１１のいずれか１項に記載のビームホモジナイザ。
13. 前記２個のアレイレンズは、いずれもフライアイレンズである請求項９ないし１１のいずれか１項に記載のビームホモジナイザ。
14. 請求項１ないし１３のいずれか１項に記載のビームホモジナイザにより短辺方向又は長辺方向のいずれか１方向のエネルギー密度分布を均一化し、更に残る他の方向のエネルギー密度分布も均一化し、両方向のエネルギー密度分布の均一化された照射ビームを投影する照射面を設置するステージとを具備したレーザ照射装置。
15. 請求項１ないし１３のいずれか１項に記載のビームホモジナイザにより短辺方向及び長辺方向の両方向のエネルギー密度分布を均一化し、その両方向のエネルギー密度分布の均一化された照射ビームを投影する照射面を設置するステージとを具備したレーザ照射装置。