JP2006301270A - オートフォーカス装置及びオートフォーカス方法 - Google Patents
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Abstract
被写体によっては微小な凹凸があると、従来の微分処理などによるオートフォーカスではどの位置の合焦点を捉えるか予測できなかった。例えば、合焦点位置が複数ある場合はどの位置の合焦点を捉えるか予測できなかった。
【解決手段】
本発明は、例えば、医療用、産業用等に利用する測定装置のオートフォーカスとして、顕微鏡の映像を写したカメラの映像信号の輝度レベルをフーリエ変換し、その輝度レベルの周波数スペクトラムをもとめ、さらに、これらの周波数スペクトラムの特徴ある周波数領域の周波数スペクトラム強度をフォーカス値とする機能を有する。
【選択図】 図1
Description
図3に示すように、通常、線幅等の寸法を測定する測定装置は、少なくとも、XY ステージ 45 、Z 移動機構 44 、X 移動機構 42 、Y 移動機構 43 、X ドライバ 47 、Y ドライバ 48 、Z ドライバ 49 、カメラ 40 、光源 46 、光ガイド 55 、顕微鏡 41 、AF 装置 52 、PC( Personal Computer )50 、モニタ 51 、ベース 56 で構成される。
また、XY ステージ 45 の Z 移動機構 44 による Z 移動方向は、図3の紙面縦(上下)方向である。この Z 方向の移動が AF 装置 52 による合焦点のための駆動に関わる。
X 移動機構 42 とY 移動機構 43 、Z移動機構 44 は PC 50 のアプリケーションソフトウエアより、それぞれX ドライバ 47 とY ドライバ 48 、Z ドライバ 49 を制御することで駆動される。
試料 53 からの反射光は、顕微鏡 41 からカメラ 40 に入射する。
カメラ 40 は、入射光を映像信号に変換し、PC 50 と AF 装置 52 に出力する。PC 50 は、あらかじめ設定したアプリケーションソフトウエアを用いて、入力された映像データについて画像処理を実行する。
試料 53 が XY ステージ 45 に載置されると、PC 50 は、X ドライバ 47 、Y ドライバ 48 、Z ドライバ 49 を制御することで、試料 53 上のあるパターンの位置付近に移動する。顕微鏡 41 の合焦点( AF:Auto Focus )位置は、高倍率になると被写界深度が浅くなり、数μm の精度となる。このため、AF 制御が必要となる。
合焦点位置であることを検出したならば、PC 50 は、XY ステージ 45 の移動を停止する。
AF 制御は、XY ステージ 45 の Z 方向の高さを合焦点位置にするために行う制御であり、制御の仕方によっては、パターン幅等の寸法の測定精度に大きく影響を及ぼす。
フォーカス値の算出は、例えば、ユーザが指定した所定の映像領域の輝度波形(輝度レベル)に対して微分処理を行い、微分処理した値の総和を使用していた。ユーザが指定した所定の映像領域とは、例えば、測定したいパターンを含む所定範囲でも良いが、一般的には、あらかじめパターン内にテスト用として配置される標準パターンの領域を指定することが多い。
これにより、輝度波形が高周波成分を多く含むものはフォーカス値が大きく、輝度波形に高周波成分が少ないものはフォーカス値が小さくなる。
合焦点の映像は高周波成分が多く含まれるため、フォーカス値が大きくなる場所(適切な映像領域で、フォーカス値が最大となる XY ステージの Z 方向の位置)を捉えることで、合焦点を検出することが可能となる。
初めに、Z 移動範囲設定ステップ 1 では、PC 50 のアプリケーションソフトウエアで、XY ステージ 45 の垂直方向( Z 方向)(図3の上下方向)の移動量を指定する。
次に、Z 初期値移動ステップ 6 では、XY ステージ 45 の Z 方向の位置を、AF 制御を行う初期位置へ移動する。
その後、移動開始ステップ 7 により、垂直方向にXY ステージ 45 が移動を開始する。
AF 装置 52 は、微分処理ステップ 24 で、取込んだ映像信号の濃淡レベル(輝度レベル)の微分を行い、高周波成分を抽出する。高周波成分が多いほど、合焦点に近く、少ないほど合焦点から離れることとなる。
AF 装置 52 は、これらの高周波成分を、フォーカス値作成ステップ 10 で PC 50 のアプリケーションソフトウエアが判別可能な範囲のフォーカス値に変換し、PC 50 に出力する。
Z 位置移動範囲判定ステップ12 では、Z 移動範囲設定ステップ 1 で設定した移動範囲を判別し、もし、移動範囲外ならば、Z 移動停止ステップ 13 へ進む。また、移動範囲内なら映像取り込みステップ 8 に進む。
XY ステージ 45 は、Z 初期位置移動ステップ 14 により、AF 制御を行う初期位置に再び移動する。
次に AF 装置 52 は、微分処理ステップ 25 で、入力された映像の輝度信号の高周波成分を抽出し、フォーカス値作成ステップ 18 でフォーカス値を生成し、PC 50 に出力する。
Z 移動停止ステップ 20 で、PC 50 は、Z ドライバ 49 を介して、Z 移動機構 44 を停止させて、XY ステージ 45 の移動を停止する。
そして、線幅測定ステップ 22 で画像処理により、パターン幅を測定する。
最後に結果表示ステップ 23 で、計測結果をモニタ 51 に表示する。
本発明の目的は、上記のような問題を解決し、どのような段差であっても合焦点可能な AF 装置及び AF 方法を提供することにある。
また、本発明の AF 装置の画像処理部は、所定の周波数範囲内についての周波数スペクトラム強度に基づいてカメラと被写体との距離を可変する。
また本発明の AF 方法は、カメラが取得した映像の輝度レベルをフーリエ変換して周波数スペクトラム強度に基づいてカメラと被写体との距離を可変する。
図1において、ステップ 1 、6 〜 8 、10 〜 16 、18 〜 23 、及び 25 は、従来の図2で説明した処理ステップと同じであるので、説明を省略することがある。
移動量を指定した後は、映像取り込みステップ 2 で、AF 装置 52 に映像信号を取り込む。
スペクトラム表示ステップ 4 で、PC 50 のアプリケーションソフトウエアにより、モニタ 51 に表示する。
周波数領域設定ステップ 5 では、操作者は、モニタ 51 に表示されたスペクトラムを見て、これらのスペクトラムのうち特徴的なスペクトラムの発生している周波数領域を、操作器 54 を用いて範囲指定する。この設定により、AF 装置 52 は、この範囲指定された周波数領域のスペクトラム強度をフォーカス値として、出力する。
その後、移動開始ステップ 7 により、垂直方向にXYステージ 45を移動を開始する。
AF 装置 52 は、FFT 処理ステップ 9 で、取り込んだ映像信号の輝度レベルにFFT 処理を行うことで、周波数スペクトラムを生成する。
フォーカス値作成ステップ 10′では、AF 装置 52 は、生成した周波数スペクトラムの内、PC 50 のアプリケーションソフトウエアが判別可能な範囲のフォーカス値に変換し、PC 50 に出力する。フォーカス値は、例えば、指定された周波数スペクトラム範囲内でのスペクトラム強度の最大値をとってフォーカス値を生成する。フォーカス値をこのように生成することで、フォーカス値の大きいものがその周波数領域の合焦点付近であると推測することができる。
Z 位置移動範囲判定ステップ12 では、Z 移動範囲設定ステップ 1 で設定した、移動範囲を判別し、もし、移動範囲外ならば、Z 移動停止ステップ 13 に進み、移動範囲内なら映像取り込みステップ 8 に進む。
XY ステージ 45 は、Z 初期位置移動ステップ 14 により、AF 制御を行うための初期位置に再び移動する。
AF 装置 52 は、FFT 処理ステップ 17 で、映像信号の輝度レベルについてFFT 処理を行うことで、周波数スペクトラムを生成する。
フォーカス値作成ステップ 18 は、これらの周波数スペクトラムから、周波数範囲設定ステップ 5 で指定した周波数範囲内でスペクトラム強度の最大値をとってフォーカス値を生成し、生成したフォーカス値を PC 50 に出力する。
Z 移動停止ステップ 20 で、PC 50 は、Z ドライバ 49 を介して、Z 移動機構 44 を停止させて、XY ステージ 45 の移動を停止する。
そして、線幅測定ステップ 22 で画像処理により、パターン幅を測定する。
最後に結果表示ステップ 23 で、計測結果をモニタ 51 に表示する。
Z 移動範囲設定ステップ 1(図1)では、操作者は操作器 54 の、例えばマウスやキーボードを用いて、モニタ 51(図1)の表示画面に表示される AF パラメータ設定画面 501 の設定エリア 502 内の Z 移動範囲上限設定欄 503 と Z 移動範囲下限設定欄 504 に所望の値を入力する。
なお、この周波数スペクトラム表示は、種々の設定時には表示が更新されないが、カメラ 40 は常に所定のフレームレートで試料 53 を撮像し、PC 50 に映像データを出力し続けている。操作者は、例えば、操作器 54 のマウスで、設定エリア 502 内のスペクトラム表示ボタン 508 をクリックすることで、PC 50 に入力された最新の映像データでの解析処理結果に周波数スペクトラム表示が更新される。
指定された周波数範囲は、図4に示すように、周波数スペクトラム表示エリア 511 上でカーソル表示される(例えば、周波数範囲上限を示すカーソル 512 、周波数範囲下限を示すカーソル 513 )。そして、カーソル 512 、513 の周波数値が周波数軸に表示される。
しかし、フォーカス値は、スペクトラム強度の最大値でなく、例えば、平均値、または中央値等をとってフォーカス値を生成しても良い。
また、操作者が設定を途中でやめて前の設定に戻したい場合には、キャンセル( CANCEL )ボタン 510 をクリックすることで、AF パラメータ設定画面 501 が閉じ、操作者がこれまで入力した操作はクリアされ以前の設定に戻り、PC 50 のアプリケーションソフトウエアの手順に従って別の画面が表示される。
図5(a) と図5(b) とを比較すると、図5(b) の矢印 551 で示したスペクトラムが図5(a) には存在せず、図5(b) だけにしかないので、この矢印 551 で示したスペクトラムが特徴あるスペクトラムであることがわかる。
この最大値がある周波数範囲を、フォーカス値を生成する周波数範囲に設定することで、合焦点 A と合焦点 B とを区別して AF 制御を行うことができる。
また本発明によれば、合焦点位置が複数ある被写体または試料であっても、合焦点毎に持つ特徴あるスペクトラム成分の強度をフォーカス値とすることで、所望の合焦点を的確に検出することができる。
Claims (3)
- 被写体の映像を取得するカメラと、該取得された映像を処理する画像処理部と、上記カメラと上記被写体との距離を可変する可変部とを備え、上記画像処理部は、上記カメラから取得された映像の輝度レベルをフーリエ変換して周波数スペクトラム強度に基づいて上記カメラと上記被写体との距離を可変することを特徴とするオートフォーカス装置。
- 請求項1記載のオートフォーカス装置において、上記画像処理部は、所定の周波数範囲内についての上記周波数スペクトラム強度に基づいて上記カメラと上記被写体との距離を可変することを特徴とするオートフォーカス装置。
- カメラが取得した映像の輝度レベルをフーリエ変換して周波数スペクトラム強度に基づいて上記カメラと上記被写体との距離を可変することを特徴とするオートフォーカス方法。
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