JP2006300593A - 表面検査装置、及び画像読取装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】
簡易な構成で安価な表面検査装置を提供することを目的の一つとする。また、検査対象又は周辺部材の劣化が少ない表面検査装置を提供することを目的の一つとする。
【解決手段】
光源の光を検査対象へ照射し、それから得られる光を検出して前記検査対象の表面の異常部位を検出する表面検査装置において、
前記光源としてピーク波長が370〜400nmであるLED光源を用いることを特徴とする表面検査装置とする。
【選択図】 図1

Description

本発明は表面検査装置又は画像読取装置に関する。詳しくは、検査対象の表面の異常部位を検出する表面検査装置又は画像読取装置に関する。
従来、レンズ、光学ディスク等の記録媒体又は各種フィルムなどの製品において、その表面の傷又は表面に付着する埃などを検出することが行われている。例えば、赤外線LEDとその光を受光するフォトダイオードとを用いて赤外線の透過光の変化により傷や埃などを検出する。また、他の例として、ブラックライトにより360〜365nmの波長の光を照射して、傷や埃などから発せられる蛍光を検出することが行われている(特許文献1〜3参照)。
特開2002−209059号公報 特開2004−556404号公報 特開2003−80639号公報
赤外線LEDを用いた検出装置では、照射用LEDの他に透過光を検出するための受光用フォトダイオードが必要となるため、装置の構成が複雑化する傾向があった。また、2種類のダイオードを使用するため、製造コストが嵩んでいた。一方、ブラックライトを用いた検出装置では360〜365nmという比較的短い波長の光を照射するため周辺部材の劣化が起こりやすく、周辺部材の交換などのメンテナンスに手間がかかっていた。また、比較的短い波長の光を照射することによる検査対象の劣化も懸念される。また、ブラックライトは発熱量が多く、装置の信頼性を維持するためには十分な放熱対策が要求される。加えてブラックライトはLEDに比べ大きいため、装置の小型が困難であった。さらに、ブラックライトは出力(発光量)調整の自由度が低く、所望の出力を得ることが難しかった。
そこで、本発明は以上の課題に鑑みて、簡易な構成で安価な表面検査装置又は画像取込装置を提供することを目的の一つとする。また、検査対象又は周辺部材の劣化が少ない表面検査装置又は画像取込装置を提供することも目的とする。さらに、より小型で、出力調整の容易な表面検査装置又は画像取込装置を提供することを目的の一つとする。
この発明は上記の目的の少なくとも一つを達成するためになされたものであり、その第1の局面は次の構成を採用する。即ち、
光源の光を検査対象へ照射し、それから得られる光を検出して前記検査対象の表面の異常部位を検出する表面検査装置において、
前記光源としてピーク波長が370〜400nmであるLED光源を用いることを特徴とする表面検査装置である。
本発明の第2の局面では次の構成を採用する。即ち、
可視光を出射する第1LED光源と、
ピーク波長が370〜400nmである光を出射する第2LED光源と、
前記第1LED光源の光を検出対象へ照射し、それから得られる光を検出して画像情報を取得する画像情報取得手段と、
前記第2LED光源の光を前記検出対象へ照射し、それから得られる光を検出して前記検出対象の表面の異常部位を検出する表面情報取得手段と、及び、
前記画像情報と前記表面情報とを比較する比較手段と、
を備える、画像読取装置である。
本発明の第1の局面では、ピーク波長が370〜400nmの光を検査対象に照射する。かかる波長の光は、ピーク波長が人の可視領域外であるため、その大半の光は視認できない。しかし、検査対象の表面において、その異常部位(例えば、傷又は亀裂のある部分、埃などが付着した部分など)は370〜400nmの光を受光すると蛍光又は燐光(二次光)を発する。これにより、当該異常部位を目視で確認することができる。従って、簡易な構成で、検査対象の表面の異常部位の検出が容易な表面検査装置となる。なお、二次光の検出手段は目視に限定されず、CCDカメラや光センサ等で行うことができる。また、370〜400nmの光は紫外光であるが被照射物を劣化させにくい。従って、この範囲の波長をピーク波長とする光を使用することにより、検査対象又は周辺部材を劣化させにくい表面検査装置を提供される。さらに、光源として用いたLEDは、ブラックライトに比べて小型であるので装置の小型が可能であり、設置スペースに応じて装置の大きさを設定することが容易である。さらに、LEDは発熱量が少なく、特別な放熱対策を行なくとも装置の信頼性を維持することができる。また、LEDは長寿命であるため、光源の交換頻度が少なくて済み、メンテナンスの面でも有利な表面検査装置となる。加えて、LEDはブラックライトに比べて出力(発光量)の調整が容易であるため、所望の出力の表面検査装置を提供することができる。
本発明の第2の局面における画像読取装置では、検出対象の画像情報と表面情報とを取得し、両情報を比較する。表面情報はピーク波長が370〜400nmの光の照射により得られる光(二次光)を検出することにより、検出対象の表面の異常部位を検出して形成されるものである。表面情報は第1の局面の表面検査装置と同様に、ピーク波長が370〜400nmであるLEDを利用して取得されるため、検出対象又は周辺部材を劣化させにくい。また、第1の局面の表面検査装置と同様に、光源としてLEDを使用するため装置の小型化が可能となる。加えてLEDは長寿命であるため、光源の交換頻度が少なくて済み、メンテナンスの面でも有利となる。さらに、LEDは発熱量が少なく、特別な放熱対策を行なくとも装置の信頼性が維持される。
以下に本発明の構成をより詳しく説明する。
本発明の第1の局面は、ピーク波長が370〜400nmであるLED光源を備える表面検査装置である。LEDは小型であるため光源用のスペースが少なくて済むという利点を有する。またLEDは消費電力が小さいことから省エネルギー化の要請にも沿うものである。更にLEDは発熱量が小さく周辺部材に与える影響が少ないといった利点も併せ持つ。加えてLEDは長寿命であるからメンテナンスの面などからも有利なものとなる。更に言えば、LEDは振動、衝撃に強いことから信頼性の高い光源を構成できるといった利点もある。ピーク波長が370〜400nmであるLED光源の光は、ブラックライトの光(ピーク波長360〜365nm)に比べて長波長であるため、被照射体を劣化させにくい。
光源として使用するLEDの種類はそのピーク波長が370〜400nmの範囲内であれば特に限定されないが、砲弾型LEDを採用することが好ましい。砲弾型LEDは指向角が小さいため、かかるLEDを光源として利用すると、光源の照射範囲を狭くすることができる。その結果、検査対象の表面の異常部位を検出する感度が高まるからである。なお、レンズを使用してLED光源の配光を制御しても良い。例えば、凸レンズを使用してLED光源の光を集光させて照射範囲を狭くすることにより、検査対象の表面の異常部位の検出感度を高めることができる。使用するLEDの個数は限定されず、必要とされる出力(発光量)に応じて、適宜設定できる。複数のLEDを使用するときのLEDの配置は、検出対象の形状、大きさなどを考慮して決定できる。例えば、LEDを所定の間隔で線状に配置して線状のLED光源としても良いし、所定の間隔で平面状に配置して面状のLED光源としても良い。
本発明の第1の局面では、光源の光を検査対象に照射し、それから得られる光を検出して、検査対象の表面の異常部位を検出する。本明細書でいう「それから得られる光」とは、例えば、検査対象により反射された光、検査対象を透過した光、又は検査対象が発した蛍光若しくは燐光が挙げられる。
本明細書でいう「検査対象の表面の異常部位」とは、検査対象の表面において、その平滑性が損なわれた部分であって、例えば、傷や亀裂等が形成された部分、若しくは埃等の異物が付着した部分を示す。
ここで、ピーク波長が370〜400nmであるLED光源の光の大半は紫外線であるため視認されない。一方、検査対象の表面に傷又は亀裂などの欠陥がある場合、紫外線を照射すると、欠陥の表面における光の干渉等により、蛍光が発せられる。また、埃などは紫外線を受光して発光する蛍光物質を含むことが多い。従って、紫外線であるピーク波長が370〜400nmの光を検査対象に照射すると、検査対象の表面の欠陥、及び表面に付着した埃などの異常部位が蛍光を発する。即ち、LED光源の光は検査対象の表面の異常部位によって波長変換された光(二次光)となって放出されることとなる。この二次光を検出することにより、検査対象の表面の異常部位を検出することができる。かかる二次光を検出する方法は特に限定されず、例えば目視によって行ってもよいし、CCDカメラ、光センサなどによって二次光を検出してもよい。
本発明の表面検査装置の検査対象としては、フィルム、レンズ、導光板等、が挙げられる。例えば、写真フィルムの表面の異常部位を検出することに本発明の表面検査装置を利用することができる。
本発明の第2の局面は、第1LED光源、第2LED光源、画像情報取得手段、表面情報取得手段、及び比較手段を備える画像読取装置である。
第1LED光源は可視光を出射するLEDを備える。LEDの種類は特に限定されず、砲弾型LED、表面実装型LEDなど公知のものを採用できる。使用するLEDは、赤色、青色、及び緑色のうち少なくとも1色の光を出射するLEDであることが好ましく、さらに好ましくは少なくとも2色の光を出射可能なマルチカラーLEDであり、さらさらに好ましくは赤色、青色、及び緑色の全ての色の光を出射可能なフルカラーLED若しくは白色LEDである。光の三原色を含む光を利用することで、後述する画像情報取得手段によって検出対象の画像情報をフルカラーで取得することができるからである。
複数のLEDを使用して第1LED光源を構成しても良い。この場合、使用するLEDの種類は特に限定されず、同種のLEDであっても良いし異なる種類のLEDが含まれていても良い。複数のLEDを使用して第1LED光源を構成する場合は、赤色LED、青色LED、及び緑色LEDをそれぞれ少なくとも1つずつ含むことが好ましい。光の三原色を含む光を利用することで、後述する画像情報取得手段によって検出対象の画像情報をフルカラーで取得することができるからである。
第1LED光源のLEDとしては、ピーク波長が370〜400nmである紫外線LED素子と蛍光体とを組み合わせたLEDを使用することが好ましい。後述する第2LED光源に使用されるLEDと共通化できるため、製造コストを低減できるからである。例えば、蛍光体を含む層をLED素子上に設けることによりLED素子と蛍光体とを組み合わせることができる。このような蛍光体を含む層は蛍光体含有インク若しくは塗料の印刷、塗布などにより、又は蛍光体を含むシートの貼付などによって形成することができる。また、蛍光体をLED素子の封止部材に含有させることによってLED素子と蛍光体とを組み合わせてもよい。ここで使用される蛍光体の材質は特に限定されず、有機系、無機系を問わず採用することができる。例えば青色蛍光体としてはSr10(POCl:Eu2+、緑色蛍光体としてはSrAl1425:Eu2+、赤色蛍光体としてはYS:Eu3+、またはこれらの混合物などをここでの蛍光体として使用できる。
第2LED光源は、ピーク波長が370〜400nmであるLEDを備える。LEDの種類、使用する数、配置は既述の第1の局面におけるLEDと同様を採用できる。
画像情報取得手段は、第1検出部と、画像情報形成部とからなる。第1検出部は、第1LED光源の光を検出対象に照射して、それから得られる光(一次光)を検出する。一次光は、検出対象が反射した第1LED光源の光、又は検出対象を透過した第1LED光源の光である。検出はCCDカメラや光センサを利用する方法など公知の方法により行うことができる。画像情報形成部は第1検出部の検出結果に基づいて画像情報を形成する。画像情報の形成は、例えば第1検出部が検出した光を光電変換して画像化することにより行うことができる。
表面情報取得手段は、第2検出部と、表面情報形成部とからなる。第2検出部は、第2LED光源の光を検出対象に照射して、それから得られる光(二次光)を検出する。二次光の検出は、例えば、第2光源の光を遮断するフィルタを利用して、このフィルタの透過光をCCDカメラによって検出することで行う。このようにすれば、第2LED光源の光を遮断して二次光を好適に検出することができる。第2検出部の配置は、二次光を受光可能であれば特に限定されず、例えば、検出対象が光透過性を有する場合には、検出対象に対して第2LED光源とは反対側に第2検出部を配置して、検出対象を透過した二次光を検出することとしても良い。
表面情報形成部は第2検出部が検出した検出結果に基づいて検出対象の表面情報を形成する。表面情報の形成は、例えば第1検出部の場合と同様に、第2検出部が検出した光を光電変換して画像化することにより行うことができる。
比較手段は、画像情報と表面情報とを比較し、画像情報において異常部位に対応する画素を不適正画素として特定する。不適正画素を特定する方法としては、例えば、表面情報の各画素における出力(輝度)が所定の閾値以上の画素を異常部位画素とし、画像情報において異常部位画素に対応する画素を不適正画素として特定する。
本発明の画像読取装置はさらに補正部を備えていても良い。補正部は、比較手段により特定された不適正画素を補正する。補正の方法は特に限定されないが、例えば、不適正画素に隣接する画素に基づいて不適正画素を線形補間する。なお、画像情報において異常部位に対応しない画素は、適正画素として補正部による補正を行わないこととしてよい。
以下に、実施例を用いて本発明をより詳細に説明する。
本発明の第1の局面における一態様である表面検査装置1の斜視図を図1Aに示す。
表面検査装置1はローラ13と、その両側方にLED光源12を備える。LED光源12はピーク波長が370〜400nmであるLEDを備える。検査対象であるフィルム11はローラ13の回転に伴い、ローラ13の上を矢印10の方向に移動する。
図1Bに表面検査装置1における表面検査方法のフロー図を示す。まず、フィルム11がローラ13上を符号10の方向へ移動し、LED光源12の位置まで到達すると、LED光源12の光がフィルム11の両側方からフィルム11へ照射される(ステップa)。LED光源12の光は370〜400mにピークをもつ光であるため、この光を受光したフィルム11表面の傷14、及び埃15は蛍光(二次光)を発する(ステップb)。検査者16はこの蛍光を目視で確認することができる。これにより、フィルム11表面の傷14、及び埃15を容易に検出することができる(ステップc)。このように表面検査装置1は一種類のダイオードを使用する簡易な構成であって、コスト高な部材を使用しないので製造コストが低い。また、LED光源12のピーク波長はブラックライトのピーク波長(360〜365nm)よりも長いため、検査対象であるフィルム11、及びローラ13などの周辺部材を劣化させにくい。
なお、表面検査装置1の検査対象として、フィルム11を採用したが、フィルムに限定されず、レンズなどをその検査対象としても良い。
本発明の第2の局面における一実施例である画像読取装置10の構成を示すブロック図を図2に示す。
画像読取装置10は、第1LED光源3、第2LED光源4、画像情報取得部5、表面情報取得部6、比較部7及び補正部8から構成される。第1LED光源3は白色発光する白色LED31を備える。白色LED31は、ピーク波長が370〜400nmである紫外線LED素子の封止部材に蛍光体(色変換剤)を含有させることにより、出射光を白色光に変換したLEDである。一方、第2LED光源4は、ピーク波長が370〜400nmである紫外線LED素子41を使用するものであって、その封止部材は蛍光体を含まない。よって、第2LED光源4の出射光のピーク波長は370〜400nmである。図3には第1LED光源3及び第2LED光源4を含む光源部2の領域の斜視図を示す。白色LED31と紫外線LED素子41とが交互に配列するように直線状に整列している。
画像情報取得部5は第1検出部51と画像情報形成部52とを備える。第1検出部51は、赤色(R)、緑色(G)、青色(B)の各色成分を検出するために、赤色、緑色、青色の各波長の光のみを透過させる波長フィルタを備えた赤色用CCDカメラ、緑色用CCDカメラ及び青色用CCDカメラを有する。画像情報形成部52は、第1検出部51の各CCDカメラが検出した赤色、緑色、青色の検出結果光電変換し画像化することにより画像情報を形成する回路である。
一方、表面情報取得部6は、第2検出部61と表面情報形成部62とを備える。第2検出部61は、第2LED光源の光を遮断する波長フィルタを備えたCCDカメラを有する。表面情報形成部62は、第2検出部61の検出結果を光電変換して画像化することにより表面情報を形成する回路である。
比較部7は画像情報と表面情報とを比較し、画像情報において異常部位に対応する画素を不適正画素として特定し、異常部位に対応しない画素を適正画素とする回路である。補正部8は比較部7の比較結果に基づいて、画像情報における不適正画素の補正を行う回路である。
画像読取装置10の画像読取方法のフロー図を図4に示した。まず、第1LED光源3が検出対象であるフィルム11へ光を照射する(ステップi)。この光をフィルム11が反射し、その反射光のR、G、Bの各色成分を第1検出部51によって検出する(ステップii)。この検出結果に基づいて画像情報形成部52が画像情報を形成する(ステップiii)。一方、第2LED光源4もフィルム11へ光を照射する(ステップiv)。第2LED光源4の光の照射によりフィルム11表面の異常部位が蛍光(二次光)を発する。この二次光を第2検出部61によって検出する(ステップv)。この検出結果に基づいて表面情報形成部62が表面情報を形成する(ステップvi)。画像情報と表面情報が得られた後、比較部7によって両情報を比較し、画像情報において不適正画素及び適正画像を特定する(ステップvii)。補正部8が不適正画素に対して線形補間により補正を行い、補正画素を作製する(ステップviii)。補正画素が作製された後、該補正画素と適正画素とを統合し補正画像情報として出力する(ステップiv)。なお、不適正画素が存在しない場合は、補正画素の作成を行わずに画像情報を出力する。
かかる画像読取装置10では、表面情報を取得するために、ピーク波長が370〜400nmである第2LED光源4の光をフィルム11へ照射する。フィルム11の表面の異常部位はこの光を受光して蛍光(二次光)を発する。ここで第2検出部61のCCDカメラにはこの第2LED光源の光の波長を遮断する波長フィルタが装着されているため、第2検出部61はこの二次光を好適に検出することができる。これにより、この検出結果に基づいて形成される表面情報はフィルム表面の異常部位の情報であって、フィルム11の色情報などを含まない。従って、比較部7による画像情報の不適正画素の特定がより好適に行われることとなる。
さらに、第1LED光源3の白色LED31は、第2LED光源4のLED素子と同一の紫外線LED素子の封止部材に蛍光体(色変換剤)を含有させることにより、出射光を白色光に色変換したものである。即ち、第1LED光源3のLED素子は、第2LED光源4のLED素子と共通化されるため、製造コストが低減される。また、第2LED光源4の出射光は、そのピーク波長が370〜400nmであって、ブラックライトに比べ長波長であるため、検出対象又は周辺部材を劣化させにくい。また、光源としてLEDを使用するため、装置の小型化が可能となり、設置スペースが少なくて済む。さらに、LEDは長寿命であるため、光源の交換頻度が少なくて済み、メンテナンスの面で有利である。加えて、LEDは発熱量が少なく、特別の放熱対策を施さなくとも信頼性の高い画像読取装置となる。
画像読取装置10では、白色LED31を用いて第1LED光源3を構成したが、赤色LED、緑色LED及び青色LEDを用いて第1LED光源3を構成しても良い。即ち、赤色、緑色、青色のそれぞれの光を個別に照射することとしても、画像情報を取得することができるため、画像読取装置10と同様の効果が得られる。
また、画像読取装置10では画像情報取得手段5の第1検出部51は、フィルム11による反射光を検出することとしたが、検出対象が光透過性を有する場合は、検出対象を透過した光を検出することとしても良い。かかる構成によっても画像読取装置10と同様の効果が得られる。
本発明は、上記発明の実施の形態及び実施例に何ら限定されるものではない。特許請求の範囲の記載を逸脱せず、当業者が容易に想到できる範囲で種々の変形態様もこの発明に含まれる。
本発明は、フィルムやレンズなどの表面検査装置としてその利用が図られる。または、イメージスキャナなどの画像取込装置として利用される。
図1Aは本発明の第1の局面における一実施例である表面検査装置1の斜視図を示す。図1Bは表面検査装置1における表面検査方法のフロー図である。 図2は本発明の第2の局面における一実施例である画像読取装置10の構成を示すブロック図である。 図3は画像読取装置10の第1LED光源3及び第2LED光源4の斜視図である。 図4は画像読取装置10の画像取込方法のフロー図である。
符号の説明
1 表面検査装置
3 第1LED光源
4 第2LED光源
5 画像情報取得部
6 表面情報取得部
7 比較部
8 補正部
10 画像読取装置
11 フィルム
12 LED光源
31 白色LED
41 紫外線LED
51 第1検出部
52 画像情報形成部
61 第2検出部
62 表面情報検出部

Claims (6)

  1. 光源の光を検査対象へ照射し、それから得られる光を検出して前記検査対象の表面の異常部位を検出する表面検査装置において、
    前記光源としてピーク波長が370〜400nmであるLED光源を用いることを特徴とする表面検査装置。
  2. 可視光を出射する第1LED光源と、
    ピーク波長が370〜400nmである光を出射する第2LED光源と、
    前記第1LED光源の光を検出対象へ照射し、それから得られる光を検出して画像情報を取得する画像情報取得手段と、
    前記第2LED光源の光を前記検出対象へ照射し、それから得られる光を検出して前記検出対象の表面の異常部位を検出する表面情報取得手段と、及び、
    前記画像情報と前記表面情報とを比較する比較手段と、
    を備える、画像読取装置。
  3. 前記画像情報と前記表面情報とを比較した結果に基づいて、前記画像情報を補正する手段を含む、請求項2に記載の画像読取装置。
  4. 前記第1LED光源が、前記第2LED光源と蛍光体との組み合わせからなる、請求項2又は3に記載の画像読取装置。
  5. 光源の光を検査対象に照射し、それから得られる光を検出して前記検査対象の表面の異常部位を検出する表面検査方法において、
    前記光源としてピーク波長が370〜400nmであるLED光源を用いることを特徴とする表面検査方法。
  6. (i)可視光を検出対象に照射するステップと、
    (ii)前記検出対象から得られた光を検出するステップと、
    (iii)前記ステップiiで検出した光に基づいて画像情報を取得するステップと、
    (iv)ピーク波長が370〜400nmであるLED光源の光を前記検出対象に照射するステップと、
    (v)前記ステップivで前記検出対象から得られた光を検出するステップと、
    (vi)前記ステップvで検出した光に基づいて、前記検出対象の表面の異常部位を検出し表面情報を取得するステップと、
    (vii)前記画像情報と前記表面情報とを比較し比較情報を取得するステップと、
    (viii)前記比較情報に基づいて、前記画像情報を補正するステップと、
    を含む画像読取方法。
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