JP2006286626A - 電子放出素子 - Google Patents

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Abstract

【課題】電子ビームが所望しない蛍光層に衝突しない電子放出素子を提供する。
【解決手段】本発明によれば,所定の間隔をおいて対向配置される第1基板及び第2基板と,第1基板上に形成され,電極および電子を放出する電子放出部を含む電子放出構造体と,第2基板上に形成され,電子から形成された電子ビームによって発光する発光構造体とを含む電子放出素子であって,電子放出構造体は,電子ビームを集束させるための集束電極を含み,発光構造体は,電子ビームによって発光する蛍光層を含んだピクセルが任意のパターンとして形成される蛍光スクリーンを含み,集束電極は,電子ビームが通過するビーム通過孔を有し,このビーム通過孔の垂直長さをL,ピクセルの垂直ピッチをPとするとき,0.25≦L/P≦0.60の条件を満足する電子放出素子が提供される。
【選択図】図3

Description

本発明は,電子放出素子に関する。
一般に,電子放出素子(Electron Emission Device)は,電子源の種類によって,熱陰極(hot cathode)を用いる方式と冷陰極(cold cathode)を用いる方式に分類される。
ここで,冷陰極を用いる方式の電子放出素子としては,電界放出アレイ(Field Emitter Array:FEA)型,表面伝導エミッション(Surface−Conduction Emission:SCE)型,金属−誘電層−金属(Metal−Insulator−Metal:MIM)型,金属−誘電層−半導体(Metal−Insulator−Semiconductor:MIS)型,及びバリスティック(Ballistic electron Surface Emitting:BSE)型などが知られている。
MIM型素子の電子放出源は,第1金属層,第2金属層,及び第1金属層と第2金属層との間に配置される誘電層を含み,MIS型素子の電子放出源は,金属層,半導体層,及び金属層と半導体層との間に配置される誘電層を含む。MIM型またはMIS型の素子において,誘電層を挟んで位置する2つの金属の間または金属と半導体との間に電圧を印加するとき,高い電子電位を有する金属または半導体から低い電子電位を有する金属へ電子が移動及び加速しながら放出される。
BSE型電子放出素子は,ポリシリコン薄膜を多孔質化した微結晶構造(ナノ結晶構造)内に注入された電子が,ポリシリコン薄膜の周囲に配置された酸化膜によって加速しながら真空中に放出される原理を利用した素子である。
SCE型電子放出素子は,基板上に形成された電極に電圧を印加して小さい面積の導電薄膜の表面に電流を流すことにより,微細ギャップとしての電子放出部から電子が放出される原理を利用した素子であって,第1基板上に対向配置された第1電極と第2電極との間に導電薄膜を提供し,導電薄膜に微細亀裂を提供することにより,電子放出部を形成した素子である。
FEA型電子放出素子は,仕事関数(work function)が低い,あるいはアスペクト比が大きい物質を電子放出源として用いる場合,真空中で電界によって容易に電子が放出される原理を利用したものであって,モリブデン(Mo)やシリコン(Si)などを主材質とする尖端チップ構造物,または黒鉛,ダイヤモンドライクカーボン(DLC)などの炭素系物質,またはナノチューブ(nano tube)やナノワイヤ(nano wire)などのナノ物質を電子放出源として適用する技術が開発されている。
一般に,電子放出素子の典型的な構造は,向かい合う2つの基板のうち第1基板上には,電子放出部,この電子放出部の電子放出を制御する駆動電極としてのカソード電極及びゲート電極が形成され,第1基板に対向する第2基板の一面には,蛍光スクリーン,およびこの蛍光スクリーンを高電位状態に維持させるアノード電極が形成される構成を持つ。
第1基板および第2基板は,フリット(frit)などの密封材によって一体に封着された後,内部が排気されて真空容器を構成する。真空容器の内部には複数のスペーサが装着される。このスペーサは,真空容器に加えられる圧力に対応して第1基板と第2基板との間隔を一定に維持させる。
さらに,電子放出素子には,ゲート電極と所定の間隔をおいて電子ビームを集束させるための集束電極が形成される。
集束電極には,電子放出部から放出されて形成された電子ビームが通過するビーム通過孔が設けられる。ビーム通過孔は,蛍光スクリーンの蛍光膜パターンに対応して設けられる。すなわち,ビーム通過孔は,蛍光スクリーンにおいて1ピクセルの大きさに合わせて設けられる。
ところが,従来では,ビーム通過孔を通過した電子ビームが,蛍光スクリーンにおいて打撃しようとする希望のピクセルに到達したとき,その大きさをピクセルの大きさよりさらに大きくして,当該ピクセルのみでなく,このピクセルに隣り合うピクセルを打撃するようにして所望しない蛍光層を発光させる場合がある。
このような場合には,所望する蛍光スクリーンのピクセルに対する輝度が得られないと共に,これにより全体蛍光スクリーンの画質が低下してしまう。
そこで,本発明は,このような問題に鑑みてなされたもので,その目的は,電子ビームが所望しない蛍光層を打撃せず,隣接するピクセル(画素)が付随的に発光して画質の差異が発生することを抑制することが可能な,新規かつ改良された電子放出素子を提供することにある。
上記課題を解決するために,本発明のある観点によれば,所定の間隔をおいて対向配置される第1基板及び第2基板と,第1基板上に形成され,電極および電子を放出する電子放出部を含む電子放出構造体と,第2基板上に形成され,電子から形成された電子ビームによって発光する発光構造体と,を含む電子放出素子であって,電子放出構造体は,電子ビームを集束させる集束電極を含み,発光構造体は,電子ビームによって発光する蛍光層を含んだピクセルが任意のパターンとして形成される蛍光スクリーンを含み,集束電極は,電子ビームが通過するビーム通過孔を有し,ビーム通過孔の垂直長さをL,ピクセルの垂直ピッチをPとするとき,0.25≦L/P≦0.60の条件を満足する電子放出素子が提供される。
上記の電子放出素子は,ピクセルに電子ビームが到達したときの電子ビームの垂直直径をDBVとするとき,0.4<DBV/P<1の条件を満足するようにしてもよい。
ビーム通過孔内に複数の電子放出部が配置されてもよく,ビーム通過孔内に一つの電子放出部が配置されてもよい。
本発明によれば,集束電極に設けられるビーム通過孔の垂直長さを,電子ビームが隣接の画素に到達しない最も適切な範囲に設定するので,隣接の画素が付随的に発光して画質の差異が発生することを抑えることが可能であり,全体的に画質の均一性及び品位が向上した電子放出素子を提供することが可能である。
以下に添付図面を参照しながら,本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお,本明細書及び図面において,実質的に同一の機能構成を有する構成要素については,同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
(第1実施形態)
図1は,本発明の第1実施形態に係る電子放出素子を示す部分拡大斜視図である。図2は,本発明の第1実施形態に係る電子放出素子を示す部分拡大断面図であって,FEA型電子放出素子の場合を示している。
図1及び図2を参照すると,FEA型電子放出素子は,所定の間隔を置いて対向配置される第1基板20および第2基板22と,第1基板20上に所定の間隔で形成される複数の第1電極(カソード電極)24と,第1電極24上に第1絶縁層25を介して交差するパターンに形成される複数の第2電極(ゲート電極)26と,第2電極26と交差する部分の第1電極24上に形成される電子放出部(electron emisson regions)28と,第2基板22上に形成されるアノード電極30と,アノード電極30の一面に形成される蛍光スクリーン32と,第1基板20と第2基板22との間に設けられるスペーサ60と,第2絶縁層50を介して第1電極24および第2電極26上に形成され,電子放出部28から放出された電子によって形成された電子ビームが通過するビーム通過孔400が所定のパターンに配列されて形成される集束電極40とを含む。
集束電極40は,電子ビームの集束性能を高める役割,およびアノード電極30の電界を遮蔽する役割をする。
集束電極40と第2電極26との間に配置された第2絶縁層50にも,電子ビーム通過孔400に対応するビーム通過孔500が設けられるが,本実施形態におけるビーム通過孔500は,集束電極40のビーム通過孔400と同じパターンを持つ。本実施形態において,第1電極24,第2電極26,電子放出部28及び集束電極40は,電子放出素子において実際電子を放出して第2基板22に電子ビームを走査するようにする電子放出構造体を構成する。
これに対し,アノード電極30と蛍光スクリーン32は,電子ビームによって発光する発光構造体を構成する。
上記の電子放出構造体についてより具体的に説明すると,第1電極24および第2電極26は,ストライプパターンに形成され,互いに直交する方向に配列される。例えば,第1電極24は,図1のX軸方向に沿ってストライプパターンに形成され,第2電極26は,図1のY軸方向に沿ってストライプパターンに形成される。
第1電極24と第2電極26との間には,第1基板20の全面に形成される第1絶縁層25が配置される。
第1電極24と第2電極26との交差領域を画素領域と定義すると,第1電極24上に画素領域ごとに一つ以上の電子放出部28が形成され,第1絶縁層25と第2電極26にはそれぞれ電子放出部28に対応する開口部250,260が設けられ,電子放出部28が露出されるようにする。
しかも,本実施形態において,電子放出部28は,円形のパターンに形成され,各画素領域で第1電極24の長さ方向Xに沿って一列に配列される構成として示したが,電子放出部28の平面形状,画素領域当りの個数および配列形態などは,これに限定されない。
電子放出部28は,真空中で電界が加えられると電子を放出するものであって,炭素系物質またはナノ物質(ナノメートルサイズの物質)などから形成されてもよい。
電子放出部28として用いる好ましい物質には,例えば,黒鉛(graphite),ダイヤモンド,ダイヤモンドライクカーボン(Diamond Liked Carbon:DLC),C60(fulleren)などの炭素系物質または炭素ナノチューブ(Carbon Nanotube:CNT),黒鉛ナノファイバ,シリコンナノワイヤなどのナノ物質及びこれらの組み合わせ物質がある。
また,ここでは,第1電極24がカソード電極の役割をし,第2電極26がゲート電極の役割をするように説明してあるが,第1電極24がゲート電極の役割,第2電極がカソード電極の役割をしてもよい。この場合には,第2電極上に電子放出部が形成される。
一方,前述した発光構造体をより具体的に考察すると,蛍光スクリーン32は,R,G,B蛍光体34R,34G,34Bを含む蛍光層34と,このR,G,B蛍光体34R,34G,34Bの間に配置される黒色層36とを含む。この蛍光層34と黒色層36は,蛍光スクリーン32を形成するためのピクセルを任意のパターンとすることができる。
本実施形態では,図3に示すように,蛍光層34と黒色層36が略長方形のパターンにピクセルPを形成している。このようなピクセルPのパターンは,前述した集束電極40のビーム通過孔400と第2絶縁層50のビーム通過孔500のパターンに対応する。
このピクセルPは,第1電極24の長さ方向,すなわち前述したX方向に沿って垂直ピッチPをもって配列される。ここで,ピクセルPの垂直ピッチPは,蛍光層34の垂直ピッチPと黒色層36の垂直ピッチPとを合わせたものであるといえる。
本実施形態において,アノード電極30は,アルミニウムのような導電性を有する金属膜からなるため,外部から電子ビームの加速に必要な高電圧の印加を受ける。このようなノード電極30は,蛍光スクリーン32から放射された可視光のうち第1基板20を向かって放射された可視光を第2基板22側に反射させて画面の輝度を高める役割もする。
このアノード電極30は,金属膜ではなくインジウム−スズ酸化物(Indium Tin Oxide:ITO)など光透過率に優れた透明な導電膜で構成することも可能である。この場合には,まずアノード電極が第2基板22に形成され,その後アノード電極上に蛍光スクリーンが形成できる。この際,このアノード電極は,所定のパターンに区分されて複数個に形成してもよい。
このように構成された電子放出構造体と発光構造体とがそれぞれ形成された第1基板20と第2基板22は,電子放出部28と蛍光スクリーン32とが向かい合った状態で,所定の間隔をおいて密封材(図示せず。)によって接合され,その間に設けられる内部空間は排気されて真空状態を維持する。
この際,スペーサ60は,第1基板20と第2基板22との間隔を一定に維持させるために,第1基板20と第2基板22との間に所定の間隔をおいて配設される。このスペーサ60は,画素の位置および電子ビームの経路を回避して電子放出素子の非発光領域に設置されることが好ましい。
一方,本実施形態において,集束電極40のビーム通過孔400は,蛍光スクリーン32のピクセルPの垂直ピッチPに対して25〜60%の範囲に維持される垂直長さLをもって形成される(図4参照。)。
このようなビーム通過孔400の垂直長さLは,電子ビームが蛍光スクリーン32に到達するとき,所望するピクセルPの蛍光層34のみを打撃することができることを考慮したものである。次に,これについて説明する。
表1及び図5のグラフは,前述したように電子放出素子を形成し,その輝度の目標値を300cd/mに設定した後,アノード電極30にそれぞれ2.3V/m,2.8V/m,3.6V/m,5.6V/mの電界(electric field)がかかるようにそれぞれのアノード電圧を印加しながら測定した電子ビームの垂直直径DBVを示している。
この際,この垂直直径DBVは,電子ビームが蛍光スクリーン32において一つのピクセルPに対応する蛍光層34に到達してこれに衝突するときの垂直直径であり,蛍光スクリーン32の蛍光層34に対する開口率は,46%に設定された。
しかも,表1と図5のグラフは,ビーム通過孔400の垂直長さLを変化させながら測定した電子ビームの垂直直径DBVを示している。
参考まで,表1及び図5において,ビーム通過孔400の垂直長さL及び電子ビームの垂直直径DBVは,それぞれピクセルの垂直ピッチPで割った値で示した。
Figure 2006286626
電子ビームが蛍光スクリーン32の垂直方向に配列されたピクセルPに重畳状態で到達されないためには,電子ビームの垂直直径DBVがピクセルPの垂直ピッチPよりは小さくなければならない。すなわち,電子ビームの垂直直径DBVをピクセルPの垂直ピッチPで割った値DBV/Pは1より小さくなければならない。
また,目標輝度として設定した300cd/mを満足するためには,DBV/Pが0.4よりは大きくなければならない。これは,一般にピクセルPの垂直ピッチPに対して蛍光層34の垂直ピッチPを61%,黒色層36の垂直ピッチPを39%程度に分割して蛍光スクリーン32を形成するため,電子ビームの垂直直径DBVがピクセルPの垂直ピッチPに対して40%未満になると,蛍光層34の2/3以下にのみ電子ビームが到達してこの蛍光層34を発光させるので,十分な輝度を得ることができず,目標の輝度を達成することができないためである。
したがって,本実施形態では,電子ビームの垂直直径DBVをピクセルPの垂直ピッチPで割った値DBV/Pを0.4より大きくし,1.0よりは小さい範囲に設定する。
これに対応してビーム通過孔400の垂直長さLをピクセルPの垂直ピッチPで割った値(L/P)を表1及び図5から確認すると,0.2〜0.62の範囲である。
このL/P値は,各ファクターの測定誤差と実際品の製造誤差範囲などを考慮するとき,0.25〜0.60に維持されることが好ましい。
上記の範囲を百分率で換算すると,ビーム通過孔400の垂直長さLを,ピクセルPの垂直ピッチPに対して25〜60%の範囲で設定することがよい。
電子放出素子は,上記のような範囲でビーム通過孔400の垂直長さLを設定することにより,電子放出部から放出された電子ビームが,蛍光スクリーンにおける所望の一つのピクセルに到達するとき,隣接ピクセルの発光を最大限抑えることが可能であり,これにより全体的に均一な画質を提供することが可能である。
図6A〜図6Cは,第1実施形態の変形例による集束電極のビーム通過孔と電子放出部のパターンを示す概略図である。図6Aは,蛍光スクリーンのピクセルの垂直方向に対応して長く形成された集束電極のビーム通過孔410と,このビーム通過孔410内に配置される一つの電子放出部412を示している。ここで,この電子放出部412は,ビーム通過孔410のパターンと同様であってもよい。
図6Bは,図6Aの通過孔のパターンから変形された集束電極のビーム通過孔414内に複数の電子放出部416が配置されることを示しており,図6Cは,集束電極のそれぞれのビーム通過孔が複数の小孔418からなり,この小孔418に電子放出部420がそれぞれ配置されることを示している。
このような変形例において,各通過孔410,414,418は,蛍光スクリーンの画素領域に対応して配置される。この際,各通過孔410,414,418の垂直長さは,上記の条件を満足するようにする。
(第2実施形態)
図7及び図8は,本発明の第2実施形態に係る電子放出素子を示す図であって,この電子放出素子は,SCE型電子放出素子である。
この電子放出素子は,基本的な構成を前述した第1実施形態の電子放出素子と類似にする。
この電子放出素子において,第1電極72と第2電極74は第1基板20’の同一平面上に形成される。この第1電極72及び第2電極74には,それぞれ表面の一部を覆いながら互いに近接するように第1導電薄膜73及び第2導電薄膜75が形成される。
電子放出部78は,第1導電薄膜73と第2導電薄膜75との間で第1導電薄膜73及び第2導電薄膜75と連結されて形成される。これにより,電子放出部78は,第1導電薄膜73及び第2導電薄膜75を介して第1電極72及び第2電極74に電気的に連結される。
この第1電極72及び第2電極74に駆動電圧を印加すると,第1導電薄膜73と第2導電薄膜75を介して小さい面積の薄膜で形成される電子放出部78の表面と水平に電流が流れながら表面電動型電子放出がなされる。
第1電極72と第2電極74間の間隔は,約数十nm〜数百μm程度の範囲で設定する。
第1電極72及び第2電極74は,電気的に導電性を持った様々な材料が使用可能であり,例えば,ニッケル(Ni),クロム(Cr),金(Au),モリブデン(Mo),タングステン(W),白金(Pt),チタニウム(Ti),アルミニウム(Al),銅(Cu),パラジウム(Pd),銀(Ag)などの金属及びその合金,金属酸化物からなる印刷導体及びITOなどの透明電極のいずれも使用可能である。
第1導電薄膜73及び第2導電薄膜75は,ニッケル(Ni),金(Au),白金(Pt),パラジウム(Pd)などの導電性材料を用いた微粒子薄膜で形成する。
電子放出部78は,黒鉛型炭素や炭素化合物などで形成することが好ましい。また,電子放出部78は,上述した第1実施形態と同様に,グラファイト,タイヤモンド,タイヤモンドライクカーボン,カーボンナノチューブ,C60などから選定して単独で或いは2種以上を組み合わせて形成することも可能である。
この第2実施形態においても,前述した構成以外は,第1実施形態と同様にして実施することが可能なので,それに対する詳細な説明は省略する。
第1,2実施形態で説明していない具体的な構成は,一般的なFEA型電子放出素子またはSCE型電子放出素子の様々な構成を適用して実施することが可能である。
上記のように,本発明の各実施形態に係る電子放出素子は,電子ビームが垂直方向に所望しないピクセルに到達して発光させることを防止することができるように,ピクセルの垂直ピッチに対応してビーム通過孔の大きさを適切な範囲に設定することにより,画質の均一度を向上させることが可能である。
以上,添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが,本発明はかかる例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば,特許請求の範囲に記載された範疇内において,各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり,それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
本発明は,本発明は,電子放出素子に適用可能である。
本発明の第1実施形態に係る電子放出素子を示す部分拡大斜視図である。 本発明の第1実施形態に係る電子放出素子を示す部分拡大断面図である。 本発明に係る電子放出素子の蛍光スクリーンのピクセルを説明するための概略図である。 本発明に係る電子放出素子の集束電極のビーム通過孔を説明するための概略図である。 本発明に係る電子放出素子において集束電極のビーム通過孔の垂直長さと電子ビームの垂直直径の関係を示すグラフ図である。 本発明の第1実施形態の変形例に係る集束電極のビーム通過孔と電子放出部を示す概略図である。 本発明の第1実施形態の変形例に係る集束電極のビーム通過孔と電子放出部を示す概略図である。 本発明の第1実施形態の変形例に係る集束電極のビーム通過孔と電子放出部を示す概略図である。 本発明の第2実施形態に係る電子放出素子を示す断面図である。 本発明の第2実施形態に係る電子放出素子の電子放出部を説明するための部分拡大平面図である。
符号の説明
20,20’ 第1基板
22 第2基板
24 第1電極
25 第1絶縁層
26 第2電極
28 電子放出部
30 アノード電極
32 蛍光スクリーン
34 蛍光層
36 黒色層
40 集束電極
50 第2絶縁層
60 スペーサ
72 第1電極
73 第1導電薄膜
74 第2電極
75 第2導電薄膜
78 電子放出部
250,260 開口部
400,500 ビーム通過孔
410,414,418 ビーム通過孔
412,416 電子放出部
418 小孔

Claims (4)

  1. 所定の間隔をおいて対向配置される第1基板及び第2基板と,前記第1基板上に形成され,電極および電子を放出する電子放出部を含む電子放出構造体と,前記第2基板上に形成され,前記電子から形成された電子ビームによって発光する発光構造体と,を含む電子放出素子であって:
    前記電子放出構造体は,前記電子ビームを集束させる集束電極を含み,
    前記発光構造体は,前記電子ビームによって発光する蛍光層を含んだピクセルが任意のパターンとして形成される蛍光スクリーンを含み,
    前記集束電極は,前記電子ビームが通過するビーム通過孔を有し,前記ビーム通過孔の垂直長さをL,前記ピクセルの垂直ピッチをPとするとき,0.25≦L/P≦0.60の条件を満足することを特徴とする,電子放出素子。
  2. 前記電子放出素子は,前記ピクセルに前記電子ビームが到達したときの前記電子ビームの垂直直径をDBVとするとき,0.4<DBV/P<1の条件を満足することを特徴とする,請求項1に記載の電子放出素子。
  3. 前記ビーム通過孔内に複数の電子放出部が配置されることを特徴とする,請求項1または2に記載の電子放出素子。
  4. 前記ビーム通過孔内に一つの電子放出部が配置されることを特徴とする,請求項1または2に記載の電子放出素子。
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