JP2006286302A - 電圧発生ユニット、電圧発生装置及びこれを備えた荷電粒子加速器 - Google Patents
電圧発生ユニット、電圧発生装置及びこれを備えた荷電粒子加速器 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 本発明の電圧発生ユニット50は、コッククロフトウォルトン回路(多段式倍電圧整流回路)の各段を形成する回路構成素子群が、複数に分割された絶縁物により被覆されたユニット構造で形成され、その表面部に、隣接する他のユニット体と電気的接続を行う入出力端子群52A’52C’及び52A〜52Cが設けられている。そして、これら入出力端子群が形成されている表面部は、隣接する他のユニット体の表面部(接合面)と接合する接合面S1,S2とされており、これらの入出力端子群は、その端子面が上記接合面S1,S2と整列するようにして設けられている。
【選択図】 図6
Description
ここで、図5は電圧発生ユニット50の部品配置図で、Aはユニット上面側の図、Bはユニット下面側の図である。そして、図6は電圧発生ユニット50の回路構成を示す側断面図である。
抵抗素子R1〜R3は、負荷が短絡したときに電源に流れる短絡電流を抑制するものである。これらの抵抗はコンデンサと直列にする他、ダイオードと直列にしても同様の効果が得られる。もちろん、コンデンサとダイオードの両方に直列に抵抗を接続してもよい。
19A グランド側加速管
19B 高電圧側加速管
20 高電圧ターミナル
20A ストリッパカナル
22 昇圧トランス
23 発振器
40 イオン注入装置
41 荷電粒子加速器
42 高電圧発生装置
43A,43B フープ
44 連結板
47A,47B 加速電極
50 電圧発生ユニット
51 ユニット本体
52A’〜52C’,52A〜52C 外部端子
54 組付具挿通孔
58 軸状部材
59 締付部材
60 ダミーユニット
C1〜C3 コンデンサ
D1〜D4 ダイオード
R1〜R3 抵抗
Claims (13)
- 多段式倍電圧整流回路の各段を形成する回路構成素子群が、複数に分割された絶縁物製のユニット本体内に組み込まれてなり、このユニット体の表裏面に、隣接する他の電圧発生ユニットと電気的接続を行う入出力端子群が設けられた電圧発生ユニットにおいて、
前記入出力端子群が形成されている前記ユニット本体の表裏面は、前記隣接する他の電圧発生ユニットの表面側又は裏面側と当接し合う接合面とされており、
前記入出力端子群は、前記接合面とほぼ同一面を形成していることを特徴とする電圧発生ユニット。 - 前記回路構成素子群として、少なくともコンデンサとダイオードとを含む請求項1に記載の電圧発生ユニット。
- 前記回路構成素子群は、1段当たり3つのコンデンサと、4つのダイオードを有し、更に、各コンデンサに直列に抵抗が接続され、又は各ダイオードに直列に抵抗が接続され、又は、各コンデンサと各ダイオードのそれぞれに抵抗が直列に接続されている請求項2に記載の電圧発生ユニット。
- 前記入出力端子群の一部の端子が、前記接合面の周縁部に設けられている請求項4に記載の電圧発生ユニット。
- 多段式倍電圧整流回路の各段を形成する回路構成素子群が、複数に分割された絶縁物製のユニット本体内に組み込まれている電圧発生ユニットを、その表裏面に設けられた入出力端子群を介して複数段積み上げて形成した電圧発生装置において、
前記入出力端子群が形成されている前記電圧発生ユニットの表裏面は、隣接する他の電圧発生ユニットの表面側又は裏面側と当接し合う接合面とされており、
前記入出力端子群は、前記接合面とほぼ同一面を形成していることを特徴とする電圧発生装置。 - 前記各段の電圧発生ユニットを貫通する組付具を有し、この組付治具の緊締力で各段の前記接合面が圧接されている請求項5に記載の電圧発生装置。
- 荷電粒子を加速する加速管と、この加速管の各段に印加される加速電位の供給源としての電圧発生装置とを備えた荷電粒子加速器において、
前記電圧発生装置は、多段式倍電圧整流回路の各段を形成する回路構成素子群が、複数に分割された絶縁物製のユニット本体内に組み込まれている電圧発生ユニットを、その表裏面に設けられた入出力端子群を介して複数段積み上げて形成されているとともに、
前記入出力端子群が形成されている前記電圧発生ユニットの表裏面は、隣接する他の電圧発生ユニットの表面側又は裏面側と当接し合う接合面とされており、
前記入出力端子群は、前記接合面とほぼ同一面を形成していることを特徴とする荷電粒子加速器。 - 前記電圧発生ユニットの積み上げ方向が、前記加速管の軸方向に平行とされている請求項7に記載の荷電粒子加速器。
- 前記加速管は加速電極を挟んで複数段に形成され、この加速管の各段と、前記電圧発生装置を形成する任意の段の電圧発生ユニットとが、互いに電気的に連結されている請求項8に記載の荷電粒子加速器。
- 前記加速管の一段の高さが、前記電圧発生ユニットの複数段分の高さに相当している請求項9に記載の荷電粒子加速器。
- 前記電圧発生ユニットと次段の電圧発生ユニットとの間には、前記回路構成素子群を内含せず、これら各電圧発生ユニット間を電気的に接続するだけのダミーユニットが介装されている請求項9に記載の荷電粒子加速器。
- 前記ダミーユニットは、前記各段の電圧発生ユニットと同等の厚さで形成されている請求項11に記載の電圧発生装置。
- 前記加速管と前記電圧発生装置との間の各々の連結部には、これらを囲む金属製のフープが接続されている請求項9に記載の荷電粒子加速器。
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---|---|---|---|---|
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Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4410800Y1 (ja) * | 1965-03-22 | 1969-05-01 | ||
JPS4835948Y1 (ja) * | 1968-12-17 | 1973-10-29 | ||
JPS52149223U (ja) * | 1976-05-10 | 1977-11-12 | ||
JPS6435898A (en) * | 1987-07-20 | 1989-02-06 | Sci Res Lab Inc | Electrostatic ion accelerator |
JPH05326193A (ja) * | 1990-05-22 | 1993-12-10 | Kobe Steel Ltd | 荷電粒子加速器 |
JPH05326190A (ja) * | 1992-05-25 | 1993-12-10 | Nissin High Voltage Co Ltd | タンデム型イオン加速器 |
JPH07312300A (ja) * | 1994-05-17 | 1995-11-28 | Nissin Electric Co Ltd | 高電圧電源装置 |
JP2001156248A (ja) * | 1999-11-30 | 2001-06-08 | Seiko Epson Corp | 半導体装置 |
JP2004040932A (ja) * | 2002-07-04 | 2004-02-05 | Ebara Corp | 直流高電圧電源装置 |
JP2004274029A (ja) * | 2003-02-19 | 2004-09-30 | Denso Corp | 圧電アクチュエータ |
-
2005
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Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4410800Y1 (ja) * | 1965-03-22 | 1969-05-01 | ||
JPS4835948Y1 (ja) * | 1968-12-17 | 1973-10-29 | ||
JPS52149223U (ja) * | 1976-05-10 | 1977-11-12 | ||
JPS6435898A (en) * | 1987-07-20 | 1989-02-06 | Sci Res Lab Inc | Electrostatic ion accelerator |
JPH05326193A (ja) * | 1990-05-22 | 1993-12-10 | Kobe Steel Ltd | 荷電粒子加速器 |
JPH05326190A (ja) * | 1992-05-25 | 1993-12-10 | Nissin High Voltage Co Ltd | タンデム型イオン加速器 |
JPH07312300A (ja) * | 1994-05-17 | 1995-11-28 | Nissin Electric Co Ltd | 高電圧電源装置 |
JP2001156248A (ja) * | 1999-11-30 | 2001-06-08 | Seiko Epson Corp | 半導体装置 |
JP2004040932A (ja) * | 2002-07-04 | 2004-02-05 | Ebara Corp | 直流高電圧電源装置 |
JP2004274029A (ja) * | 2003-02-19 | 2004-09-30 | Denso Corp | 圧電アクチュエータ |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009176462A (ja) * | 2008-01-22 | 2009-08-06 | Hitachi Medical Corp | X線発生装置 |
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