JP2006286237A - 有機電界発光素子の製造方法及び有機電界発光素子 - Google Patents

有機電界発光素子の製造方法及び有機電界発光素子 Download PDF

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Abstract

【課題】ホール輸送材料が塗布されている基板にパターニング部分のインキを転写させる際、完全にそれを転移させるために、高印圧を付加させる必要がなく、このため、微細な表示パターンを形成させる場合、印刷線幅精度を維持でき、ショートや色ムラなどの発生しない有機電界発光素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】少なくとも対向する電極とその間に挟持されているホール輸送層と有機発光層を有する有機電界発光素子における有機発光層を印刷法で形成する有機電界発光素子の製造方法において、粘着剤を含むホール輸送層上に有機発光層を積層する工程を含むことを特徴とする有機電界発光素子の製造方法を提供するものである。
【選択図】 図1

Description

本発明は、少なくとも対向する電極と、その間に挟持されているホール輸送層と有機発光層を有する有機電界発光(EL)素子の製造方法及び有機電界発光素子に関する。
近年、少なくとも対向する電極と、その間に挟持されているホール輸送層と有機発光層を有する有機電界発光素子の開発が進められており、図8に、有機電界発光素子の一例を示す。
この有機電界発光素子73Aは、少なくとも対向する電極と、その間に挟持されているホール輸送層と有機発光層を有する構成となっており、さらに電子輸送層があっても良い。
有機発光層は電子輸送性を併せ持つ層であってもよい。
一例で示すと、透明のガラス基板51上に、電極としてのITO(Indium Tin Oxide)透明画素電極(陽極)52、ホール輸送層54、有機発光層75、電子輸送層55及び電極としての陰極62を、例えば、真空蒸着法等で順次成膜したものである。
そして、この有機電界発光素子73においては、陽極であるITO透明画素電極52と陰極62との間に直流電圧74を印加すると、ITO透明画素電極52から注入されたキャリアとしてのホール(正孔)がホール輸送層54を経て移動し、一方、陰極62から注入された電子が電子輸送層55を経て夫々移動し、有機発光層75において、それら電子−ホール対の再結合が生じ、そこから所定波長の発光76が生じ、これを透明ガラス基板51の側から観察できる。
また、図9に、別の例として有機電界発光素子73を示すが、この有機電界発光素子73Bでは、有機発光層55Aが電子輸送層を兼ねている。
そして、この構造は、具体的には図10に示す積層構造に構成される。即ち、電極であるITO透明画素電極(陽極)52を設けたガラス基板51上にホール輸送層54を形成し、この上に電子輸送性の有機発光層55を形成し、この上には電子の注入性を高めるカルシウム(Ca)層63をアルミニウム(Al)層60との間に設ける。
このような有機電界発光(EL)素子73の層構造として、ホール輸送層54の材料にポリ(3,4)−エチレンジオキシチオフェン(以下、PEDOTと略す。)を用い、電子輸送性の有機発光層55にポリ(2−メトキシ−5−(2’−エチルヘキシロキシ)−1,4−フェニレンビニレン)(以下、MEH−PPVと略す。)を用い、この上には電子の注入性を高めるカルシウム(Ca)層63及び電極であるアルミニウム(Al)層60からなる陰極62が設けられている。
図11には、図10の有機電界発光素子73を用いた平面ディスプレイの構成例を示す。
図示の如く、電子輸送性の有機発光層55Aとホール輸送層54とからなる高分子発光媒体層が電極である陰極62と陽極52の間に所定パターンに配される。陰極62及び陽極52は、互いに交差するストライプ状に設けられ、夫々、輝度信号回路84及びシフト
レジスタ内蔵の制御回路85により選択されて信号電圧が印加される。これにより、選択された陰極62及び陽極52が交差する位置(画素)で高分子発光媒体層が発光する。
この様な有機電界発光素子の大量生産に適した具体的な製造方法として各種の方法が提案されている。例えば、基板に高分子発光媒体層を設ける方法として凸版反転オフセット法がある。
メカニズムは、先ずダイノズルをはじめとする供給ユニットからシリコン樹脂製ブランケット(胴)の全面にインキを供給し、パターニングされたネガ型凸刷版の凸部へブランケット(胴)からインキを転写する、即ち、凸刷版に余分なネガ部分のインキを転写し、必要なポジ部分のインキをそのままブランケット(胴)に残す、次にポジ型にパターニングされたインキをブランケット(胴)から基板へ転写し、乾燥(焼成)するといったものである。
有機電界発光素子においては、高分子発光媒体層の厚さは数十nmの超薄膜である。これを凸版反転オフセット法で作製する場合、シリコン樹脂製ブランケット(胴)の表面に形成されるパターンのインキもこれと同等の厚さが必要である。
従って、上記凸版反転オフセット法は凸刷版に余分なインキを100%転写するとともに、ブランケット(胴)から基板へインキを100%転写すること。即ち、凸刷版の凸部へ転写した後もブランケット(胴)には必要なパターニング部分のインキが100%残り、それが100%基板へ転写される必要がある。
しかし、前述したオフセット印刷法において、ホール輸送材料が塗布されている基板にパターニング部分のインキを転写させる際、インキがブランケットから離れないために完全にそれを転移させるために高印圧を付加させる必要があった。このため、微細な表示パターンを形成させる場合、印刷線幅精度の悪化により、この箇所においてショートや色ムラなどの発生懸念があった。
特許文献は以下の通り。
特開2003−17248号公報
本発明は、前記事情を鑑みてなされたものであり、ホール輸送材料が塗布されている基板にパターニング部分のインキを転写させる際、完全にそれを転移させるために、高印圧を付加させる必要がなく、このため、微細な表示パターンを形成させる場合、印刷線幅精度を維持でき、ショートや色ムラなどの発生しない、高分子発光媒体層の物性や厚さを変えず、低印圧で凸刷版の凸部にインキを転写し、高い寸法精度のパターンをブランケットに形成することが可能な有機電界発光素子及びその製造方法を提供することを課題とする。
請求項1に係る本発明は、少なくとも対向する電極とその間に挟持されているホール輸送層と有機発光層を有する有機電界発光素子における有機発光層を印刷法で形成する有機電界発光素子の製造方法において、
粘着剤を含むホール輸送層上に有機発光層を積層する工程を含むことを特徴とする有機電界発光素子の製造方法である。
また、請求項2に係る本発明は、前記印刷法は凸版反転オフセット法であることを特徴とする請求項1記載の有機電界発光素子の製造方法である。
また、請求項3に係る本発明は、少なくとも対向する電極と、その間に挟持されているホール輸送層と有機発光層を有する有機電界発光素子において、該ホール輸送層は粘着剤を含有することを特徴とする有機電界発光素子である。
また、請求項4に係る本発明は、前記粘着剤は、水溶性アクリル系樹脂であることを特徴とする請求項3記載の有機電界発光素子である。
本発明は、基板に塗布するホール輸送材料に粘着剤を微量添加し、これを塗布焼成(乾燥)させることで、粘着性のホール輸送層を備える基板を作製する。表面に粘着性の層が形成されることにより、パターニング部分のインキが低印圧で完全に転移するというもので、高印圧付加によるパターン精度の悪化もない。
粘着剤が水溶性アクリル樹脂であることで、ホール輸送層を形成するホール輸送材料との相溶性に優れている。また、ホール輸送層の加熱焼成後も粘着性を保持することができる。
まず、図2及び図3に、本実施の形態による有機電界発光(EL)素子の作製プロセスを例示する。
まず、図2(1)に示すように、疎水性表面を有する透明のガラス基板1は、基板洗浄工程において、フィッシャー(Fisher)社製の洗浄剤を用いて超音波洗浄した後、超純水で数回洗浄する洗浄工程を2回行う。その後、アセトン及びイソプロピルアルコールで洗浄後、クリーンオーブンで乾燥させ、更に、紫外線−オゾン(UV−ozone)を照射した後及び/又は前に電極であるITO透明画素電極(陽極)2を真空蒸着等及びパターニングによって形成する。
このITO透明画素電極2は、例えば図7(1)に示すように画素部37を構成する例えば70×200nmの島状の独立したパターンであってよく、また図7(2)、(3)に示すように各パターン間が絶縁物14で絶縁分離されていてよい。或いは、この画素電極はストライブ状であってもよい。
次に、大気状態で条件をコントロールして、図2(2)に示すように、図5に示す分子構造のホール輸送性のPEDOTの水溶液に水溶性アクリル樹脂等の粘着剤を微量添加した水溶液4aをマイクロシリンジ3で滴下し、例えば2sec、600rpm及び58sec、3000rpmでスピンコートを行う。
ホール輸送材料には水溶液中に分散した導電性ポリマーであるポリ(3,4−エチレンジオキシチオフェン)/ポリスチレンスルフォン酸(PEDOT/PSS)PEDOT/PSS等を用いることが望ましい。
粘着剤としてはアクリル酸エステル共重合樹脂等が使用可能である。特に水溶性アクリル系樹脂を用いることが好ましい。添加量としては、ホール輸送層となる材料の3重量%〜4重量%が使用可能な範囲であり、これより少ないと全量転写が困難になり、他方、これより多いとパターン形成が不可で被転写基板側で全転写膜が粘着剤により褐色を帯びるという弊害が生じる。
なお、この場合の水溶性アクリル樹脂等が粘着剤として好ましいのは、ホール輸送層の溶媒は水系だからであり、また、焼成後も粘着性を失わない材料が好ましいからである。
次に、図2(3)に示すように、これをホットプレート上に載せて焼成処理を行い、ホール輸送(PEDOT)層4を形成する。なお、この焼成処理は、大気状態又は減圧状態の処理槽内において、焼成温度又は減圧度をコントロールしながら例えば120℃で10分間行う。
次に、大気状態で条件をコントロールして、図3(4)に示すように、図4(1)、(2)又は(3)に示す分子構造の発光性かつ電子輸送性ポリマーであるMEH−PPV、CN−PPV又はPPVからなるインク5bを、ホール輸送層4上に凸版反転オフセット法により所定パターンに転写する。
ここで、有機発光層形成材料であるPPV又はその誘導体のインク5bの転写は、図1に示す凸版反転オフセット法で行うのがよい。
即ち、図1(1)に示すように、インク剥離性処理を施した、例えばシリコン樹脂20を周面に一体に設けたロール21に対し、ワイヤバー(図示せず)等によりインク5aを所定厚(例えば100nm)に塗布した後、図1(2)に示すように、ロール21をガラス製の凸版22(ガラスマスク)上で相対的に転動させながら、その凸部先端部に接するインクを5cとしてロール21の表面から除去する。これは、シリコン樹脂20による剥離作用により容易かつ高精度に行える。凸版22の凸部は、形成すべき有機媒体発光層とは逆パターンに予め加工されている。
こうして、ロール21上に必要なインクパターン5bを残した後、図1(3)に示すように、ホール輸送層を形成した有機電界発光素子のガラス基板1上に接してロール21を相対的に転動させ、ロール21上の残ったインク5bをホール輸送層上に所定パターンに転写する。この転写は、ホール輸送層の粘着性によって容易かつ高精度に行える。こうして形成された有機媒体発光層5は、図6に示す如き単色パターンは勿論、上記凸版反転オフセット法を順次行うことによって図7に示す如きフルカラー用のパターン5R(赤色用)、5G(緑色用)、5B(青色用)をそれぞれ形成することができる。
次に、これを例えば70℃で2時間、焼成して膜形成し、その後に例えば70℃の真空オーブンで溶媒を蒸発除去し、図3(5)に示すように電子輸送性の有機発光層5を形成する。
次に、図3(6)に示すように、真空蒸着等及びパターニングによって、電子輸送性の有機発光層5上にカルシウム(Ca)層13を例えば5μm厚に形成し、このカルシウム(Ca)層13上に主電極としてのアルミニウム(Al)層10を例えば10μm厚に形成し、このアルミニウム(Al)層10上に保護及びボンディング性向上のためのAu−Ge層9を例えば10μm厚に形成し、電極である陰極を形成する。
次に、図3(7)に示すように、Au−Ge層9上から対向基板8を被せ、更に側部をエポキシ樹脂等によって封止し、有機電界発光素子15を完成する。
こうして作製された本実施の形態の有機電界発光素子15によれば、凸版反転オフセット法で形成される層よりも前に被転写体(基板)上に形成される層、すなわちホール輸送層が粘着剤を含み、粘着性を有しているため、凸版反転オフセット法により転写される層、すなわちホール輸送層の転移が完全に行われ、パターンの欠損を防ぐことができる。
以下、実施例により本発明を具体的に説明する。
まず、ガラス基板(4cm×4cm、厚み700μm)の表面を洗浄し、一方の面にITO(インジウムチタンオキサイド)をマスクを介して真空蒸着し、2mm×40mm、厚み150nmのストライプ形状の透明電極が2mm間隔で8本形成された基板を得た。
次いで、ホール輸送性材料であるPEDOTに粘着剤として水溶性アクリル樹脂のサンタック(株式会社エルフォテック社製、商品名)を、例えばホール輸送性材料100重量部に対して5重量部添加し、固形分4〜5重量%の水溶液としたものをスピンコート法により厚み50nmとなるように積層し、130℃で60分間乾燥して粘着剤を含むホール輸送層を形成した。
次に、発光性かつ電子輸送性のポリマーであるPPV(パラフェニレンピニレン)またはPF(ポリフルオレン)の0.5〜1.5重量%溶液を、先ほど形成したホール輸送層上に凸版反転オフセット法により透明電極と重なるように積層する。このとき、厚みは50〜70nmとし、90℃で30分間乾燥して電子輸送性の有機発光層を形成した。
次いで、真空蒸着法によってCaを10nm、続いて真空蒸着法によってAlを100nm形成して対向電極を形成した。
最後に、対向電極全面に接着剤を塗布し、ガラス製の封止基板で封止して有機電界発光素子を製造した。
この結果得られた有機電界発光素子の、輝度−電流効率−電圧特性を図12に示す。
本素子の特性は図に示すように、24Vにおいて最高輝度936cd/m2、9Vにおいて最大電流効率1.14cd/Aとなり、粘着剤等の凝集によるダークスポットの発生も見られなかった。これは、印刷時に全量転移したことによると思われる。
本発明に基づく有機電界発光素子の作製に用いる凸版反転オフセット法を工程順に説明するための断面図である。 図1に示す場合の例における、有機電界発光素子の作製工程を順次示す断面図である。 図2に続く、有機電界発光素子の作製工程を順次示す断面図である。 有機電界発光素子の発光材料であるMEH−PPV、CN−PPV及びPPVの分子構造図である。 PEDOTの分子構造図である。 図1に示す場合の例における、電子輸送性の有機発光層のパターン図である。 図1に示す場合の例における、画素部の平面図(1)とそのA−A線断面図(2)、(3)である。 従来例における有機電界発光素子の一例を示す概略断面図である。 従来例における有機電界発光素子の他の一例を示す概略断面図である。 従来例における有機電界発光素子のさらに他の一例を示す概略断面図である。 従来例における平面ディスプレイの構成例を示す概略図である。 実施例により得られた有機電界発光素子の、輝度−電流効率−電圧特性を示すグラフである。
符号の説明
1、8、51…ガラス基板
2…電極であるITO透明画素電極(陽極)
3…マイクロシリンジ
4、54…ホール輸送層
4a…ホール輸送層用材料水溶液
5、55…電子輸送性の有機発光層
5a…電子輸送性の有機発光層の材料用のインク
5b…パターン形成(必要)インク
5c…不要インク
7…エポキシ樹脂
10…アルミニウム(Al)層
13…カルシウム(Ca)層
14…絶縁層(隔壁)
15、73…有機電界発光素子
20…剥離性処理面(シリコーン樹脂、シリコンブランケット)
21…ロール
22…凸版(ガラスマスク)
37…画素部
52…電極(陽極)
56…電子輸送層
60…アルミニウム(Al)電極
62…電極(陰極)
63…カルシウム(Ca)層
74…直流電圧
75…有機発光層
76…発光
84…制御回路(データ側、ロー)
85…輝度信号回路(走査側、カラム)

Claims (4)

  1. 少なくとも対向する電極とその間に挟持されているホール輸送層と有機発光層を有する有機電界発光素子における有機発光層を印刷法で形成する有機電界発光素子の製造方法において、
    粘着剤を含むホール輸送層上に有機発光層を積層する工程を含むことを特徴とする有機電界発光素子の製造方法。
  2. 前記印刷法は凸版反転オフセット法であることを特徴とする請求項1記載の有機電界発光素子の製造方法。
  3. 少なくとも対向する電極と、その間に挟持されているホール輸送層と有機発光層を有する有機電界発光素子において、該ホール輸送層は粘着剤を含有することを特徴とする有機電界発光素子。
  4. 前記粘着剤は、水溶性アクリル系樹脂であることを特徴とする請求項3記載の有機電界発光素子。
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