JP2006284518A - 磁気センサ - Google Patents
磁気センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006284518A JP2006284518A JP2005108187A JP2005108187A JP2006284518A JP 2006284518 A JP2006284518 A JP 2006284518A JP 2005108187 A JP2005108187 A JP 2005108187A JP 2005108187 A JP2005108187 A JP 2005108187A JP 2006284518 A JP2006284518 A JP 2006284518A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- squid
- magnetic
- frequency
- magnetic field
- circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
- Superconductor Devices And Manufacturing Methods Thereof (AREA)
Abstract
【課題】 超伝導量子干渉素子(SQUID)磁気センサ回路において、一定周波数の印加磁場に対する測定対象の応答を検出する場合、印加磁場の周波数が極めて小さい場合でも測定システム全体の感度が劣化せず、外部磁気雑音に強く取り扱いの簡便な高感度SQUID磁気センサを提供する。
【解決手段】 SQUID磁気センサ回路を、一定周波数で振動する磁気信号検出回路5によって磁場を検出し、SQUID電圧計7に磁気結合させるように構成する。磁気信号は、振動検出回路5の振動周波数でロックイン検出することが可能となり、印加磁場周波数が超低周波領域にある場合でも、顕著な感度の劣化が生じない。
【選択図】 図1
【解決手段】 SQUID磁気センサ回路を、一定周波数で振動する磁気信号検出回路5によって磁場を検出し、SQUID電圧計7に磁気結合させるように構成する。磁気信号は、振動検出回路5の振動周波数でロックイン検出することが可能となり、印加磁場周波数が超低周波領域にある場合でも、顕著な感度の劣化が生じない。
【選択図】 図1
Description
本発明は、超伝導量子干渉素子(SQUID)を用いた高感度測定機器に関するものである。
図2は従来の超伝導量子干渉素子(Superconducting QUantum Interference Device, SQUID)を用いた磁気センサ回路を説明する模式図であり、例えば下記の非特許文献1に記載されている。1はSQUIDを表す。
超伝導量子干渉素子(SQUID)1は、超伝導体からなるリングに一つまたは二つのジョセフソン接合を含み、リングに鎖交する磁束の大きさを電圧に変換する素子である。一般にSQUIDの磁束−電圧変換係数は非線形であるので、図2が示すように、通常SQUIDをゼロ検出素子として用いたフィードバック・ループ(Flux−locked loop, FLL回路)により線形応答する磁束計を構成する。2はFLL回路を表す。FLL回路2を構成するエレクトロニクスのドリフト、温度特性などによる影響を受けないようにするため、図2のように変調磁束を印加して位相検波することが多い。
図2が示すように、通常、磁気信号を検出する回路(例えば、コイルや平面回路。以下、まとめて検出コイルという。3は検出コイルを表す)は機械的に固定されている。時間変化する低周波磁気信号を受動的に測定する場合には、このような磁気センサ回路で十分であることが多い。
ところが、図3に示すような、一定周波数の印加磁場に対する測定対象の応答を検出するような能動的測定に応用する場合、印加磁場の周波数が極めて小さく数Hz以下という超低周波領域になると、様々な原因によって、測定システム全体の感度が悪くなる。このような測定の一例は、非破壊検査に応用する場合であり、例えば下記の非特許文献2に記載されている。
超低周波領域で感度が劣化する原因のひとつとして、SQUIDそのものの低周波ノイズが挙げられ、特にジョセフソン接合の臨界電流のゆらぎや超伝導リングを構成する超伝導薄膜内の磁束量子運動による低周波ノイズが支配的である。このようなノイズは、例えば下記の非特許文献3に記載されている。
印加磁場を参照信号としてロックイン検出する場合でも、参照信号周波数が数Hz以下という超低周波領域になると、ロックイン・アンプ4を構成するエレクトロニクス自体のドリフト、温度特性などのため、ロックイン検出しても信号雑音比(SN比)が改善されなくなり、ロックイン検出法の有効性が失われてしまう。
さらに、取り扱いの簡便さ、測定システムの汎用性を高めるために、SQUID磁気センサを小型冷凍機に搭載すると、冷凍機そのものから発生する振動などによる低周波ノイズも重畳してしまい、高感度磁気センサであるSQUIDを応用する環境はますます悪くなる。
結局、磁気測定システム全体の感度がSQUID単体の高感度に比べて極めて悪いものとなり、トータルでSQUIDを使うメリットが無くなってしまうことが多い。このような問題から、これまで数多くの研究者達によって様々な試みがなされてきたにもかかわらず、実用的な高感度SQUID非破壊検査システムの成功例は未だ報告されていないのが現状である。
J. Clarke and A. I. Braginski eds., The SQUID Handbook, Vol. 1, Wiley−VCH, 2004. N. Kasai, Y. Hatsukade, and H. Takashima, IEICE Trans. Electron., Vol.E88−C, No.2, 2005. T. Kobayashi, H. Hayakawa, M. Tonouchi eds., Vortex Electronics and SQUIDs, Springer, 2003.
J. Clarke and A. I. Braginski eds., The SQUID Handbook, Vol. 1, Wiley−VCH, 2004. N. Kasai, Y. Hatsukade, and H. Takashima, IEICE Trans. Electron., Vol.E88−C, No.2, 2005. T. Kobayashi, H. Hayakawa, M. Tonouchi eds., Vortex Electronics and SQUIDs, Springer, 2003.
高感度SQUID磁気センサ回路において、非破壊検査応用のように一定周波数の印加磁場に対する測定対象の応答を検出する場合、印加磁場の周波数が極めて小さい場合でも測定システム全体の感度が劣化せず、外部磁気雑音に強く取り扱いの簡便なSQUID磁気センサを実現する。
上記課題の解決は、一定周波数で振動する磁気信号検出回路によって磁場を検出しSQUIDに磁気結合させることを特徴とするSQUID磁気センサ回路により達成される。磁気信号は、検出回路の振動周波数でロックイン検出することが可能となり、印加磁場周波数が超低周波領域にある場合でも、顕著な感度の劣化が生じない。
従来の技術において、印加磁場周波数が超低周波領域にある場合に感度劣化等の問題が生じる根本原因は検出回路が機械的に固定されているためであり、本発明はその根本原因を取り除くことで実用的な高感度SQUID磁気測定システムを実現することが可能となる。
従来の技術において、上述のような問題が生じる根本原因は、検出回路が機械的に固定されているためである。
図1は、本発明の一定周波数で振動する磁気信号検出回路をもつSQUID磁気センサ回路を説明する模式図である。検出回路は、例えば、コイルや平面回路である。以下、まとめて振動検出回路と呼ぶ。5は振動検出回路を表す。振動検出回路5は、超伝導体・常伝導体どちらでもよい。簡単のため、振動検出回路5が常伝導金属線(例えば銅線)であるとする。
振動検出回路5は、自励発振する振動子6(例えばカンチレバー)上に固定されているとする。振動子6が機械的に振動しているとき、振動検出回路5に局所的空間分布をもつ信号磁場が鎖交すると、振動検出回路5に振動周波数で変調された誘導起電力が生じる。空間的に一様な磁場が鎖交する場合は、誘導起電力は生じない。
この振動検出回路5を、図1のようにSQUID電圧計7の入力回路に接続すると、入力コイルに生じる電流は振動検出回路5に生じた誘導起電力に比例し、入力コイルと磁気結合されたSQUID1は、誘導起電力に比例した磁束を検出する。7はSQUID電圧計を表す。SQUID電圧計7の出力は、通常のFLL回路2で検出される。
空間的に一様な磁場に対し感度を有しないという特徴は、振動検出回路5が環境磁気ノイズに対する耐性が強いことを意味する。
振動検出回路5を含む入力回路全体が超伝導体の場合は、検出回路が振動していない場合でも空間的に一様な磁場に対し感度を有するが、SQUID1の磁束−電圧変換係数が磁束に対し周期的であるため、検出磁場の絶対値は不明である。この場合、空間的に一様な環境磁場の影響を抑制するには、振動検出回路5を差動回路(グラジオメータ)とすればよい。
超伝導体・常伝導体いずれの場合でも、一定周波数の印加磁場に対する測定対象の応答を検出する場合には、以下の実施例から明らかなように、振動検出回路5を印加磁場の周波数よりも大きい一定周波数で振動させた場合にその有効性が発揮される。
図4は本発明の一定周波数で振動する磁気信号検出回路をもつSQUID磁気センサ回路の一実施例を説明する模式図である。
振動子6の振動周波数を、FLL回路2の磁場ノイズ特性が平坦(ホワイト・ノイズ特性)である領域(通常、数kHzから数十kHz)にあるように選ぶ。FLL回路2の磁束変調周波数は、振動子6の発振周波数よりも高く(この例では数十から数百kHz)設定する。測定対象の応答を調べるために印加する磁場の周波数は、FLL回路2の周波数帯域内(通常、数Hzから数kHz)の任意の値を取ることが出来るが、本発明では、数Hz程度以下であってもよい。
図5は、これらの周波数とFLL回路2で駆動されたSQUID電圧計7の典型的な磁場ノイズ・パワー・スペクトル密度との関係を説明する図である。図5から明らかなように、振動子6の発振周波数でロックイン検出することで、高感度を維持できるという利点をもつことが分かる。
以上詳細に説明したように本発明によれば、非破壊検査応用のように一定周波数の印加磁場に対する測定対象の応答を検出する場合、印加磁場の周波数が極めて小さい場合でも測定システム全体の感度が劣化せず、外部磁気雑音に強く取り扱いの簡便なSQUID磁気センサを実現することが可能となる。
従来の技術において、印加磁場周波数が超低周波領域にある場合に感度劣化等の問題が生じる根本原因は検出回路が機械的に固定されているためであり、本発明はその根本原因を取り除くことで実用的なSQUID磁気測定システムの開発を促進するものである。
1 SQUID
2 FLL回路
3 検出コイル
4 ロックイン・アンプ
5 振動検出回路
6 振動子
7 SQUID電圧計
2 FLL回路
3 検出コイル
4 ロックイン・アンプ
5 振動検出回路
6 振動子
7 SQUID電圧計
Claims (3)
- 超伝導量子干渉素子(Superconducting QUantum Interference Device, SQUID)を用いた磁気センサにおいて、磁気信号入力回路に一定周波数で振動する検出回路を含むことを特徴とする磁気センサ。
- 自励発振する振動子上に磁気信号検出回路を備える請求項1記載の磁気センサ。
- 請求項1記載の磁気センサを備える測定機器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005108187A JP2006284518A (ja) | 2005-04-05 | 2005-04-05 | 磁気センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005108187A JP2006284518A (ja) | 2005-04-05 | 2005-04-05 | 磁気センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006284518A true JP2006284518A (ja) | 2006-10-19 |
Family
ID=37406584
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005108187A Pending JP2006284518A (ja) | 2005-04-05 | 2005-04-05 | 磁気センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006284518A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008304411A (ja) * | 2007-06-11 | 2008-12-18 | National Institute For Materials Science | Squid顕微鏡 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01123118A (ja) * | 1987-11-09 | 1989-05-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 音響センサ |
JPH03269379A (ja) * | 1990-03-20 | 1991-11-29 | Yokogawa Electric Corp | スクイッド磁束計 |
JPH04143681A (ja) * | 1990-10-05 | 1992-05-18 | Shimadzu Corp | 自励発振型デジタルsquid磁束計 |
JPH10260147A (ja) * | 1997-01-17 | 1998-09-29 | Ricoh Co Ltd | 熱分析装置およびその計測方法 |
JP2001505653A (ja) * | 1996-08-12 | 2001-04-24 | ザ マンチェスター メトロポリタン ユニバーシティ | トルク磁気測定の方法および装置 |
-
2005
- 2005-04-05 JP JP2005108187A patent/JP2006284518A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01123118A (ja) * | 1987-11-09 | 1989-05-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 音響センサ |
JPH03269379A (ja) * | 1990-03-20 | 1991-11-29 | Yokogawa Electric Corp | スクイッド磁束計 |
JPH04143681A (ja) * | 1990-10-05 | 1992-05-18 | Shimadzu Corp | 自励発振型デジタルsquid磁束計 |
JP2001505653A (ja) * | 1996-08-12 | 2001-04-24 | ザ マンチェスター メトロポリタン ユニバーシティ | トルク磁気測定の方法および装置 |
JPH10260147A (ja) * | 1997-01-17 | 1998-09-29 | Ricoh Co Ltd | 熱分析装置およびその計測方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008304411A (ja) * | 2007-06-11 | 2008-12-18 | National Institute For Materials Science | Squid顕微鏡 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Zhang et al. | Portable intrinsic gradiometer for ultra-sensitive detection of magnetic gradient in unshielded environment | |
PL183725B1 (pl) | Urządzenie do określania zawartości analitu w próbce, zwłaszcza biologicznej, za pomocą pola magnetycznego | |
US7394246B2 (en) | Superconductive quantum interference device (SQUID) system for measuring magnetic susceptibility of materials | |
Tobar et al. | Broadband electrical action sensing techniques with conducting wires for low-mass dark matter axion detection | |
US4866373A (en) | Superconducting current detecting circuit employing DC flux parametron circuit | |
Stolz et al. | Long baseline LTS SQUID gradiometers with sub-μm sized Josephson junctions | |
JP2662903B2 (ja) | 高感度磁場検出装置 | |
JP2002148322A (ja) | 超伝導量子干渉素子を用いた信号検出器およびその測定方法 | |
Romans et al. | Noise performance of niobium nano-SQUIDs in applied magnetic fields | |
US7830142B2 (en) | Tuning fork magnetometer | |
JP2006284518A (ja) | 磁気センサ | |
Granata et al. | Vertical nano superconducting quantum interference device based on Josepshon tunnel nanojunctions for small spin cluster detection | |
JP2005188947A (ja) | 磁気検出装置 | |
Qasimi et al. | Improvement of the/spl mu/-Hall magnetic sensor sensitivity at low frequency | |
JP2006184116A (ja) | 磁気検出装置 | |
JP2008076082A (ja) | 検出素子および検出方法 | |
Asfaw et al. | SKIFFS: Superconducting Kinetic Inductance Field-Frequency Sensors for sensitive magnetometry in moderate background magnetic fields | |
Kubota et al. | Miniature Hall sensor integrated on a magnetic thin film for detecting domain wall motion | |
JPH0353154A (ja) | 超電導体判定方法及び装置 | |
Janů et al. | Continuous reading SQUID magnetometer and its applications | |
Enpuku et al. | Low-noise magnetometer based on inductance modulation in high-critical-temperature superconductor coil | |
JPH07311250A (ja) | Squid磁束計 | |
ITOZAKI et al. | Detection of Fine lron Particles in High Speed Scrolled Wire by High-T c SQUID | |
GB2215847A (en) | Magnetometers using superconductors | |
JPH0943328A (ja) | 超電導磁気検出装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080402 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100126 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100601 |