JP2006278223A - プラズマ活性粒子の密度計測方法及び密度計測装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ガス流体が通流する中空管の軸方向の設定位置に電磁波を照射して中空管内にプラズマを生じさせ、そのプラズマにより生成されるガス流体の活性粒子を容器内に導入し、その容器内を透過するレーザ光の減衰量を計測し、その減衰量に基づいてプラズマ活性粒子の密度を算出するプラズマ解離粒子の密度計測方法であって、設定位置を中空管の軸方向に沿って移動させることにより、中空管内の活性粒子の密度分布を計測することができる。
【選択図】 図1
Description
3 レーザ測定器
5 ガス供給ユニット
7 中空管
9 X軸ステージ
11 共振キャビティ
13 マイクロ波電源
15 観測窓
17 光源
19 光検出器
21 同軸ケーブル
27 ベース
31 プラズマ
Claims (2)
- ガス流体が通流する中空管の軸方向の設定位置に電磁波を照射して該中空管内にプラズマを生じさせ、該プラズマにより生成される前記ガス流体の活性粒子を容器内に導入し、該容器内を透過する光の減衰量を計測し、該減衰量に基づいて前記活性粒子の密度を算出するプラズマ活性粒子の密度計測方法であって、前記設定位置を前記中空管の軸方向に沿って移動させることを特徴とするプラズマ活性粒子の密度計測方法。
- ガス流体が供給される容器と、前記ガス流体の供給源に一端が接続されて他端が前記容器内に延在する中空管と、該中空管の管壁を介して前記中空管内に電磁波を照射する電磁波照射器と、前記容器内に照射された光を受光して減衰量を計測する計測器と、前記減衰量に基づいてプラズマの活性粒子の密度を算出する密度算出手段と、前記電磁波照射器を前記中空管の軸方向に沿って移動させる移動手段とを備えてなるプラズマ活性粒子の密度計測装置。
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JPH09115887A (ja) * | 1995-10-14 | 1997-05-02 | Speedfam Co Ltd | プラズマエッチング方法及びその装置 |
JPH09185999A (ja) * | 1996-08-05 | 1997-07-15 | Univ Nagoya | ラジカルの制御方法 |
JP2001200369A (ja) * | 2000-01-21 | 2001-07-24 | Kobe Steel Ltd | プラズマcvd装置 |
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