JP2006271110A - 超音波モータの制御方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 フィードフォワード制御およびフィードバック制御を併用して超音波モータ10を制御する。フィードフォワード制御では、超音波モータ10を駆動することによって移動する移動体15の移動範囲における超音波モータ10の駆動力の変動を予めデータ化し、実際の超音波モータ10の駆動時には、移動体15の位置情報にしたがって、例えば、速度フィードフォワードゲインを決定するための係数Kvfを、このデータに基づいて変化させる。
【選択図】 図2
Description
前記フィードフォワード制御では、超音波モータを駆動することによって移動する移動体の移動範囲における超音波モータの駆動力の変動を予めデータ化し、実際の超音波モータの駆動時には、移動体の位置情報にしたがって、フィードフォワード値をこのデータに基づいて変化させることを特徴とする超音波モータの制御方法、が提供される。
11a・11b;超音波振動子
12;保持部材
13;ヘッド
13a;当接部
13b・13b′;連結部
13c・13c′;ネック部
14;押圧機構
15;移動体
21・21′;ボルト
22・22′;袋ナット
23a・23b・23a′・23b′;圧電板
24a〜24c;24a′〜24c′;電極板
Claims (5)
- フィードフォワード制御およびフィードバック制御を併用する超音波モータの制御方法において、
前記フィードフォワード制御では、超音波モータを駆動することによって移動する移動体の移動範囲における超音波モータの駆動力の変動を予めデータ化し、実際の超音波モータの駆動時には、移動体の位置情報にしたがって、フィードフォワード値をこのデータに基づいて変化させることを特徴とする超音波モータの制御方法。 - 前記フィードフォワード値として用いられるデータは、テーブルデータとして記憶されていることを特徴とする請求項1に記載の超音波モータの制御方法。
- 前記フィードフォワード値として用いられるデータは、位置の関数として記憶されていることを特徴とする請求項1に記載の超音波モータの制御方法。
- 前記フィードフォワード値として用いられるデータを、移動体の位置情報とその位置における超音波モータの駆動出力に基づいて、逐次、更新することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の超音波モータの制御方法。
- 前記フィードフォワード値が速度フィードフォワード値であることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の超音波モータの制御方法。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008220023A (ja) * | 2007-03-02 | 2008-09-18 | Taiheiyo Cement Corp | 位置決め制御装置および位置決め制御方法 |
JP2008220022A (ja) * | 2007-03-02 | 2008-09-18 | Taiheiyo Cement Corp | 位置決め制御装置および位置決め制御方法 |
CN106685259A (zh) * | 2015-07-14 | 2017-05-17 | 佳能株式会社 | 振动型致动器的控制装置及控制方法、驱动装置、图像拾取装置和自动镜台 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04135215A (ja) * | 1990-09-27 | 1992-05-08 | Toyoda Mach Works Ltd | ディジタルサーボ制御装置 |
JPH08287535A (ja) * | 1995-04-10 | 1996-11-01 | Canon Inc | 記録再生装置 |
JPH0947043A (ja) * | 1995-07-25 | 1997-02-14 | Olympus Optical Co Ltd | ヒステリシスを有するアクチュエータの制御装置 |
JPH11258650A (ja) * | 1998-03-10 | 1999-09-24 | Minolta Co Ltd | 振れ補正装置 |
JP2000087907A (ja) * | 1998-09-11 | 2000-03-28 | Sumitomo Light Metal Ind Ltd | 押出機における速度制御方法および速度制御装置 |
JP2001149865A (ja) * | 1999-11-29 | 2001-06-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波振動発生装置及び方法、並びにバンプ接合装置 |
JP2003033057A (ja) * | 2001-07-12 | 2003-01-31 | Canon Inc | 振動型アクチュエータの位置検知装置 |
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04135215A (ja) * | 1990-09-27 | 1992-05-08 | Toyoda Mach Works Ltd | ディジタルサーボ制御装置 |
JPH08287535A (ja) * | 1995-04-10 | 1996-11-01 | Canon Inc | 記録再生装置 |
JPH0947043A (ja) * | 1995-07-25 | 1997-02-14 | Olympus Optical Co Ltd | ヒステリシスを有するアクチュエータの制御装置 |
JPH11258650A (ja) * | 1998-03-10 | 1999-09-24 | Minolta Co Ltd | 振れ補正装置 |
JP2000087907A (ja) * | 1998-09-11 | 2000-03-28 | Sumitomo Light Metal Ind Ltd | 押出機における速度制御方法および速度制御装置 |
JP2001149865A (ja) * | 1999-11-29 | 2001-06-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波振動発生装置及び方法、並びにバンプ接合装置 |
JP2003033057A (ja) * | 2001-07-12 | 2003-01-31 | Canon Inc | 振動型アクチュエータの位置検知装置 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008220023A (ja) * | 2007-03-02 | 2008-09-18 | Taiheiyo Cement Corp | 位置決め制御装置および位置決め制御方法 |
JP2008220022A (ja) * | 2007-03-02 | 2008-09-18 | Taiheiyo Cement Corp | 位置決め制御装置および位置決め制御方法 |
CN106685259A (zh) * | 2015-07-14 | 2017-05-17 | 佳能株式会社 | 振动型致动器的控制装置及控制方法、驱动装置、图像拾取装置和自动镜台 |
US10775583B2 (en) | 2015-07-14 | 2020-09-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Control apparatus for vibration-type actuator, method of controlling vibration-type actuator, driving apparatus, image pickup apparatus, and automatic stage |
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