JP2006271034A5 - - Google Patents

Claims (6)

1. 電気機械変換素子の励振により、弾性体に振動を発生する振動子と、
   前記振動子に加圧接触され、前記振動により、その振動子との間で相対運動を行う相対運動部材とを備える振動波モータにおいて、
   前記振動子と前記相対運動部材との摩擦接触面を含む部分の少なくとも一方は、遷移金属及び自己潤滑性物質により形成された複合皮膜層であり、他方は、多孔質酸化皮膜層であり、
   前記複合皮膜層及び前記多孔質酸化皮膜層は、ともにビッカース硬度が２５０以上であり、かつ、そのビッカース硬度の差が１００以下であること、
   を特徴とする振動波モータ。
2. 請求項１に記載の振動波モータにおいて、
   前記複合皮膜層は、無電解ニッケルーリン及びフッ素樹脂により形成された複合メッキ層であること、
   を特徴とする振動波モータ。
3. 請求項１又は請求項２に記載の振動波モータにおいて、
   前記多孔質酸化皮膜層は、アルミニウム又はアルミニウム合金表面に陽極酸化処理を施してその表面に酸化皮膜を形成した層であること、
   を特徴とする振動波モータ。
4. 請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の振動波モータにおいて、
   前記多孔質酸化皮膜層の膜厚は、８０μｍ以下であること、
   を特徴とする振動波モータ。
5. 請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の振動波モータにおいて、
   前記複合皮膜層の膜厚は、４０μｍ以下であること、
   を特徴とする振動波モータ。
6. 請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の振動波モータにおいて、
   前記複合皮膜層は前記振動子に形成されており、前記多孔質酸化皮膜層は前記相対運動部材に形成されていること、
   を特徴とする振動波モータ。