JP2006269762A - 露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】冷却系110が露光装置本体10A内のモータ(11,86,87,81,80、TM)に水を供給する循環幹路28と露光装置本体のモータとは異なる部分に純水の一部を供給する分岐路28c、28dとを備えていることから、モータをイオンが除去された水で温調することができるとともに、投影ユニットPUを含むファイン系や、液浸に用いられる水等のモータとは異なる部分の温調をイオンが除去された水で温調することが可能となる。
【選択図】図4
Description
Claims (12)
- 基板を露光する露光装置本体と;
前記露光装置本体内の駆動装置に水を供給する第1供給路と;
前記水からイオンを除去するイオン除去装置と;
前記露光装置本体の前記駆動装置とは異なる部分に前記水の一部を供給する第2供給路と;を備えることを特徴とする露光装置。 - 前記水を温調する第1温調装置を備えることを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記第2供給路に供給される前記水は、前記駆動装置を通過した水であることを特徴とする請求項1又は2に記載の露光装置。
- 前記第1供給路に供給される前記水の流量と、前記第2供給路に供給される前記水の流量との比率を設定する設定装置を備えることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記設定装置は、前記第1供給路内の水の比抵抗値とイオン濃度との少なくとも一方に基づいて前記比率を変更することを特徴とする請求項4に記載の露光装置。
- 前記第1供給路は循環式の供給路であり、
前記第1供給路を循環する前記水よりも比抵抗値の高い水を前記第1供給路に供給する第3供給路を備えることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記第3供給路は、前記第1供給路を循環する前記水の流量の1〜10%程度の流量の水を前記第1供給路に供給することを特徴とする請求項6に記載の露光装置。
- 前記露光装置本体は、パターンを前記基板に投影する投影光学系を有し、
前記第2供給路からの水が前記投影光学系に供給されることを特徴とする請求項1〜7のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記露光装置本体は、パターンを前記基板に投影する投影光学系と、該投影光学系と前記基板との間に液体を供給する液体供給装置と、を有し、
前記第2供給路からの水を用いて前記液体を温度調整する第2温調装置を更に備えることを特徴とする請求項1〜7のいずれか一項に記載の露光装置。 - 基板を露光する露光装置本体と;
前記露光装置本体内の駆動装置に水を供給する第1供給路と;
前記水からイオンを除去するイオン除去装置と;を備え、
前記露光装置本体と前記イオン除去装置とが、同一床面上で近接して配置されていることを特徴とする露光装置。 - 基板を露光する露光装置本体と;
前記露光装置本体内の駆動装置に水を供給する第1供給路と;
前記水からイオンを除去するイオン交換樹脂を有するイオン除去装置と;
前記イオン除去装置を通過する水の比抵抗値及びイオン濃度の少なくとも一方を検出する検出器と;
該検出器の検出結果に基づいて、前記イオン交換樹脂の寿命を予測する予測装置と;を備えることを特徴とする露光装置。 - 前記予測装置の予測結果を表示する表示装置を備えることを特徴とする請求項11に記載の露光装置。
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