JP2006267205A - 同期処理方法および装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 感光材料を移動させるとともにその位置を検出し、その検出された位置情報に基づいて、所定のタイミングで感光材料に露光処理を施す露光方法において、感光材料の位置に応じた適切な露光処理を行う。
【解決手段】 感光材料１２を移動機構１２０により移動させるとともに、その移動させられた感光材料１２の位置情報をリニアエンコーダ１２３により検出し、リニアエンコーダ１２３から出力された位置情報としてのパルス信号列に基づいて、感光材料１２の位置を絶対値で表わしたシリアル信号（絶対位置情報）を生成し、各露光制御部１０１〜１１０において、上記シリアル信号に基づいて各露光ヘッド３０への制御信号の出力のタイミングを決定する。
【選択図】 図７

Description

本発明は、処理対象を移動させるとともに、その移動に応じて所定のタイミングで上記処理対象に所定の処理を施す同期処理方法および装置に関するものである。

従来、画像データが表す所望の２次元パターンを描画面上に描画する描画装置が種々知られている。

上記のような描画装置として、たとえば、デジタル・マイクロミラー・デバイス（以下ＤＭＤという）等の空間光変調素子により画像データに応じて光ビームを変調して露光を行う露光装置が種々提案されている。ＤＭＤは、シリコン等の半導体基板上のメモリセル（ＳＲＡＭアレイ）に、微小なマイクロミラーがＬ行×Ｍ列の２次元状に多数配列されて構成されたものであり、メモリセルに蓄えた電荷による静電気力を制御することで、マイクロミラーを傾斜させて反射面の角度を変化させることができるものである。そして、このＤＭＤを露光面に沿った一定の方向に走査することで露光が行われる。

また、上記のような露光装置として、ＤＭＤが設けられた露光ヘッドを複数備え、その複数の露光ヘッドが主走査方向に一列に配置された露光ヘッド列が、走査方向に直交する副方向に複数配列されて構成された露光装置も提案されている（たとえば特許文献１参照）。上記のようにラインヘッドを構成して露光を行うことにより露光時間を短縮することができる。

ここで、上記のような露光装置においては、たとえば、感光材料を所定の方向に移動させるとともに、露光ヘッドに順次ＤＭＤの制御信号が入力されて所望の画像の露光が行われるが、このとき、露光ヘッドには、その露光ヘッドの感光材料に対する位置に対応した制御信号が順次入力される必要がある。

そこで、たとえば、感光材料の位置情報をリニアエンコーダなどによって検出し、その検出された位置情報を用いて決定されたタイミングで制御部から露光ヘッドへ制御信号を出力するようにしていた（たとえば特許文献２参照）。より具体的には、リニアエンコーダから出力されたパルス信号の数を制御部においてカウントし、所定のカウント数毎に制御信号を露光ヘッドへ出力するようにしていた。
特開２００４−２３３７１８号公報 特開２００４−１６３８１４号公報

しかしながら、リニアエンコーダから制御部へ入力されるパルス信号列にノイズなどが入ってしまうおそれがあり、その場合、上記のようにして露光ヘッドへ制御信号を出力するようにしたのでは、たとえば、そのノイズもパルス信号としてカウントされてしまい、制御部におけるカウント数と実際の感光材料の位置とにずれが生じ、感光材料に適切な画像を露光することができなくなってしまうおそれがある。また、制御信号は上記のように所定のカウント数毎に制御部から露光ヘッドに出力されるので、上記のように一度ノイズなどによってカウント数がずれてしまうと、その後の制御信号の出力のタイミングもずっとずれたままとなってしまい、正しいカウント数に復帰することができない。

本発明は、上記事情に鑑み、上記露光装置のように、処理対象を移動させるとともに、その移動させられた処理対象の位置を検出し、その検出された位置情報に基づいて、所定のタイミングで処理対象に所定の処理を施す同期処理方法および装置において、上記のようなノイズなどの混入の影響を受けることなく、処理対象の位置に応じた適切な処理を処理対象に施すことができる同期処理方法および装置を提供することを目的とするものである。

本発明の同期処理方法は、処理対象を相対移動させるとともに、その相対移動させられた処理対象の相対位置を検出し、その検出された位置情報に基づいて、所定のタイミングで処理対象に所定の処理を施す同期処理方法において、上記位置情報に基づいて処理対象の相対位置を絶対値で表わした絶対位置情報を生成し、その絶対位置情報に基づいて上記所定のタイミングを取得することを特徴とする。

また、上記同期処理方法において、複数の処理部を用いて処理対象に所定の処理を施すとともに、絶対位置情報に基づいて複数の処理部にそれぞれ対応した上記所定のタイミングを取得するようにすることができる。

また、位置情報として処理対象の移動距離に応じた数のパルス信号からなるパルス信号列を検出し、その検出されたパルス信号列のパルス信号の数をカウントし、そのカウント数に基づいて絶対位置情報を生成し、処理対象に所定の処理を施す処理手段において、上記検出されたパルス信号列のパルス信号の数をカウントし、そのカウント数に基づいて所定のタイミングを取得し、その所定のタイミングで処理対象に所定の処理を施す際、絶対位置情報を用いてパルス信号のカウント数を更新した後、その更新後のカウント数に基づいて上記所定のタイミングを取得するようにすることができる。

また、処理対象を描画面とし、所定の処理を描画処理とすることができる。

また、絶対位置情報として上記絶対値を表わすシリアル信号を用いることができる。

本発明の同期処理装置は、処理対象を相対移動させる移動手段と、移動手段により相対移動させられた処理対象の相対位置を検出する位置検出手段と、位置検出手段により検出された位置情報に基づいて、所定のタイミングで処理対象に所定の処理を施す処理手段とを備えた同期処理装置において、位置情報に基づいて、処理対象の相対位置を絶対値で表わした絶対位置情報を生成する絶対位置情報生成手段をさらに備え、処理手段が、絶対位置情報生成手段により生成された絶対位置情報に基づいて上記所定のタイミングを取得するものであることを特徴とする。

また、上記同期処置装置において、処理手段を、処理対象に所定の処理を施す複数の処理部を備えたものとし、その複数の処理部にそれぞれ対応した上記所定のタイミングを取得するものとすることができる。

また、位置検出手段を、処理対象の移動距離に応じた数のパルス信号からなるパルス信号列を出力するものとし、絶対位置情報生成手段を、位置検出手段から出力されたパルス信号列のパルス信号の数をカウントし、そのカウント数に基づいて絶対位置情報を生成するものとし、処理手段を、位置検出手段から出力されたパルス信号列のパルス信号の数をカウントし、該カウント数に基づいて前記所定のタイミングを取得するものとするとともに、絶対位置情報生成手段において生成された絶対位置情報を用いてパルス信号のカウント数を更新した後、その更新後のカウント数に基づいて所定のタイミングを取得するものとすることができる。

また、処理対象を描画面とし、処理手段を所定の処理として描画処理を行うものとすることができる。

また、絶対位置情報として上記絶対値を表わすシリアル信号を用いることができる。

本発明の同期処理方法および装置によれば、処理対象を相対移動させるとともに、その相対移動させられた処理対象の相対位置を検出し、その検出された位置情報に基づいて処理対象の相対位置を絶対値で表わした絶対位置情報を生成し、その絶対位置情報に基づいて上記所定のタイミングを取得するようにしたので、従来のように位置情報としてのパルス信号をカウントして上記所定のタイミングを取得する場合と比較すると、ノイズなどによるパルス信号のカウント数のずれを生じることなく、常に処理対象の正確な位置を取得することができ、処理対象に対してその位置に応じた適切な処理を施すことができる。

また、たとえば、複数の処理部を用いて処理対象に所定の処理を施すようにした場合には、処理部間でのノイズの飛び込みが発生し、上記のようなパルス信号のカウント数のずれがより生じやすくなるが、本発明の同期処理方法および装置のように、絶対位置情報に基づいて複数の処理部にそれぞれ対応した上記所定のタイミングを取得するようにした場合には、ノイズなどによるパルス信号のカウント数のずれを生じることがないので、上記のような効果をより顕著に得ることができる。

以下、図面を参照して本発明の同期処理方法および装置の一実施形態を用いた露光装置について詳細に説明する。本露光装置は、後述するように感光材料を搬送する移動ステージの移動と露光ヘッドによる感光材料への露光タイミングとの同期の取り方に特徴を有するものであるが、まずは、本露光装置の概略構成について説明する。図１は、本露光装置の概略構成を示す斜視図である。

本露光装置１は、図１に示すように、感光材料１２を表面に吸着して保持する平板状の移動ステージ１４を備えている。そして、４本の脚部１６に支持された厚い板状の設置台１８の上面には、ステージ移動方向に沿って延びた２本のガイド２０が設置されている。移動ステージ１４は、その長手方向がステージ移動方向を向くように配置されると共に、ガイド２０によって往復移動可能に支持されている。

設置台１８の中央部には、移動ステージ１４の移動経路を跨ぐようにコの字状のゲート２２が設けられている。コの字状のゲート２２の端部の各々は、設置台１８の両側面に固定されている。このゲート２２を挟んで一方の側にはスキャナ２４が設けられ、他方の側には感光材料１２の先端および後端を検知する複数（たとえば２個）のセンサ２６が設けられている。スキャナ２４およびセンサ２６はゲート２２に各々取り付けられて、移動ステージ１４の移動経路の上方に固定配置されている。なお、スキャナ２４およびセンサ２６は、これらを制御する、後述する全体制御部に接続されている。

スキャナ２４は、図２および図３（Ｂ）に示すように、２行５列の略マトリックス状に配列された１０個の露光ヘッド３０を備えている。なお、以下において、ｍ行目のｎ列目に配列された個々の露光ヘッドを示す場合は、露光ヘッド３０_ｍｎと表記する。

各露光ヘッド３０は、空間光変調素子であるＤＭＤ３６を備えている。ＤＭＤ３６は、描画素子としてのマイクロミラーが一列に配置されたマイクロミラー列が、複数平行に配列されたものであり、そのマイクロミラー列の配列方向が走査方向と所定の傾斜角度θをなすように露光ヘッド３０に取り付けられている。したがって、各露光ヘッド３０による露光エリア３２は、図２および図３（Ｂ）に示すように、走査方向に対して傾斜した矩形状のエリアとなる。なお、以下において、ｍ行目のｎ列目に配列された個々の露光ヘッドによる露光エリアを示す場合は、露光エリア３２_ｍｎと表記する。

各露光ヘッド３０におけるＤＭＤ３６の光入射側には、図４に示すように、光ファイバの出射端部（発光点）が露光エリア３２の長辺方向と対応する方向に沿って一列に配列されたレーザ出射部６２を備えたファイバアレイ光源６０、ファイバアレイ光源６０から出射されたレーザ光を補正してＤＭＤ３６上に集光させるレンズ系５０、このレンズ系５０を透過したレーザ光をＤＭＤ３６に向けて反射するミラー５２がこの順に配置されている。上記レンズ系５０は、ファイバアレイ光源６０から出射した照明光としてのレーザ光を集光するとともに、平行光に近くかつビーム断面内強度が均一化された光束としてＤＭＤ３６に入射させるものである。

また、各露光ヘッド３０におけるＤＭＤ３６の光反射側には、図４に示すように、ＤＭＤ３６で反射されたレーザ光を、感光材料１２上に結像する結像光学系５４が配置されている。この結像光学系５４は、ＤＭＤ３６の各マイクロミラーにおいて反射された反射光をそれぞれ感光材料１２に結像させるものである。

そして、図３（Ａ）に示すように、感光材料１２には、ステージ１４の移動にともなって露光ヘッド３０毎の帯状の露光済み領域３４が形成されるが、その帯状の露光済み領域３４のそれぞれが、隣接する露光済み領域３４と部分的に重なるように、ライン状に配列された各行の露光ヘッド３０の各々は、その配列方向に所定間隔ずらして配置されている。このため、１行目の露光エリア３２_１１と露光エリア３２_１２との間の露光できない部分は、２行目の露光エリア３２_２１により露光することができる。

ＤＭＤ３６は、図５に示すように、ＳＲＡＭアレイ（メモリセル）５６上に、マイクロミラー５８が支柱により支持されて配置されたものであり、多数の（例えば、ピッチ１３．６８μｍ、１０２４個×７６８個）のマイクロミラー５８が、直交する方向に２次元状に配列されて構成されたミラーデバイスである。そして、上述したようにマイクロミラー５８の直下には、ヒンジ及びヨークを含む支柱を介して通常の半導体メモリの製造ラインで製造されるシリコンゲートのＣＭＯＳのＳＲＡＭアレイ５６が配置されている。

ＤＭＤ３６のＳＲＡＭアレイ５６に制御信号としてのデジタル信号が書き込まれると、そのデジタル信号に応じた制御電圧が、マイクロミラー５８毎に設けられた電極部（図示せず）に印加され、その制御電圧の印加により発生した静電気力によって支柱に支えられたマイクロミラー５８が、対角線を中心として±α度（例えば±１０度）の範囲で傾けられる。図６（Ａ）は、マイクロミラー５８がオン状態である＋α度に傾いた状態を示し、図６（Ｂ）は、マイクロミラー５８がオフ状態である−α度に傾いた状態を示す。そして、マイクロミラー５８がオン状態のときにマイクロミラー５８に入射された光Ｂは、感光材料１２に向けて反射され、マイクロミラー５８がオフ状態のときにマイクロミラー５８に入射された光Ｂは、感光材料１２以外の光吸収材料に向けて反射される。そして、１つのマイクロミラー５８により反射された光Ｂが感光材料１２に照射されることによって、露光対象である画像を構成する１つの画素が感光材料１２上に露光される。

次に、本露光装置における電気的構成について説明する。

まず、露光装置１は、図７に示すように、全体制御部１００を備えており、この全体制御部１００には、各露光ヘッド３０を制御する、各露光ヘッド３０毎に設けられた複数の露光制御部１０１〜１１０が接続されている。各露光制御部には、露光すべき画像に基づいて生成された、各露光ヘッド３０の各ＤＭＤ３６を駆動制御する制御信号が入力される。そして、各露光制御部は、全体制御部１００から出力される後述する絶対位置情報に基づいて、上記制御信号を各露光ヘッド３０に出力するタイミングを示す同期信号を生成し、その同期信号の示すタイミングで上記制御信号を各露光ヘッド３０に出力するものである。なお、上記制御信号に応じてＤＭＤ３６の各マイクロミラー５８の反射面の角度が制御されるが、ここでいう各露光ヘッド３０に上記制御信号を出力するタイミングとは、各露光ヘッド３０により感光材料１２に露光されるタイミングと同じ意義のものであるとする。

また、本露光装置１は、移動ステージ１４を移動させる移動機構１２０と、移動機構１２０を駆動するサーボモータ１２１およびサーボアンプ１２２と、移動機構１２０により移動させられた移動ステージ１４の位置情報を検出するリニアエンコーダ１２３とを備えている。

移動機構１２０は、サーボモータ１２１の回転により駆動されて移動ステージ１４を移動させるものであるが、その構成については如何なる既知の構成を用いてもよい。たとえば、無端ベルトなどを用いて構成するようにすればよい。

サーボアンプ１２２は、全体制御部１００に接続されており、全体制御部１００からの制御信号に基づいて電圧を増幅し、その電圧をサーボモータ１２１に供給するものである。

リニアエンコーダ１２３は、移動ステージ１４の位置情報を検出し、その検出した位置情報をサーボアンプ１２２を介して全体制御部１００に出力するものである。本露光装置におけるリニアエンコーダ１２３は、いわゆる２相（Ａ相、Ｂ相）のパルス信号列を出力するものである。２相のパルス信号列は互いに位相が９０°ずれたものである。そして、さらにパルス信号列のパルス信号の数のカウントの基準となる、いわゆるＺ相のパルス信号も出力するものである。

全体制御部１００は、リニアエンコーダ１２３から出力される位置情報に基づいて移動ステージ１４の移動速度を制御するものであり、入力された位置情報に基づいてサーボアンプ１２２に制御信号を出力し、上記位置情報に応じた電圧をサーボアンプ１２２から出力させるものである。具体的には、全体制御部１００は、リニアエンコーダ１２３から出力される２相のパルス信号列の位相差の変化に基づいて上記制御信号を生成し、移動ステージ１４が一定の速度で移動するように制御するものである。

そして、全体制御部１００は、さらに、リニアエンコーダ１２３から出力されたパルス信号列に基づいて、移動ステージ１４の位置を絶対値により表わした絶対位置情報を生成し、その生成された絶対位置情報を各露光制御部１０１〜１１０に出力する絶対位置情報生成手段１００ａを備えている。

また、全体制御部１００には、ファイバアレイ光源６０を駆動するＬＤ駆動回路１１１１が接続されている。

なお、本露光装置においては、全体制御部１００と露光制御部１０１〜１１０とは別々の基板に設けられており、さらに各露光制御部も別々の基板に設けられている。

また、本露光装置における露光制御部および露光ヘッドが請求項における処理手段に該当する。

次に、本露光装置１の作用について詳細に説明する。

まず、感光材料１２を表面に吸着した移動ステージ１４が、移動機構１２０によって、図１に示す位置からゲート２２の上流側に向かって所定の初期位置まで移動する。一方、各露光制御部１０１〜１１０には、露光すべき画像に応じた制御信号が入力され、各露光制御部１０１〜１１０におけるメモリに記憶される。

そして、移動ステージ１４は、移動機構１２０によりガイド２０に沿ってゲート２２の上流側から下流側に一定速度で移動する。そして、ステージ１４がゲート２２下を通過する際に、ゲート２２に取り付けられたセンサ２６により感光材料１２の先端が検出されると、各露光制御部１０１〜１１０から、露光ヘッド３０への制御信号の出力が開始される。

そして、その後、移動ステージ１４の位置に応じて所定のタイミングで各露光制御部１０１〜１１０から各露光ヘッド３０に順次制御信号が出力される。

より具体的には、移動ステージ１４の移動にともなってリニアエンコーダ１２３によりその位置情報が検出され、その位置情報が全体制御部１００に入力される。そして、全体制御部１００は、図８（Ａ）に示すように、位置情報としてのＡ相、Ｂ相のパルス信号列のエッジを検出し、そのエッジの数をカウントして座標データＰ_０、Ｐ_１、Ｐ_２、Ｐ_３、・・・Ｐ_Ｎを順次算出する。そして、さらに上記のようにして算出された座標データＰ_Ｎの大きさを表わすシリアル信号を生成し、これを各露光制御部１０１〜１１０に出力する。

そして、各露光制御部１０１〜１１０は、図８（Ｂ）に示すように、全体制御部１００から出力されたシリアル信号を受信し、そのシリアル信号に基づいて座標データＰ_０、Ｐ_１、Ｐ_２、Ｐ_３、・・・Ｐ_Ｎを取得する。なお、図８（Ｂ）の横軸は時間軸を示している。そして、その座標データＰ_Ｎが、予め設定された所定の座標値となった際、メモリに記憶された制御信号を各露光ヘッド３０に出力させる同期信号を生成し、その同期信号に基づいてメモリから各露光ヘッド３０に１フレーム分の制御信号を出力する。そして、移動ステージ１４の移動に対応して予め設定された座標値毎に、上記同期信号を生成し、その同期信号に基づいて制御信号を各露光ヘッド３０に順次出力する。なお、同期信号は座標値が１だけインクリメントする毎に生成するようにしてもよいし、座標値が予め定められたｎ（ｎは２以上の自然数）だけインクリメントする毎に生成するようにしてもよい。

また、シリアル信号としては、たとえば、図９に示すような１６ビットのパラレルデータをシリアル信号化したものを使用するようにすればよく、座標データＰ_Ｎの大きさを１６ビットＤ_０〜Ｄ_１５で表わすとともに、その１６ビットＤ_０〜Ｄ_１５のデータの前後にスタートビットとストップビットを付加するようにすればよい。そして、各露光制御部１０１〜１１０において、スタートビットとストップビットを認識し、その間の１６ビットＤ_０〜Ｄ_１５のデータを抽出し、その抽出された１６ビットＤ_０〜Ｄ_１５のデータに基づいて座標値Ｐ_Ｎを算出するようにすればよい。

そして、上記のようにして予め設定されたタイミングで各露光制御部１０１〜１１０から各露光ヘッド３０に制御信号が出力され、その制御信号に基づいて各露光ヘッド３０毎のＤＭＤ３６のマイクロミラー５８の各々がオンオフ制御される。

そして、ファイバアレイ光源６０から出射されたレーザ光がマイクロミラー５８毎にオンオフされて、感光材料１２が露光される。そして、感光材料１２が移動ステージ１４と共に一定速度で移動して感光材料１２がスキャナ２４によりステージ移動方向と反対の方向に副走査されるとともに、その副走査に応じて各露光制御部１０１〜１１０から各露光ヘッド３０に制御信号が所定のタイミングで入力されて、各露光ヘッド３０毎に帯状の露光済み領域３４が形成される。

スキャナ２４による感光材料１２の副走査が終了し、センサ２６で感光材料１２の後端が検出されると、移動ステージ１４は、ステージ駆動装置１０４により、ガイド２０に沿ってゲート２２の上流側に復帰し、再び所定の初期位置に配置される。

本露光装置によれば、感光材料１２を移動させるとともに、その移動させられた感光材料１２の位置を検出し、その検出された位置情報に基づいて感光材料１２の位置を絶対値で表わした絶対位置情報を生成し、その絶対位置情報に基づいて上記同期信号を生成するようにしたので、従来のように位置情報としてのパルス信号をカウントして上記同期信号を生成する場合と比較すると、ノイズなどによるパルス信号のカウント数のずれを生じることなく、常に感光材料１２の正確な位置を取得することができ、感光材料１２に対してその位置に応じた適切な露光を施すことができる。

また、本露光装置にように、複数の露光制御部および露光ヘッドを用いて感光材料１２を露光するようにした場合には、露光制御部間でのノイズの飛び込みが発生し、上記のようなパルス信号のカウント数のずれがより生じやすくなるが、本露光装置のように、絶対位置情報に基づいて複数の露光制御部にそれぞれ対応した上記同期信号を生成するようにすれば、上記のような露光制御部間でのノイズの飛び込みによるパルス信号のカウント数のずれを生じることなく、適切な露光を行うことができる。

また、上記露光装置においては、各露光制御部１０１〜１１０が、全体制御部１００から出力された絶対位置情報としてのシリアル信号を受信し、その受信したシリアル信号から取得された座標データＰ_Ｎに基づいて制御信号を各露光ヘッド３０に出力するようにしたが、たとえば、各露光制御部１０１〜１１０から露光ヘッド３０への制御信号の出力が開始される時点までは、各露光制御部１０１〜１１０は全体制御部１００から上記位置情報としてのＡ相、Ｂ相のパルス信号例を受信してそのパルス信号列のパルス信号の数をカウントし、露光ヘッド３０への制御信号の出力が開始される時点の直前において、上記パルス信号列とともに上記シリアル信号を受信してそのシリアル信号に基づいて座標データＰ_Ｎを求め、その求められた座標データＰ_Ｎをパルス信号のカウント数に置き換えてパルス信号のカウント数を更新した後、上記パルス信号が所定数カウントされる毎に上記制御信号を各露光ヘッド３０に出力するようにしてもよい。上記のようにすることによって、露光が開始された直前の時点でノイズなどの影響でカウント数に誤差が生じていたとしても感光材料１２の正確な位置を取得することができ、その後の露光動作を誤差なく高精度に行うことができる。

また、上記更新を、露光ヘッド３０への制御信号の出力開始時点の直前だけでなく、露光処理中において、パルス信号の所定のカウント数毎に行うようにしてもよい。

また、上記露光装置においては、空間光変調素子としてＤＭＤを備えた露光装置について説明したが、このような反射型空間光変調素子の他に、透過型空間光変調素子を使用することもできる。

また、露光対象である感光材料１２は、プリント基板や、ディスプレイ用のフィルタであってもよい。また、感光材料１２の形状は、シート状のものであっても、長尺状のもの（フレキシブル基板など）であってもよい。

また、上記実施形態では、いわゆるフラッドベッドタイプの露光装置を例に挙げたが、感光材料が巻きつけられるドラムを有する、いわゆるアウタードラムタイプの露光装置としてもよい。

また、本発明の同期処理方法および装置は、インクジェット方式などのプリンタにおける描画処理にも適用することができる。たとえば、インクの吐出による描画処理を、本発明と同様の同期処理方法を用いて行うようにすることができる。つまり、上記露光装置におけるマイクロミラーを、インクの吐出などによって描画点を打つ素子に置き換えて考慮することができる。

また、本発明の同期処理方法および装置は、上記のような描画装置に限らず、処理対象を移動させるとともに、その移動させられた処理対象の位置を検出し、その検出された位置情報に基づいて、処理対象に所定の処理を施すタイミングを示す同期信号を生成し、その同期信号が示すタイミングに基づいて処理対象に所定の処理を施すものであれば如何なるものに適用してもよい。そして、所定の処理は描画処理に限られるものでなく如何なる処理でもよい。

本発明の同期処理装置の一実施形態を用いた露光装置の外観を示す斜視図 図１に示す露光装置のスキャナの構成を示す斜視図 各露光ヘッドにより露光される領域を示す図 図２に示す露光ヘッドの概略構成図 図１の露光装置のＤＭＤの構成を示す部分拡大図 ＤＭＤの動作を説明するための斜視図 図１に示す露光装置の電気的構成を示すブロック図 全体制御部におけるシリアル信号の送信と露光制御部におけるシリアル信号の受信について説明するための図 シリアル信号の一例を示す図

符号の説明

１ 露光装置
１２ 感光材料
１４ 移動ステージ
２４ スキャナ
３０ 露光ヘッド（処理手段）
３６ ＤＭＤ
５０ レンズ系
５４ 結像光学系
５６ ＳＲＡＭアレイ
５８ マイクロミラー
６０ ファイバアレイ光源
１００ 全体制御部
１００ａ 絶対位置情報生成手段
１２０ 移動機構（移動手段）
１２３ リニアエンコーダ（位置検出手段）
１０１〜１１０ 露光制御部（処理手段）

Claims (10)

1. 処理対象を相対移動させるとともに、該相対移動させられた処理対象の相対位置を検出し、該検出された位置情報に基づいて、所定のタイミングで前記処理対象に所定の処理を施す同期処理方法において、
   前記位置情報に基づいて前記処理対象の相対位置を絶対値で表わした絶対位置情報を生成し、
   該絶対位置情報に基づいて前記所定のタイミングを取得することを特徴とする同期処理方法。
2. 複数の処理部を用いて前記処理対象に前記所定の処理を施すとともに、
   前記絶対位置情報に基づいて前記複数の処理部にそれぞれ対応した前記所定のタイミングを取得することを特徴とする請求項１記載の同期処理方法。
3. 前記位置情報として前記処理対象の移動距離に応じた数のパルス信号からなるパルス信号列を検出し、
   該検出されたパルス信号列のパルス信号の数をカウントし、該カウント数に基づいて前記絶対位置情報を生成し、
   前記処理対象に前記所定の処理を施す処理手段において、前記検出されたパルス信号列のパルス信号の数をカウントし、該カウント数に基づいて前記所定のタイミングを取得し、該所定のタイミングで前記処理対象に所定の処理を施す際、前記絶対位置情報を用いて前記パルス信号のカウント数を更新した後、該更新後のカウント数に基づいて前記所定のタイミングを取得することを特徴とする請求項１または２記載の同期処理方法。
4. 前記処理対象を描画面とし、前記所定の処理を描画処理とすることを特徴とする請求項１から３いずれか１項記載の同期処理方法。
5. 前記絶対位置情報として前記絶対値を表わすシリアル信号を用いることを特徴とする請求項１から４いずれか１項記載の同期処理方法。
6. 処理対象を相対移動させる移動手段と、該移動手段により相対移動させられた処理対象の相対位置を検出する位置検出手段と、該位置検出手段により検出された位置情報に基づいて、所定のタイミングで前記処理対象に所定の処理を施す処理手段とを備えた同期処理装置において、
   前記位置情報に基づいて、前記処理対象の相対位置を絶対値で表わした絶対位置情報を生成する絶対位置情報生成手段をさらに備え、
   前記処理手段が、前記絶対位置情報生成手段により生成された前記絶対位置情報に基づいて前記所定のタイミングを取得するものであることを特徴とする同期処理装置。
7. 前記処理手段が、前記処理対象に所定の処理を施す複数の処理部を備え、前記複数の処理部にそれぞれ対応した前記所定のタイミングを取得するものであることを特徴とする請求項６記載の同期処理装置。
8. 前記位置検出手段が、前記処理対象の移動距離に応じた数のパルス信号からなるパルス信号列を出力するものであり、
   前記絶対位置情報生成手段が、前記位置検出手段から出力されたパルス信号列のパルス信号の数をカウントし、該カウント数に基づいて前記絶対位置情報を生成するものであり、
   前記処理手段が、前記位置検出手段から出力されたパルス信号列のパルス信号の数をカウントし、該カウント数に基づいて前記所定のタイミングを取得するものであって、前記絶対位置情報生成手段において生成された前記絶対位置情報を用いて前記パルス信号のカウント数を更新した後、該更新後のカウント数に基づいて前記所定のタイミングを取得するものであることを特徴とする請求項６または７記載の同期処理装置。
9. 前記処理対象が描画面であり、
   前記処理手段が前記所定の処理として描画処理を行うものであることを特徴とする請求項６から８いずれか１項記載の同期処理装置。
10. 前記絶対位置情報が、前記絶対値を表わすシリアル信号であることを特徴とする請求項６から９いずれか１項記載の同期処理装置。

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