JP2006264140A - インクジェットヘッドの製造方法及びインクジェットヘッド - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 導電性の平板材52の一方面に絶縁膜53を設け、この絶縁膜53に、少なくともキャビティユニット20の全部の圧力室24を覆う面積を有する開口54のパターンを形成する工程と、平板材52における絶縁膜53の開口54の領域に、金属膜50を電鋳法で形成する工程と、平板材52から絶縁膜53を除去する工程と、平板材52上の金属膜50に、圧電アクチュエータ21及びキャビティユニット20のうちの一方を重ねて固着する工程と、平板材52を金属膜50から剥離する工程と、金属膜50における平板材52を剥離した側の面に、圧電アクチュエータ21及びキャビティユニット20のうちの他方を重ねて固着する工程とを有する。
【選択図】 図5
Description
20 キャビティユニット
21 圧電アクチュエータ
22 フレキシブルフラットケーブル
23 ノズル
24 圧力室
41、42、43 圧電シート
50 金属膜
51 逃がし溝
52 平板材
53 絶縁膜
53a 突パターン
54 開口
60 位置合わせ用のマーク
61 位置合わせ用の穴
Claims (8)
- インクを吐出する複数のノズルと各ノズル毎に設けられる複数の圧力室とを有するキャビティユニットと、各圧力室毎に対応する複数の活性部を有する圧電アクチュエータとを備え、前記活性部の変位により前記圧力室に吐出圧力を与えて、ノズルからインクを吐出させるインクジェットヘッドの製造方法において、
導電性の平板材の一方面に絶縁膜を設け、この絶縁膜に、少なくともキャビティユニットの全部の圧力室を覆う面積を有する開口のパターンを形成する工程と、
前記平板材における前記絶縁膜の開口の領域に、金属膜を電鋳法で形成する工程と、
前記平板材から前記絶縁膜を除去する工程と、
前記平板材上の金属膜に、前記圧電アクチュエータ及びキャビティユニットのうちの一方を重ねて固着する工程と、
前記平板材を前記金属膜から剥離する工程と、
前記金属膜における前記平板材を剥離した側の面に、前記圧電アクチュエータ及びキャビティユニットのうちの他方を重ねて固着する工程と
を有することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。 - 前記絶縁膜のパターンには、前記開口の領域が複数含まれて、前記平板材の一方面には、前記金属膜が複数に分割されて形成され、
分割された金属膜毎に、前記圧電アクチュエータ及びキャビティユニットのうちの一方が固着されることを特徴とする請求項1に記載のインクジェットヘッドの製造方法。 - 前記絶縁膜の開口の領域には、前記圧電アクチュエータとキャビティユニットとの位置合わせ用のマークを前記金属膜に形成するためのパターンが形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記金属膜と前記圧電アクチュエータまたはキャビティユニットとの接着には、接着剤が使用され、
前記絶縁膜の開口の領域には、接着剤の逃がし溝を前記金属膜に形成するための突形パターンが形成されていることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。 - 前記圧電アクチュエータは、前記キャビティユニットの全部の圧力室を覆う面積を有する複数層の圧電シートと、前記各圧力室と対応して位置し前記圧電シートの各活性部に電圧を印加するための複数の電極とを備え、前記キャビティユニット側に前記圧電シートの面を露出させたものであって、前記平板材上の金属膜にその露出した前記圧電シートの面を重ねて固着することを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- インクを吐出する複数のノズルと、各ノズル毎に設けられる複数の圧力室とを有するキャビティユニットと、各圧力室毎に対応する複数の活性部を有する圧電アクチュエータとを備え、前記活性部の変位により前記圧力室に吐出圧力を与えて、ノズルからインクを吐出させるインクジェットヘッドにおいて、
前記キャビティユニットと圧電アクチュエータとの間には、電鋳法で形成された金属膜が、少なくとも全部の圧力室を覆う面積を有し且つ活性部の変位を対応する圧力室に伝達可能に介挿されていることを特徴とするインクジェットヘッド。 - 前記金属膜の厚みは、5μm以上10μm以下であることを特徴とする請求項6に記載のインクジェットヘッド。
- 前記圧電アクチュエータは、前記キャビティユニットの全部の圧力室を覆う面積を有する複数層の圧電シートと、前記各圧力室と対応して位置し前記圧電シートの各活性部に電圧を印加するための複数の電極とを備え、前記キャビティユニット側に前記圧電シートの面を露出させて、この露出した圧電シートの面を前記平板材上の金属膜に重ねて固着されていることを特徴とする請求項6または7に記載のインクジェットヘッド。
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