JP2006263891A - 放電加工装置と加工方法 - Google Patents
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Abstract
セラミックスの加工に用いて好適な装置の提供。
【解決手段】
被加工対象のサンプル401に配置されサンプルに電圧を印加する電極402と、電極402を押圧する押圧手段410と、加工用のワイヤー404と、前記サンプルに光を照射する光源411と、サンプルを過熱する加熱部412とを備え、放電部403に放電ガスが供給され、且つ吸収され、電極402の平面形状はワイヤー側に尖った形状とされ、サンプルを過熱する加熱部を備えている。
【選択図】
図14
Description
・球形電極、
・平行電極(端部が互いに相離間する向きに曲げられている)、
・球針電極、
・針電極、
等さまざまな電極の組み合わせがある。2つの電極間距離dを同じにしても、絶縁破壊を生じる電圧は異なり、下記の順で絶縁破壊が生じやすい。
したがって、絶縁破壊が発生する前に生じるアバランシェ効果も同様にこの順で発生しやすいと思料される。これは、電極形状によって、電極近傍の電場の強さが大きく異なり、先が尖った電極では、先端部に、大きな電場が形成される(電束密度が大となる)ためである。
102 電極
103 直流電源
104 光源
105 電圧計
201 サンプル
202 電極
203 電源
204 ワイヤー
205 押さえ棒
206 放電部
207 光源
301 サンプル
302 ダイヤモンドダイスガイド
303 ノズル
304 ワイヤー
305 給電子
401 サンプル
403 放電部
404 ワイヤー
405 給電子
406 ダイヤモンドダイスガイド
407 低温ガス流
408 熱交換ケース
410 押さえ棒
411 LED
412 赤外線ランプ
413 放電ガス放出パイプ
414 放電ガス吸収パイプ
Claims (25)
- 加工対象のサンプルに取り付けられる電極と、
加工用の導電部材と、
前記サンプルに光を照射する光源と、
を備え、前記電極は、前記加工用の導電部材に対向する側が突出している形状を有する、ことを特徴とする放電加工装置。 - 前記サンプルを過熱する加熱部を備えている、ことを特徴とする請求項1記載の放電加工装置。
- 前記加工用の導電部材がワイヤーである、ことを特徴とする請求項1記載の放電加工装置。
- 前記ワイヤーを冷却する手段を備えている、ことを特徴とする請求項1記載の放電加工装置。
- 前記ワイヤーを冷却する手段が、冷却用の相対的に低い温度のガス流が供給される熱交換器を含む、ことを特徴とする請求項4記載の放電加工装置。
- 前記ワイヤーに給電する給電子がカーボン部材よりなる、ことを特徴とする請求項3記載の放電加工装置。
- 前記カーボン部材が、前記ワイヤーを通す方向に直交する方向に延在された形状を有する、ことを特徴とする請求項6記載の放電加工装置。
- 加工時、前記カーボン部材を、前記ワイヤーを通す方向と直交する向きに、所定の速さで往復させる手段を備えている、ことを特徴とする請求項6記載の放電加工装置。
- 前記サンプルを間に挟む2つの前記電極は、球形電極、平行電極、球針電極、針電極の構造のうちのいずれかである、ことを特徴とする請求項1記載の放電加工装置。
- 2つの前記電極の少なくとも1つが、前記加工用の導電部材の加工方向に対向する側が尖っている形状を有する、ことを特徴とする請求項9記載の放電加工装置。
- 前記電極を、前記サンプルに対して押圧する押圧部材を備えている、ことを特徴とする請求項1記載の放電加工装置。
- 前記光源から光を、前記サンプルの加工領域に対して一の側から、又は、相対する両側から、照射する、ことを特徴とする請求項1記載の放電加工装置。
- 前記電極のサンプル当接部に、導電性の流動部材を設けてなる、ことを特徴とする請求項1記載の放電加工装置。
- 前記サンプルの放電部に、放電ガスを放出する手段を備えている、ことを特徴とする請求項1記載の放電加工装置。
- 前記サンプルの放電部に放出された前記放電ガスを吸収する手段を備えている、ことを特徴とする請求項14記載の放電加工装置。
- 前記ワイヤーによる加工の進行に連動して前記電極の移動が制御される、ことを特徴とする請求項3記載の放電加工装置。
- 前記光源からの光を集光して前記サンプルの加工領域に案内する手段を備えている、ことを特徴とする請求項1記載の放電加工装置。
- 前記サンプルの加工領域に導電膜が被着されてなる、ことを特徴とする請求項1記載の放電加工装置。
- 請求項1記載の放電加工装置が、彫塑放電加工装置よりなる、ことを特徴とする放電加工装置。
- 前記加工用の導電部材を3次元空間で移動制御する手段を備えている、ことを特徴とする請求項19記載の放電加工装置。
- 加工対象のサンプルに取り付けられた電極と、ワイヤーとの間のサンプルの領域に光源から光を照射して放電加工する工程を含む加工方法であって、
前記サンプルの少なくとも加工領域を過熱する工程を含む、ことを特徴とする加工方法。 - 加工対象のサンプルに取り付けられた電極と、ワイヤーとの間のサンプルの領域に光源から光を照射して放電加工する工程を含む加工方法であって、
前記ワイヤーによる加工の進行に連動して前記電極の移動を制御する工程を含む、ことを特徴とする加工方法。 - 加工対象のサンプルに取り付けられた電極と、ワイヤーとの間のサンプルの領域に光源から光を照射して放電加工する工程を含む加工方法であって、
前記絶縁性のサンプル表面に所定膜厚の導電膜を事前に被着しておく工程を含む、ことを特徴とする加工方法。 - 加工対象のサンプルに取り付けられた電極と、ワイヤーとの間のサンプルの領域に光源から光を照射して放電加工する工程を含む加工方法であって、
前記ワイヤーに給電する給電子をなすカーボン部材を、前記ワイヤーを通す向きと直交する向きに所定の速さで往復させる工程を含む、ことを特徴とする加工方法。 - 前記電極の少なくとも1つが、前記加工用の導電部材の加工方向に対向する側が尖っている形状を有する、ことを特徴とする請求項21乃至24のいずれか一記載の加工方法。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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- 2005-03-25 JP JP2005089188A patent/JP4897232B2/ja not_active Expired - Fee Related
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