JP2006261388A - Method of manufacturing printed wiring board - Google Patents

Method of manufacturing printed wiring board Download PDF

Info

Publication number
JP2006261388A
JP2006261388A JP2005076813A JP2005076813A JP2006261388A JP 2006261388 A JP2006261388 A JP 2006261388A JP 2005076813 A JP2005076813 A JP 2005076813A JP 2005076813 A JP2005076813 A JP 2005076813A JP 2006261388 A JP2006261388 A JP 2006261388A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
printed wiring
wiring board
conductive sheet
heat conductive
board according
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2005076813A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP4747620B2 (en
JP2006261388A5 (en
Inventor
Jun Ebara
潤 江原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP2005076813A priority Critical patent/JP4747620B2/en
Publication of JP2006261388A publication Critical patent/JP2006261388A/en
Publication of JP2006261388A5 publication Critical patent/JP2006261388A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4747620B2 publication Critical patent/JP4747620B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method for efficiently manufacturing a high-quality printed wiring board without deteriorating productivity by reducing variation in temperature in a thermal press in a thermal press process. <P>SOLUTION: An anisotropic thermal conductive sheet 5 (substance having thermal conductivity different in a thickness direction and a surface direction) is arranged between a thermal plate 4 and an SUS plate 3 of the thermal press apparatus. With this configuration, the variation in temperature in the surface of the thermal plate 4 is relieved within the sheet 5 before being transmitted to a laminate 6 to be heated, and the variation in temperature of the laminate 6 is reduced. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、パソコン、移動体通信用電話機、ビデオカメラ等の各種電子機器に用いられるプリント配線板の製造方法に関するものである。   The present invention relates to a method for manufacturing a printed wiring board used in various electronic devices such as a personal computer, a mobile communication telephone, and a video camera.

近年、電子機器の高性能化、高密度化に伴い、電子部品は、益々小型化、高集積化、高速化の傾向にある。   In recent years, as electronic devices have higher performance and higher density, electronic components are increasingly becoming smaller, more integrated, and faster.

このために、プリント配線板の形態も益々高密度化、多層化、さらに高品質化、加えて生産性向上のための大板化傾向が進んでいる。   For this reason, the form of printed wiring boards is becoming increasingly denser, multilayered, higher quality, and larger in order to improve productivity.

以下に従来のプリント配線板の熱プレス方法について説明する。   A conventional method for hot pressing a printed wiring board will be described below.

プリント配線板は、絶縁性を持つプリプレグの両端に導電性を持つ金属、一般的には銅はくで挟み込んだ構造になっている。   A printed wiring board has a structure in which a conductive metal, generally copper foil, is sandwiched between both ends of an insulating prepreg.

この構造を形成するために、半硬化状態のプリプレグと銅はくを積層して、これを加圧・加熱することでプリプレグの硬化を行い、プリプレグと銅はくを一体化する。   In order to form this structure, a semi-cured prepreg and copper foil are laminated, and the prepreg is cured by pressurizing and heating, thereby integrating the prepreg and copper foil.

まず、図5に示すように、銅はく21、半硬化状態のプリプレグ22、銅はく21の順序で積層体20を準備する。   First, as shown in FIG. 5, a laminate 20 is prepared in the order of copper foil 21, semi-cured prepreg 22, and copper foil 21.

次に、図6のように加圧を均一にするためにSUS板23を積層体20の間に設置する。SUS板23、積層体20、SUS板23の順序で複数段に積み上げ、これを熱プレス装置の熱板24に設置する。   Next, the SUS board 23 is installed between the laminated bodies 20 in order to make pressurization uniform as shown in FIG. The SUS plate 23, the laminated body 20, and the SUS plate 23 are stacked in a plurality of stages, and this is installed on the hot plate 24 of the hot press apparatus.

次に、熱板24により加圧・加熱され、その結果、プリプレグと銅はくが一体化した積層基板が完成する。   Next, pressurization and heating are performed by the hot platen 24. As a result, a laminated substrate in which the prepreg and the copper foil are integrated is completed.

なお、この出願の発明に関連する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献1が知られている。
特開2003−124603号公報
As prior art document information related to the invention of this application, for example, Patent Document 1 is known.
JP 2003-124603 A

しかしながら、上記従来のプリント配線板の熱プレス方法では、以下の課題がある。   However, the conventional method for hot pressing a printed wiring board has the following problems.

通常、熱プレス装置における積層体への加熱は、最上部、最下部の熱板24から積層体に伝熱することによって行われる。   Usually, heating to the laminated body in the hot press apparatus is performed by transferring heat from the uppermost and lowermost hot plates 24 to the laminated body.

また、熱プレス装置における積層体への加熱条件は、所定の上昇温度まで温度が上昇し、プリプレグの軟化温度、硬化温度でそれぞれ一定時間保持されるようなプログラムで行われる。   Moreover, the heating conditions for the laminate in the hot press apparatus are performed by a program in which the temperature rises to a predetermined rise temperature and is held for a certain period of time at the softening temperature and the curing temperature of the prepreg.

特に、温度を一定時間保持することで積層基板の物理的・機械的特性や外観が形成されるため、設定された温度を保持することが重要となる。   In particular, since the physical and mechanical characteristics and appearance of the laminated substrate are formed by holding the temperature for a certain period of time, it is important to hold the set temperature.

ところが、熱板24の表面積は比較的大きいため、SUS板23と接触する面内において温度のばらつきが発生する。この温度ばらつきは緩和されることなく、そのままSUS板23に伝わり、さらに積層体に伝わっていく。   However, since the surface area of the hot plate 24 is relatively large, variations in temperature occur in the plane in contact with the SUS plate 23. This temperature variation is transmitted to the SUS plate 23 as it is without being relaxed, and further to the laminated body.

そのため、プリプレグの軟化温度、硬化温度等をそれぞれ一定時間かつ一定温度を保持するのが困難になる。その結果、積層基板の物理的・機械的特性や外観に影響が生じ、品質の維持が不安定になる場合もある。   Therefore, it becomes difficult to maintain the softening temperature, the curing temperature, and the like of the prepreg for a certain period of time. As a result, the physical / mechanical characteristics and appearance of the multilayer substrate are affected, and the maintenance of quality may become unstable.

近年、生産性の向上を図るため積層基板の大板化が進められている。そのため大型の熱プレス装置が採用され、それに伴い熱プレス装置の熱板も大型化、多段化されている。これにより、熱板の面内温度ばらつきが益々大きくなり、積層基板の品質維持が困難になる場合がある。   In recent years, large-sized laminated substrates have been promoted in order to improve productivity. For this reason, a large-sized hot press apparatus is employed, and accordingly, a hot plate of the hot press apparatus is increased in size and multistage. As a result, the in-plane temperature variation of the hot plate becomes larger and it may become difficult to maintain the quality of the laminated substrate.

これを解決するための対策として、従来採用されている方法は、熱板とSUS板の間に熱伝導率の低い物質を設置し、熱板からSUS板への熱が伝わる時に、面内温度のばらつきを緩和することを意図したものである。   As a measure to solve this, the conventionally adopted method is to install a substance with low thermal conductivity between the hot plate and the SUS plate, and when the heat is transferred from the hot plate to the SUS plate, the in-plane temperature variation It is intended to mitigate.

しかしながら、上記従来の方法では、面内温度ばらつきは若干は緩和されるものの、熱板からSUS板に熱が伝わる速度が低下するため、積層体を加熱する時間を長くする必要があり、その結果、生産性が低下する。   However, in the above-described conventional method, although the in-plane temperature variation is slightly relaxed, the speed at which heat is transferred from the hot plate to the SUS plate is reduced, so it is necessary to lengthen the time for heating the laminate. , Productivity decreases.

本発明は、上記従来の問題点を解決するものであり、熱板とSUS板の間の異方性熱伝導シートを設置することで面内温度ばらつきを低減し、生産性を低下させることなく高品質のプリント配線板を効率よく生産するための製造方法を提供することを目的とするものである。   The present invention solves the above-mentioned conventional problems, and by installing an anisotropic heat conductive sheet between the hot plate and the SUS plate, the in-plane temperature variation is reduced, and the high quality without reducing the productivity. An object of the present invention is to provide a manufacturing method for efficiently producing a printed wiring board.

上記目的を達成するために、本発明は以下の構成を有する。   In order to achieve the above object, the present invention has the following configuration.

本発明の請求項1に記載の発明は、少なくとも銅はくと半硬化状態のプリプレグで構成された積層体を準備する工程と、前記積層体をSUS板で挟持した積層構造物を熱プレス装置内に載置する工程と、前記熱プレス装置の熱板によりSUS板で挟持された前記積層体を加圧・加熱する工程とを備え、前記熱プレス装置の熱板と前記SUS板の間には異方性熱伝導シートが配置されていることを特徴とするプリント配線板の製造方法というものであり、熱プレス内の熱板で基板を加熱する際に、熱板の面内における温度ばらつきを低減させるために、熱板と基板の間に異方性熱伝導シートを配置する構成である。すなわち、厚さ方向と面方向で異なる特性を持ちかつ厚さ方向と面方向で熱伝導率が大きく異なる異方性熱伝導シートを熱プレス装置の熱板と前記SUS板の間に介在させることで、熱板の面内における温度ばらつきが加熱の対象となる積層体に伝わる前に異方性熱伝導シート内で緩和されるという作用を有する。これにより、積層体としての基板が均一に加熱され、安定した品質のプリント配線板を効率よく生産することが可能となるという効果を有する。   According to the first aspect of the present invention, there is provided a step of preparing a laminate composed of at least copper foil and a semi-cured prepreg, and a laminated structure in which the laminate is sandwiched between SUS plates. And a step of pressurizing and heating the laminated body sandwiched between SUS plates by a hot plate of the hot press device, and a difference between the hot plate of the hot press device and the SUS plate. This is a printed wiring board manufacturing method characterized in that an isotropic heat conductive sheet is arranged, and when the substrate is heated by the hot plate in the hot press, the temperature variation in the surface of the hot plate is reduced. Therefore, an anisotropic heat conductive sheet is disposed between the hot plate and the substrate. That is, by interposing an anisotropic heat conductive sheet having different characteristics in the thickness direction and the plane direction and having a greatly different thermal conductivity in the thickness direction and the plane direction between the hot plate of the hot press device and the SUS plate, It has the effect that the temperature variation in the surface of the hot plate is relaxed in the anisotropic heat conductive sheet before it is transmitted to the laminate to be heated. Thereby, the board | substrate as a laminated body is heated uniformly, and it has the effect that it becomes possible to produce the printed wiring board of the stable quality efficiently.

本発明の請求項2に記載の発明は、少なくとも銅はくと半硬化状態のプリプレグで構成された積層体を準備する工程と、前記積層体をSUS板で挟持した積層構造物を複数段重ねて熱プレス装置内に載置する工程と、前記熱プレス装置の熱板によりSUS板で挟持された前記積層体を加圧・加熱する工程とを備え、前記熱プレス装置の熱板と前記SUS板の間および積層構造物の間には異方性熱伝導シートが配置されていることを特徴とするプリント配線板の製造方法というものであり、熱プレス内の熱板で基板を加熱する際に、熱板の面内における温度ばらつきを低減させるために、熱板と基板の間および複数段に積み上げられた積層構造物の間に異方性熱伝導シートを配置する構成である。すなわち、厚さ方向と面方向で異なる特性を持ちかつ厚さ方向と面方向で熱伝導率が大きく異なる異方性熱伝導シートを熱プレス装置の熱板と前記SUS板の間および積層構造物の間に介在させることで、熱板の面内における温度ばらつきが加熱の対象となる積層体に伝わる前に異方性熱伝導シート内で緩和されるという作用を有する。これにより、熱プレス装置の大型化に伴う多段構成の積層構造物の構成物である積層体としての基板を均一に加熱することができ、安定した品質のプリント配線板を効率よく高い生産性を維持しながら製造することが可能となるという効果を有する。   The invention according to claim 2 of the present invention includes a step of preparing a laminate composed of at least a copper foil and a semi-cured prepreg, and a multilayer structure in which the laminate is sandwiched between SUS plates. And placing the laminate in a hot press device, and pressing and heating the laminate sandwiched between SUS plates by the hot plate of the hot press device, the hot plate of the hot press device and the SUS It is a method for manufacturing a printed wiring board characterized in that an anisotropic heat conductive sheet is arranged between the boards and between the laminated structures, and when heating the substrate with the hot plate in the hot press, In order to reduce temperature variation in the surface of the hot plate, an anisotropic heat conductive sheet is arranged between the hot plate and the substrate and between the laminated structures stacked in a plurality of stages. That is, an anisotropic heat conductive sheet having different characteristics in the thickness direction and in the plane direction and having greatly different thermal conductivity in the thickness direction and in the plane direction is used between the hot plate of the hot press apparatus and the SUS plate and between the laminated structures. By interposing, in the surface of the hot plate, the temperature variation is relaxed in the anisotropic heat conductive sheet before being transmitted to the laminate to be heated. This makes it possible to uniformly heat the substrate as a laminate that is a component of a multi-layered laminated structure that accompanies an increase in the size of a hot press device, and to achieve stable and high-quality printed wiring boards with high productivity. It has the effect that it becomes possible to manufacture while maintaining.

本発明の請求項3に記載の発明は、積層構造物は積層体とSUS板とが交互に複数段に積み上げられかつSUS板で挟持されていることを特徴とする請求項1または2に記載のプリント配線板の製造方法というものであり、一度の熱プレス工程で多段構成の多数の積層体を加熱・加圧し生産性の向上を図りつつ熱板の面内における温度ばらつきが加熱の対象となる積層体に伝わる前に異方性熱伝導シート内で緩和されるという作用を有する。   According to a third aspect of the present invention, in the laminated structure, the laminated body and the SUS plate are alternately stacked in a plurality of stages and are sandwiched between the SUS plates. This is a manufacturing method of printed wiring boards, and the temperature variation in the surface of the hot plate is subject to heating while improving the productivity by heating and pressing a large number of multi-layered laminates in one hot press process. It has the effect | action that it is relieve | moderated in an anisotropic heat conductive sheet before transmitting to the laminated body which becomes.

これにより、熱プレス装置の大型化に伴う多段構成の積層構造物の構成物である積層体としての基板を均一に加熱することができ、安定した品質のプリント配線板を効率よく高い生産性を維持しながら製造することが可能となるという効果を有する。   This makes it possible to uniformly heat the substrate as a laminate that is a component of a multi-layered laminated structure that accompanies an increase in the size of a hot press device, and to achieve stable and high-quality printed wiring boards with high productivity. It has the effect that it becomes possible to manufacture while maintaining.

本発明の請求項4に記載の発明は、少なくとも2組の積層体がSUS板に挟持されていることを特徴とする請求項1または2に記載のプリント配線板の製造方法というものであり、一度の熱プレス工程で一段当たり2組の積層体を加熱・加圧し生産性の向上を図りつつ熱板の面内における温度ばらつきが加熱の対象となる積層体に伝わる前に異方性熱伝導シート内で緩和されるという作用を有する。   Invention of Claim 4 of this invention is a manufacturing method of the printed wiring board of Claim 1 or 2 characterized by the above-mentioned. At least 2 sets of laminated bodies are clamped by the SUS board, Anisotropy heat conduction before temperature variation in the surface of the hot plate is transmitted to the laminate to be heated, while improving productivity by heating and pressurizing two sets of laminates per stage in a single hot press process It has the effect of relaxing in the sheet.

これにより、熱プレス装置の大型化に伴い熱プレスの有効面積が拡大された積層構造物の構成物である積層体としての基板を均一に加熱することができ、安定した品質のプリント配線板を効率よく高い生産性を維持しながら製造することが可能となるという効果を有する。   As a result, it is possible to uniformly heat the substrate as a laminate that is a component of a laminated structure in which the effective area of the hot press is expanded with the increase in the size of the hot press device, and a stable quality printed wiring board can be obtained. It has the effect that it becomes possible to manufacture while maintaining high productivity efficiently.

本発明の請求項5に記載の発明は、積層体は半硬化状態のプリプレグ間に回路を有するコア基板を備えていることを特徴とする請求項1または2に記載のプリント配線板の製造方法というものであり、多層構造の積層体への加熱を均一にし、多層基板の層間接着を安定させ、品質の優れた多層のプリント配線板を製造することができるという効果を有する。   According to a fifth aspect of the present invention, the laminate includes a core substrate having a circuit between prepregs in a semi-cured state. The method for producing a printed wiring board according to the first or second aspect, Thus, heating to the multilayer structure having a multilayer structure is made uniform, interlayer adhesion of the multilayer substrate is stabilized, and a multilayer printed wiring board having excellent quality can be produced.

本発明の請求項6に記載の発明は、異方性熱伝導シートは厚さ方向と面方向で熱伝導率が異なる性質を備えていることを特徴とする請求項1に記載のプリント配線板の製造方法というもので、この特性により、熱板の面内における温度ばらつきが加熱の対象となる基板に伝わる前に異方性熱伝導シート内で緩和され、積層体を均一に加熱することができる。   According to a sixth aspect of the present invention, in the printed wiring board according to the first aspect, the anisotropic thermal conductive sheet has a property that the thermal conductivity is different between the thickness direction and the plane direction. Due to this characteristic, the temperature variation in the plane of the hot plate is relaxed in the anisotropic heat conductive sheet before being transmitted to the substrate to be heated, and the laminate can be heated uniformly. it can.

本発明の請求項7に記載の発明は、異方性熱伝導シートは炭素系材料から得られる高配向性を備えたグラファイトシートであることを特徴とする請求項1に記載のプリント配線板の製造方法というもので、熱板の面内における温度ばらつきが加熱の対象となる基板に伝わる前に異方性熱伝導シート内で緩和され、積層体を均一に加熱することができる。   The invention according to claim 7 of the present invention is the printed wiring board according to claim 1, wherein the anisotropic heat conductive sheet is a graphite sheet having high orientation obtained from a carbon-based material. In the manufacturing method, the temperature variation in the surface of the hot plate is relaxed in the anisotropic heat conductive sheet before it is transmitted to the substrate to be heated, and the laminate can be heated uniformly.

また、炭素系を主とする材料で構成されたものであることから、耐熱性に優れ、熱プレス工程で到達する最高温度(200〜300℃)においても異方性熱伝導シートを安定して繰り返し使用することができる。   In addition, since it is composed of carbon-based materials, it has excellent heat resistance and stable anisotropic heat conductive sheet even at the highest temperature (200-300 ° C) reached in the hot press process. Can be used repeatedly.

本発明の請求項8に記載の発明は、異方性熱伝導シートの面方向熱伝導率は厚さ方向の熱伝導率より大であることを特徴とする請求項6に記載のプリント配線板の製造方法というもので、この特性により、熱板の面内における温度ばらつきが加熱の対象となる基板に伝わる前に異方性熱伝導シート内で緩和され、積層体を均一に加熱することができる。さらに面方向熱伝導率は厚さ方向の熱伝導率より大であることから、安定した品質のプリント配線板を効率よく生産することが可能となる。   The invention according to claim 8 of the present invention is characterized in that the thermal conductivity in the plane direction of the anisotropic thermal conductive sheet is larger than the thermal conductivity in the thickness direction. Due to this characteristic, the temperature variation in the plane of the hot plate is relaxed in the anisotropic heat conductive sheet before being transmitted to the substrate to be heated, and the laminate can be heated uniformly. it can. Further, since the thermal conductivity in the plane direction is larger than the thermal conductivity in the thickness direction, it is possible to efficiently produce a printed wiring board with stable quality.

本発明の請求項9に記載の発明は、異方性熱伝導シートの面方向熱伝導率は厚さ方向の熱伝導率の100倍以上であることを特徴とする請求項8に記載のプリント配線板の製造方法というもので、この特性により、熱板の面内における温度ばらつきが加熱の対象となる基板に伝わる前に異方性熱伝導シート内で緩和され、積層体を均一に加熱することができる。さらに面方向熱伝導率は厚さ方向の熱伝導率の100倍以上であることから、面方向への温度ばらつきを低減させかつ生産性を低下させることなく安定した品質のプリント配線板を効率よく生産することが可能となる。   The invention according to claim 9 of the present invention is characterized in that the thermal conductivity in the plane direction of the anisotropic thermal conductive sheet is 100 times or more the thermal conductivity in the thickness direction. This is a method of manufacturing a wiring board, and due to this characteristic, temperature variations in the surface of the hot plate are alleviated in the anisotropic heat conductive sheet before being transmitted to the substrate to be heated, and the laminate is heated uniformly. be able to. Furthermore, since the thermal conductivity in the plane direction is more than 100 times the thermal conductivity in the thickness direction, stable quality printed wiring boards can be efficiently produced without reducing temperature variations in the plane direction and reducing productivity. It becomes possible to produce.

本発明の請求項10に記載の発明は、異方性熱伝導シートの厚さ方向の熱伝導率は1〜10W/m・Kの範囲であり、面方向熱伝導率は500〜1000W/m・Kの範囲であることを特徴とする請求項9に記載のプリント配線板の製造方法というもので、以上の範囲の熱伝導率を有する異方性熱伝導シートを採用することにより、面方向への温度ばらつきを低減させかつ生産性を低下させることなく安定した品質のプリント配線板を効率よく生産することが可能となる。   In the invention according to claim 10 of the present invention, the thermal conductivity in the thickness direction of the anisotropic thermal conductive sheet is in the range of 1 to 10 W / m · K, and the thermal conductivity in the plane direction is 500 to 1000 W / m. The printed wiring board manufacturing method according to claim 9, wherein the printed wiring board manufacturing method according to claim 9, wherein an anisotropic heat conductive sheet having a thermal conductivity in the above range is employed, and the surface direction Accordingly, it is possible to efficiently produce a printed wiring board having a stable quality without reducing the temperature variation and reducing the productivity.

本発明の請求項11に記載の発明は、異方性熱伝導シートは、フレキシブル性を備えていることを特徴とする請求項1に記載のプリント配線板の製造方法というもので、これにより、加熱と同時に行われる加圧において局部的な圧力集中を防ぐことができ、安定した品質のプリント配線板を効率よく生産することが可能となる。   Invention of Claim 11 of this invention is a manufacturing method of the printed wiring board of Claim 1 characterized by the anisotropic heat conductive sheet being provided with flexibility, Thereby, In the pressurization performed simultaneously with the heating, local pressure concentration can be prevented, and a stable quality printed wiring board can be efficiently produced.

本発明の請求項12に記載の発明は、異方性熱伝導シートの耐熱温度は400℃以上であることを特徴とする請求項1に記載のプリント配線板の製造方法というもので、これにより、熱プレス工程で到達する最高温度(200〜300℃)においても異方性熱伝導シートを使用することができる。   Invention of Claim 12 of this invention is the manufacturing method of the printed wiring board of Claim 1 characterized by the heat-resistant temperature of an anisotropic heat conductive sheet being 400 degreeC or more, By this, An anisotropic heat conductive sheet can be used even at the maximum temperature (200 to 300 ° C.) reached in the hot press step.

本発明の請求項13に記載の発明は、異方性熱伝導シートは外観、寸法、特性が常温から1000℃まで変化しないことを特徴とする請求項1に記載のプリント配線板の製造方法というもので、外観、寸法、特性が1000℃まで変化しないものを選定することにより繰り返し使用回数を増加させることができる。これにより生産コスト低減をも図ることができる。   The invention according to claim 13 of the present invention is the method for producing a printed wiring board according to claim 1, characterized in that the appearance, dimensions, and characteristics of the anisotropic heat conductive sheet do not change from room temperature to 1000 ° C. However, the number of times of repeated use can be increased by selecting a material whose appearance, dimensions, and characteristics do not change up to 1000 ° C. As a result, the production cost can be reduced.

本発明の請求項14に記載の発明は、異方性熱伝導シートは、鉄(Fe)、アルミニウム(Al)、カルシウム(Ca)、マグネシウム(Mg)、カリウム(K)、ナトリウム(Na)の含有量が1ppm以下であることを特徴とする請求項1に記載のプリント配線板の製造方法というもので、これにより、熱プレス工程での基板への不純物付着を最小限にすることができ、安定した品質のプリント配線板を効率よく生産することが可能となる。   According to the fourteenth aspect of the present invention, the anisotropic heat conductive sheet is made of iron (Fe), aluminum (Al), calcium (Ca), magnesium (Mg), potassium (K), or sodium (Na). The method for producing a printed wiring board according to claim 1, wherein the content is 1 ppm or less, thereby minimizing the adhesion of impurities to the substrate in the hot press process, Stable quality printed wiring boards can be efficiently produced.

本発明の請求項15に記載の発明は、異方性熱伝導シートは、塩素(Cl)の含有量が0.1ppm以下であることを特徴とする請求項1に記載のプリント配線板の製造方法というもので、塩素(Cl)による基板の銅はくや設備の腐食を防止し、安定した品質のプリント配線板を効率よく生産することが可能となる。   The invention according to claim 15 of the present invention is the production of a printed wiring board according to claim 1, wherein the anisotropic heat conductive sheet has a chlorine (Cl) content of 0.1 ppm or less. In this method, it is possible to prevent the copper foil of the substrate and the corrosion of the equipment due to chlorine (Cl), and to efficiently produce a printed wiring board having a stable quality.

本発明によれば、熱プレス内の熱板の面内における温度ばらつきが加熱の対象となる基板に伝わる前に緩和される。   According to the present invention, the temperature variation in the surface of the hot plate in the hot press is alleviated before being transmitted to the substrate to be heated.

また、生産性を低下させることもなく、不純物による基板特性の劣化も防止できる。この結果、安定した品質のプリント配線板を効率よく生産することが可能となる。   Further, it is possible to prevent deterioration of the substrate characteristics due to impurities without reducing productivity. As a result, it is possible to efficiently produce a printed wiring board with stable quality.

(実施の形態1)
以下本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。
(Embodiment 1)
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

図1は、本発明の実施の形態1におけるプリント配線板の製造方法を示す概略図である。図1において、1は銅はく(515mm×345mm 厚さ18μm)、2は半硬化状態のプリプレグ(510mm×340mm 厚さ80μm)、3はSUS板(550mm×770mm 厚さ1mm)、4は熱プレス装置の熱板、5は異方性熱伝導シート(550mm×770mm 厚さ100μm)である。   FIG. 1 is a schematic view showing a method for manufacturing a printed wiring board according to Embodiment 1 of the present invention. In FIG. 1, 1 is copper foil (515 mm × 345 mm, thickness 18 μm), 2 is a semi-cured prepreg (510 mm × 340 mm, thickness 80 μm), 3 is a SUS plate (550 mm × 770 mm, thickness 1 mm), 4 is heat The hot plate 5 of the pressing device is an anisotropic heat conductive sheet (550 mm × 770 mm, thickness 100 μm).

異方性熱伝導シート5の材質としては、ポリイミドフィルムを高温処理して得られる高配向性を備えたグラファイトシート(黒鉛シート)等がある。   Examples of the material of the anisotropic heat conductive sheet 5 include a graphite sheet (graphite sheet) having high orientation obtained by high-temperature treatment of a polyimide film.

異方性熱伝導シート5を構成する異方性熱伝導物質は、図2に示す厚さ方向と面方向で熱伝導率が異なるという性質を有する。   The anisotropic thermal conductive material constituting the anisotropic thermal conductive sheet 5 has a property that the thermal conductivity is different between the thickness direction and the plane direction shown in FIG.

特に、異方性熱伝導シート5の熱伝導率が厚さ方向と面方向で大きく異なり、面方向熱伝導率は厚さ方向の熱伝導率より著しく大であることがよい。すなわち面方向の熱伝導率は、厚さ方向の熱伝導率の50〜1000倍の範囲であることが望ましい。具体的な熱伝導率の範囲としては、厚さ方向で1〜10W/m・K、面方向で500〜1000W/m・Kであることが生産性の観点からもより好ましい。   In particular, it is preferable that the thermal conductivity of the anisotropic thermal conductive sheet 5 is greatly different between the thickness direction and the plane direction, and the plane direction thermal conductivity is significantly larger than the thermal conductivity in the thickness direction. That is, the thermal conductivity in the plane direction is desirably in the range of 50 to 1000 times the thermal conductivity in the thickness direction. The specific range of thermal conductivity is more preferably 1 to 10 W / m · K in the thickness direction and 500 to 1000 W / m · K in the plane direction from the viewpoint of productivity.

また、厚さ方向の熱伝導率も適度な範囲である1〜10W/m・Kとすることにより、生産性を低下させることがなく、均一な温度分布を実現しやすい。   In addition, by setting the thermal conductivity in the thickness direction to an appropriate range of 1 to 10 W / m · K, it is easy to realize a uniform temperature distribution without reducing productivity.

1W/m・K以下の場合は生産性が低く、10W/m・K以上の場合は熱プレス装置の熱板の温度ばらつきの影響を受けやすくなる。   When it is 1 W / m · K or less, the productivity is low, and when it is 10 W / m · K or more, it is easily affected by temperature variations of the hot plate of the hot press apparatus.

以上の構成により、熱プレス装置の熱板の面内における温度ばらつきは、加熱の対象となる基板に伝わる前に異方性熱伝導シート5の面方向で均一な温度分布となることにより緩和され、これにより基板が全体的に均一に加熱される。また、この構成により、安定した品質のプリント配線板を効率よく生産することが可能となる。   With the above configuration, the temperature variation in the surface of the hot plate of the hot press apparatus is alleviated by having a uniform temperature distribution in the surface direction of the anisotropic heat conductive sheet 5 before being transmitted to the substrate to be heated. This causes the substrate to be heated uniformly throughout. Further, this configuration makes it possible to efficiently produce a stable quality printed wiring board.

なお、本実施の形態における異方性熱伝導シート5は、厚さ方向の熱伝導率が5W/m・K、面方向の熱伝導率が700W/m・Kのものを採用した。   The anisotropic thermal conductive sheet 5 in the present embodiment is a sheet having a thermal conductivity in the thickness direction of 5 W / m · K and a thermal conductivity in the plane direction of 700 W / m · K.

また、異方性熱伝導シート5は、フレキシブル性を備え柔軟性を有することが望ましい。これにより、加熱と同時に行われる加圧において局部的な圧力集中を防ぐことができる。   Moreover, it is desirable that the anisotropic heat conductive sheet 5 has flexibility and flexibility. Thereby, local pressure concentration can be prevented in pressurization performed simultaneously with heating.

また、異方性熱伝導シート5は、耐熱温度が400℃以上であることが、望ましい。これにより、熱プレス工程で到達する最高温度(200〜300℃)においても異方性物質は、安定した外観、寸法、特性が維持され、繰り返し使用することができる。   The anisotropic heat conductive sheet 5 preferably has a heat resistant temperature of 400 ° C. or higher. Thereby, even at the maximum temperature (200 to 300 ° C.) reached in the hot press step, the anisotropic substance maintains a stable appearance, dimensions, and characteristics, and can be used repeatedly.

特に、異方性熱伝導シート5は、ポリイミドフィルムを1000℃以上の高温処理で得られたものを採用することにより、その外観、寸法、特性は1000℃まで変化することがなく、繰り返し使用することができる。   In particular, the anisotropic thermal conductive sheet 5 is used repeatedly by adopting a polyimide film obtained by high-temperature treatment at 1000 ° C. or higher, so that its appearance, dimensions, and characteristics do not change up to 1000 ° C. be able to.

これらの特性・性能は、異方性熱伝導シートとして炭素系を主とする材料で構成されたものから選定することによって実現可能である。   These characteristics / performances can be realized by selecting from anisotropic carbon sheet materials composed mainly of carbon.

以上の構成を備えた異方性熱伝導シートをプリント配線板の製造に用いることにより、安定した品質のプリント配線板を効率よく生産することが可能となり、生産コストをも低減させることができる。   By using the anisotropic heat conductive sheet having the above configuration for the production of a printed wiring board, it is possible to efficiently produce a printed wiring board having a stable quality, and to reduce the production cost.

また、異方性熱伝導シート5を構成する異方性熱伝導物質は、鉄(Fe)、アルミニウム(Al)、カルシウム(Ca)、マグネシウム(Mg)、カリウム(K)、ナトリウム(Na)が1ppm以下であることが望ましい。この構成により、熱プレス工程での基板への不純物付着を最小限にすることができる。   The anisotropic heat conductive material constituting the anisotropic heat conductive sheet 5 includes iron (Fe), aluminum (Al), calcium (Ca), magnesium (Mg), potassium (K), and sodium (Na). It is desirable that it is 1 ppm or less. With this configuration, it is possible to minimize the adhesion of impurities to the substrate in the hot press process.

さらに、異方性熱伝導物質内の塩素(Cl)が0.1ppm以下であることが望ましい。塩素(Cl)は、金属の腐食作用が大きい。このため、基板の銅はくや熱プレス装置の腐食を防止することができる。   Furthermore, it is desirable that chlorine (Cl) in the anisotropic thermal conductive material is 0.1 ppm or less. Chlorine (Cl) has a large corrosive action on metals. For this reason, the copper foil on the substrate and the corrosion of the hot press apparatus can be prevented.

以上の構成の異方性熱伝導シート5を用いたプリント配線板の製造方法について、以下に説明する。   A method for manufacturing a printed wiring board using the anisotropic heat conductive sheet 5 having the above configuration will be described below.

まず、銅はく1、半硬化状態のプリプレグ2、銅はく1の順序で積層体6を準備する。なお、積層体6は半硬化状態のプリプレグ間に回路を有するコア基板を挿入し加圧・加熱することで多層の積層体とすることも可能である。   First, the laminated body 6 is prepared in the order of copper foil 1, semi-cured prepreg 2, and copper foil 1. In addition, the laminated body 6 can also be made into a multilayer laminated body by inserting the core board | substrate which has a circuit between the prepregs of a semi-hardened state, and pressurizing and heating.

次に、図1に示すように、SUS板3、積層体6、SUS板3の順序で複数段に積み上げ最外層をSUS板3で挟持した形態の積層構造物7を準備し、これを熱プレス装置の熱板4の上に載置された異方性熱伝導シート5の上に載置する。なお、積層構造物7を前述のように熱プレス装置外で準備する手順とは異なり、異方性熱伝導シート5の上にSUS板3を載置し、積層体6、SUS板3の順序で熱プレス装置内で直接複数段に積み上げ積層構造物7として構成することも可能である。   Next, as shown in FIG. 1, a laminated structure 7 having a form in which the outermost layer is sandwiched between the SUS plates 3 in a plurality of stages in the order of the SUS plate 3, the laminated body 6, and the SUS plate 3 is prepared. It mounts on the anisotropic heat conductive sheet 5 mounted on the hot platen 4 of a press apparatus. Unlike the procedure for preparing the laminated structure 7 outside the hot press apparatus as described above, the SUS plate 3 is placed on the anisotropic heat conductive sheet 5 and the order of the laminated body 6 and the SUS plate 3 is set. Thus, it is also possible to form a stacked structure 7 that is directly stacked in a plurality of stages in the hot press apparatus.

次に、複数段に積み上げられた最上のSUS板3と熱板4の間にも異方性熱伝導シート5を配置し、これを熱プレス装置で加熱・加圧する。   Next, the anisotropic heat conductive sheet 5 is also arranged between the uppermost SUS plate 3 and the hot plate 4 stacked in a plurality of stages, and this is heated and pressed by a hot press device.

加熱条件は、真空中で中間保持温度100℃・保持時間60分、最高温度250度・保持時間60分、昇温速度0.5〜3.0℃/分であり、加圧条件は、20〜40kg/cm2で行った。 The heating conditions are an intermediate holding temperature of 100 ° C. and a holding time of 60 minutes in a vacuum, a maximum temperature of 250 ° C. and a holding time of 60 minutes, a heating rate of 0.5 to 3.0 ° C./min, and a pressing condition of 20 Performed at ˜40 kg / cm 2 .

従来の製造方法では、加熱中の積層体の温度ばらつきは10〜15℃あったが、本発明による製造方法では、加熱中の基板内の温度ばらつきは3℃以下に低減された。   In the conventional manufacturing method, the temperature variation of the laminate during heating was 10 to 15 ° C., but in the manufacturing method according to the present invention, the temperature variation in the substrate during heating was reduced to 3 ° C. or less.

(実施の形態2)
次に本発明の実施の形態2について、図面を用いて説明する。
(Embodiment 2)
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

図3は、本発明の実施の形態2におけるプリント配線板の製造方法を示す概略図である。図中の符号については、銅はく1、半硬化状態のプリプレグ2、SUS板3、熱プレス装置の熱板4、異方性熱伝導シート5、5a、積層体6を示し、寸法および構成は実施の形態1と同様である。   FIG. 3 is a schematic diagram showing a method for manufacturing a printed wiring board according to Embodiment 2 of the present invention. For the reference numerals in the figure, copper foil 1, semi-cured prepreg 2, SUS plate 3, hot plate 4 of hot press apparatus, anisotropic heat conductive sheets 5, 5a, and laminate 6 are shown, and the dimensions and configuration are shown. Is the same as in the first embodiment.

図3に示すように、SUS板3、積層体6を2組、SUS板3の順序で複数段に積み上げ最外層をSUS板3で挟持した形態の積層構造物7a、7bを準備する。   As shown in FIG. 3, two sets of the SUS plate 3 and the laminated body 6 are stacked in a plurality of stages in the order of the SUS plate 3, and laminated structures 7 a and 7 b in a form in which the outermost layer is sandwiched between the SUS plates 3 are prepared.

積層構造物7aを熱プレス装置の熱板4の上に載置された異方性熱伝導シート5の上に載置し、積層構造物7a上に異方性熱伝導シート5aを配置し、その上に積層構造物7bを積み上げていく。   The laminated structure 7a is placed on the anisotropic heat conductive sheet 5 placed on the hot plate 4 of the hot press device, and the anisotropic heat conductive sheet 5a is placed on the laminated structure 7a. The laminated structure 7b is piled up on it.

このように、複数段に積み上げられた積層構造物の最上のSUS板3と熱板4の間にも異方性熱伝導シート5を配置する。   In this manner, the anisotropic heat conductive sheet 5 is also disposed between the uppermost SUS plate 3 and the heat plate 4 of the laminated structure stacked in a plurality of stages.

本実施の形態は、積層構造物7a、7bの間にも異方性熱伝導シート5aを配置するというもので、熱プレス装置の大型化に伴う多段構造の積層構造物であっても積層体6に加熱される温度ばらつきを低減させることを意図したものである。   In the present embodiment, the anisotropic heat conductive sheet 5a is also arranged between the laminated structures 7a and 7b. Even if the laminated structure has a multi-stage structure accompanying an increase in the size of the heat press apparatus, the laminated body is used. 6 is intended to reduce the temperature variation heated.

以上の積層構造物を熱プレス装置で加熱、加圧する。加熱条件は、真空中で中間保持温度100℃・保持時間60分、最高温度250度・保持時間60分、昇温速度0.5〜3.0℃/分であり、加圧条件は、20〜40kg/cm2で行った。 The above laminated structure is heated and pressurized with a hot press apparatus. The heating conditions are an intermediate holding temperature of 100 ° C. and a holding time of 60 minutes in a vacuum, a maximum temperature of 250 ° C. and a holding time of 60 minutes, a heating rate of 0.5 to 3.0 ° C./min, and a pressing condition of 20 Performed at ˜40 kg / cm 2 .

従来の製造方法において積層体6を2組並べて設置する場合では、加熱中の基板内の温度ばらつきは15〜20℃あったが、本発明による製造方法では、加熱中の基板内の温度ばらつきは5℃以下に低減された。   In the case where two sets of the laminates 6 are installed side by side in the conventional manufacturing method, the temperature variation in the substrate during heating was 15 to 20 ° C., but in the manufacturing method according to the present invention, the temperature variation in the substrate during heating is The temperature was reduced to 5 ° C. or lower.

なお、本実施の形態では、積層体6を2組並べて設置する事例を示したが、図4に示すように積層体6を1組とし、SUS板3の間に異方性熱伝導シート5aを配置する構成を採用することも可能である。この場合の加熱中の積層体の温度ばらつきは、本発明の実施の形態1における効果より良好であったことが確認された。   In addition, in this Embodiment, although the example which installed two sets of laminated bodies 6 side by side was shown, the laminated body 6 is made into 1 set as shown in FIG. It is also possible to adopt a configuration in which It was confirmed that the temperature variation of the laminate during heating in this case was better than the effect in the first embodiment of the present invention.

以上のように本発明は、プリント配線板の製造工程の熱プレス工程において異方性熱伝導シートを設置することを特徴とした製造方法を提供するものである。   As mentioned above, this invention provides the manufacturing method characterized by installing an anisotropic heat conductive sheet in the hot press process of the manufacturing process of a printed wiring board.

この構成により、熱プレス内の基板の面内温度ばらつきを少なくすることができ、また、生産性を低下させることなくプリント配線板を生産することができる。   With this configuration, the in-plane temperature variation of the substrate in the hot press can be reduced, and a printed wiring board can be produced without reducing productivity.

この結論として本発明は、安定した品質のプリント配線板を効率よく生産することが可能となるプリント配線板の製造方法を提供しうるものであり、産業上の利用可能性は大といえる。   As a conclusion, the present invention can provide a method for producing a printed wiring board capable of efficiently producing a printed wiring board having stable quality, and can be said to have great industrial applicability.

本発明の実施の形態1におけるプリント配線板の製造方法を示す概略図Schematic which shows the manufacturing method of the printed wiring board in Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態1における異方性熱伝導シートを示す概略図Schematic which shows the anisotropic heat conductive sheet in Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態2におけるプリント配線板の製造方法を示す概略図Schematic which shows the manufacturing method of the printed wiring board in Embodiment 2 of this invention. 本発明の実施の形態2におけるプリント配線板の製造方法を示す概略図Schematic which shows the manufacturing method of the printed wiring board in Embodiment 2 of this invention. 従来のプリント配線板の製造方法を示す概略図Schematic showing a conventional printed wiring board manufacturing method 従来のプリント配線板の製造方法を示す概略図Schematic showing a conventional printed wiring board manufacturing method

符号の説明Explanation of symbols

1 銅はく
2 半硬化状態のプリプレグ
3 SUS板
4 熱プレス装置の熱板
5、5a 異方性熱伝導シート
6 積層体
7、7a、7b 積層構造物
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Copper foil 2 Semi-hardened prepreg 3 SUS board 4 Hot plate of a hot press apparatus 5, 5a Anisotropic heat conductive sheet 6 Laminated body 7, 7a, 7b Laminated structure

Claims (15)

少なくとも銅はくと半硬化状態のプリプレグで構成された積層体を準備する工程と、
前記積層体をSUS板で挟持した積層構造物を熱プレス装置内に載置する工程と、
前記熱プレス装置の熱板によりSUS板で挟持された前記積層体を加圧・加熱する工程とを備え、
前記熱プレス装置の熱板と前記SUS板の間には異方性熱伝導シートが配置されていることを特徴とするプリント配線板の製造方法。
Preparing a laminate composed of at least copper foil and a semi-cured prepreg;
Placing the laminated structure in which the laminate is sandwiched between SUS plates in a hot press apparatus;
A step of pressing and heating the laminate sandwiched between SUS plates by a hot plate of the hot press device,
A method for manufacturing a printed wiring board, wherein an anisotropic heat conductive sheet is disposed between a hot plate of the hot press device and the SUS plate.
少なくとも銅はくと半硬化状態のプリプレグで構成された積層体を準備する工程と、
前記積層体をSUS板で挟持した積層構造物を複数段重ねて熱プレス装置内に載置する工程と、
前記熱プレス装置の熱板によりSUS板で挟持された前記積層体を加圧・加熱する工程とを備え、
前記熱プレス装置の熱板と前記SUS板の間および積層構造物の間には異方性熱伝導シートが配置されていることを特徴とするプリント配線板の製造方法。
Preparing a laminate composed of at least copper foil and a semi-cured prepreg;
A step of stacking a plurality of laminated structures sandwiching the laminated body with SUS plates and placing them in a hot press apparatus;
A step of pressing and heating the laminate sandwiched between SUS plates by a hot plate of the hot press device,
A method for producing a printed wiring board, wherein an anisotropic heat conductive sheet is disposed between a hot plate of the hot press device and the SUS plate and between the laminated structures.
積層構造物は積層体とSUS板とが交互に複数段に積み上げられかつSUS板で挟持されていることを特徴とする請求項1または2に記載のプリント配線板の製造方法。 The method for producing a printed wiring board according to claim 1 or 2, wherein the laminated structure is formed by alternately stacking laminated bodies and SUS boards in a plurality of stages and sandwiching them by SUS boards. 少なくとも2組の積層体がSUS板に挟持されていることを特徴とする請求項1または2に記載のプリント配線板の製造方法。 The method for manufacturing a printed wiring board according to claim 1, wherein at least two sets of laminates are sandwiched between SUS boards. 積層体は半硬化状態のプリプレグ間に回路を有するコア基板を備えていることを特徴とする請求項1または2に記載のプリント配線板の製造方法。 The method for manufacturing a printed wiring board according to claim 1 or 2, wherein the laminate includes a core substrate having a circuit between prepregs in a semi-cured state. 異方性熱伝導シートは厚さ方向と面方向で熱伝導率が異なる性質を備えていることを特徴とする請求項1に記載のプリント配線板の製造方法。 The method for producing a printed wiring board according to claim 1, wherein the anisotropic heat conductive sheet has a property that the thermal conductivity is different between the thickness direction and the surface direction. 異方性熱伝導シートは炭素系材料から得られる高配向性を備えたグラファイトシートであることを特徴とする請求項1に記載のプリント配線板の製造方法。 The method for producing a printed wiring board according to claim 1, wherein the anisotropic heat conductive sheet is a graphite sheet having high orientation obtained from a carbon-based material. 異方性熱伝導シートの面方向熱伝導率は厚さ方向の熱伝導率より大であることを特徴とする請求項6に記載のプリント配線板の製造方法。 The method for manufacturing a printed wiring board according to claim 6, wherein the thermal conductivity in the plane direction of the anisotropic thermal conductive sheet is larger than the thermal conductivity in the thickness direction. 異方性熱伝導シートの面方向熱伝導率は厚さ方向の熱伝導率の100倍以上であることを特徴とする請求項8に記載のプリント配線板の製造方法。 The method for producing a printed wiring board according to claim 8, wherein the thermal conductivity in the plane direction of the anisotropic thermal conductive sheet is 100 times or more the thermal conductivity in the thickness direction. 異方性熱伝導シートの厚さ方向の熱伝導率は1〜10W/m・Kの範囲であり、面方向熱伝導率は500〜1000W/m・Kの範囲であることを特徴とする請求項9に記載のプリント配線板の製造方法。 The thickness direction thermal conductivity of the anisotropic thermal conductive sheet is in the range of 1 to 10 W / m · K, and the planar thermal conductivity is in the range of 500 to 1000 W / m · K. Item 10. A method for producing a printed wiring board according to Item 9. 異方性熱伝導シートは、フレキシブル性を備えていることを特徴とする請求項1に記載のプリント配線板の製造方法。 The method for manufacturing a printed wiring board according to claim 1, wherein the anisotropic heat conductive sheet has flexibility. 異方性熱伝導シートの耐熱温度は400℃以上であることを特徴とする請求項1に記載のプリント配線板の製造方法。 The method for producing a printed wiring board according to claim 1, wherein the heat resistant temperature of the anisotropic heat conductive sheet is 400 ° C. or higher. 異方性熱伝導シートは外観、寸法、特性が常温から1000℃まで変化しないことを特徴とする請求項1に記載のプリント配線板の製造方法。 The method for producing a printed wiring board according to claim 1, wherein the anisotropic heat conductive sheet does not change in appearance, size, and characteristics from room temperature to 1000 ° C. 異方性熱伝導シートは、鉄(Fe)、アルミニウム(Al)、カルシウム(Ca)、マグネシウム(Mg)、カリウム(K)、ナトリウム(Na)の含有量が1ppm以下であることを特徴とする請求項1に記載のプリント配線板の製造方法。 The anisotropic heat conductive sheet is characterized in that the content of iron (Fe), aluminum (Al), calcium (Ca), magnesium (Mg), potassium (K), and sodium (Na) is 1 ppm or less. The manufacturing method of the printed wiring board of Claim 1. 異方性熱伝導シートは、塩素(Cl)の含有量が0.1ppm以下であることを特徴とする請求項1に記載のプリント配線板の製造方法。 The method for manufacturing a printed wiring board according to claim 1, wherein the anisotropic heat conductive sheet has a chlorine (Cl) content of 0.1 ppm or less.
JP2005076813A 2005-03-17 2005-03-17 Method for manufacturing printed wiring board Expired - Fee Related JP4747620B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005076813A JP4747620B2 (en) 2005-03-17 2005-03-17 Method for manufacturing printed wiring board

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005076813A JP4747620B2 (en) 2005-03-17 2005-03-17 Method for manufacturing printed wiring board

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2011011646A Division JP2011082575A (en) 2011-01-24 2011-01-24 Sheet for manufacturing printed wiring board

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2006261388A true JP2006261388A (en) 2006-09-28
JP2006261388A5 JP2006261388A5 (en) 2008-05-01
JP4747620B2 JP4747620B2 (en) 2011-08-17

Family

ID=37100291

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005076813A Expired - Fee Related JP4747620B2 (en) 2005-03-17 2005-03-17 Method for manufacturing printed wiring board

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4747620B2 (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101107589B1 (en) * 2011-09-16 2012-01-25 안치욱 Multi layer printed circuit board enhanced adhesive of the thick copper, and manufacturing method of it
CN107576686A (en) * 2017-10-27 2018-01-12 江苏优为视界科技有限公司 A kind of heat-conducting medium material conducts heat aptitude tests device and method of testing
CN114269078A (en) * 2021-12-28 2022-04-01 深圳市深合达电子有限公司 A pressfitting machine for printed circuit board production
CN114269078B (en) * 2021-12-28 2024-04-26 深圳市大正科技有限公司 Press-fit machine for producing printed circuit board

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0929773A (en) * 1995-07-17 1997-02-04 Matsushita Electric Works Ltd Manufacture of laminated plate
JP2002006662A (en) * 2000-06-27 2002-01-11 Minolta Co Ltd Heating member for fixing and pressurizing member for fixing
JP2002094214A (en) * 2000-09-13 2002-03-29 Sato Shoji Corp Substrate manufacturing method, device and single-sided insulating sheet used for the manufacturing method

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0929773A (en) * 1995-07-17 1997-02-04 Matsushita Electric Works Ltd Manufacture of laminated plate
JP2002006662A (en) * 2000-06-27 2002-01-11 Minolta Co Ltd Heating member for fixing and pressurizing member for fixing
JP2002094214A (en) * 2000-09-13 2002-03-29 Sato Shoji Corp Substrate manufacturing method, device and single-sided insulating sheet used for the manufacturing method

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101107589B1 (en) * 2011-09-16 2012-01-25 안치욱 Multi layer printed circuit board enhanced adhesive of the thick copper, and manufacturing method of it
CN107576686A (en) * 2017-10-27 2018-01-12 江苏优为视界科技有限公司 A kind of heat-conducting medium material conducts heat aptitude tests device and method of testing
CN114269078A (en) * 2021-12-28 2022-04-01 深圳市深合达电子有限公司 A pressfitting machine for printed circuit board production
CN114269078B (en) * 2021-12-28 2024-04-26 深圳市大正科技有限公司 Press-fit machine for producing printed circuit board

Also Published As

Publication number Publication date
JP4747620B2 (en) 2011-08-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2000263577A5 (en)
JP2008124370A (en) Method of manufacturing multilayer printed wiring board
KR101671120B1 (en) Method for manufacturing double-faced metal laminate, method for manufacturing printed circuit board, method for manufacturing multiple layered laminate, and method for manufacturing multiple layered printed circuit board
JP2008307886A (en) Metal-clad laminated board, multilayer laminated board and method for manufacturing the same
JP2007180317A (en) Manufacturing method of printed wiring board
JP5955331B2 (en) Novel printed circuit board and manufacturing method thereof
JP4747620B2 (en) Method for manufacturing printed wiring board
JP2013247333A (en) Wiring board and manufacturing method of the same
JP5619580B2 (en) Manufacturing method of multilayer printed wiring board
JP6634601B2 (en) Graphite plate and its manufacturing method
JP2000340908A (en) Prepreg, manufacture and manufacture of wiring board
JP2006261389A (en) Sheet for manufacturing printed wiring board
JP2011082575A (en) Sheet for manufacturing printed wiring board
JP3277195B2 (en) Multilayer printed wiring board and method of manufacturing the same
JP2001326458A (en) Printed wiring board and its manufacturing method
KR20220016582A (en) Thick graphite foil and Method for making the same
JP2006261388A5 (en)
KR20180055014A (en) Graphite sheet having excellent plane thermal conduction for heat radiation solution, Heat radiation solution containing the same and Manufacturing method thereof
JP2013120934A (en) Method of manufacturing printed circuit boards
JP3800989B2 (en) Heat press equipment
JP2008085111A (en) Wiring board and manufacturing method therefor
JP2007266165A (en) Manufacturing method of multilayer wiring board
CN110557892A (en) Manufacturing process of heat dissipation structure combining PCB and metal substrate
JP4591181B2 (en) Printed wiring board
JP2003188493A (en) Method of manufacturing circuit board

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20080313

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20080313

RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421

Effective date: 20080414

RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421

Effective date: 20091126

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20101124

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20101224

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20110419

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20110502

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140527

Year of fee payment: 3

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees