JP2006261145A

JP2006261145A - 搬送制御装置及び搬送制御方法

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Publication number: JP2006261145A
Application number: JP2005072193A
Authority: JP
Inventors: Mitsuru Harada; 充原田
Original assignee: Asyst Shinko Inc
Current assignee: Asyst Shinko Inc
Priority date: 2005-03-15
Filing date: 2005-03-15
Publication date: 2006-09-28
Anticipated expiration: 2025-03-15
Also published as: JP4501734B2

Abstract

【課題】複数のフロアに分散した複数の製造工程で処理が行われる被製造物の搬送を行う搬送システムにおいて、搬送効率を向上させる。
【解決手段】出発地点からリフタまでの搬送距離とリフタから到着地点までの搬送距離の合計である合計搬送距離に基づいて、優先順位を算出する（Ｓ１０）。そして、優先順位が最優先順位（再選択時は、次の順位が最優先順位となる）のリフタを選択し（Ｓ１１）、当該リフタの待ち搬送台車数が制限値以下であるかどうかを判断する（Ｓ１２）。最優先順位のリフタの待ち搬送台車数が制限値以下でない場合は（Ｓ１２：ＮＯ）、当該リフタを選択から除外し（Ｓ１３）、最優先順位のリフタを再選択する（Ｓ１２）。一方、最優先順位のリフタの待ち搬送台車数が制限値以下である場合は（Ｓ１２：ＹＥＳ）、当該リフタを搬送に使用するリフタとして決定し（Ｓ１４）、搬送を開始する。
【選択図】図１

Description

本発明は、複数のフロアに分散した複数の製造工程で処理が行われる被製造物の搬送を行う搬送システムを制御する搬送制御装置及び搬送制御方法に関するものである。

半導体、液晶などの製造工場においては、空気中の微細な粉塵などが製品の品質性能に悪影響を及ぼすため、製造過程の品物（例えば、半導体製品製造施設の場合、半導体基板や液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等の被製造物の中間製品）をカセットの格納し、製造プロセスに従い、搬送システムにより装置から装置に搬送する自動搬送システム（ＡＭＨＳ: Automated Material Handling System）が用いられている（特許文献１参照）。尚、搬送システムとしては、天井より懸垂された軌道上を走行してＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）を搬送するＯＨＴ（Over head Hoist Transport）、ＯＨＳ（Over Head Shuttle）、床上を自立走行する搬送台車を用いた搬送システムなど、軌道上を走行する搬送台車による搬送システムが主流となっている。

そして、自動搬送システムを用いた製造工場では、生産規模の拡大、製造工場の大規模化が図られ、これに伴い、製造装置台数の増加、搬送システムの規模拡大が図られており、製造工程が複数のフロアにまたがって構成されている場合がある。そのような場合は、垂直方向であるフロア間の搬送と、水平方向であるフロア内の搬送とが混在している。ここで、複数のフロアにまたがって構成される製造工程で処理が行われる被製造物の搬送を行う搬送システムにおける従来の搬送制御装置及び搬送制御方法について、図８〜図１１を用いて説明する。図８は、階層間を貫くリフタを有する３階建て半導体工場の一部断面斜視図である。図９は、リフタ部を含む図８の高さ方向の断面図である。図１０は、リフタ部を含む図８の１階部分の上面図である。尚、図１０に示すリフタ部は各階で同様の構造である。図１１は、１階フロアにおける製造装置と製造装置間を搬送するＯＨＴ搬送台車の軌道配置およびリフタ配置図である。そして、図８に示す搬送システム１において、軌道１０を走行するＯＨＴ搬送台車１１、及び、図９、図１０に示す１階フロア２、２階フロア３、３階フロア４を貫くリフタ５を用いて、１階フロア２にある加工処理が終了した製造装置１６の製造装置出庫ポート１８から３階フロア４にある次の処理を行う製造装置１６の製造装置入庫ポート１７まで、被製造物が収納されたＦＯＵＰ２０を搬送する場合について説明する。

図１１に示すように、１階フロアにおいて、ＯＨＴ搬送台車１１が、半導体製造装置１６において加工処理が終了した基板が収納され、製造装置出庫ポート１８から出庫されたＦＯＵＰ２０を把持し、ルートＲａで示される工程内軌道２２ｂ、工程間軌道２１、工程内軌道２２ａを経由し、半導体製造装置１６から最も近い距離にあるリフタ５まで走行する。ＯＨＴ搬送台車１１は、リフタ５に到着後、図９に示すように、リフタ入庫ポート１４にＦＯＵＰ２０を降ろす。図１０に示すように、リフタ入庫ポート１４のＦＯＵＰ載置台はコンベア構造を有し、ＦＯＵＰ２０を載置したＦＯＵＰ載置台は、リフタ入庫口１３方向に移送され、リフタ入庫口１３の直前で停止する。

一方、図９に示すように、リフタ５内に設けられたケージ６には、移載機７が搭載されている。そして、ＦＯＵＰ２０は、移載機７によりケージ６内の入庫側位置に１個または複数個（本例では２個）同時に取り込まれ、リフタ入庫口１３の扉が閉となる。一旦ケージ６内に取り込まれたＦＯＵＰ２０は、ケージ６内で移載機７により入庫側位置から出庫側位置に移載され、リフタ５は、３階フロア４まで上昇されて停止する。ケージ６が３階に到着すると、リフタ出庫口１４の扉が開となる。移載機７はＦＯＵＰ２０を１個または複数個（本例では２個）同時に取り出し、３階のリフタ出庫ポート１４上に載置する。ＦＯＵＰ２０はリフタ出庫ポート１４のコンベア機能により、ＯＨＴ搬送台車のアクセスポイントまで移送される（図１０参照）。続いて、３階天井に敷設された軌道上を走行する空載状態のＯＨＴ搬送台車１１がこのアクセスポイントに停止し、グリッパを加工させてＦＯＵＰ２０を把持し、所定の製造装置１６のポートの製造装置入庫ポート１７まで搬送する。

特開２００５−１８８６号公報

ここで、複数のリフタを用いて階間搬送を行う搬送システムでは、選択したリフタに依存して全体の搬送効率が大きく変動するという問題がある。即ち、複数のリフタが存在する場合、上述した従来技術では、図１１で説明したように、搬送台車の出発地点から最短距離に位置するリフタを選択している。かかる従来技術においては、ある特定のリフタは搬送台車が集中して待ち行列ができ、他のリフタは遊休状態に陥るなど、リフタの負荷に差が生じている場合には、全体としての搬送効率が著しく低下し、引いては製造工場の生産性が低下するという問題がある。

そこで、本発明は、複数のフロアに分散した複数の製造工程で処理が行われる被製造物の搬送を行う搬送システムにおいて、搬送効率を向上することにより生産性の向上に寄与することができる搬送制御装置及び搬送制御方法を提供するものである。

課題を解決するための手段及び効果

本発明に係る搬送制御装置は、複数のフロアに分散した複数の製造工程で処理が行われる被製造物の搬送を行う搬送システムを制御する搬送制御装置であって、前記搬送システムは、前記複数のフロア間の搬送を行うリフタと、前記各フロアに配置されてフロア内での搬送を行う複数の搬送台車とを含み、前記搬送制御装置は、前記搬送システムで前記被製造物を異なるフロアに搬送する際に、前記リフタの全てについて優先順位を算出するための優先順位算出手段と、前記リフタの負荷を考慮しつつ、前記優先順位の高いリフタを搬送に使用するリフタとして選択するリフタ選択手段と、を備えることを特徴とする。

また、本発明に係る搬送制御方法は、複数のフロアに分散した複数の製造工程で処理が行われる被製造物の搬送を行う搬送システムを制御する搬送制御方法であって、前記搬送システムは、前記複数のフロア間の搬送を行うリフタと、前記各フロアに配置されてフロア内での搬送を行う複数の搬送台車とを含み、前記搬送制御方法は、前記搬送システムで前記被製造物を異なるフロアに搬送する際に、前記リフタの全てについて優先順位を算出するための優先順位算出ステップと、前記リフタの負荷を考慮しつつ、前記優先順位の高いリフタを搬送に使用するリフタとして選択するリフタ選択ステップと、を備えることを特徴とする。

これにより、リフタの負荷を考慮しつつ、優先順位の高いリフタを搬送に使用するリフタとして選択している。従って、リフタの負荷を分散させて、搬送効率を向上させるとともに、生産工場の生産性の向上に寄与することが可能となる。

ここで、本発明に係る搬送制御装置は、前記リフタの負荷が、前記リフタにおける事前に決めた待ち搬送台車数であり、前記リフタ選択手段が、前記リフタにおける待ち搬送台車数が所定の制限値を超える場合は、当該リフタを選択しないようにして良い。

同様に、本発明に係る搬送制御方法は、前記リフタの負荷が、前記リフタにおける事前に決めた待ち搬送台車数であり、前記リフタ選択ステップが、前記リフタにおける待ち搬送台車数が所定の制限値を超える場合は、当該リフタを選択しないようにして良い。

これにより、待ち搬送台車数が多いリフタは搬送に使用されないため、リフタの負荷を分散することができ、搬送効率を向上させるとともに、生産工場の生産性の向上に寄与することが可能となる。ここで、所定の制限値は、例えば、リフタ構造（リフタの入出庫ポートのFOUP設置可能数、リフタ内移載機の動作速度等）、被製造物の出発地点から到着地点までの走行経路等を変数として、最大効率を満たす値を、リフタ毎に事前に決定する。

ここで、前記優先順位は、前記被製造物の搬送元のフロアにおける出発地点から前記リフタまでの搬送距離と、前記被製造物の搬送先のフロアにおける前記リフタから到着地点までの搬送距離の合計搬送距離に基づいて算出され、当該合計搬送距離が短いほど優先順位が高くなるようにして良い。

これにより、階間にまたがる搬送に要する平均搬送時間を最小化するための優先順位を、出発地点からリフタまでの搬送距離とリフタから到着地点までの搬送距離との合計搬送距離を基準として算出しているため、階間にまたがる搬送に要する平均搬送時間にほぼ比例する値として計算することにより、搬送効率を向上させることができる。尚、この場合の所定の制限値は、出発地点の階と到着地点の階の双方におけるリフタ構造を考慮する。そして、出発地点の階と到着地点の階の待ち搬送台車数の合計が所定の制限値を超えるかどうかを判断する。

また、前記優先順位は、前記被製造物の搬送元のフロアにおける出発地点から前記リフタまでの搬送距離に基づいて算出され、当該搬送距離が短いほど優先順位が高くなるようにして良い。

これにより、階間にまたがる搬送に要する平均搬送時間を最小化するための優先順位を、出発地点からリフタまでの搬送距離を基準として算出しているため、出発地点からリフタまでの搬送距離とリフタから到着地点までの搬送距離との合計搬送距離を基準として優先順位を算出する前述の制御方法に比べて、計算が容易であり、制御が簡単で搬送制御装置の負荷を軽減することができる。尚、この場合の所定の制限値は、出発地点の階におけるリフタ構造を考慮する。そして、出発地点の階の待ち搬送台車数が所定の制限値を超えるかどうかを判断する。

ここで、前記優先順位は、前記被製造物の搬送元のフロアにおける出発地点から、前記リフタを経由して、前記被製造物の搬送先のフロアにおける到着地点までの搬送時間に基づいて算出され、当該搬送時間が短いほど優先順位が高くなるようにして良い。

これにより、階間にまたがる搬送に要する平均搬送時間を最小化するための優先順位を、出発地点からリフタを経由した到着地点までの搬送時間（出発地点からリフタまでの搬送時間、リフタ昇降時間、及び、リフタから到着地点までの搬送時間の合計）を基準として算出しているため、階間にまたがる搬送に要する平均搬送時間にほぼ近似する値として計算することにより、搬送効率をより向上させることができる。尚、この場合の所定の制限値は、出発地点の階と到着地点の階の双方におけるリフタ構造を考慮する。そして、出発地点の階と到着地点の階の待ち搬送台車数の合計が所定の制限値を超えるかどうかを判断する。

また、前記優先順位は、前記被製造物の搬送元のフロアにおける出発地点から前記リフタまでの搬送時間に基づいて算出され、当該搬送時間が短いほど優先順位が高くなるようにして良い。

これにより、階間にまたがる搬送に要する平均搬送時間を最小化するための優先順位を、出発地点からリフタまでの搬送時間を基準として算出しているため、出発地点からリフタまでの搬送時間とリフタから到着地点までの搬送時間との合計搬送時間を基準として優先順位を算出する前述の制御方法と比較して、計算が容易であり、制御が簡単で搬送制御装置の負荷を軽減することができる。尚、この場合の所定の制限値は、出発地点の階におけるリフタ構造を考慮する。そして、出発地点の階の待ち搬送台車数が所定の制限値を超えるかどうかを判断する。

ここで、前記搬送時間は、一定期間内における実績搬送時間に基づいて算出された値であって良い。

これにより、搬送時間として実際にかかった搬送時間である実績搬送時間を反映しており（例えば、一定期間内における実績搬送時間の平均値として算出した値、または、一定期間内における実績搬送時間の平均値と実績搬送時間とから算出した標準偏差値を搬送時間とする。）、階間にまたがる搬送に要する平均搬送時間を実質的な値として計算することができ、搬送効率を搬送実績に基づき更に向上させることができる。

以下、図面を参照しつつ、本発明に係る搬送制御装置及び搬送制御方法を実施するための最良の形態について、具体的な一例に即して説明する。

まず、本実施形態に係る搬送制御装置について、図２及び図３を用いて説明する。図２は、第一の実施形態に係る搬送制御装置を用いてＯＨＴ搬送台車が１階から３階までＦＯＵＰを搬送するときの経路図であり、（ａ）は１階の経路図であり、（ｂ）は３階の経路図である。図３は、本実施形態に係る搬送制御装置を含む半導体製造工場の生産コントロールシステムの構成図である。

生産コントロールシステム１は、図３に示すように、製造管理システムであるＭＥＳ（Manufacturing Execution System）２５及び搬送制御システム（搬送制御装置）であるＭＣＳ（Material Control System）２６と、製造装置１６と、搬送システム１１と、ストッカ２７とから構成される。尚、複数のフロアにまたがって構成される製造工程で処理が行われる半導体製造工場の構造は、従来技術で説明した図８〜図１１と同様であり、その説明を省略する。

ＭＥＳ２５は、半導体製造ラインの進捗管理、生産自動化のための情報処理システムであり、スケジューラとディスパッチャの機能を含み、製造装置１６からポートの状態報告（払出可能報告、払出完了報告等）を受信すると共に、製造装置１６に対してポート予約や払出指示などを行う。ＭＣＳ２６は、ＭＥＳ２５からの搬送指令を受け付け、それに従って搬送システム１１及びストッカ２７の個々が有機的に動作してＭＥＳ２５から受けた搬送指示を遂行するように指示を出すとともに、この搬送システム１１及びストッカ２７の状態を監視するためのソフトウェアをサポートした制御装置である。また、ＭＣＳ２６は、各リフタの優先順位を決定する優先順位算出部２６ａと、優先順位算出部２６ａに基づいて算出した優先順位に基づいて搬送に使用するリフタを選択するリフタ選択部２６ｂとを含む。

搬送システム１１は、ＯＨＴ搬送台車，ＯＨＳ搬送台車，ＡＧＶ搬送台車，ＲＧＶ搬送台車等である。ストッカ２７は、保管するためのシステムである。製造装置１６は、ウェハ等の被製造物を物理的あるいは化学的に処理するプロセス装置と、被製造物を測定する（ウェハの場合は膜厚、比抵抗、パターンの寸法、ごみの数等を測定する）測定装置を含むものである。

本実施形態では、図２に示すように、ＭＥＳ２５からＭＣＳ２６に１階フロア（図２（ａ）参照）Ｆ地点に載置された加工処理済み基板の収納されたＦＯＵＰ２０を、次の加工処理を行う半導体処理装置が設置されている３階フロア（図２（ｂ）参照）のＴ地点まで搬送するように指令が出された場合を想定している。ＭＣＳ２６は、この搬送指令を受け、４つのリフタ５（リフタ５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ）について優先順位算出部２６ａで優先順位を決定し、優先順位算出部２６ａに基づいて算出したリフタ５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄの優先順位に基づいて、使用するリフタ５の決定を行う。

［第一の実施形態］
上述の半導体製造工場の生産コントロールシステムを用いて、まず、第一の実施形態における搬送制御装置（ＭＣＳ２６）が搬送指令を受けて被製造物を異なるフロアに搬送する際の搬送制御方法を、図１及び図２に基づいて説明する。図１は、第一の実施形態に係る搬送制御装置が被製造物を異なるフロアに搬送する際の搬送制御方法を示すフローチャートである。

搬送指令をうけたＭＣＳ２６は、出発地点である１階フロアＦ地点から各リフタ５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄの１階フロアポート５ａ１、５ｂ１、５ｃ１、５ｄ１までの搬送経路の搬送距離テーブル、及び、各リフタ５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄの３階フロアポート５ａ３、５ｂ３、５ｃ３、５ｄ３から到着地点である３階フロアＴ地点までの搬送経路の搬送距離テーブル、とから、優先順位算出部２６ａにおいて、１階フロア経路と３階フロア経路の合計搬送距離が短い順にリフタに優先順位を付ける（ステップＳ１０：優先順位算出ステップ）。ここで、出発地点である１階フロアＦ地点から各リフタ５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄの１階フロアポート５ａ１、５ｂ１、５ｃ１、５ｄ１までの搬送経路の搬送距離テーブル、及び、各リフタ５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄの３階フロアポート５ａ３、５ｂ３、５ｃ３、５ｄ３から到着地点である３階フロアＴ地点までの搬送経路の搬送距離テーブルは、予め計測してＭＣＳ２６内の記録媒体に記憶した各フロアにある製造装置１６とリフタ５のポート間の搬送経路の搬送距離テーブルから、出発地点である１階フロアＦ地点にある製造装置１６及び到着地点である３階フロアＴ地点にある製造装置１６をもとに抽出する。

そして、リフタ選択部２６ｂにおいて、以下のステップＳ１１〜Ｓ１４（リフタ選択ステップ）の手順に従いリフタの選択を行う。まず、最優先順位の（優先順位が第１順位の）リフタを抽出する（ステップＳ１１）。

次に、出発地点からの搬送経路Ｒａ１と到着地点までの搬送経路Ｒａ３の合計搬送距離が最短距離にあり、最優先順位のリフタ５ａの待ち搬送台車数が制限値以下であるかどうかを判断する（ステップＳ１２）。ここで、第一の実施形態において、制限値は、出発地点の階と到着地点の階の双方におけるリフタ構造（リフタの入出庫ポートのＦＯＵＰ設置台数、移載機の動作速度等）、出発地点と到着地点間の走行経路等により、リフタ毎に決定する固有の数値である。具体的には、制限値は、搬送シミュレーションプログラムを用い、最大効率を満たす数値をシミュレーションにより事前に求めたものを使用する。そして、第一の実施形態においては、各リフタについて、１階フロアの待ち搬送台車数と３階フロアの待ち搬送台車数の合計が、制限値以下であるかどうかを判断する。尚、制限値は状況の変化に対応させ適宜変更を行う。

最優先順位のリフタ５ａの待ち搬送台車数が制限値以下でない場合は（ステップＳ１２：ＮＯ）、当該リフタ５ａを選択から除外し（ステップＳ１３）、次に優先順位が高い（優先順位が第２順位の）リフタを最優先順位のリフタとして抽出する（ステップＳ１１）。一方、最優先順位のリフタ５ａの待ち搬送台車数が制限値以下である場合は（ステップＳ１２：ＹＥＳ）、当該リフタ５ａを搬送に使用するリフタとして決定し（ステップＳ１４）、搬送を開始する。

ここで、優先順位が第２順位のリフタを抽出した場合（ステップＳ１１）は、優先順位が第２順位のリフタの待ち搬送台車数が制限値以下であるかどうかを判断する（ステップＳ１２）。このように、優先順位が第２順位のリフタに制限値を超える待ち搬送台車数が存在する場合、更に、次に優先順位が高い優先順位が第３順位のリフタに変更される。以下、同様にして、待ち搬送台車数が制限値以下となる条件を満たしたリフタのルートが最終選定される（ステップＳ１４）。

以上により、例えば、最優先順位のリフタ５ａの待ち搬送台車数が制限値以下である場合は、ＭＣＳ２６は、リフタ５ａを搬送に使用するリフタとして決定し、搬送を開始する。即ち、ＭＣＳ２６により、図２（ａ）の１階フロアで、ＯＨＴ搬送台車は、実線で示すルートＲａ１を経由してリフタ５ａの１階フロアポート５ａ１にあるリフタ入庫ポートにＦＯＵＰを降載する。リフタ入庫ポートに載置されたＦＯＵＰはリフタ・ケージ内に設置された移載機によりリフタ・ケージ内に取り込まれ、リフタ５ａにより３階フロアポート５ａ３まで移送される。リフタ５ａが図２（ｂ）の３階フロア到着後、移載機はリフタ・ケージ内のＦＯＵＰをリフタ出庫ポートに移載する。一方、ＭＣＳ２６は、３階フロアに存在するＯＨＴ搬送台車の１台を選択し、リフタ出庫ポートに載置されたＦＯＵＰを実線で示す最短距離ルートＲａ３経由で、到着地点であるＴ地点まで搬送するよう指令を出す。選択されたＯＨＴ搬送台車はルートＲａ３を経由し、Ｔ地点までＦＯＵＰを搬送し、製造装置のポートに載置して搬送を完了させる。

また、例えば、最優先順位のリフタ５ａの待ち搬送台車数が制限値以下であり、優先順位が次に高いリフタ５ｂの待ち搬送台車数が制限値以下である場合は、ＭＣＳ２６は、リフタ５ｂを搬送に使用するリフタとして決定し、搬送を開始する。即ち、ＭＣＳ２６により、図２（ａ）の１階フロアで、ＯＨＴ搬送台車は、破線で示すルートＲｂ１を経由してリフタ５ｂの１階フロアポート５ｂ１にあるリフタ入庫ポートにＦＯＵＰを降載する。リフタ入庫ポートに載置されたＦＯＵＰはリフタ・ケージ内に設置された移載機によりリフタ・ケージ内に取り込まれ、リフタ５ｂにより３階フロアポート５ｂ３まで移送される。リフタ５ｂが図２（ｂ）の３階フロア到着後、移載機はリフタ・ケージ内のＦＯＵＰをリフタ出庫ポートに移載する。一方、ＭＣＳ２６は、３階フロアに存在するＯＨＴ搬送台車の１台を選択し、リフタ出庫ポートに載置されたＦＯＵＰを破線で示す最短距離ルートＲｂ３経由で、到着地点であるＴ地点まで搬送するよう指令を出す。選択されたＯＨＴ搬送台車はルートＲｂ３を経由し、Ｔ地点までＦＯＵＰを搬送し、製造装置のポートに載置して搬送を完了させる。

このように、第一の実施形態に係る搬送制御装置（ＭＣＳ２６）及び搬送制御方法によると、リフタ選択部２６ｂにおいて、待ち搬送台車数が制限値を超えるリフタを選択から除外することにより、リフタの負荷を考慮しつつ、優先順位の高いリフタを搬送に使用するリフタとして選択している（図１のステップＳ１１〜Ｓ１４：リフタ選択ステップ）。従って、待ち搬送台車数が多いリフタは搬送に使用されないため、リフタの負荷を分散することができ、搬送効率を向上させるとともに、生産工場の生産性の向上に寄与することが可能となる。

また、優先順位算出部２６ａにおいて、階間にまたがる搬送に要する平均搬送時間を最小化するための優先順位を、出発地点からリフタまでの搬送距離とリフタから到着地点までの搬送距離との合計搬送距離を基準として算出している（図１のステップＳ１０：優先順位算出ステップ）。従って、階間にまたがる搬送に要する平均搬送時間にほぼ比例する値として計算することにより、搬送効率を向上させることができる。

［第二の実施形態］
次に、第二の実施形態における搬送制御装置（ＭＣＳ２６）が搬送指令を受けて被製造物を異なるフロアに搬送する際の搬送制御方法を、図４及び図２に基づいて説明する。図４は、第二の実施形態に係る搬送制御装置が被製造物を異なるフロアに搬送する際の搬送制御方法を示すフローチャートである。

搬送指令をうけたＭＣＳ２６は、出発地点である１階フロアＦ地点から各リフタ５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄの１階フロアポート５ａ１、５ｂ１、５ｃ１、５ｄ１までの搬送経路の搬送距離テーブルから、優先順位算出部２６ａにおいて、搬送経路の搬送距離が短い順にリフタに優先順位を付ける（ステップＳ２０：優先順位算出ステップ）。ここで、出発地点である１階フロアＦ地点から各リフタ５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄの１階フロアポート５ａ１、５ｂ１、５ｃ１、５ｄ１までの搬送経路の搬送距離テーブルは、予め計測してＭＣＳ２６内の記録媒体に記憶した各フロアにある製造装置１６とリフタ５間の搬送経路の搬送距離テーブルから、出発地点である１階フロアＦ地点にある製造装置１６をもとに抽出する。

そして、リフタ選択部２６ｂにおいて、以下のステップＳ２１〜Ｓ２４（リフタ選択ステップ）の手順に従い、リフタの選択を行う。まず、最優先順位の（優先順位が第１順位の）リフタを抽出する（ステップＳ２１）。

次に、出発地点からの搬送経路Ｒａ１の搬送距離が最短距離にあり、最優先順位のリフタ５ａの待ち搬送台車数が制限値以下であるかどうかを判断する（ステップＳ２２）。ここで、第二の実施形態において、制限値は、出発地点の階におけるリフタ構造（リフタの入出庫ポートのＦＯＵＰ設置台数、移載機の動作速度等）、出発地点と到着地点間の走行経路等により、リフタ毎に決定する固有の数値である。具体的には、制限値は、搬送シミュレーションプログラムを用い、最大効率を満たす数値をシミュレーションにより事前に求めたものを使用する。そして、第二の実施形態においては、各リフタにおいて、１階フロアの待ち搬送台車数が、制限値以下であるかどうかを判断する。そして、第二の実施形態においては、各リフタにおいて、１階フロアの待ち搬送台車数が制限値以下であるかどうかを判断する。尚、制限値は状況の変化に対応させ適宜変更を行う。

最優先順位のリフタ５ａの待ち搬送台車数が制限値以下でない場合は（ステップＳ２２：ＮＯ）、当該リフタ５ａを選択から除外し（ステップＳ２３）、次に優先順位が高い（優先順位が第二順位の）リフタを最優先順位のリフタとして抽出する（ステップＳ２１）。一方、最優先順位のリフタ５ａの待ち搬送台車数が制限値以下である場合は（ステップＳ２２：ＹＥＳ）、当該リフタ５ａを搬送に使用するリフタとして決定し（ステップＳ２４）、搬送を開始する。

ここで、優先順位が第２順位のリフタを抽出した場合（ステップＳ２１）は、優先順位が第２順位のリフタの待ち搬送台車数が制限値以下であるかどうかを判断する（ステップＳ２２）。このように、優先順位が第２順位のリフタに制限値を超える待ち搬送台車数が存在する場合、更に、次に優先順位が高い優先順位が第３順位のリフタに変更される。以下、同様にして、待ち搬送台車数が制限値以下となる条件を満たしたリフタのルートが最終選定される（ステップＳ２４）。

このように、第二の実施形態に係る搬送制御装置（ＭＣＳ２６）及び搬送制御方法によると、リフタ選択部２６ｂにおいて、待ち搬送台車数が制限値を超えるリフタを選択から除外することにより、リフタの負荷を考慮しつつ、優先順位の高いリフタを搬送に使用するリフタとして選択している（図４のステップＳ２１〜Ｓ２４）。従って、待ち搬送台車数が多いリフタは搬送に使用されないため、リフタの負荷を分散することができ、搬送効率を向上させるとともに、生産工場の生産性の向上に寄与することが可能となる。

また、優先順位算出部２６ａにおいて、階間にまたがる搬送に要する平均搬送時間を最小化するための優先順位を、出発地点からリフタまでの搬送距離を基準として算出している（図４のステップＳ２０：優先順位算出ステップ）。従って、第一の実施形態と比較して、計算が容易であり、制御が簡単でＭＣＳ２６の負荷を軽減することができる。

［第三の実施形態］
また、第三の実施形態における搬送制御装置（ＭＣＳ２６）が搬送指令を受けて被製造物を異なるフロアに搬送する際の搬送制御方法を、図５及び図２に基づいて説明する。図５は、第三の実施形態に係る搬送制御装置が被製造物を異なるフロアに搬送する際の搬送制御方法を示すフローチャートである。

搬送指令をうけたＭＣＳ２６は、出発地点である１階フロアＦ地点から各リフタ５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄの１階フロアポート５ａ１、５ｂ１、５ｃ１、５ｄ１までの搬送経路の搬送時間テーブル、リフタ昇降時間、及び、各リフタ５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄの３階フロアポート５ａ３、５ｂ３、５ｃ３、５ｄ３から到着地点である３階フロアＴ地点までの搬送経路の搬送時間テーブル、とから、優先順位算出部２６ａにおいて、１階フロアＦ地点からリフタ経由の３階フロアＴ地点までの搬送時間が短い順にリフタに優先順位を付ける（ステップＳ３０：優先順位算出ステップ）。ここで、出発地点である１階フロアＦ地点から各リフタ５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄの１階フロアポート５ａ１、５ｂ１、５ｃ１、５ｄ１までの搬送経路の搬送時間テーブル、各リフタ５ａ（５ａ１から５ａ３まで）、５ｂ（５ｂ１から５ｂ３まで）、５ｃ（５ｃ１から５ｃ３まで）、５ｄ（５ｄ１から５ｄ３まで）の昇降時間、各リフタ５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄの３階フロアポート５ａ３、５ｂ３、５ｃ３、５ｄ３から到着地点である３階フロアＴ地点までの搬送経路の搬送時間テーブルは、予め計測してＭＣＳ２６内の記録媒体に記憶した各フロアにある製造装置１６とリフタ５間の搬送経路の搬送時間テーブルから、出発地点である１階フロアＦ地点にある製造装置１６及び到着地点である３階フロアＴ地点にある製造装置１６をもとに抽出する。

そして、リフタ選択部２６ｂにおいて、以下のステップＳ３１〜Ｓ３４（リフタ選択ステップ）の手順に従い、リフタの選択を行う。まず、最優先順位の（優先順位が第１順位の）リフタを抽出する（ステップＳ３１）。

次に、出発地点からリフタまで（搬送経路Ｒａ１）、リフタの昇降時間、リフタから到着地点まで（搬送経路Ｒａ３）の合計の搬送時間が最短時間であり、最優先順位のリフタ５ａ１の待ち搬送台車数が制限値以下であるかどうかを判断する（ステップＳ３２）。ここで、第三の実施形態において、制限値は、出発地点の階と到着地点の階の双方におけるリフタ構造（リフタの入出庫ポートのＦＯＵＰ設置台数、移載機の動作速度等）、出発地点と到着地点間の走行経路等により、リフタ毎に決定する固有の数値である。具体的には、制限値は、搬送シミュレーションプログラムを用い、最大効率を満たす数値をシミュレーションにより事前に求めたものを使用する。そして、第三の実施形態においては、各リフタについて、１階フロアの待ち搬送台車数と３階フロアの待ち搬送台数の合計が、制限値以下であるかどうかを判断する。尚、制限値は状況の変化に対応させ適宜変更を行う。

最優先順位のリフタ５ａ１の待ち搬送台車数が制限値以下でない場合は（ステップＳ３２：ＮＯ）、当該リフタ５ａ１を選択から除外し、次に優先順位が高い（優先順位が第２順位の）リフタを最優先順位のリフタとして抽出する（ステップＳ３１）。一方、最優先順位のリフタ５ａ１の待ち搬送台車数が制限値以下である場合は（ステップＳ３２：ＹＥＳ）、当該リフタ５ａ１を搬送に使用するリフタとして決定し（ステップＳ３４）、搬送を開始する。

ここで、優先順位が第２順位のリフタを抽出した場合（ステップＳ３１）は、優先順位が第２順位のリフタの待ち搬送台車数が制限値以下であるかどうかを判断する（ステップＳ３２）。このように、優先順位が第２順位のリフタに制限値を超える待ち搬送台車数が存在する場合、更に、次に優先順位が高い優先順位が第３順位のリフタに変更される。以下、同様にして、待ち搬送台車数が制限値以下となる条件を満たしたリフタのルートが最終選定される（ステップＳ３４）。

このように、第三の実施形態に係る搬送制御装置（ＭＣＳ２６）及び搬送制御方法によると、リフタ選択部２６ｂにおいて、待ち搬送台車数が制限値を超えるリフタを選択から除外することにより、リフタの負荷を考慮しつつ、優先順位の高いリフタを搬送に使用するリフタとして選択している（図５のステップＳ３１〜Ｓ３４：リフタ選択ステップ）。従って、待ち搬送台車数が多いリフタは搬送に使用されないため、リフタの負荷を分散することができ、搬送効率を向上させるとともに、生産工場の生産性の向上に寄与することが可能となる。

また、優先順位算出部２６ａにおいて、階間にまたがる搬送に要する平均搬送時間を最小化するための優先順位を、出発地点からリフタを経由した到着地点までの搬送時間（出発地点からリフタまでの搬送時間、リフタ昇降時間、及び、リフタから到着地点までの搬送時間の合計）を基準として算出している（図５のステップＳ３０：優先順位算出ステップ）。従って、階間にまたがる搬送に要する平均搬送時間にほぼ近似する値として計算することにより、搬送効率をより向上させることができる。

［第四の実施形態］
次に、第四の実施形態における搬送制御装置（ＭＣＳ２６）が搬送指令を受けて被製造物を異なるフロアに搬送する際の搬送制御方法を、図６及び図２に基づいて説明する。図６は、第四の実施形態に係る搬送制御装置が被製造物を異なるフロアに搬送する際の搬送制御方法を示すフローチャートである。

搬送指令をうけたＭＣＳ２６は、出発地点である１階フロアＦ地点から各リフタ５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄの１階フロアポート５ａ１、５ｂ１、５ｃ１、５ｄ１までの搬送経路の搬送時間テーブルから、優先順位算出部２６ａにおいて、搬送経路の搬送時間が短い順にリフタに優先順位を付ける（ステップＳ４０：優先順位算出ステップ）。ここで、出発地点である１階フロアＦ地点から各リフタ５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄの１階フロアポート５ａ１、５ｂ１、５ｃ１、５ｄ１までの搬送経路の搬送時間テーブルは、予め計測してＭＣＳ２６内の記録媒体に記憶した各フロアにある製造装置１６とリフタ５間の搬送経路の搬送時間テーブルから、出発地点である１階フロアＦ地点にある製造装置１６をもとに抽出する。

そして、リフタ選択部２６ｂにおいて、以下のステップＳ４１〜Ｓ４４（リフタ選択ステップ）の手順に従い、リフタの選択を行う。まず、最優先順位の（優先順位が第１順位の）リフタを抽出する（ステップＳ４１）。

次に、出発地点からのリフタまで（搬送経路Ｒａ１）の搬送時間が最短時間にあり、最優先順位のリフタ５ａ１の待ち搬送台車数が制限値以下であるかどうかを判断する（ステップＳ４２）。ここで、第四の実施形態においては、制限値は、出発地点の階におけるリフタ構造（リフタの入出庫ポートのＦＯＵＰ設置台数、移載機の動作速度等）、出発地点と到着地点間の走行経路等により、リフタ毎に決定する固有の数値である。具体的には、制限値は、搬送シミュレーションプログラムを用い、最大効率を満たす数値をシミュレーションにより事前に求めたものを使用する。そして、第四の実施形態においては、各リフタについて、１階フロアの待ち搬送台車数が制限値以下であるかどうかを判断する。尚、制限値は状況の変化に対応させ適宜変更を行う。

最優先順位のリフタ５ａ１の待ち搬送台車数が制限値以下でない場合は（ステップＳ４２：ＮＯ）、当該リフタ５ａ１を選択から除外し、次に優先順位が高い（優先順位が第２順位の）リフタを最優先順位の抽出する（ステップＳ４１）。一方、最優先順位のリフタ５ａ１の待ち搬送台車数が制限値以下である場合は（ステップＳ４２：ＹＥＳ）、当該リフタ５ａ１を搬送に使用するリフタとして決定し（ステップＳ４４）、搬送を開始する。

ここで、優先順位が第２順位のリフタを抽出した場合（ステップＳ４１）は、優先順位が第２順位のリフタの待ち搬送台車数が制限値以下であるかどうかを判断する（ステップＳ４２）。このように、優先順位が第２順位のリフタに制限値を超える待ち搬送台車数が存在する場合、更に、次に優先順位が高い優先順位が第３順位のリフタに変更される。以下、同様にして、待ち搬送台車数が制限値以下となる条件を満たしたリフタのルートが最終選定される（ステップＳ４４）。

このように、第四の実施形態に係る搬送制御装置（ＭＣＳ２６）及び搬送制御方法によると、リフタ選択部２６ｂにおいて、待ち搬送台車数が制限値を超えるリフタを選択から除外することにより、リフタの負荷を考慮しつつ、優先順位の高いリフタを搬送に使用するリフタとして選択している（図６のステップＳ４１〜Ｓ４４：リフタ選択ステップ）。従って、待ち搬送台車数が多いリフタは搬送に使用されないため、リフタの負荷を分散することができ、搬送効率を向上させるとともに、生産工場の生産性の向上に寄与することが可能となる。

また、優先順位算出部２６ａにおいて、階間にまたがる搬送に要する平均搬送時間を最小化するための優先順位を、出発地点からリフタまでの搬送時間を基準として算出している（図６のステップＳ４０：優先順位算出ステップ）。従って、第三の実施形態に係る搬送制御装置と比較して、計算が容易であり、制御が簡単でＭＣＳ２６の負荷を軽減することができる。

［第五の実施形態］
また、第五の実施形態における搬送制御装置（ＭＣＳ２６）が搬送指令を受けて被製造物を異なるフロアに搬送する際の搬送制御方法を、図７及び図２に基づいて説明する。図７は、第五の実施形態に係る搬送制御装置が被製造物を異なるフロアに搬送する際の搬送制御方法を示すフローチャートである。

搬送指令をうけたＭＣＳ２６は、優先順位算出部２６ａにおいて、以下のステップＳ５１〜５４（優先順位算出ステップ）の手順に従い、実績データを蓄積しつつ、優先順位の算出を行う。まず、ＭＣＳ２６が立ち上げ直後であるかどうか、即ち、過去の駆動実績がないかどうかを判断する（ステップＳ５１）。過去の駆動実績がないと判断した場合は（ステップＳ５１：ＹＥＳ）、第三の実施形態に基づいた搬送時間を基準に、優先順位算出部２６ａにおいて、搬送時間の短い順に全てのリフタの優先順位を決定する（ステップＳ５２）。

一方、過去の駆動実績があると判断した場合は（ステップＳ５１：ＮＯ）、ＭＣＳ２６の稼働時間が一定の評価時間（評価期間）経過したかどうかを判断する（ステップＳ５３）。ここで、評価期間は、搬送時間に係る実績データを十分に蓄積することができる期間であり、予め設定しておく。

稼働時間が一定の評価時間（評価期間）経過していないと判断した場合は（ステップＳ５３：ＮＯ）、ステップＳ５２で決定した優先順位に基づき、リフタ選択部２６ｂにおいて、以下のステップＳ５５〜５８（リフタ選択ステップ）の手順に従い、リフタの選択を行う。まず、最優先順位の（優先順位が第１順位の）リフタを選択し（ステップＳ５５）、選択したリフタの待ち搬送台車数が制限値以下であるかどうかを判断する（ステップＳ５６）。そして、最優先順位のリフタの待ち搬送台車数が制限値以下でない場合は（ステップＳ５６：ＮＯ）、当該リフタを選択から除外し（ステップＳ５７）、次に優先順位が高い（優先順位が第２順位の）リフタを選択する（ステップＳ５５）。一方、最優先順位のリフタの待ち搬送台車数が制限値以下である場合は（ステップＳ５６：ＹＥＳ）、当該リフタを搬送に使用するリフタとして決定し（ステップＳ５８）、搬送を開始する。

ここで、優先順位が第２順位のリフタを選択した場合（ステップＳ５５）は、優先順位が第２順位のリフタの待ち搬送台車数が制限値以下であるかどうかを判断する（ステップＳ５６）。このように、優先順位が第２順位のリフタに制限値を超える待ち搬送台車数が存在する場合、更に、次に優先順位が高い優先順位が第３順位のリフタに変更される。以下、同様にして、待ち搬送台車数が制限値以下となる条件を満たしたリフタのルートが最終選定される（ステップＳ５８）。

一方、稼働時間が一定の評価時間（評価期間）経過していると判断した場合は（ステップＳ５３：ＹＥＳ）、過去の評価期間における実績データに基づき、全リフタの優先順位を再設定する（ステップＳ５４）。

ここで、ステップＳ５４における、過去の評価期間における実績データに基づいた全リフタの優先順位の再設定の方法ついて、表１の具体例に基づいて、詳細に説明する。表１は、評価期間内の搬送時間の実績データである。

表１では、Ｎ回行った搬送作業のそれぞれについて、出発地点であるＦ地点から到着地点であるＴ地点まで搬送するのに選択したリフタ、及び、その搬送時間を示している。尚、リフタの優先順位は、ステップＳ５２で決定した優先順位を記載しており、優先順位が第１順位のリフタとしてリフタ５ａが、第２順位のリフタとしてリフタ５ｂが、第３順位のリフタとしてリフタ５ｃが、第４順位のリフタとしてリフタ５ｄが設定されている。また、Ｓ_1-1、Ｓ_1-2、・・・、Ｓ_3-3は、搬送時間の実績データである。

表１にあるように、リフタ５ａが選択された回数はｎ₁、リフタ５ｂが選択された回数はｎ₂、リフタ５ｃが選択された回数はｎ₃、リフタ５ｄが選択された回数はｎ₄であり、下記の関係が成り立つ。

また、リフタ５ａを選択した場合の平均搬送時間をＸ₁、リフタ５ｂを選択した場合の平均搬送時間をＸ₂、リフタ５ｃを選択した場合の平均搬送時間をＸ₃とすると、各リフタを選択した場合の平均搬送時間を、下記の式により求める。尚、リフタ５ｄは搬送回数ｎ₄＝０であるため、平均搬送時間は求めない。

以上により、平均搬送時間の実績データに基づいて分析した結果、下記の関係が得られたとする。

この場合、優先順位が第２順位のリフタ５ｂのほうが第１順位のリフタ５ａより平均搬送時間が短く、短時間で搬送が終了したことになる。従って、優先順位が第１順位のリフタをリフタ５ｂ、第２順位のリフタをリフタ５ａと設定しなおす。尚、分析の結果、優先順位が第３順位で変更がなかったリフタ５ｃ、及び、平均搬送時間が求められなかったリフタ５ｄについては、そのままの優先順位とすると良い。

尚、平均搬送時間の実績データに基づいて優先順位を再設定する方法のほか、各リフタ５ａ、５ｂ、５ｃの平均搬送時間の標準偏差（推定値）σを求め、平均搬送時間＋２σの値を基準として、優先順位を再設定しても良い。平均搬送時間の標準偏差σは次式で求める。尚、リフタ５ｄ１は搬送回数ｎ_４＝０であるため、平均搬送時間の標準偏差は求めない。

そして、ステップＳ５４で再設定した優先順位に基づき、リフタ選択部２６ｂにおいて、以下のステップＳ５５〜５８（リフタ選択ステップ）の手順に従い、リフタの選択を行う。まず、最優先順位の（優先順位が第１順位の）リフタを選択し（ステップＳ５５）、選択したリフタの待ち搬送台車数が制限値以下であるかどうかを判断する（ステップＳ５６）。そして、最優先順位のリフタの待ち搬送台車数が制限値以下でない場合は（ステップＳ５６：ＮＯ）、当該リフタを選択から除外し（ステップＳ５７）、次に優先順位が高い（優先順位が第２順位の）リフタを選択する（ステップＳ５５）。一方、最優先順位のリフタの待ち搬送台車数が制限値以下である場合は（ステップＳ５６：ＹＥＳ）、当該リフタを搬送に使用するリフタとして決定し（ステップＳ５８）、搬送を開始する。

このように、第五の実施形態に係る搬送制御装置（ＭＣＳ２６）及び搬送制御方法によると、リフタ選択手段２６ｂにおいて、待ち搬送台車数が制限値を超えるリフタを選択から除外することにより、リフタの負荷を考慮しつつ、優先順位の高いリフタを搬送に使用するリフタとして選択している（図７のステップＳ５５〜Ｓ５８：リフタ選択ステップ）。従って、待ち搬送台車数が多いリフタは搬送に使用されないため、リフタの負荷を分散することができ、搬送効率を向上させるとともに、生産工場の生産性の向上に寄与することが可能となる。

また、優先順位算出部２６ａにおいて、搬送時間または合計搬送時間として実際にかかった搬送時間である実績搬送時間を反映している（図７のステップＳ５１〜Ｓ５４：優先順位算出ステップ）。従って、階間にまたがる搬送に要する平均搬送時間を実質的な値として計算することができ、搬送効率を更に向上させることができる。

尚、上述した第五の実施形態に係る搬送制御装置（ＭＣＳ２６）が搬送指令を受けて被製造物を異なるフロアに搬送する際の搬送制御方法では、優先順位算出部２６ａにおいて、図７のステップＳ５１〜５４（優先順位算出ステップ）の手順に従い、第三の実施形態を基準として優先順位を定めているが、それに限らず、第四の実施形態を基準として優先順位を定めても良い。即ち、優先順位算出部２６ａにおいて、過去の駆動実績がないと判断した場合は（ステップＳ５１：ＹＥＳ）、第四の実施形態に基づいて、搬送時間を基準に搬送時間の短い順に全てのリフタの優先順位を決定して（ステップＳ５２）、実績データを蓄積し（ステップＳ５３：ＮＯ）、過去の評価期間における実績データに基づき（ステップＳ５３：ＹＥＳ）、全リフタの優先順位を再設定しても良い（ステップＳ５４）。尚、評価期間内の搬送時間の実績データの一例は、下記の表２のようになる。

この場合、上述のように第三の実施形態を基準として優先順位を定めた場合と比較して、計算が容易であり、制御が簡単でＭＣＳ２６の負荷を軽減することができる。

以上、本発明は、上記の好ましい実施形態に記載されているが、本発明はそれだけに制限されない。本発明の精神と範囲から逸脱することのない様々な実施形態が他になされることは理解されよう。さらに、本実施形態において、本発明の構成による作用および効果を述べているが、これら作用および効果は、一例であり、本発明を限定するものではない。また、具体例は、本発明の構成を例示したものであり、本発明を限定するものではない。

例えば、本発明に係る搬送制御装置及び搬送制御方法は、図３に示す構成の生産コントロールシステム１に限らず、様々な製造工場における生産コントロールシステムに適用することができる。

第一の実施形態に係る搬送制御装置が被製造物を異なるフロアに搬送する際の搬送制御方法を示すフローチャートである。第一の実施形態に係る搬送制御装置を用いてＯＨＴ搬送台車が１階から３階までＦＯＵＰを搬送するときの経路図であり、（ａ）は１階の経路図であり、（ｂ）は３階の経路図である。本実施形態に係る搬送制御装置を含む半導体製造向上の生産コントロールシステムの構成図である。第二の実施形態に係る搬送制御装置が被製造物を異なるフロアに搬送する際の搬送制御方法を示すフローチャートである。第三の実施形態に係る搬送制御装置が被製造物を異なるフロアに搬送する際の搬送制御方法を示すフローチャートである。第四の実施形態に係る搬送制御装置が被製造物を異なるフロアに搬送する際の搬送制御方法を示すフローチャートである。第五の実施形態に係る搬送制御装置が被製造物を異なるフロアに搬送する際の搬送制御方法を示すフローチャートである。階層間を貫くリフタを有する３階建て半導体工場の一部断面斜視図である。リフタ部を含む図８の高さ方向の断面図である。リフタ部を含む図８の１階部分の上面図である。１階フロアにおける製造装置と製造装置間を搬送するＯＨＴ搬送台車の軌道配置およびリフタ配置図である。

符号の説明

２１階フロア
３２階フロア
４３階フロア
５リフタ
５ａリフタ
５ｂリフタ
５ｃリフタ
５ｄリフタ
１１搬送システム（搬送台車）
１６製造装置
２０ＦＯＵＰ
２６ＭＣＳ（搬送制御装置）
２６ａ優先順位算出部（優先順位算出手段）
２６ｂリフタ選択部（リフタ選択手段）

Claims

複数のフロアに分散した複数の製造工程で処理が行われる被製造物の搬送を行う搬送システムを制御する搬送制御装置であって、前記搬送システムは、前記複数のフロア間の搬送を行うリフタと、前記各フロアに配置されてフロア内での搬送を行う複数の搬送台車とを含み、
前記搬送制御装置は、前記搬送システムで前記被製造物を異なるフロアに搬送する際に、
前記リフタの全てについて優先順位を算出するための優先順位算出手段と、
前記リフタの負荷を考慮しつつ、前記優先順位の高いリフタを搬送に使用するリフタとして選択するリフタ選択手段と、を備えることを特徴とする搬送制御装置。
前記リフタの負荷は、前記リフタにおける事前に決めた待ち搬送台車数であり、
前記リフタ選択手段は、前記リフタにおける待ち搬送台車数が所定の制限値を超える場合は、当該リフタを選択しないことを特徴とする請求項１に記載の搬送制御装置。
前記優先順位は、前記被製造物の搬送元のフロアにおける出発地点から前記リフタまでの搬送距離と、前記被製造物の搬送先のフロアにおける前記リフタから到着地点までの搬送距離の合計搬送距離に基づいて算出され、当該合計搬送距離が短いほど優先順位が高いことを特徴とする請求項１または２に記載の搬送制御装置。
前記優先順位は、前記被製造物の搬送元のフロアにおける出発地点から前記リフタまでの搬送距離に基づいて算出され、当該搬送距離が短いほど優先順位が高いことを特徴とする請求項１または２に記載の搬送制御装置。
前記優先順位は、前記被製造物の搬送元のフロアにおける出発地点から、前記リフタを経由して、前記被製造物の搬送先のフロアにおける到着地点までの搬送時間に基づいて算出され、当該搬送時間が短いほど優先順位が高いことを特徴とする請求項１または２に記載の搬送制御装置。
前記優先順位は、前記被製造物の搬送元のフロアにおける出発地点から前記リフタまでの搬送時間に基づいて算出され、当該搬送時間が短いほど優先順位が高いことを特徴とする請求項１または２に記載の搬送制御装置。
前記搬送時間は、一定期間内における実績搬送時間に基づいて算出された値であることを特徴とする請求項５または６に記載の搬送制御装置。
複数のフロアに分散した複数の製造工程で処理が行われる被製造物の搬送を行う搬送システムを制御する搬送制御方法であって、前記搬送システムは、前記複数のフロア間の搬送を行うリフタと、前記各フロアに配置されてフロア内での搬送を行う複数の搬送台車とを含み、
前記搬送制御方法は、前記搬送システムで前記被製造物を異なるフロアに搬送する際に、
前記リフタの全てについて優先順位を算出するための優先順位算出ステップと、
前記リフタの負荷を考慮しつつ、前記優先順位の高いリフタを搬送に使用するリフタとして選択するリフタ選択ステップと、を備えることを特徴とする搬送制御方法。
前記リフタの負荷は、前記リフタにおける事前に決めた待ち搬送台車数であり、
前記リフタ選択ステップでは、前記リフタにおける待ち搬送台車数が所定の制限値を超える場合は、当該リフタを選択しないことを特徴とする請求項８に記載の搬送制御方法。
前記優先順位は、前記被製造物の搬送元のフロアにおける出発地点から前記リフタまでの搬送距離と、前記被製造物の搬送先のフロアにおける前記リフタから到着地点までの搬送距離の合計搬送距離に基づいて算出され、当該合計搬送距離が短いほど優先順位が高いことを特徴とする請求項８または９に記載の搬送制御方法。
前記優先順位は、前記被製造物の搬送元のフロアにおける出発地点から前記リフタまでの搬送距離に基づいて算出され、当該搬送距離が短いほど優先順位が高いことを特徴とする請求項８または９に記載の搬送制御方法。
前記優先順位は、前記被製造物の搬送元のフロアにおける出発地点から、前記リフタを経由して、前記被製造物の搬送先のフロアにおける到着地点までの搬送時間に基づいて算出され、当該搬送時間が短いほど優先順位が高いことを特徴とする請求項８または９に記載の搬送制御方法。
前記優先順位は、前記被製造物の搬送元のフロアにおける出発地点から前記リフタまでの搬送時間に基づいて算出され、当該搬送時間が短いほど優先順位が高いことを特徴とする請求項８または９に記載の搬送制御方法。
前記搬送時間は、一定期間内における実績搬送時間に基づいて算出された値であることを特徴とする請求項１２または１３に記載の搬送制御方法。