JP2006261006A - ナノレベル構造組成観察装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 針状試料4の表面より、少なくとも外部エネルギー3により原子1つ1つ或いは複数の元素からなるクラスター1集団1集団が外部空間に離脱することにより針状試料4のナノレベルの構造組成を観察するためのナノレベル構造組成観察装置を構成する観察室1の内部の少なくとも一部に黒色光吸収体5を設ける。
【選択図】 図1
Description
媒体に微細に配列された記録ビットから発生する磁気的信号を再生ヘッドで高効率に電気信号に変換するために、MRヘッドの微細化・薄層化が求められている。
例えば、膜厚分布が不均一であったり、界面が湾曲していたり、或いは、界面で構成原子が相互拡散して界面が不明確になっていれば、所望の特性が得られなくなる。
図7は、上述の従来のレーザアシスト電界蒸発法によるアトムプローブ法の原理の説明図であり、先端半径が例えば、100nm(=0.1μm)の針状試料61に高圧電界を印加するとともにレーザ光62を照射して針状試料61の先端から構成物質63,64を蒸発させ、飛来する構成物質63,64の到達時間(TOF:Time of Flight)を二次元位置検出器65によって測定し、到達時間から構成物質63,64のイオン種を同定するものである。
なお、図における符号6は二次元位置検出器等の検出器である。
図1参照
上記課題を解決するために、本発明は、針状試料4の表面より、少なくとも外部エネルギー3により原子1つ1つ或いは複数の元素からなるクラスター1集団1集団が外部空間に離脱することにより針状試料4のナノレベルの構造組成を観察するためのナノレベル構造組成観察装置において、観察室1の内部の少なくとも一部に黒色光吸収体5を設けたことを特徴とする。
なお、ニッケル・リン合金のメッキ被膜は、成膜時にはほとんど磁性を帯びていないが、熱処理を施すことにより磁性を帯びる性質を有している。
図2参照
図2は、本発明の実施例1のナノレベル構造組成観察装置の概念的構成図であり、ビューポート12を備えた観察用チャンバー11、観察用チャンバー11内に設置された針状試料20、針状試料20から電界蒸発した原子やクラスタ等がイオン化した荷電粒子21を検出する二次元位置検出器22によって基本構成が構成される。
なお、レーザ光13としては、フェムト秒レーザ光をビューポート12から照射する。
なお、黒体メッキ被膜32としては、光吸収体「ウルトラブラック」(アンリツ株式会社製商品名)を用いるが、この光吸収体「ウルトラブラック」(アンリツ株式会社製商品名)は、表面に電子顕微鏡で観察可能な円錐状の多数の連なった微細孔が形成されず、電子顕微鏡で観察可能なモヘア状突出物が多数の超微細な凹凸をともなって一様に形成され、かつ波長域320nm〜2200nmにおいて黒体の全反射率が0.1〜0.4%であるニッケル・リン合金の黒体メッキ被膜(特許2661983号参照)であり、図3に示す光反射特性を有している。
図4は、本発明の実施例2のナノレベル構造組成観察装置の概念的構成図であり、ビューポート12を備えた観察用チャンバー11、観察用チャンバー11内に設置された針状試料20、針状試料20から電界蒸発した原子やクラスタ等がイオン化した荷電粒子21を検出する二次元位置検出器22によって基本構成が構成される。
なお、レーザ光13としては、フェムト秒レーザ光をビューポート12から照射する。
なお、この場合、無電解メッキ後に、硫酸を含有する硝酸塩水溶液でエッチング処理してモヘア状突出物が多数の超微細な凹凸を形成する必要がある(必要ならば、上述の特許2661983号参照)。
図5は、本発明の実施例3のナノレベル構造組成観察装置の概念的構成図であり、ビューポート12を備えた観察用チャンバー11、観察用チャンバー11内に設置された針状試料20、針状試料20から電界蒸発した原子やクラスタ等がイオン化した荷電粒子21を検出する二次元位置検出器22によって基本構成が構成される。
なお、レーザ光13としては、フェムト秒レーザ光をビューポート12から照射する。
図6は、本発明の実施例4のナノレベル構造組成観察装置の概念的構成図であり、ビューポート12を備えた観察用チャンバー11、観察用チャンバー11内に設置された針状試料20、針状試料20から電界蒸発した原子やクラスタ等がイオン化した荷電粒子21を検出する二次元位置検出器22によって基本構成が構成される。
なお、レーザ光13としては、フェムト秒レーザ光をビューポート12から照射する。
なお、ニッケル・リン合金のメッキ膜は成膜時にはほとんど磁性を帯びていないが、熱処理を施すことによって磁性を帯びることは知られている(必要ならば、http://www.nc−net.or.jp/kouza/mekki/009b.html参照)。
再び、図1参照
(付記1) 針状試料4の表面より、少なくとも外部エネルギー3により原子1つ1つ或いは複数の元素からなるクラスター1集団1集団が外部空間に離脱することにより前記針状試料4のナノレベルの構造組成を観察するためのナノレベル構造組成観察装置において、観察室1の内部の少なくとも一部に黒色光吸収体5を設けたことを特徴とするナノレベル構造組成観察装置。
(付記2) 上記黒色光吸収体5が、ニッケル・リン合金の黒体メッキ被膜であることを特徴とする付記1記載のナノレベル構造組成観察装置。
(付記3) 上記黒色光吸収体5が、表面に電子顕微鏡で観察可能な円錐状の多数の連なった微細孔が形成されず、電子顕微鏡で観察可能なモヘア状突出物が多数の超微細な凹凸をともなって一様に形成され、かつ波長域320nm〜2200nmにおいて黒体の全反射率が0.1〜0.4%であるニッケル・リン合金の黒体メッキ被膜であることを特徴とする付記2記載のナノレベル構造組成観察装置。
(付記4) 上記黒色光吸収体5を、上記観察室1の上記外部エネルギー3の入射側と対向する側に設けたことを特徴とする付記1乃至3のいずれか1に記載のナノレベル構造組成観察装置。
(付記5) 上記外部エネルギー3の二次照射位置にも上記黒色光吸収体5を配置したことを特徴とする付記4記載のナノレベル構造組成観察装置。
(付記6) 上記外部エネルギー3の三次以上の高次照射位置にも上記黒色光吸収体5を配置したことを特徴とする付記5記載のナノレベル構造組成観察装置。
(付記7) 上記黒色光吸収体5が、上記観察室1内に移動可能に配置されていることを特徴とする付記1乃至6のいずれか1に記載のナノレベル構造組成観察装置。
(付記8) 上記黒色吸収体が、上記観察室1の外部エネルギー入射部2を除く内面全面に設けられていることを特徴とする付記1乃至3のいずれか1に記載のナノレベル構造組成観察装置。
(付記9) 上記黒色光吸収体5が、磁性を有していることを特徴とする付記8記載のナノレベル構造組成観察装置。
(付記10) 付記1乃至9のいずれか1に記載のナノレベル構造組成観察装置を用いたナノレベル構造組成観察方法において、針状試料4の表面に外部エネルギー3のみを照射することを特徴とするナノレベル構造組成観察方法。
(付記11) 付記1乃至9のいずれか1に記載のナノレベル構造組成観察装置を用いたナノレベル構造組成観察方法において、針状試料4の表面に内部エネルギーを印加するとともに、外部エネルギー3も照射することを特徴とするナノレベル構造組成観察方法。
2 外部エネルギー入射部
3 外部エネルギー
4 針状試料
5 黒色光吸収体
6 検出器
11 観察用チャンバー
12 ビューポート
13 レーザ光
20 針状試料
21 荷電粒子
22 二次元位置検出器
30 黒色光吸収体
31 Cu基板
32 黒体メッキ被膜
33 黒体メッキ被膜
34 黒体メッキ被膜
35 黒体メッキ被膜
61 針状試料
62 レーザ光
63 構成物質
64 構成物質
65 二次元位置検出器
Claims (5)
- 針状試料の表面より、少なくとも外部エネルギーにより原子1つ1つ或いは複数の元素からなるクラスター1集団1集団が外部空間に離脱することにより前記針状試料のナノレベルの構造組成を観察するためのナノレベル構造組成観察装置において、観察室の内部の少なくとも一部に黒色光吸収体を設けたことを特徴とするナノレベル構造組成観察装置。
- 上記黒色光吸収体が、ニッケル・リン合金の黒体メッキ被膜であることを特徴とする請求項1記載のナノレベル構造組成観察装置。
- 上記黒色光吸収体を、上記観察室の上記外部エネルギーの入射側と対向する側に設けたことを特徴とする請求項1または2に記載のナノレベル構造組成観察装置。
- 上記黒色吸収体が、上記観察室の外部エネルギー入射部を除く内面全面に設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載のナノレベル構造組成観察装置。
- 上記黒色光吸収体が、磁性を有していることを特徴とする請求項4に記載のナノレベル構造組成観察装置。
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