JP2006260795A - 閃光放電ランプおよび光照射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 特定波長域の紫外光に係る放射効率が高く、十分な使用寿命を有する閃光放電ランプおよび光照射装置を提供すること。
【解決手段】 本発明の閃光放電ランプは、内部に希ガスが封入されると共に一対の電極が対向して配設された透光性セラミックス製の発光管を備え、当該発光管の外表面を冷却する水冷機構を有する閃光放電ランプであって、希ガスの封入圧が静圧で４０〜３６０ｋＰａであり、波長２００〜３００ｎｍの紫外光の放射効率が５％以上となるようピーク電流密度が設定された条件で点灯されることを特徴とする。
【選択図】 図２

Description

本発明は、波長２００〜３００ｎｍの紫外光を放射する閃光放電ランプに関し、具体的には、例えば塗料の耐候試験または退色試験、紫外光による親水化処理または清浄化処理などの表面改質処理に利用される紫外光の擬似点状光源として用いられる閃光放電ランプおよび光照射装置に関する。

例えば塗料の耐候試験または退色試験、紫外光を利用して行われる物品表面の親水化処理または清浄化処理などの表面改質処理においては、波長２００〜３００ｎｍの紫外光（以下、単に「特定波長域の紫外光」ともいう。）を照射する方法が利用されている。そして、このような特定波長域の紫外光を大きい強度で放射する光源ランプとしては、例えばカドミウム希ガス放電ランプが知られている（例えば特許文献１参照）。
然るに、近年においては、既述のような耐候試験、退色試験または表面改質処理において、処理効率の向上、その他の目的で更に大きい放射強度を有する特定波長域の紫外光が得られる光源ランプが要望されている。

カドミウム希ガス放電ランプにおいては、その発光メカニズムから、封入ガスの密度が高いほど発光効率は高くなるが、当該封入ガスの密度が過大である場合には、当該封入ガス自体による特定波長域の紫外光の吸収が顕著となるために、特定波長域の紫外光の放射効率は却って低下してしまうこととなる。このような理由から、封入ガスの封入圧を最適化しなければ、高い放射効率を得ることができない。
また、カドミウム希ガス放電ランプにおいては、アーク温度が高いほど高い発光効率が得られるが、アーク温度が過大である場合には、電極または発光管などの構成部材に対する負荷が過大となり、結局、カドミウム希ガス放電ランプの動作が不安定となる。このような理由から、実際のカドミウム希ガス放電ランプの使用に際しては、アーク温度を安定的な動作が保障される温度範囲とするために、入力電力を制限することが必要となる。
以上のように、カドミウム希ガス放電ランプにおいて、特定波長域の紫外光について高い放射効率を得るために、単に、例えば封入ガスの封入圧を高くし、または点灯電流を大きくすることは実際的ではなく、結局、特定波長域の紫外光について高い放射効率を実現することは困難である。

更に、カドミウムは環境汚染物質であるために、例えば破損などによって自然環境中に流出した場合に、環境に対する負荷が極めて大きく、この点からもカドミウム希ガス放電ランプに代わる光源ランプであって特定波長域の紫外光を高い放射効率で放射するものが望まれている。

一方、例えば発光管内に希ガスが充填された閃光放電ランプにおいて、高い電流密度の点灯電流を供給して高いプラズマ温度を実現することにより、２００〜３００ｎｍの範囲に波長を有する強い輝線状イオン発光を得ることができることが知られている（例えば非特許文献１参照）。
しかしながら、閃光放電ランプを単に高い電流密度となる点灯電流で点灯させた場合には、特定波長域の紫外光を得ることはできても、当該閃光放電ランプの使用寿命が短くなり、通常要求される１０⁶ 回の点灯寿命を実現することができない。
特開平７−５０１５４号公報 アイ・エス・マルシャク（Ｉ. Ｓ. Ｍａｒｓｈａｋ）著, 「パルスライトソース（Ｐｕｌｓｅ ｌｉｇｈｔ ｓｏｕｒｃｅｓ）」, （米国）, コンサルタントビューロー（Ｃｏｕｓｕｌｔａｎｔｓ ｂｕｒｅａｕ）, １９８４年, ｐ. ２１１〜２１２

本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、特定波長域の紫外光に係る放射効率が高く、十分な使用寿命を有する閃光放電ランプ並びに光照射装置を提供することを目的とする。

本発明の閃光放電ランプは、内部に希ガスが封入されると共に一対の電極が対向して配設された透光性セラミックス製の発光管を備え、当該発光管の外表面を冷却する水冷機構を有する閃光放電ランプであって、
希ガスの封入圧が静圧で４０〜３６０ｋＰａであり、
波長２００〜３００ｎｍの紫外光の放射効率が５％以上となるようピーク電流密度が設定された条件で点灯されることを特徴とする。

上記において水冷機構は、前記発光管の外径より大きい内径を有する外套管内に発光管が配設されて構成され、
トリガー電極が外套管の外側に設置されていることが好ましい。

また、発光管を形成する透光性セラミックスがサファイアであり、希ガスがキセノンガスであることが好ましい。

本発明の光照射装置は、上記記載の閃光放電ランプが凹面反射鏡に配設されてなることを特徴とする。

本発明の閃光放電ランプによれば、発光管が熱伝導性に優れた透光性のセラミックスよりなり、しかも、その外表面が水冷機構により冷却される構成とされているため、基本的に、高いピーク電流密度となる点灯電流の供給が可能である。そして、発光管内に封入ガスが静圧で４０〜３６０ｋＰａで封入されると共に、高いピーク電流密度の点灯電流によって点灯されることにより、特定波長域の紫外光を５％以上という高い放射効率で安定的に得ることができ、しかも、実用上十分な使用寿命が実現される。

また、トリガー電極が外套管の外側に設置された構成によれば、当該トリガー電極が、水冷機構に係る水流に干渉することがないために高い冷却効果が確実に得られる。

以下、本発明について、図面を参照しながら説明する。
図１は、本発明の閃光放電ランプの一例における構成の概略を示す説明用断面図である。
この閃光放電ランプ１０は、ランプ本体１１と、水冷機構とにより構成されている。
ランプ本体１１は、両端が封止部材１０４によって封止された直管状の透光性セラミックス製の発光管１０１を備えており、この発光管１０１内には、一対の電極１０２が対向配置されている。すなわち、電極１０２を先端に有する、例えばタングステンよりなる電極棒１０３が、発光管１０１内をその管軸方向に沿って内方に伸び、後端が発光管１０１の両端における封止部材１０４を気密に貫通して外方に突出するよう配置されている。

このランプ本体１１は、その発光管１０１と平行に伸びる連結ビーム（図示せず）によって互いに連結された一対の肉厚円盤状の支持部材１３によって支持されている。すなわち、支持部材１３の中央に形成された貫通孔１３１内にランプ本体１１の両端部が挿入されて保持され、更に、支持部材１３の外面１３３ａと、当該支持部材１３の外面１３３ａに接近するようネジ１３４ａによって連結された平板リング状のＯ−リング締め付け板１３５ａとの間にＯ−リング１３６ａが挟圧されており、これにより、発光管１０１が支持されると共に、支持部材１３との間における液密性が実現されている。

また、発光管１０１の外径より大きい内径を有する外套管１２が、その両端部において支持部材１３に支持されると共に、支持部材１３の内面１３３ｂと、当該支持部材１３の内面１３３ｂに接近するようネジ１３４ｂによって連結された平板リング状のＯ−リング締め付け板１３５ｂとの間にＯ−リング１３６ｂが挟圧されており、これにより、外套管１２が支持されると共に、支持部材１３との間における液密性が実現されている。
このようにしてランプ本体１１が、外套管１２の内部において、外套管１２の内周面との間に円筒状ギャップ１２１が形成されるよう同軸状に配設された構成とされている。そして、この外套管１２の外側には、その外表面に沿って、例えばコイル状に巻回された外部トリガー電極（図示せず）が設けられている。

支持部材１３には、その外周壁面から貫通孔１３１に通ずる孔により冷却水流路部分部分１３２が形成されており、これが支持部材１３の内面側において発光管１０１の外周面との間に形成された空隙を介して、円筒状ギャップ１２１に連通された状態とされている。

以上の構成においては、支持部材１３に係る冷却水流路部分１３２、貫通孔１３１の内部において形成された空隙および、円筒状ギャップ１２１によって冷却水流通路が形成されている。そして、この冷却水流通路に図示しない冷却水供給系が接続されることにより、水冷機構が構成されている。
図１において、１４は、一方の支持部材１３に連結された灯具取付用部材である。

以上の閃光放電ランプ１０において、電極を構成する材料としては、例えば二酸化ランタン（Ｌａ₂ Ｏ₃ ）を含有するタングステン（Ｌａ−Ｗ）、タングステン、トリウムを含有するタングステン（Ｔｈ−Ｗ）、セリウムを含有するタングステン（Ｃｅ−Ｗ）などを用いることができる。

発光管を構成する透光性セラミックスとしては、高い耐熱性および熱伝導性を有し、特定波長域の紫外光を透過するものが用いられ、例えばサファイア、ＹＡＧ、イットリア、窒化アルミニウムなどを用いることができ、特にサファイアを好ましく用いることができる。ここで、セラミックス製の発光管１０１の管壁の厚さは、加工の容易性および管壁負荷に対する耐久性の観点から、例えば０．５〜３ｍｍ、特に０．５〜１．５ｍｍであることが好ましい。

発光管１０１内には、例えばアルゴン、キセノン、クリプトンなどの希ガスおよびこれらの混合ガスが発光物質として封入されており、特にキセノンが好ましく用いられる。この希ガスの封入圧は静圧で４０〜３６０ｋＰａの範囲とされる。希ガスの封入圧が上記の範囲とされることにより、高電流密度の点灯電流で発光させた場合に、５％以上の高い放射効率が実現される。

外套管を構成する材料としては、特定波長域の紫外光を透過する、例えば合成石英ガラス、溶融石英ガラス、サファイアなどが用いられる。ここで、外套管１２の管壁の厚さは、例えば、０．５〜１．５ｍｍであることが好ましい。

以上の閃光放電ランプ１０において、発光管１０１の外径は、例えば５ｍｍ〜１２ｍｍとされ、また、外套管１２の内径は、例えば６ｍｍ〜１４ｍｍとされ、発光管１０１の外径と、外套管１２の内径の差が、例えば１ｍｍ以上であることが好ましい。これにより、発光管１０１の外表面と外套管１２の内表面との間に区画形成される円筒状ギャップ１２１による冷却水チャネルが、当該発光管１０１の外表面の冷却に必要とされる量の冷却水を流過させるのに十分なものとなる。

水冷機構における冷却条件は、閃光放電ランプ１０に対して入力される点灯電流などの点灯条件に応じて適宜設定されればよく、冷却水の流量が、例えば２〜２０Ｌ／ｍｉｎとされ、当該冷却水の温度が、例えば２０〜４０℃とされる範囲で設定されればよい。

上記の閃光放電ランプは、その希ガスの封入圧に応じた高いピーク電流密度となるような点灯電流が供給されることにより点灯される。

図２は、本発明の閃光放電ランプの他の例における構成の概略を示す説明用断面図である。
この閃光放電ランプ２０は、ランプ本体２１と、水冷機構とにより構成されている。
ランプ本体２１は、両端が導電性の材質、例えば金属よりなる封止部材２０３によって封止された直管状の透光性セラミックス製の発光管２０１を備えており、この発光管２０１内には、一対の電極２０２が封止部材２０３の先端において保持された状態で対向配置されている。また、封止部材２０３の外端部が発光管２０１の外端から突出すると共に、その外端面には、管軸方向外方に突出する螺合用連結部材２０４が発光管２０１の中心軸と同一軸上に形成されている。

このランプ本体２１は、その螺合用連結部材２０４が、各々、一対の給電ブロック２２に設けられた円筒状の金属製螺合用連結部材２２１に螺合されることにより、当該一対の給電ブロック２２と電気的に連結されている。そして、図示する構成においては、給電ブロック２２の一方には、灯具取付用螺合用連結部材２３が形成されており、この灯具取付用螺合用連結部材２３が適宜の固定部材に装着されることにより、当該ランプ本体２１および一方の給電ブロック２２が一体的に支持されると共に、当該ランプ本体２１によって他方の給電ブロック２２が支持される。

この構成においては、一対の給電ブロック２２を互いに連結する連結ビームは不要である。

発光管２０１の外径より大きい内径を有する外套管２４は、その両端面に対接する円筒状の一対の対接部材２５を介して、前記一対の給電ブロック２２によって両端側から管軸方向内方に挟持されることにより支持されており、これにより、ランプ本体２１が、外套管２４の内部空間において、外套管２４の内周面との間に円筒状ギャップ２２２が形成されるよう同軸状に配設され構成とされている。

給電ブロック２２は導電性材料よりなる円柱状のものであり、その内端面には円筒状の螺合用連結部材２２１が、給電ブロック２２の中心軸と同一軸上において内方に突出して設けられていると共に、その外端面には円筒状の灯具取付用螺合用連結部材２３が、給電ブロック２２の中心軸と同一軸上において外方に突出して設けられている。
そして、この給電ブロック２２には、その外周壁面から屈曲して螺合用連結部材２２１の内部空間に通じる孔により冷却水流路部分２２３が形成されている。ここで、螺合用連結部材２２１の基端部には複数の貫通孔２２１ａが形成されており、これにより、冷却水流路部分２２３が対接部材２５の内部空間に連通すると共に、当該対接部材２５の内部空間を介して、円筒状ギャップ２２２に連通された状態とされている。

以上において対接部材２５は、その中央領域において外套管２４の内径と等しい内径を有すると共に、この中央領域の両端に一体的に連続する端部領域が当該中央領域より大きい内径を有する円筒状のものとされており、その内周面における、中央領域および端部領域の境界には、軸方向に垂直な立ち上がり面が段状に形成された状態とされている。そして、この立ち上がり端面の一方が給電ブロック２２の内面に対接されると共に、その他方が外套管２４の端面に対接されている。

そして、給電ブロック２２および対接部材２５の間における液密性は、当該給電ブロック２２および対接部材２５の対接部に位置されたＯ−リング２６１と、このＯ−リング２６１を締め付けるＯ−リング締め付け部材２７１によって実現されている。このＯ−リング締め付け部材２７１は、具体的には、対接部材２５の端部領域の外周面に螺合する二重筒状のものであり、この外筒壁の内面において対接部材２５の外周面と螺合することにより、内筒壁の端面と対接部材２５の段部端面との間でＯ−リング２６１を挟圧するものである。

また、対接部材２５および外套管２４の間における液密性は、当該外套管２４および対接部材２５の対接部に位置されたＯ−リング２６２と、このＯ−リング２６２を締め付ける、前記Ｏ−リング締め付け部材２７１と同様の構成を有するＯ−リング締め付け部材２７２によって実現されている。

以上の構成においては、給電ブロック２２に係る冷却水流路部分２２３、対接部材２５の内部空間および、円筒状ギャップ２２２によって冷却水流通路が形成されている。そして、この冷却水流通路に図示しない冷却水供給系が接続されることにより、水冷機構が構成されている。

図２に示す構成の閃光放電ランプ２０によれば、一対の給電ブロック２２を互いに連結する連結ビームが不要であることから、ランプ本体２１から外周方向に放射される放射光が遮蔽されることがなく、従って、閃光放電ランプ２０に係る特定波長域の紫外光の放射効率が不必要に低下されることがない。
なお、外套管２４の外側には、その外表面に沿って、例えばコイル状に巻回された外部トリガー電極２０５が設けられており、これにより、水冷機構に係る冷却水の流れが当該外部トリガー電極２０５によって干渉されることがなく、従って、所期の冷却効果が確実に得られることとなる。また、電極２０２、発光管２０１、外套管２４などの閃光放電ランプ２０の構成部材に係る材料、寸法、および、発光管２０１内に封入される希ガスの種類並びに希ガスの封入圧などの構成は図１に示す閃光放電ランプ１０に係る構成と同様である。

本発明において、以上の図１または図２に示す構成の閃光放電ランプは、特定波長域の紫外光の放射効率が５％以上となるよう、ピーク電流密度が設定された条件で点灯されるものである。
特定波長域の紫外光の放射効率が５％以上となるようなピーク電流密度の値は、発光管に封入された希ガスの封入圧によって異なり、例えば、希ガス封入圧が静圧で４０ｋＰａである場合には７０００Ａ／ｃｍ² 以上、希ガス封入圧が静圧で８０ｋＰａである場合には５４００Ａ／ｃｍ² 以上、希ガス封入圧が静圧で１６０ｋＰａである場合には４４００Ａ／ｃｍ² 以上、希ガス封入圧が静圧で２４０ｋＰａである場合には８４００Ａ／ｃｍ² 以上、希ガス封入圧が静圧で３６０ｋＰａである場合には１１０００Ａ／ｃｍ² 以上であり、このような点灯条件で点灯された場合、例えば１０Ｈｚ以上の点灯周波数で最少発光回数が１０⁶ 〜１０⁷ 回と、実用上十分な使用寿命が得られる。そして、上記希ガス封入圧が４０ｋＰａ未満である場合には、電流密度の高い点灯電流を供給しても、特定波長域の紫外光を高い放射効率で得ることができない。

ここで、ピーク電流密度とは、［ピーク電流／放電路の面積（発光管の断面積）］により算出される値である。
また、特定波長域の紫外光の放射効率とは、閃光放電ランプから放射される紫外放射光の分光照度分布［Ｗ／ｃｍ² ］を、閃光放電ランプ中心軸から距離ｄ［ｃｍ］離間した位置において紫外光分光器を用いて測定し、得られた分光照度分布から波長２００〜３００ｎｍの成分を積分した照度Ｉ［Ｗ／ｃｍ² ］を求めると共に、式：Ｐ＝Ｉ×４πｄ² により、光源点における波長２００〜３００ｎｍの紫外光の放射強度Ｐ［Ｗ］を求め、更に、閃光放電ランプに対する電気入力Ｐ_in［Ｗ］により放射強度Ｐを除することにより得られる値η％（η％＝Ｐ／Ｐ_in×１００）である。

上記の点灯条件について具体的に説明する。
＜実験例１＞
例えば図２に示す構成の閃光放電ランプ（２０）であって、内径が３ｍｍ、管壁厚さが０．７５ｍｍのサファイア製の発光管（２０１）と、内径が４ｍｍの合成石英ガラス製の外套管（２４）と、Ｌａ₂ Ｏ₃ を含有するタングステン（Ｌａ−Ｗ）よりなる一対の電極（２０２）とを有してなり、電極間距離で示される発光長の大きさが２５ｍｍであると共に、当該発光管（２０１）内には、封入ガスとしてキセノンガスが、４０ｋＰａの封入圧で封入されているものを作製した。
また、閃光放電ランプ（２０）に係る水冷機構において、冷却水の水温は２０℃、流量を４Ｌ／ｍｉｎとした。
そして、この閃光放電ランプ（２０）について、特定波長域の紫外光の放射効率を、ピーク電流密度値が各々異なる複数の点灯条件下において求めた。結果を図４のグラフに示す。

＜実験例２〜５＞
キセノンガスを、それぞれ８０ｋＰａ、１６０ｋＰａ、２４０ｋＰａ、３６０ｋＰａの封入圧で封入したこと以外は実験例１と同様に、合計４本の閃光放電ランプ（２０）を作製し、その各々について特定波長域の紫外光の放射効率を求めた。結果を図４に示す。

＜比較実験例１〜３＞
また、キセノンガスを、それぞれ４ｋＰａ、１３．３ｋＰａおよび４８０ｋＰａの封入圧で封入したこと以外は実験例１と同様に、合計３本の閃光放電ランプ（２０）を作製し、その各々について特定波長域の紫外光の放射効率を求めた。結果を図４に示す。

図４に示されるように、発光管に封入されたキセノンガスの封入圧が４０〜３６０ｋＰａ（実験例１〜５）の範囲である閃光放電ランプに対して、ピーク電流密度が、例えば６０００Ａ／ｃｍ² 程度以上の高い値となる点灯電流を入力した場合には、特定波長域の紫外光について５％以上の高い放射効率が得られることが明らかである。また、実験例１〜５に係る閃光放電ランプは、１０Ｈｚの点灯周波数で最大発光回数が１０⁷ 〜１０⁸ 回と、実用上十分な使用寿命が得られるものであった。

一方、発光管に封入されたキセノンガスの封入圧が、４０〜３６０ｋＰａの範囲外の値であって、４ｋＰａ、１３．３ｋＰａおよび４８０ｋＰａである閃光放電ランプにおいては、最大で１４０００Ａ／ｃｍ² という高いピーク電流密度となる点灯電流を入力した場合においても、５％以上の特定波長域の紫外光に係る放射効率を得ることができず、上記希ガスの封入圧が技術的意味を有していることが確認された。

一般に、従来の石英ガラス製の閃光放電ランプは、ピーク電流密度が３０００Ａ／ｃｍ² 以下となる点灯電流で点灯動作されるものであり、このような値に比して高いピーク電流密度値となる既述のような点灯条件で点灯動作された場合には、例えば１０Ｈｚの点灯周波数で最少発光回数が１０³ 回程度となり実用的でない。
このことを考慮すると上記の点灯条件は、ピーク電流密度の値が極めて高いものであることが理解される。すなわち、４０〜３６０ｋＰａの範囲で希ガスの封入圧が選択された閃光放電ランプに対して、高いピーク電流密度となる点灯電流を入力することにより、特定波長域の紫外光について５％以上という高い放射効率が得られるのである。しかも、上記の閃光放電ランプは、このように高いピーク電流密度となる条件で点灯動作された場合においても実用上十分な使用寿命を備えもつものである。

以上によれば、例えば図１または図２に示す構成を有してなる閃光放電ランプが、希ガスが４０〜３６０ｋＰａの封入圧で封入された発光管を備えた構成を有し、ピーク電流密度が当該希ガスの封入圧に対応して既述の範囲となる点灯電流で点灯されることにより、特定波長域の紫外光について５％以上という大きな放射効率が実現され、しかも、実用上十分な使用寿命が得られる。これは、発光管が高い熱伝導性を有するセラミックスにより形成されており、その外表面が水冷機構により冷却されるため、上記のような高いピーク電流密度となる点灯電流が入力された場合においても、負荷が実質的に軽減されるからである。その結果、当該閃光放電ランプにおいては、例えば１０Ｈｚ以上の点灯周波数で最少発光回数が１０⁶ 〜１０⁷ 回と、実用上十分な使用寿命が得られる。従って、例えば塗料の耐候試験または退色試験、紫外光を利用して行われる物品表面の親水化処理または清浄化処理などの表面改質処理においても有用である。
また、発光管が透光性セラミックス製であることにより、高い管壁負荷に起因して白濁が発生することが防止され、その結果、高い照度が長期間にわたって維持される。

図３は、本発明に係る閃光放電ランプを備えてなる光照射装置の一例における構成の概略を示す説明用断面図である。
この光照射装置３０は、図２に示す構成を有する閃光放電ランプ２０が、この閃光放電ランプ２０から放射された特定波長域の紫外光を一方向に反射して照射する凹面反射鏡３１内に配設されることにより構成されている。

凹面反射鏡３１は、例えば内表面に紫外光反射被膜が形成された、パイレックスガラス（登録商標）などの低膨張ガラスまたは金属製の基材により形成された椀状のものであって、前方（図３において右方）に光投射用開口３１１が形成されており、後方の頭頂部にランプ取り付け用開口３１２が形成されてなる。このような凹面反射鏡３１は、光投射用開口３１１が、閃光放電ランプ２０の電極間距離の５倍以上の径を有するものであることが好ましく、これにより、光照射装置３０を擬似点光源として好適に使用することができる。

ランプ取り付け用開口３１２の後背面にはステージ３３が設けられており、このステージ３３に支持された、導電性部材よりなるランプ固定部材３４に閃光放電ランプ２０の当具取り付け用螺合用連結部材が螺合され、これにより、閃光放電ランプ２０に係る発光管の大部分がランプ取り付け用開口３１２を介して凹面反射鏡３１の内部に位置するよう当該閃光放電ランプ２０が保持される。

ここで、ステージ３３には、ランプ位置調整機構３２が設けられており、これにより、閃光放電ランプ２０に係る管軸の位置が、凹面反射鏡３１に係る光軸と一致するよう調整することが可能である。

図示の例においては、閃光放電ランプ２０の水冷機構に対して冷却水を供給する冷却水供給管３５１および閃光放電ランプ２０に点灯電流を供給する一方のリード線３６１が光投射用開口３１１を介して閃光放電ランプ２０の先端側（図３において右側）に伸び、また、水冷機構から冷却水を排出する冷却水排出管３５２および外部トリガー電極に電力を供給するリード線３６３がステージ３３と凹面反射鏡３１との間からランプ取り付け用開口３１２を介して閃光放電ランプ２０の基端側（図３において左側）に伸び、それぞれ、閃光放電ランプ２０に接続されている。また、閃光放電ランプ２０に係る他方のリード線３６２は、ランプ固定部材３４を介して閃光放電ランプ２０に電気的に接続されている。

以上の構成を有する光照射装置においては、閃光放電ランプに対して、特定波長域の紫外光の放射効率が５％以上となるよう、ピーク電流密度が設定された条件において点灯電流が供給される。その結果、光照射装置において、点灯電流に係る入力エネルギー量に比して高い効率で特定波長域の紫外光を得ることができ、従って、例えば５００Ｗ程度の比較的小型の電源装置を用いた場合においても、特定波長域の紫外光を、例えば２５Ｗ以上という比較的大きい出力で得ることができる。しかも、光照射装置として実用上十分な使用寿命が実現される。

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、種々の変更を加えることができる。

本発明の閃光放電ランプの一例における構成の概略を示す説明用断面図である。 本発明の閃光放電ランプの他の例における構成の概略を示す説明用断面図である。 本発明の閃光放電ランプを備えてなる光照射装置の一例における構成の概略を示す説明用断面図である。 本発明の閃光放電ランプに係る実験例の結果を示すグラフである。

符号の説明

１０ 閃光放電ランプ
１０１ 発光管
１０２ 電極
１０３ 電極棒
１０４ 封止部材
１１ ランプ本体
１２ 外套管
１２１ 円筒状ギャップ
１３ 支持部材
１３１ 貫通孔
１３２ 冷却水流路部分
１３３ａ 外面
１３３ｂ 内面
１３４ａ ネジ
１３４ｂ ネジ
１３５ａ Ｏ−リング締め付け板
１３５ｂ Ｏ−リング締め付け板
１３６ａ Ｏ−リング
１３６ｂ Ｏ−リング
１４ 灯具取付用部材
２０ 閃光放電ランプ
２０１ 発光管
２０２ 電極
２０３ 封止部材
２０４ 螺合用連結部材
２０５ 外部トリガー電極
２１ ランプ本体
２２ 給電ブロック
２２１ 螺合用連結部材
２２１ａ 貫通孔
２２２ 円筒状ギャップ
２２３ 冷却水流路部分
２３ 灯具取付用螺合用連結部材
２４ 外套管
２５ 対接部材
２６１ Ｏ−リング
２６２ Ｏ−リング
２７１ Ｏ−リング締め付け部材
２７２ Ｏ−リング締め付け部材
３０ 光照射装置
３１ 凹面反射鏡
３１１ 光投射用開口
３１２ ランプ取り付け用開口
３２ ランプ位置調整機構
３３ ステージ
３４ ランプ固定部材
３５１ 冷却水供給管
３５２ 冷却水排出管
３６１、３６２、３６３ リード線

Claims (4)

1. 内部に希ガスが封入されると共に一対の電極が対向して配設された透光性セラミックス製の発光管を備え、当該発光管の外表面を冷却する水冷機構を有する閃光放電ランプであって、
   希ガスの封入圧が静圧で４０〜３６０ｋＰａであり、
   波長２００〜３００ｎｍの紫外光の放射効率が５％以上となるようピーク電流密度が設定された条件で点灯されることを特徴とする閃光放電ランプ。
2. 水冷機構は、前記発光管の外径より大きい内径を有する外套管内に発光管が配設されて構成され、
   トリガー電極が外套管の外側に設置されていることを特徴とする請求項１に記載の閃光放電ランプ。
3. 発光管を形成する透光性セラミックスがサファイアであり、希ガスがキセノンガスであることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の閃光放電ランプ。
4. 請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の閃光放電ランプが凹面反射鏡内に配設されてなることを特徴とする光照射装置。

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