JP2006260659A - 磁気記録媒体の製造装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】金属磁性材料の使用効率を向上することを目的とする。
【解決手段】真空室1内において、巻き出しローラ2よりの高分子フィルム3を冷却ローラ5を介して巻き取りローラ4に巻き取るようにすると共にこの冷却ローラ5の下方にルツボ7が設けられ、このルツボ7内の金属磁性材料8を加熱蒸発し、この冷却ローラ5面を走行するこの高分子フィルム3にこの加熱蒸発した金属磁性材料8を蒸着するようにすると共にこのルツボ7とこの冷却ローラ5との間にこの高分子フィルム3上にこの加熱蒸発した金属磁性材料分子を決った方向に堆積する蒸気入射規制マスク11及び成膜開口部10aを有する防着板10を設けた磁気記録媒体の製造装置において、この蒸気入射規制マスク11のこの成膜開口部10a近傍にヒーター12を配置し、このヒーター12をこの金属磁性材料8の融点以上の温度に加熱するようにしたものである。
【選択図】 図1
【解決手段】真空室1内において、巻き出しローラ2よりの高分子フィルム3を冷却ローラ5を介して巻き取りローラ4に巻き取るようにすると共にこの冷却ローラ5の下方にルツボ7が設けられ、このルツボ7内の金属磁性材料8を加熱蒸発し、この冷却ローラ5面を走行するこの高分子フィルム3にこの加熱蒸発した金属磁性材料8を蒸着するようにすると共にこのルツボ7とこの冷却ローラ5との間にこの高分子フィルム3上にこの加熱蒸発した金属磁性材料分子を決った方向に堆積する蒸気入射規制マスク11及び成膜開口部10aを有する防着板10を設けた磁気記録媒体の製造装置において、この蒸気入射規制マスク11のこの成膜開口部10a近傍にヒーター12を配置し、このヒーター12をこの金属磁性材料8の融点以上の温度に加熱するようにしたものである。
【選択図】 図1
Description
本発明は、コバルトCo等の金属磁性材料をポリエステルフィルム等の高分子フィルムに真空蒸着するようにした磁気記録媒体の製造装置に関する。
従来、Co等の強磁性金属材料等の金属磁性材料をポリエステルフィルム等の高分子フィルムに真空蒸着した所謂金属磁性薄膜型の磁気記録媒体が知られている。
この金属磁性薄膜型の磁気記録媒体は、抗磁力や角形比等が優れ、短波長での電磁変換特性に優れるばかりでなく、磁性層の厚みも極めて薄くできるため、記録減磁や再生時の厚み損失が著しく小さいこと、磁性層中に非磁性材であるバインダーを混入する必要がないため、磁性材料の充填密度を高めることができること等、数々の利点を有している。
更に、この種の磁気記録媒体の電磁変換特性を向上させ、より大きな出力を得ることができるようにするために、この磁気記録媒体の磁性層を形成する場合、磁性層を斜めに蒸着する所謂斜方蒸着が行われている(特許文献1参照)。
従来、斯かる磁気記録媒体の製造装置として、図4に示す如きものが使用されている。即ち、内部が真空状態となされた真空室1内に図中反時計回り方向に定速回転し、成膜前のポリエステルフィルム等の高分子フィルム3aを巻き出す巻き出しローラ2と、図中反時計回り方向に定速回転し、成膜後の高分子フィルム3bを巻き取る巻き取りローラ4とが設けられ、この巻き出しローラ2から巻き取りローラ4にテープ状の高分子フィルム3が順次走行するようになっている。
この巻き出しローラ2から巻き取りローラ4側にこの高分子フィルム3が走行する中途部に、この巻き出しローラ2、巻き取りローラ4の径よりも大径の冷却ローラ5が設けられている。この冷却ローラ5は、この高分子フィルム3を図中下方に引き出すように設けられ、図中の時計回り方向に定速回転する構成となっている。
この場合、この巻き出しローラ2、巻き取りローラ4、冷却ローラ5は、夫々高分子フィルム3の幅と略同じ長さからなる円筒形状をなすものであり、また冷却ローラ5には内部に図示しない冷却装置が設けられ、この高分子フィルム3の温度上昇による変形等を抑制し得るようになされている。
従って、この高分子フィルム3は、巻き出しローラ2から順次送り出され、更に冷却ローラ5の周囲を通過し、巻き取りローラ4に巻き取られる。また、巻き出しローラ2と冷却ローラ5との間及びこの冷却ローラ5と巻き取りローラ4との間には夫々ガイドローラ6a及び6bが配設され、この巻き出しローラ2から冷却ローラ5及びこの冷却ローラ5から巻き取りローラ4に亘って走行する、この高分子フィルム3に所定のテンションをかけ、この高分子フィルム3が円滑に走行するようになされている。
また、真空室1内の冷却ローラ5の下方にルツボ7を設け、このルツボ7内にCo等の金属磁性材料8を充填する。このルツボ7は、この冷却ローラの長さと略同一の長さとする。
また、この真空室1の側壁部に、このルツボ7内に充填した金属磁性材料8を加熱蒸発させるための電子銃9を設ける。この場合この電子銃9より放出される電子ビーム9aがルツボ7内の金属磁性材料8を照射する位置に、この電子銃9を配設する。
また、この冷却ローラ5とこのルツボ7との間であって、この冷却ローラ5の近傍で且つこの冷却ローラ5に沿う如く成膜開口部10aを有する防着板10を設けると共にこの防着板10のルツボ7側に、この高分子フィルム3上加熱蒸発した金属磁性材料8の分子を所定の決った斜め方向に蒸着堆積する蒸気入射規制マスク11を設ける如くする。
斯かる、図4、図5に示す従来の磁気記録媒体の製造装置においては、電子銃9よりの電子ビーム9aによって蒸発した金属磁性材料8が冷却ローラ5の周面を定速走行している高分子フィルム3上に磁性薄膜層として被着形成されると共に蒸気入射規制マスク11によりこの蒸着された磁性薄膜層の金属磁性材料8の分子が所定の角度範囲斜めに蒸着堆積される。
特開平5−266473号公報
然しながら、上述従来の磁気記録媒体の製造装置には、高分子フィルム3に入射する加熱蒸発した金属磁性材料8の蒸気を規制する蒸気入射規制マスク11が設けられているので、蒸発した金属磁性材料8がこの高分子フィルム3ばかりでなく、この蒸気入射規制マスク11の防着板10の成膜開口部10aの近傍等に当たり、このルツボ7から蒸発した金属磁性材料8のうち、実際に高分子フィルム3に蒸着成膜される金属磁性材料8は15%程度であり、この金属磁性材料8の使用効率が悪い不都合があった。
この高分子フィルム3に蒸着堆積されないルツボ7で蒸発した金属磁性材料8は、図4、図5に堆積物8a,8b及び8cとして示す如く蒸気入射規制マスク11の成膜開口部10aの近傍、防着板10の成膜開口部10aの上側の端面及び成膜開口部10aの左右側下部等に堆積することになる。
この成膜開口部10aの左右側下部の堆積物8cの量が蒸着時間が経つに従って増えると、高分子フィルム3に入射する蒸発した金属磁性材料8が遮られ、高分子フィルム3の両端部分の磁性層の膜厚が薄くなり、製造された磁気記録媒体に不良が生じる不都合があった。
本発明は、斯かる点に鑑み、金属磁性材料の使用効率を向上することを目的とする。
本発明磁気記録媒体の製造装置は、真空室内において、巻き出しローラよりの高分子フィルムを冷却ローラを介して巻き取りローラに巻き取るようにすると共にこの冷却ローラの下方にルツボが設けられ、このルツボ内の金属磁性材料を加熱蒸発し、この冷却ローラ面を走行するこの高分子フィルムにこの加熱蒸発した金属磁性材料を蒸着するようにすると共にこのルツボとこの冷却ローラとの間にこの高分子フィルム上にこの加熱蒸発した金属磁性材料分子を決った方向に堆積する蒸気入射規制マスク及び成膜開口部を有する防着板を設けた磁気記録媒体の製造装置において、この蒸気入射規制マスクのこの成膜開口部近傍にヒーターを配置し、このヒーターをこの金属磁性材料の融点以上の温度に加熱するようにしたものである。
本発明によれば、蒸気入射規制マスクの成膜開口部近傍にヒーターを配置し、このヒーターを金属磁性材料の融点以上の温度に加熱するようにしたので、この蒸気入射規制マスクの成膜開口部近傍に当たる蒸発した金属磁性材料は、この蒸気入射規制マスクの成膜開口部近傍に堆積することが無く反射されるので、金属磁性材料の使用効率が向上する。
以下、図1〜図3を参照して本発明磁気記録媒体の製造装置を実施するための最良の形態の例につき説明する。図1及び図2において、図4及び図5に対応する部分には同一符号を付して示す。
図1の本例においては、内部が真空状態となされた真空室1内に図中反時計回り方向に定速回転し、成膜前のポリエステルフィルム等の高分子フィルム3aを巻き出す巻き出しローラ2と、図中反時計回り方向に定速回転し、成膜後の高分子フィルム3bを巻き取る巻き取りローラ4とが設けられ、この巻き出しローラ2から巻き取りローラ4にテープ状の高分子フィルム3が順次走行するようになっている。
この巻き出しローラ2から巻き取りローラ4側にこの高分子フィルム3が走行する中途部に、この巻き出しローラ2及び巻き取りローラ4の径よりも大径の冷却ローラ5が設けられている。この冷却ローラ5は、この高分子フィルム3を図中下方に引き出すように設けられ、図中の時計回り方向に定速回転する構成となっている。
この場合、この巻き出しローラ2、巻き取りローラ4、冷却ローラ5は、夫々高分子フィルム3の幅と略同じ長さからなる円筒形状をなすものであり、また冷却ローラ5には内部に図示しない冷却装置が設けられ、この高分子フィルム3の温度上昇による変形等を抑制し得るようになされている。
従って、この高分子フィルム3は、巻き出しローラ2から順次送り出され、更に冷却ローラ5の周囲を通過し、巻き取りローラ4に巻き取られる。また、巻き出しローラ2と冷却ローラ5との間及びこの冷却ローラ5と巻き取りローラ4との間には夫々ガイドローラ6a及び6bが配設され、この巻き出しローラ2から冷却ローラ5及びこの冷却ローラ5から巻き取りローラ4に亘って走行する、この高分子フィルム3に所定のテンションをかけ、この高分子フィルム3が円滑に走行するようになされている。
また、真空室1内の冷却ローラ5の下方にルツボ7を設け、このルツボ7内にCo等の金属磁性材料8を充填する。このルツボ7は、この冷却ローラの長さと略同一の長さとする。
また、この真空室1の側壁部に、このルツボ7内に充填した金属磁性材料8を加熱蒸発させるための電子銃9を設ける。この場合この電子銃9より放出される電子ビーム9aがルツボ7内の金属磁性材料8を照射する位置に、この電子銃9を配設する。
また、この冷却ローラ5とこのルツボ7との間であって、この冷却ローラ5の近傍で且つこの冷却ローラ5に沿う如く成膜開口部10aを有する防着板10を設けると共にこの防着板10のルツボ7側に、この高分子フィルム3上加熱蒸発した金属磁性材料8の分子を所定の決った斜め方向に蒸着堆積する蒸気入射規制マスク11を設ける如くする。
本例においては、この蒸気入射規制マスク11及び防着板10の蒸発した金属磁性材料8の堆積想定部本例では、蒸気入射規制マスク11の成膜開口部10aの近傍、防着板10の成膜開口部10aの上側の端面及び成膜開口部10a左右側下部に夫々図1,図2に示す如くヒーター12,13及び14を設ける。
このヒーター12,13及び14の材質は、この金属磁性材料8の融点よりも高い高融点材料例えば金属磁性材料8がCoであるときは、融点が1500℃近くであるので、この1500℃よりも融点の高い高融点材料のカーボン、タングステン、モリブデン等を用いる。
このヒーター12,13及び14の形状は、図3に示す如く、蒸気入射規制マスク11の成膜開口部10aの近傍、防着板10の成膜開口部10aの上側の端面及び成膜開口部10a左右側下部等の蒸発した金属磁性材料の堆積想定部分を覆い隠しやすいように、板状体が好ましい。
また、このヒーター12,13及び14の厚みは、薄すぎると機械的強度が弱いし、一方厚いものは、ヒーター12,13,14の電気抵抗が小さいため、発熱量が小さく温度が上昇しにくく、このため,所望の温度例えば1500℃以上に加熱するため流す電流は薄いものよりも多く流す必要がある。
この結果、このヒーター12,13及び14の厚みは、0.5mm〜2mm程度が好ましい。
図3において、20は例えば直流電圧が供給される銅等より成る柱状の給電部を示し、この給電部20はヒーター12,13,14の加熱時に、ヒーター12,13,14と接触して加熱される。このため、このヒーター12,13,14の給電部20に冷却管21を設け、この冷却管21に水等の冷却媒体を流し、この給電部20を冷却する如くする。
本例によれば、ルツボ7から蒸発した金属磁性材料8の蒸気が、この金属磁性材料8の融点例えば1500℃以上に加熱したヒーター12,13及び14の表面で凝固せずに反射するため、この堆積想定部であるヒーター12,13及び14上には堆積しない。
このヒーター12,13及び14から反射した金属磁性材料8の蒸気は、冷却ローラ5に密着している高分子フィルム3等温度の低い部分に凝固することになる。言い換えると、いままで、蒸気入射規制マスク11の成膜開口部10aの近傍、防着板10の成膜開口部10aの上側の端面及び成膜開口部10a左右側下部に堆積していた堆積物8a,8b,8cが、高分子フィルム3上に堆積することになる。
つまり、高分子フィルム3に入射される金属磁性材料8の蒸気分子が従来よりも増えることになり、このため、本例によれば、従来と同じ成膜条件の場合、同じ膜厚を得るためには、高分子フィルム3の搬送速度を速くしたり、ルツボ7からの金属磁性材料8の蒸発量を少なくしたりできる。
本例によれば、蒸気入射規制マスク11の成膜開口部10aの近傍、防着板10の成膜開口部10aの上側の端面及び成膜開口部10a左右側下部等の堆積想定部にヒーター12,13及び14を配置し、これ等ヒーター12,13及び14を金属磁性材料8の融点以上に加熱しているので、この蒸気入射規制マスク11の成膜開口部10aの近傍、防着板10の成膜開口部10aの上側の端面及び成膜開口部10a左右側下部に金属磁性材料8が堆積するのを防ぐことができる。
このため、本例によれば、従来蒸気入射規制マスク11の成膜開口部10aの近傍、防着板10の成膜開口部10aの上側の端面及び成膜開口部10a左右側下部に堆積していた堆積物8a,8b,8cが、高分子フィルム3上に堆積するので、金属磁性材料8の使用効率が大幅に向上し、コストダウンにつながる利益がある。
本例によれば、成膜条件を同じにしたときには、高分子フィルム3の搬送速度を上げることができ生産性向上につながる。
更に、本例によれば、防着板10の成膜開口部10aの左右側下部の堆積物がなく、この堆積物により高分子フィルム3への蒸発金属磁性材料8の入射が遮られないので、高分子フィルム3の両端部分の膜厚が正常に保たれ、歩留まりが向上する。
尚、本発明は上述例に限ることなく、本発明の要旨を逸脱することなく、その他種々の構成が採り得ることは勿論である。
1…真空室、2…巻き出しローラ、3…高分子フィルム、4…巻き取りローラ、5…冷却ローラ、6a,6b…ガイドローラ、7…ルツボ、8…金属磁性材料、9…電子銃、10…防着板、10a…成膜開口部、11…蒸気入射規制マスク、12,13,14…ヒーター
Claims (5)
- 真空室内において、巻き出しローラよりの高分子フィルムを冷却ローラを介して巻き取りローラに巻き取るようにすると共に前記冷却ローラの下方にルツボが設けられ、前記ルツボ内の金属磁性材料を加熱蒸発し、前記冷却ローラ面を走行する前記高分子フィルムに前記加熱蒸発した金属磁性材料を蒸着するようにすると共に前記ルツボと前記冷却ローラとの間に前記高分子フィルム上に前記加熱蒸発した金属磁性材料分子を決った方向に堆積する蒸気入射規制マスク及び成膜開口部を有する防着板を設けた磁気記録媒体の製造装置において、
前記蒸気入射規制マスクの前記成膜開口部近傍にヒーターを配置し、前記ヒーターを前記金属磁性材料の融点以上の温度に加熱するようにしたことを特徴とする磁気記録媒体の製造装置。 - 請求項1記載の磁気記録媒体の製造装置において、
前記防着板の前記金属磁性材料の堆積想定部に第2のヒーターを配置し、前記第2のヒーターを前記金属磁性材料の融点以上の温度に加熱することを特徴とする磁気記録媒体の製造装置。 - 請求項1又は2記載の磁気記録媒体の製造装置において、
前記ヒーターは板状体であることを特徴とする磁気記録媒体の製造装置。 - 請求項3記載の磁気記録媒体の製造装置において、
前記ヒーターの板状体の厚さを0.5mm〜2mmとしたことを特徴とする磁気記録媒体の製造装置。 - 請求項1又は2記載の磁気記録媒体の製造装置において、
前記ヒーターの温度を1500℃以上としたことを特徴とする磁気記録媒体の製造装置。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2005075499A JP2006260659A (ja) | 2005-03-16 | 2005-03-16 | 磁気記録媒体の製造装置 |
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JP2005075499A JP2006260659A (ja) | 2005-03-16 | 2005-03-16 | 磁気記録媒体の製造装置 |
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JP2005075499A Pending JP2006260659A (ja) | 2005-03-16 | 2005-03-16 | 磁気記録媒体の製造装置 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN103805957A (zh) * | 2012-11-14 | 2014-05-21 | 三星显示有限公司 | 用于沉积有机材料的设备 |
KR101650755B1 (ko) * | 2015-03-31 | 2016-08-24 | 주식회사 선익시스템 | 개시제를 이용하는 화학기상증착시스템 |
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2005
- 2005-03-16 JP JP2005075499A patent/JP2006260659A/ja active Pending
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