JP2006258557A - 光干渉計およびそれを用いた形状測定装置 - Google Patents
光干渉計およびそれを用いた形状測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006258557A JP2006258557A JP2005075367A JP2005075367A JP2006258557A JP 2006258557 A JP2006258557 A JP 2006258557A JP 2005075367 A JP2005075367 A JP 2005075367A JP 2005075367 A JP2005075367 A JP 2005075367A JP 2006258557 A JP2006258557 A JP 2006258557A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- sample
- optical
- beam splitter
- mirror
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
【課題】 試料の大きさや重さと無関係に同じ速度で且つ高速に干渉縞を得ることができるようにする。
【解決手段】 低コヒーレンス光源22の出射光P0を第1のビームスプリッタ24に入射し、第1のビームスプリッタ24から出射された第1の光P1を固定長折返し部25に入射し固定長光路を経由させて参照光Prを得る。また、第1のビームスプリッタ24から出射された第2の光P2を第2のビームスプリッタ26を介して可変長折返し部30に入射して可変長の光路を経由させて折り返し、その折り返し光P3′を試料表面2に入射させ、その反射光P5を再度可変長折返し部30によって可変長の光路を経由させてから、第1のビームスプリッタ24へ戻して試料光Pxを得て、参照光Prとの間で干渉縞を生じさせている。
【選択図】 図1
【解決手段】 低コヒーレンス光源22の出射光P0を第1のビームスプリッタ24に入射し、第1のビームスプリッタ24から出射された第1の光P1を固定長折返し部25に入射し固定長光路を経由させて参照光Prを得る。また、第1のビームスプリッタ24から出射された第2の光P2を第2のビームスプリッタ26を介して可変長折返し部30に入射して可変長の光路を経由させて折り返し、その折り返し光P3′を試料表面2に入射させ、その反射光P5を再度可変長折返し部30によって可変長の光路を経由させてから、第1のビームスプリッタ24へ戻して試料光Pxを得て、参照光Prとの間で干渉縞を生じさせている。
【選択図】 図1
Description
本発明は、マイケルソン型の光干渉計およびそれを用いた形状測定装置において、試料表面の凹凸の変化を広い範囲にわたって精度よく測定できるようにするための技術に関する。
物品の表面状態を微細に検査するために、マイケルソン型の光干渉計を用いた形状測定装置が従来から使用されている。
一般的に知られているマイケルソン型の光干渉計は、レーザ光などのコヒーレント光をビームスプリッタにより2つの光に分け、その一方を参照鏡により折り返してビームスプリッタから参照光として出射させ、他方を試料の表面に照射し、その試料の表面で反射した光を試料光としてビームスプリッタに戻して参照光と同一光軸上で重ね合わせて、両光をその光路差に応じて強度干渉させている。
このような光干渉計を用いて試料の表面形状を測定する場合には、一般的に参照光側の光路長を変化させて、その変化に伴う干渉状態の変化(明暗変化)を試料の表面の部位毎に検出し、その干渉状態の変化から表面の凹凸を測定している。
しかし、上記のようにコヒーレント光を用いた光干渉計では、光路差が光波長の整数倍のいずれの点においても同一干渉状態となり、例えば試料の表面に光の波長以上の段差があった場合、その段差の大きさを特定することが困難で、測定範囲が狭いという問題がある。
これを解消する技術として、光源として白色光等の低コヒーレンス光を用い、参照光と試料光の光路長がほぼ等しい領域だけで干渉が生じるように構成したものがある。
図13は、低コヒーレンス光によるマイケルソン型の光干渉計を用いた形状測定装置10の構成を示している。
図13において、光干渉計11は、低コヒーレンス光源12から出射された光P0をコリメートレンズ13により平行光P0′に変換してビームスプリッタ14へ入射する。
ビームスプリッタ14は、光軸L1で入射される平行光P0′を、その光軸L1と直交する光軸L2に沿った第1の光P1と、入射光P0と同一の光軸L1で同一方向に透過する第2の光P2に分けて出射する。
第1の光P1は、その光軸L1に直交する反射面を有する参照鏡15に入射され、その反射により折り返された折り返し光P1′が、ビームスプリッタ14へ逆向きに入射し、その一部が参照光Prとしてビームスプリッタ14を透過する。なお、この参照鏡15には、ビームスプリッタ14に対する距離を微細に可変できるように、例えば圧電素子等による変位装置16が設けられている。
また、第2の光P2は試料1の表面2に入射し、その反射光P2′がビームスプリッタ14に逆向きに入射し、その一部が試料光Pxとして参照光Prと同一光軸で出射される。
ここで、前記したように、低コヒーレンス光源12の出射光P0はコヒーレンス性が低い光であるので、同一時刻に出射された光同士については相関があって強調干渉するが、異なる時刻に出射された光同士は非相関で各光の干渉は生じない。
つまり、ビームスプリッタ14と参照鏡15との間の往復の光路長2・aと、ビームスプリッタ14と試料1の表面2との間の往復の光路長2・bとが等しいとき、参照光Prと試料光Pxとは互いに強め合って、その光軸の延長線上から見て最も明るくなり、その状態から両光路長に差が生じてくるにしたがって相関が弱まって暗くなり、両光路長の差が所定以上になると、参照光Prと試料光Pxとが完全に非相関となり最も暗くなる。
上記参照光Prと試料光Pxとの干渉は、平行光P0′のビーム幅内でそれぞれ独立に生じ、しかも、ビームスプリッタ14と試料1の表面2との距離は、その表面2の各部位の凹凸によって異なる。
したがって、例えば図13に示しているように、試料1の表面2が緩慢に一方向に傾斜していて、その中間部についての光路長2・bが光路長2・aと等しい場合、ビームスプリッタ14の上端面側からみると、図14の(a)のように、中央が明部で両側が暗部の干渉縞を観察することができる。
そして、この状態から、参照鏡15をビームスプリッタ14側に近づけて光路長2・aを短くすると、試料1の表面2においてその光路長2・aに等しい光路長2・bを与える位置が高段側に移動することになり、図14の(b)のように、明部の位置が一端1a側へ移動する。また、逆に、参照鏡15をビームスプリッタ14から遠ざけて光路長2・aを長くすると、試料1の表面2においてその光路長2・aに等しい光路長2・bを与える位置が低段側に移動することになり、図14の(c)のように、明部の位置が他端1b側へ移動する。
したがって、試料1の表面2の観察対象部全域について明部が生じるように光路長2・aを変化させ、試料1の表面2の部位毎に最も明るくなったときの参照鏡15の基準点からの移動量を求めることにより、試料1の表面2の各部位の高さ変位量を把握できる。
この干渉縞の情報を取得して試料1の表面2の形状を定量的に測定するために、ビームスプリッタ14の上端面側には、光学顕微鏡18および画像センサ19が配置されている。
光学顕微鏡18は、ビームスプリッタ14から出射される参照光Prと試料光Pxの画像を拡大して画像センサ19に出射する。
画像センサ19は、例えばCCDからなり、多数の微小な光電変換素子(図示せず)が縦横に配列された受光面で光学顕微鏡18からの出射光を受け、2次元の画像情報を出力する。
この2次元の画像情報は、図示しない形状解析部に送られ、明部の位置と参照鏡15の基準点からの移動距離とに基づいて、試料1の表面2の各部位の3次元座標が求められる。
上記のように低コヒーレンス光によるマイケルソン型の光干渉計を用いた形状測定装置の基本的な構成は、次の特許文献1に記載されている。
しかしながら、上記形状測定装置のように、参照鏡15をビームスプリッタ14に対して進退させて干渉縞を変化させる方法では、参照鏡15の位置変化に伴い、前述のように明部が移動するものの、光学顕微鏡18が捉える試料表面の分解能および明部のコントラストは、光学顕微鏡18の焦点付近以外では劣化するため、試料1の表面2の各部位の3次元座標も精度よく得ることができず、凹凸の大きな表面をもつ試料に用いることが困難となる。
例えば、図15の(a)のように、前記ビームスプリッタ14と光学顕微鏡18とを含めた光学系Uから参照鏡15までの距離と、光学系Uから段差のある試料1の表面2の高段部2aまでの距離とが共にAで等しい状態で、且つその位置で光学顕微鏡18のピントが参照鏡15にあっている場合、干渉縞(明部)が生じる高段部2aの表面画像も画像センサ19で明瞭に検知される。そして、この状態から、図15の(b)のように、参照鏡15を光学系Uから試料1の表面2の段差Δ分遠ざけてその距離A+Δにすると、干渉縞(明部)は試料1の表面2の低段部2bに生じるが、このとき、光学顕微鏡18のピントは高段部2aに合っているので、低段部2bの表面画像は不明瞭になってしまう。この問題は、大きな高さ変位のある試料の表面形状を測定する場合に特に顕著となる。
この問題を解決するために、光学顕微鏡18のピント位置に参照鏡15を固定しておき、試料1側を進退移動させることが考えられる。
例えば、図15の(a)に示した状態から図15の(c)のように、光学系Uから試料1を段差Δ分だけ近づけると、光学系Uから試料1の表面2の低段部2bまでの距離はAであるので、この低段部2bに干渉縞(明部)が生じ、また、光学系Uのピントは低段部2bに合うため、干渉縞が生じる位置の画像を明瞭に捉えることができる。
しかし、測定対象となる試料1自体を、前記圧電素子等を用いた変位機構16で進退移動させようとすると、試料1の重さや大きさなどの違いにより、その変位のスピードが大きく変化してしまう。このため、重さや大きさがほぼ等しい試料以外の測定を正確に行うことができず、測定対象の試料について汎用性に欠けるという問題がある。しかも、上記のように圧電素子等を用いた変位機構16では、光路長を大きく変化させることができず、表面に大きな段差がある試料の測定が困難である。
これを解決するために、試料1自体は固定しておき、測定系全体を試料1に対して移動させることも考えられるが、その場合、測定系全体を移動させるための大掛かりな変位機構を採用しなければならず、高速な測定が行えない。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、重さや大きさが異なる試料を測定する場合であっても同じ速度で且つ高速に光路長を変化させてその試料表面に干渉縞を生じさせ、広い範囲にわたってその表面の凹凸の変位を測定できる光干渉計および形状測定装置を提供することを目的としている。
前記目的を達成するために、本発明の請求項1の光干渉計は、
低コヒーレンス光源(22)と、
前記低コヒーレンス光源の出射光を受けて互いに光軸が直交する第1の光(P1)と第2の光(P2)とに分けて出射するとともに、前記第1の光と逆向きに入射される光の一部を参照光(Pr)とし、前記第2の光と逆向きに入射される光の一部を試料光(Px)とし、前記参照光と試料光とを同一光軸上に重ね合わせて出射する第1のビームスプリッタ(24)と、
前記第1の光を受け、一定長の光路を経由させて前記第1のビームスプリッタへ逆向きに折り返し入射する固定長折返し部(25)と、
前記第2の光を受けて、その一部を第3の光(P3)として透過させるとともに、該第3の光に対して逆向きに折り返し入射される光(P3′)の一部を、その光と直交する光軸で試料表面に向かう第4の光(P4)として出射し、該第4の光に対して試料表面で反射されて逆向きに入射される第5の光(P5)の一部を第6の光として前記第3の光と同一方向に出射し、さらに、前記第6の光に対して逆向きに折り返し入射される光(P6′)の一部を第7の光(P7)として前記第1のビームスプリッタ側へ透過させる第2のビームスプリッタ(26)と、
前記第3の光および前記第6の光を受けて、可変長の光路を経由させて前記第2のビームスプリッタ側へ同一光軸で逆向きに折り返し入射するとともに、前記第3の光および第6の光に対する折り返しの光路長を変化させて、前記第1のビームスプリッタから出射される前記参照光と試料光との間に生じる干渉縞を変化させる可変長折返し部(30)とを備えている。
低コヒーレンス光源(22)と、
前記低コヒーレンス光源の出射光を受けて互いに光軸が直交する第1の光(P1)と第2の光(P2)とに分けて出射するとともに、前記第1の光と逆向きに入射される光の一部を参照光(Pr)とし、前記第2の光と逆向きに入射される光の一部を試料光(Px)とし、前記参照光と試料光とを同一光軸上に重ね合わせて出射する第1のビームスプリッタ(24)と、
前記第1の光を受け、一定長の光路を経由させて前記第1のビームスプリッタへ逆向きに折り返し入射する固定長折返し部(25)と、
前記第2の光を受けて、その一部を第3の光(P3)として透過させるとともに、該第3の光に対して逆向きに折り返し入射される光(P3′)の一部を、その光と直交する光軸で試料表面に向かう第4の光(P4)として出射し、該第4の光に対して試料表面で反射されて逆向きに入射される第5の光(P5)の一部を第6の光として前記第3の光と同一方向に出射し、さらに、前記第6の光に対して逆向きに折り返し入射される光(P6′)の一部を第7の光(P7)として前記第1のビームスプリッタ側へ透過させる第2のビームスプリッタ(26)と、
前記第3の光および前記第6の光を受けて、可変長の光路を経由させて前記第2のビームスプリッタ側へ同一光軸で逆向きに折り返し入射するとともに、前記第3の光および第6の光に対する折り返しの光路長を変化させて、前記第1のビームスプリッタから出射される前記参照光と試料光との間に生じる干渉縞を変化させる可変長折返し部(30)とを備えている。
また、本発明の請求項2の光干渉計は、請求項1記載の光干渉計において、
前記可変長折返し部は、
一面側に反射面が形成された平板状のミラー本体(32)を有し、該ミラー本体をその反射面と平行な軸を中心に回動させるように構成され、前記第2のビームスプリッタから出射された前記第3の光および前記第6の光を入射光(Sa)として前記軸に直交する平面に沿って受け入れ、前記反射面で反射する回動ミラー(31)と、
複数の平面状の反射面を有し、前記入射光に対して前記回動ミラーから出射される1次反射光(Sb)を受けて、該1次反射光の光軸と平行で且つ離間した光軸の2次反射光(Sc)を前記回動ミラーへ出射する第1の反射体(50)と、
前記2次反射光を受けた前記回動ミラーから前記入射光の光軸と平行な光軸で出射された3次反射光(Sd)を、該3次反射光の光軸と直交する平面状の反射面で受けて該3次反射光と一致する光軸の4次反射光(Se)を前記回動ミラーへ出射する第2の反射体(55)とを有し、
前記第2の反射体から出射された前記4次反射光を、前記3次反射光、前記2次反射光および前記1次反射光と逆経路で順次折り返して、前記入射光と一致する光軸で逆向きに出射させるとともに、前記ミラー本体を回動させることにより前記入射光に対する折り返しの光路長を変化させることを特徴としている。
前記可変長折返し部は、
一面側に反射面が形成された平板状のミラー本体(32)を有し、該ミラー本体をその反射面と平行な軸を中心に回動させるように構成され、前記第2のビームスプリッタから出射された前記第3の光および前記第6の光を入射光(Sa)として前記軸に直交する平面に沿って受け入れ、前記反射面で反射する回動ミラー(31)と、
複数の平面状の反射面を有し、前記入射光に対して前記回動ミラーから出射される1次反射光(Sb)を受けて、該1次反射光の光軸と平行で且つ離間した光軸の2次反射光(Sc)を前記回動ミラーへ出射する第1の反射体(50)と、
前記2次反射光を受けた前記回動ミラーから前記入射光の光軸と平行な光軸で出射された3次反射光(Sd)を、該3次反射光の光軸と直交する平面状の反射面で受けて該3次反射光と一致する光軸の4次反射光(Se)を前記回動ミラーへ出射する第2の反射体(55)とを有し、
前記第2の反射体から出射された前記4次反射光を、前記3次反射光、前記2次反射光および前記1次反射光と逆経路で順次折り返して、前記入射光と一致する光軸で逆向きに出射させるとともに、前記ミラー本体を回動させることにより前記入射光に対する折り返しの光路長を変化させることを特徴としている。
また、本発明の請求項3の光干渉計は、請求項2記載の光干渉計において、
前記回動ミラーは、
前記ミラー本体(32)と、固定基板(34、35)と、前記固定基板の縁部と前記ミラー本体の外縁との間を連結し且つ長さ方向に捩れ変形して、前記ミラー本体を回動自在に支持する軸(33)と、前記ミラー本体を回動させる回動駆動手段(40、41、42、45)とを有していることを特徴としている。
前記回動ミラーは、
前記ミラー本体(32)と、固定基板(34、35)と、前記固定基板の縁部と前記ミラー本体の外縁との間を連結し且つ長さ方向に捩れ変形して、前記ミラー本体を回動自在に支持する軸(33)と、前記ミラー本体を回動させる回動駆動手段(40、41、42、45)とを有していることを特徴としている。
また、本発明の請求項4の光干渉計は、請求項2または請求項3記載の光干渉計において、
前記第1の反射体は、直角ミラー、直角プリズム、コーナーミラー、コーナープリズムのいずれかであることを特徴としている。
前記第1の反射体は、直角ミラー、直角プリズム、コーナーミラー、コーナープリズムのいずれかであることを特徴としている。
また、本発明の請求項5の形状測定装置は、
低コヒーレンス光源(22)から出射されて一定長の光路を経由した参照光と、前記低コヒーレンス光源からの出射光に対して試料表面が反射する試料光とを同一光軸上に重ね合わせるとともに、前記低コヒーレンス光源から前記試料表面を経由して前記参照光と同一光軸上に重ね合わされるまでの光路長を可変することにより前記参照光と試料光との間で干渉縞を生じさせるマイケルソン型の光干渉計(21)と、光学顕微鏡(18)と画像センサ(19)とを有し前記参照光と試料光の画像を検出する画像検出部(60)とを有し、前記光路長の変化に対して前記画像センサで検出される試料表面の各部位の明るさ変化に基づいて、前記試料表面の形状を測定する形状測定装置において、
前記光干渉計が、前記請求項1から請求項4までのいずれかに記載の光干渉計であることを特徴としている。
低コヒーレンス光源(22)から出射されて一定長の光路を経由した参照光と、前記低コヒーレンス光源からの出射光に対して試料表面が反射する試料光とを同一光軸上に重ね合わせるとともに、前記低コヒーレンス光源から前記試料表面を経由して前記参照光と同一光軸上に重ね合わされるまでの光路長を可変することにより前記参照光と試料光との間で干渉縞を生じさせるマイケルソン型の光干渉計(21)と、光学顕微鏡(18)と画像センサ(19)とを有し前記参照光と試料光の画像を検出する画像検出部(60)とを有し、前記光路長の変化に対して前記画像センサで検出される試料表面の各部位の明るさ変化に基づいて、前記試料表面の形状を測定する形状測定装置において、
前記光干渉計が、前記請求項1から請求項4までのいずれかに記載の光干渉計であることを特徴としている。
上記のように本発明の光干渉計では、第1のビームスプリッタから出射された第2の光を第2のビームスプリッタを介して可変長折返し部に入射して可変長の光路を経由させて折り返し、その折り返し光を試料表面に入射させ、その反射光を再度可変長折返し部によって可変長の光路を経由させてから、第1のビームスプリッタへ戻して、試料光を得て、参照光との間で干渉縞を生じさせている。
このため、参照光についての光路長を固定させた状態で、試料自体を変位させることなく試料光についての光路長を可変させることができる。したがって、試料の大きさや重さと無関係に同じ速度で且つ高速に干渉縞を得ることができ、種々の試料に対応でき、汎用性が極めて高くなる。
また、可変長折返し部を、ミラー回転構造にしたものでは、大きな光路長変化をさらに高速に得ることができる。
さらに、上記光干渉計を用いた形状測定装置では、干渉縞が生じる部分の画像情報を常に明瞭に取得することができ、形状測定を円滑に行うことができる。
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態を説明する。
図1は、本発明を適用した形状測定装置20の構成を示している。
図1は、本発明を適用した形状測定装置20の構成を示している。
この形状測定装置20は、光干渉計21、前記した光学顕微鏡18、画像センサ19からなる画像検出部60および形状解析部65とを有している。ここで、画像検出部60を構成する光学顕微鏡18、画像センサ19は前記従来装置のものと同一である。
光干渉計21は、低コヒーレンス光源22、コリメートレンズ23、第1のビームスプリッタ24、固定長折返し部25、第2のビームスプリッタ26および可変長折返し部30とにより構成されている。
キセノン光源やSLD等の低コヒーレンス光源22から出射された光P0は、コリメートレンズ23により平行光P0′に変換されて第1のビームスプリッタ24に入射される。なお、低コヒーレンス光源22の出射光P0が平行光の場合には、コリメートレンズ23を省略できる。
第1のビームスプリッタ24は、コリメートレンズ23から出射された光P0′を光軸L1に沿って受け入れて、光軸L1と直交する光軸L2に沿った第1の光P1と、光軸L1に沿って透過する第2の光P2とに分けて出射する。また、この第1のビームスプリッタ24は、第1の光P1と逆向きに入射される光(後述の折り返し光P1′)の一部を参照光Prとし、第2の光P2と逆向きに入射される光(後述の折り返し光P6′)の一部を試料光Pxとし、参照光Prと試料光Pxとを光軸L1と直交する光軸L2上に重ね合わせて画像検出部60側へ出射する。
固定長折返し部25は、第1の光P1を受けて、一定長の光路を経由させて第1のビームスプリッタ24へ第1の光P1と逆向きの折り返し光P1′として入射する。
ここで、固定長折返し部25の構成は任意であり、最も単純には、図1に示しているように、第1の光P1に直交する反射面を有する固定された参照鏡25aのみで構成することができる。ただし、可変長折返し部30の構成によっては試料光についての光路長が長くなる場合があり、そのような場合には、図2や図3に示すような固定長折返し部25を採用することで装置を小型化できる。
即ち、図2の固定長折返し部25は、第1の光P1の光軸L2に対して45°の傾きをもつ2つの平面鏡25b、25cと、2つの直角ミラー25d、25eとにより、光路長を稼いでから参照鏡25aで折り返すように構成している。
また、図3の固定長折返し部25は、平行に対向する一対の平面鏡25g、25hの間を複数回反射させてから参照鏡25aで折り返すように構成している。
固定長折返し部25から出射された折り返し光P1′の一部は第1のビームスプリッタ24を透過し、参照光Prとして光軸L2に沿って出射される。
一方、第2の光P2は一定光路長Kを経て、第2のビームスプリッタ26に入射される。なお、この光路長Kは、第1のビームスプリッタ24と第2のビームスプリッタ26との端面同士を密着させて一体化することによりゼロにすることができる。
第2のビームスプリッタ26は、入射された第2の光P2の一部を第3の光P3として透過させ可変長折返し部30へ出射し、この第3の光P3に対して可変長折返し部30側で折り返されて逆向きに入射される光(後述の折り返し光P3′)の一部を、試料照射用の第4の光P4として、光軸L1に直交する光軸L3に沿って試料1の表面2へ出射する。
また、第2のビームスプリッタ26は、第4の光P4に対して試料1の表面2で反射されて逆向きに入射される第5の光P5の一部を第6の光P6として第3の光P3と同一向きで可変長折返し部30に出射し、さらに、その第6の光P6に対して可変長折返し部30側で折り返されて逆向きに入射される光(後述の折り返し光P6′)の一部を第7の光P7として透過させ第1のビームスプリッタ24側へ出射する。
可変長折返し部30は、第3の光P3および第6の光P6を受け、可変長の光路を経由させて第2のビームスプリッタ26へ逆向きに折り返し入射するとともに、その光路長を変化させて、第1のビームスプリッタ24から出射される参照光Prと試料光Pxとの間に生じる干渉縞を変化させる。
この可変長折返し部30の構成は任意であり、例えば最も単純なものとして図4に示しているように、第3の光P3、第6の光P6に直交する反射面を有する平面鏡30aを、前述した従来装置のように圧電素子等からなる変位装置30bによって第2のビームスプリッタ26に対して進退させる構成等、種々の構成が採用できるが、いずれの構成であっても、試料1とは完全に独立に構成することができ、試料1の大きさや重さ等の影響を全く受けないため、同じ速度で光路長を変化させることができる。なお、図4に示す構成の可変長折返し部30を採用した場合、光路長は比較的短くて済むので、固定長折返し部26として図1に示しているような単純な構成のものでよい。
ただし、図1に示した実施形態では、図4の構成のものより大きな光路長変化が高速に得られるミラー回動型のものを採用している。
このミラー回動型の可変長折返し部30は、回動ミラー31、第1の反射体50および第2の反射体55とにより構成されている。
回動ミラー31は、一面側に反射面32aが形成された平板状のミラー本体32をその反射面32aと平行な軸33を中心に回動させるように構成され、第2のビームスプリッタ26から出射された第3の光P3および第6の光P6を入射光Saとして前記回動の軸33に直交する平面に沿って受け入れてミラー本体32の反射面で反射して第1の反射体50へ出射する。
回動ミラー31は、所謂MEMS(Micro Electro Mechanical
System)技術により形成され、半導体基板のエッチング技術を利用して小型に且つ高い寸法精度で構成されている。
System)技術により形成され、半導体基板のエッチング技術を利用して小型に且つ高い寸法精度で構成されている。
図5は、回動ミラー31のより詳細な構成例を示したものである。図5において、ミラー本体32は横長矩形の平板状に形成され、その一面側に反射面32aが形成されている。ミラー本体32の上下には、横長矩形の固定基板34、35が平行に配置されている。
上側の固定基板34の下縁中央とミラー本体32の上縁中央の間および下側の固定基板35の上縁中央とミラー本体32の下縁中央の間は、互いに一直線状に並んだ軸33、33によって連結されている。
この軸33の幅および厚さは、長さ方向に所望の回動角度範囲において捩れ変形し、またその変形状態から復帰できるように設定されており、この上下一対の軸33の捩れ変形により、ミラー本体32は、固定基板34、35に対してその軸33を中心に往復回動できるようになっている。ただし、軸33の厚さは、ミラー本体32、固定基板34、35の厚さと共通である。
また、このようにミラー本体32、固定基板34、35および軸33で一体的に形成されたブロックは、回転駆動力を静電的に与えるために導電性を有している。
なお、ここでは2つの互いに分離した固定基板34、35を用いているが、この固定基板34、35の両端間を連結して枠状に形成した一つの固定基板の内側に、2本の軸33を介してミラー本体32を回動自在に支持する構造であってもよい。
固定基板34、35は、絶縁性を有する支持基板36の一面側に互いに平行に設けられたスペーサ37、38の上に重なり合うように固定されている。また、支持基板36の一面側で、ミラー本体32の背面の両端に対向する位置には、電極板40、41が固定されている。
そして、この一対の電極板40、41とミラー本体32を含むブロックの間に、駆動信号発生器45から、例えば図6の(a)、(b)のように、互いに電圧レベルが反転する駆動信号Va、Vbを印加すれば、電極板40、41とミラー本体32の背面両端との間に、静電的な吸引力が交互に生じ、ミラー本体32が往復回動する。
ここで、駆動信号Va、Vbの周波数を、ミラー本体32の形状や重さ、軸33のバネ定数などで決まるミラー本体32の固有振動数に対応した値に設定すれば、少ない駆動電力で大きな回動振幅が得られる。
また、前記したように、この回動ミラー31は、MEMS技術によりミラー本体32を含めて全体的に非常に小型且つ軽量に形成され、しかも、ミラー本体32の形状を限定する要素はないので、この例のように軸33に対して左右対称に形成できる。したがって、振動を生じることなく、ミラー本体32を数100Hz〜数10kHzで高速に往復回動させることが可能であり、高速な形状測定が可能となる。この場合、駆動信号の位相とミラー角度との関係、あるいは駆動信号の位相と折り返しの光路長との関係を予め求めておき、その関係に基づいて試料1の表面2の高さの変位を求める。
また、回動ミラー31を任意の角度で一時的に停止させて測定を行う場合には、駆動信号発生器45からいずれか一方の電極板に一定電圧を印加すればよく、その電圧を変えることで、回動ミラー31の角度を可変できる。この場合、予め印加電圧と角度、印加電圧と折り返しの光路長との関係を求めておき、その関係を用いて試料1の表面2の高さの変位を求める。
なお、回動ミラー31の構造は上記のものに限定されるものではなく、種々の形状変更が可能であり、また、駆動方式も前記した静電的な力だけでなく、磁石やコイルを用いて得られる磁気的な力を用いてもよい。また、圧電素子等を用いて機械的な力を与えてもよい。
このように構成された回動ミラー31から光軸L4に沿って出射される1次反射光Sbは、第1の反射体50に入射される。
第1の反射体50は、例えば2つ互いに直交する平面状の反射面50a、50bを有する直角ミラー(または直角プリズム)からなり、2つの反射面50a、50bに直交する平面上の光軸L4で1次反射光Sbを受け、その1次反射光Sbの光軸L4と平行で且つ離間した光軸L5の2次反射光Scを回動ミラー31へ出射する。なお、ここでは、第1の反射体50として、直角ミラーまたは直角プリズムのように2つの互いに直交する反射面50a、50bを有するものを用いているが、互いに直交する3つの反射面を有するコーナミラー、コーナープリズムで構成してもよく、また、4つ以上の反射面を有するものであってもよい。
回動ミラー31は、この2次反射光Scを受けて、入射光Saの光軸L1と平行な光軸L6の3次反射光Sdを第2の反射体55に出射する。
第2の反射体55は例えば平面鏡であり、3次反射光Sdをその光軸L6と直交する反射面55aで受けて3次反射光Sdと逆向きの4次反射光Seを回動ミラー31へ出射する。
この4次反射光Seは3次反射光Sdと逆経路で回動ミラー31へ入射され、この4次反射光Seに対して回動ミラー31で反射された5次反射光Sgが2次反射光Scと逆経路をたどり第1の反射体50に入射される。さらに、5次反射光Sfに対して第1の反射体50で反射された6次反射光Sgが1次反射光Saと逆経路をたどり回動ミラー31に再び入射されて、6次反射光Sgに対して回動ミラー31で反射された7次反射光Shが入射光Sa(第3の光P3、第6の光P6)と一致する光軸で前記折り返し光P3′、P6′として逆向きに出射される。
ここで、回動ミラー31のミラー本体32は、図1に示しているように、その反射面32aと光軸L1、L6のなす角度が所定値θ(例えば41°)を中心にして数度(例えば±3°)の範囲を回動するものとする。
上記構成の可変長折返し部30の場合、ミラー本体32の反射面32aが、光軸L1に対して角θをなしている状態において、光軸L1上の点X(例えば第2のビームスプリッタ26の可変長折返し部30側の端面と光軸L1との交点)から入射した光Saに対する7次反射光Shが点Xまで戻ってくるまでの全体の光路長P(θ)は、
P(θ)=2[A(θ)+B(θ)+C(θ)]
と表すことができる。
P(θ)=2[A(θ)+B(θ)+C(θ)]
と表すことができる。
ここで、光路長A(θ)は、図7に示しているように、点Xからミラー本体32の反射面32aと光軸L1とが交わる点X1までの距離、光路長B(θ)は、点X1で反射した光が第1の反射体50の反射面50a、50bを経由してミラー本体32の反射面32aの点X2に戻るまでの距離、光路長C(θ)は、点X2から光軸L6と第2の反射体55の反射面55aとが交わる点X3までの距離である。
ここでは上記の光路長の詳細式は示さないが、光路長P(θ)は、θに関する正弦関数におおよそ近似され、上記各光路のうち光路長A(θ)の変化分が支配的であることが分かっている。
したがって、例えば図1に示した状態から、ミラー本体32が、図7の(a)のように、角度θaまで反時計回りに回転したとき、光路長A(θa)は光路長A(θ)より短くなるので、全体の光路長P(θa)も光路長P(θ)より短くなる。
また、逆に、ミラー本体32が、図7の(b)のように、角度θbまで時計回りに回転したとき、光路長A(θb)は光路長A(θ)より長くなるので、全体の光路長P(θb)も光路長P(θ)より長くなる。
図8は、θを±3°の範囲で変化させたときの光路長P(θ)の変化特性(−3°の光路長を基準としている)を示している。この図8から明らかなように、θを±3°の範囲で変化させたとき、1mm以上の光路長P(θ)の変化が連続的に得られる。
なお、回動ミラー31の初期位置や第1の反射体50に対する相対位置を設定することによって、光路長の変化特性を、例えばθが0°のときに光路長が最大になる等、所望の形にすることができる。
第2のビームスプリッタ26から出射され、可変長折返し部30に入射された第3の光Pは、可変長折返し部30で可変の光路長P(θ)を経由して折り返され、折り返し光P3′として第2のビームスプリッタ26に入射され、その折り返し光P3′の一部が、第4の光P4の光として試料1の試料1の表面2に照射される。
ここで、折り返し光P3′のうち、第2のビームスプリッタ26を透過する成分もあるが、この成分についての光路長は、参照光についての光路長と大きく異なるように設定されていて、参照光と非相関であるため、測定には無効な光となる。
一方、第4の光P4に対して試料1の表面2で反射された第5の光P5は第2のビームスプリッタ26に入射され、その一部が第6の光P6として再び可変長折返し部30へ出射され、第3の光P3の場合と同一の光路長を経由して、折り返し光P6′として第2のビームスプリッタ26に入射される。そして、この折り返し光P6′の一部が第7の光P7として第2のビームスプリッタ26を透過し、第1のビームスプリッタ24に入射され、この第7の光P7の一部が、前記試料光Pxとして、画像検出部60の光学顕微鏡18に出射されることになる。なお、この2回目の折り返し光P6′の後に可変長折返し部30で折り返されて第2のビームスプリッタ26を透過する光も無効な光となる。
したがって、第1のビームスプリッタ24から出射された第2の光P2に対して、第7の光P7が戻ってくるまでの全光路長Qは、第2のビームスプリッタ26から試料1の表面2までの距離をZとすれば、
Q=2[K+P(θ)+Z]
となる。
Q=2[K+P(θ)+Z]
となる。
そして、試料1の表面2に例えばΔの段差があってその高段部2aと低段部2bがそれぞれ平坦で且つ光軸L3に直交し、高段部2aが距離Zの位置にある場合において、試料側の全光路長Qが固定長折返し部25による折り返しの光路長Wと等しく、さらに、光学顕微鏡18の焦点が高段部2aに合っているとき、その高段部2aについての試料光Pxと参照光Prとの相関関係が完全一致し、低段部2bについての試料光Pxと参照光Prとの光路に2Δ分の差が生じて両光が非相関となる。
したがって、画像センサ19が検出する画像は、図9のように、試料1の表面2の高段部2a全体が一様に明るくなり、低段部2b全体が一様に暗くなる。また、高段部2aの表面画像は焦点があっていて明瞭に検出されるが、低段部2bの画像は焦点が合っていないため不明瞭(ぼやける)となり、干渉が強く生じている部分、つまり観察したい部分の表面画像を明瞭に把握することができる。
また、この状態から可変長折返し部30の回動ミラー31を回転駆動して、光路長P(θ)を例えばΔ/2だけ短くすると、試料1の表面2のうち、その短縮分を相殺する位置、即ち、低段部2bについての試料光Pxと参照光Prとの相関関係が一致することになり、図10のように、試料1の表面2の低段部2b全体が一様に明るくなり、高段部2a全体が一様に暗くなる。また、光学顕微鏡18の焦点が合う距離は変わっていないので、低段部2bの表面画像に焦点が合い、上記同様に、干渉が強く生じている部分の表面画像を明瞭に検出できる。
なお、上記説明では、動作を理解しやすいように、試料1の表面2にそれぞれの高さが一様な高段部2aと低段部2bがあるものとしていたが、実際の試料1の表面2には、例えば図11のように、複雑な凹凸や傾斜がある。
したがって、その形状を正確に把握するためには、可変長折返し部30の光路長P(θ)をΔ′/2ステップ(あるいは連続的でもよい)で微小に変化させて、参照光との相関がとれる距離ZをΔ′ステップで変え、各距離について画像センサ19によって検出される各明部S(i,j)のxy座標(画素の配列位置に対応)を形状解析部65が記憶して、その記憶された明部座標と上記変化させた光路長との関係から、試料1の表面2の各部位の高さを求める。そして、この処理によって得られた試料1の表面2の3次元の形状情報を、例えば図示しない表示装置に表示させたり、あるいはその情報を必要とする他装置へ送る。
なお、この3次元情報の取得処理は、例えば、形状解析部65が可変長折返し部30の回動ミラー31の角度制御を行いながら、画像センサ19の出力を記憶することにより行われる。
以上説明したように、実施形態の形状測定装置20に用いられている光干渉計21では、参照光についての光路長を固定とし、試料光についての光路長を可変する構成でありながら、試料自体の位置を変位させずに、試料と独立した可変長折返し部30によって試料光の光路長を可変させている。
このため、試料1の重さや大きさ等に影響されずに、同じ速度で且つ高速に光路長を可変でき、種々の試料についての形状測定を行うことができ、汎用性が格段に高くなる。
また、可変長折返し部30をミラー回動型にしたものでは、測定範囲が広く、より高速な測定が行える。
なお、上記実施形態では、コリメートレンズ23から出射された光P0′のうち、第1のビームスプリッタ24で反射された光(第1の光P1)を固定長折返し部25に出射し、第1のビームスプリッタ24を透過した光(第2の光P2)を第2のビームスプリッタ26に出射していたが、図12に示す形状測定装置20のように、コリメートレンズ23から出射された光P0′のうち、第1のビームスプリッタ24を透過した光(第1の光P1)を固定長折返し部25に出射し、第1のビームスプリッタ24から光軸L1に直交する光軸で出射される光(第2の光P2)を第2のビームスプリッタ26に入射する構成でもよい。
また、前記実施形態では、低コヒーレンス光源22、第1のビームスプリッタ24、第2のビームスプリッタ26および可変長折返し部30が共通の光軸L1に沿って一直線上に並んでいるが、これは本発明を限定するものではなく、上記構成要素の間に平面鏡等を挿入して各要素の配置を任意に変更できる。
1……試料、2……表面、18……光学顕微鏡、19……画像センサ、20……形状測定装置、21……光干渉計、22……低コヒーレンス光源、23……コリメートレンズ、24……第1のビームスプリッタ、25……固定長折返し部、26……第2のビームスプリッタ、30……可変長折返し部、31……回動ミラー、32……ミラー本体、33……軸、34、35……固定基板、36……支持基板、37、38……スペーサ、40、41……電極板、45……駆動信号発生器、50……第1の反射体、55……第2の反射体、60……画像検出部、65……形状解析部
Claims (5)
- 低コヒーレンス光源(22)と、
前記低コヒーレンス光源の出射光を受けて互いに光軸が直交する第1の光(P1)と第2の光(P2)とに分けて出射するとともに、前記第1の光と逆向きに入射される光の一部を参照光(Pr)とし、前記第2の光と逆向きに入射される光の一部を試料光(Px)とし、前記参照光と試料光とを同一光軸上に重ね合わせて出射する第1のビームスプリッタ(24)と、
前記第1の光を受け、一定長の光路を経由させて前記第1のビームスプリッタへ逆向きに折り返し入射する固定長折返し部(25)と、
前記第2の光を受けて、その一部を第3の光(P3)として透過させるとともに、該第3の光に対して逆向きに折り返し入射される光(P3′)の一部を、その光と直交する光軸で試料表面に向かう第4の光(P4)として出射し、該第4の光に対して試料表面で反射されて逆向きに入射される第5の光(P5)の一部を第6の光として前記第3の光と同一方向に出射し、さらに、前記第6の光に対して逆向きに折り返し入射される光(P6′)の一部を第7の光(P7)として前記第1のビームスプリッタ側へ透過させる第2のビームスプリッタ(26)と、
前記第3の光および前記第6の光を受けて、可変長の光路を経由させて前記第2のビームスプリッタ側へ同一光軸で逆向きに折り返し入射するとともに、前記第3の光および第6の光に対する折り返しの光路長を変化させて、前記第1のビームスプリッタから出射される前記参照光と試料光との間に生じる干渉縞を変化させる可変長折返し部(30)とを備えた光干渉計。 - 前記可変長折返し部は、
一面側に反射面が形成された平板状のミラー本体(32)を有し、該ミラー本体をその反射面と平行な軸を中心に回動させるように構成され、前記第2のビームスプリッタから出射された前記第3の光および前記第6の光を入射光(Sa)として前記軸に直交する平面に沿って受け入れ、前記反射面で反射する回動ミラー(31)と、
複数の平面状の反射面を有し、前記入射光に対して前記回動ミラーから出射される1次反射光(Sb)を受けて、該1次反射光の光軸と平行で且つ離間した光軸の2次反射光(Sc)を前記回動ミラーへ出射する第1の反射体(50)と、
前記2次反射光を受けた前記回動ミラーから前記入射光の光軸と平行な光軸で出射された3次反射光(Sd)を、該3次反射光の光軸と直交する平面状の反射面で受けて該3次反射光と一致する光軸の4次反射光(Se)を前記回動ミラーへ出射する第2の反射体(55)とを有し、
前記第2の反射体から出射された前記4次反射光を、前記3次反射光、前記2次反射光および前記1次反射光と逆経路で順次折り返して、前記入射光と一致する光軸で逆向きに出射させるとともに、前記ミラー本体を回動させることにより前記入射光に対する折り返しの光路長を変化させることを特徴とする請求項1記載の光干渉計。 - 前記回動ミラーは、
前記ミラー本体(32)と、固定基板(34、35)と、前記固定基板の縁部と前記ミラー本体の外縁との間を連結し且つ長さ方向に捩れ変形して、前記ミラー本体を回動自在に支持する軸(33)と、前記ミラー本体を回動させる回動駆動手段(40、41、42、45)とを有していることを特徴とする請求項2記載の光干渉計。 - 前記第1の反射体は、直角ミラー、直角プリズム、コーナーミラー、コーナープリズムのいずれかであることを特徴とする請求項2または請求項3記載の光干渉計。
- 低コヒーレンス光源(22)から出射されて一定長の光路を経由した参照光と、前記低コヒーレンス光源からの出射光に対して試料表面が反射する試料光とを同一光軸上に重ね合わせるとともに、前記低コヒーレンス光源から前記試料表面を経由して前記参照光と同一光軸上に重ね合わされるまでの光路長を可変することにより前記参照光と試料光との間で干渉縞を生じさせるマイケルソン型の光干渉計(21)と、光学顕微鏡(18)と画像センサ(19)とを有し前記参照光と試料光の画像を検出する画像検出部(60)とを有し、前記光路長の変化に対して前記画像センサで検出される試料表面の各部位の明るさ変化に基づいて、前記試料表面の形状を測定する形状測定装置において、
前記光干渉計が、前記請求項1から請求項4までのいずれかに記載の光干渉計であることを特徴とする形状測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005075367A JP2006258557A (ja) | 2005-03-16 | 2005-03-16 | 光干渉計およびそれを用いた形状測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005075367A JP2006258557A (ja) | 2005-03-16 | 2005-03-16 | 光干渉計およびそれを用いた形状測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006258557A true JP2006258557A (ja) | 2006-09-28 |
Family
ID=37097992
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005075367A Pending JP2006258557A (ja) | 2005-03-16 | 2005-03-16 | 光干渉計およびそれを用いた形状測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006258557A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011145232A (ja) * | 2010-01-16 | 2011-07-28 | Canon Inc | 計測装置及び露光装置 |
JP2011174920A (ja) * | 2010-01-28 | 2011-09-08 | Panasonic Corp | 光干渉計測方法および光干渉計測装置 |
WO2014185133A1 (ja) * | 2013-05-14 | 2014-11-20 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 面形状計測方法およびその装置 |
CN106938544A (zh) * | 2017-01-20 | 2017-07-11 | 深圳摩方新材科技有限公司 | 实时监控面型的3d打印光学系统 |
-
2005
- 2005-03-16 JP JP2005075367A patent/JP2006258557A/ja active Pending
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011145232A (ja) * | 2010-01-16 | 2011-07-28 | Canon Inc | 計測装置及び露光装置 |
US8902430B2 (en) | 2010-01-16 | 2014-12-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Measuring apparatus and exposure device |
JP2011174920A (ja) * | 2010-01-28 | 2011-09-08 | Panasonic Corp | 光干渉計測方法および光干渉計測装置 |
CN102192896A (zh) * | 2010-01-28 | 2011-09-21 | 松下电器产业株式会社 | 光干涉测量方法及光干涉测量装置 |
KR101264671B1 (ko) * | 2010-01-28 | 2013-05-15 | 파나소닉 주식회사 | 광 간섭 계측 방법 및 광 간섭 계측 장치 |
US8670126B2 (en) | 2010-01-28 | 2014-03-11 | Panasonic Corporation | Optical interference measuring method and optical interference measuring apparatus |
WO2014185133A1 (ja) * | 2013-05-14 | 2014-11-20 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 面形状計測方法およびその装置 |
JPWO2014185133A1 (ja) * | 2013-05-14 | 2017-02-23 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 面形状計測方法およびその装置 |
US9631924B2 (en) | 2013-05-14 | 2017-04-25 | Hitachi High-Technologies Corporation | Surface profile measurement method and device used therein |
CN106938544A (zh) * | 2017-01-20 | 2017-07-11 | 深圳摩方新材科技有限公司 | 实时监控面型的3d打印光学系统 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5226480B2 (ja) | 3次元形状測定装置 | |
JP6033798B2 (ja) | 蛍光顕微鏡検査法における照明位相制御のためのシステムおよび方法 | |
US7443513B2 (en) | Apparatus for optical measurement of an object | |
US8345260B2 (en) | Method of detecting a movement of a measuring probe and measuring instrument | |
US20090279103A1 (en) | Apparatus and method for optical 3d measurement | |
US20110298896A1 (en) | Speckle noise reduction for a coherent illumination imaging system | |
US20080024767A1 (en) | Imaging optical coherence tomography with dynamic coherent focus | |
US20090213386A1 (en) | Apparatus and method for measuring surface topography of an object | |
WO2013115134A1 (ja) | 距離計測装置、距離計測方法及び制御プログラム | |
CA2397095C (en) | Apparatus and methods for surface contour measurement | |
US10444007B2 (en) | Systems, apparatus, and methods for spectral imaging | |
JP6979391B2 (ja) | 距離測定装置、距離測定方法、及び立体形状測定装置 | |
JP2015102485A (ja) | 形状測定装置、光走査装置、構造物製造システム、形状測定方法、構造物製造方法、及び形状測定プログラム | |
JP2006258557A (ja) | 光干渉計およびそれを用いた形状測定装置 | |
WO2015075723A2 (en) | Optical knife-edge detector with large dynamic range | |
JP4880519B2 (ja) | 干渉測定装置 | |
CN107923735B (zh) | 用于推导物体表面的形貌的方法和设备 | |
KR101333299B1 (ko) | 투영격자의 진폭을 적용한 3차원 형상 측정장치 및 방법 | |
KR101423829B1 (ko) | 투영격자의 진폭을 적용한 3차원 형상 측정장치 및 방법 | |
US20200096315A1 (en) | Metrology and profilometry using light field generator | |
Heikkinen | Defocused speckle imaging for remote surface motion measurements | |
US11815346B2 (en) | Device for the chromatic confocal measurement of a local height and/or orientation of a surface of a sample and corresponding methods for measuring a height or a roughness of a sample | |
JP2005043081A (ja) | フリンジスキャン機能を備えた干渉計装置 | |
JP2942002B2 (ja) | 面形状測定装置 | |
JP3998844B2 (ja) | フリンジスキャンを用いた干渉計装置 |