JP2006258263A - 潤滑剤供給装置、潤滑剤供給方法、軸受装置、及び、主軸装置 - Google Patents

潤滑剤供給装置、潤滑剤供給方法、軸受装置、及び、主軸装置 Download PDF

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Abstract

【課題】 潤滑剤供給路ごとに必要なオイル粒子の流量に応じて、定量吐出装置の吐出流量が正常であるかどうかを正確に監視できる潤滑剤供給装置を提供する。
【解決手段】 潤滑剤供給装置10の複数のセンサー17は、オイルエア供給管路16内を流れるオイル粒子の流量を監視するとともに、所定流量のオイル粒子に応じて監視感度を設定可能である。各センサー17は、オイルエア供給管路16内を流れるオイル粒子の流量が所定流量のオイル粒子以上であると信号を発する。
【選択図】 図1

Description

本発明は、潤滑剤供給装置、潤滑剤供給方法、軸受装置、及び、主軸装置に関し、特に、高速回転する工作機械、或はモータ用の主軸装置に用いられる軸受をオイル及び圧縮エアの供給により潤滑する潤滑剤供給装置及び潤滑剤供給方法、並びにそれを用いた軸受装置及び主軸装置に関する。
近年、工作機械及びモータ用の主軸は高速化が進み、dmN(転動体ピッチ×回転数)で150万以上という主軸装置も珍しくなくなっている。このような回転領域では、初期のグリース封入量のみで潤滑するグリース潤滑の場合、グリース寿命が転がり疲れ寿命より短い。このため、このような回転領域では、潤滑剤を供給するオイルエアやオイルミスト潤滑が主に使用されている。
オイルエアやオイルミスト潤滑の場合、軸受内部へ潤滑油を供給する潤滑装置が必要であり、特に、オイルエア潤滑に使用される潤滑装置は、定量吐出装置に潤滑ポンプユニットから増圧したオイルを供給し、定量吐出装置のピストンを作動することにより定量のオイルを吐出し、吐出された定量のオイルを圧縮エアと混合してオイルエアを軸受内部へ供給する。また、このような潤滑装置では、装置が正常に作動していることを監視することが知られている(例えば、特許文献1〜6参照。)。
特許文献1では、定量吐出装置が作動していることを目視で観察できるように定量吐出装置内のピストンを外部より観察できる構造を提案している。
特許文献2及び3では、定量吐出装置と定量吐出装置を作動するための潤滑ポンプの作動状況について監視し、異常がある場合は外部へ異常であることを出力する異常検知システムを提案している。
特許文献4では、摺動部を潤滑した後の排油を回収し、回収状況によりオイルが摺動部に供給されているかを監視する装置を提案している。
特許文献5では、間欠給油を行なう潤滑装置において、定量吐出装置の作動に同期して配管内を流れるオイル粒子の流れを監視する方法を提案している。
特開2000−274593号公報 特開平6−147397号公報 特公平7−9276号公報 特開平11−51290号公報 特開平2−271197号公報
ところで、特許文献1〜3は、定量吐出装置内ピストンの動きやポンプの経路圧力を監視しているが、オイル粒子が吐出されていること自体を監視するものでない。このため、実際にはオイル粒子が軸受内部へ供給されずに、軸受が損傷を起こす可能性がある。
特許文献4では、軸受内部に供給されたオイル粒子の中には、大気中に噴霧されるものもあり、給油したオイル粒子をすべて回収することは難しく、供給されたオイル粒子の量を正確に把握することは困難である。
特許文献5では、定量吐出装置の吐出量が変化する場合において間欠的に作動する周期に合わせてオイル粒子を検知しているが、センサーの感度が固定されている場合には、吐出流量に応じて仕様の異なる複数のセンサーが必要となり、また、吐出流量を調整する場合には、センサーを交換する必要があった。
本発明はこのような不都合を解消するためになされたものであり、その目的は、潤滑剤供給路ごとに必要なオイル粒子の流量に応じて、定量吐出装置の吐出流量が正常であるかどうかを正確に監視できる潤滑剤供給装置を提供することにある。
本発明の目的は、下記の構成によって達成される。
(1) 所定の軸受にオイルエアを供給する潤滑剤供給装置であって、
前記所定の軸受に前記オイルエアを供給するための所定の潤滑剤供給路に、所定流量のオイル粒子を圧縮エアと混合しながら間欠的に吐出する定量吐出装置と、
前記所定の潤滑剤供給路に設けられ、前記潤滑剤供給路内を流れるオイル粒子の流量を監視するとともに、前記所定流量のオイル粒子に応じて監視感度を設定可能なセンサーと、
を備え、
前記センサーは、前記潤滑剤供給路内を流れるオイル粒子の流量が前記所定流量のオイル粒子以上であると信号を発することを特徴とする潤滑剤供給装置。
(2) 前記定量吐出装置は、前記オイル粒子を間欠的に吐出するためのピストンを備え、
前記センサーは、前記ピストン駆動後の所定時間における前記オイル粒子の流量を検知することを特徴とする(1)に記載の潤滑剤供給装置。
(3) (1)又は(2)に記載の潤滑剤供給装置を備えることを特徴とする軸受装置。
(4) (3)に記載の軸受装置を備えることを特徴とする工作機械用、或は高速モータ用の主軸装置。
(5) (1)又は(2)に記載の潤滑剤供給装置、或は(4)に記載の軸受装置を備えることを特徴とするギヤ及び摺動部材を有する機械装置。
(6) 所定の軸受にオイルエアを供給する潤滑剤供給方法であって、
前記所定の軸受に前記オイルエアを供給するための潤滑剤供給路に、所定流量のオイル粒子を圧縮エアと混合しながら間欠的に吐出する工程と、
前記所定の潤滑剤供給路に設けられ、前記所定流量のオイル粒子に応じて監視感度を設定されたセンサーを用いて、前記潤滑剤供給路内を流れるオイル粒子の流量を監視する工程と、
前記潤滑剤供給路内を流れるオイル粒子の流量が前記所定流量のオイル粒子以上であると、信号を発する工程と、
を備えることを特徴とする潤滑剤供給方法。
(7) 前記監視工程は、前記定量吐出装置のピストン駆動後の所定時間における前記オイル粒子の流量を検知することを特徴とする(6)に記載の潤滑剤供給方法。
本発明によれば、オイル粒子が軸受内部へ供給していることを軸受装置と潤滑剤供給装置の定量吐出装置との間でオイルエア監視用センサーを用いて監視し、供給しているオイル粒子の流量が正常に流れているかどうかを正確に検知することができる。
以下、本発明の一実施形態に係る潤滑剤供給装置及び潤滑剤供給方法について図面を参照して詳細に説明する。
図1は、複数の転がり軸受が組み込まれる軸受装置にオイルエアを供給する潤滑剤供給装置を示す。潤滑剤供給装置10は、潤滑ポンプユニット11と、定量吐出装置12と、潤滑ポンプユニット11と定量吐出装置12間で圧縮エア及び圧縮オイルをそれぞれ供給するエア供給管路13及びオイル供給管路14と、定量吐出装置12と軸受装置50の転がり軸受53,54,55近傍に配置される潤滑剤供給用ノズルコマ15との間を接続する潤滑剤供給路であるオイルエア供給管路16と、オイルエア供給管路16の定量吐出装置12の近傍に配置されるオイルエア監視用センサー17とを備える。
エア供給管路13は、図示しない圧縮空気供給源からフィルタ21を介して伸び、その後に分岐して一方はエア供給管路13としてソレノイドバルブ22に接続し、他方はエア導入路23としてソレノイドバルブ24に接続している。エア供給管路13においてソレノイドバルブ22とフィルタ21との間には圧力計25が設けられている。ソレノイドバルブ22からエア供給管路13が更に伸びており、ソレノイドバルブ22以降のエア供給管路13中の空気圧力は圧力スイッチ26により検知される。圧力スイッチ26は、エア供給管路13内が異常圧力になったことに反応して異常圧力信号を発生するように機能する。なお、ソレノイドバルブ22はオン・オフ制御式のもので、潤滑剤供給装置10が作動しているときは常に開き、異常時には自動又は手動に閉じ、エアの供給を停止する。
ソレノイドバルブ24は、空気作動式の供給ポンプ27の駆動を制御するために設けられている。このソレノイドバルブ24もオン・オフ制御式のものであり、図示しないタイマにより制御される(例えば、タイマにより8分間隔でソレノイドバルブがオン・オフ制御される)。ソレノイドバルブ24はタイマにより定期的に開閉され、開いたときはエア導入路23からの圧縮エアを供給ポンプ27に送る。供給ポンプ27の給油口は貯蔵タンク28に接続され、送油口はオイル供給管路14に接続されている。
供給ポンプ27は往復作動式のものであり、ソレノイドバルブ24が開くことにより空気圧がこれに加わると、内部のピストン(不図示)が、該ピストンを給油口側に付勢しているばね(不図示)の付勢力に抗して送油口側に押されて、供給ポンプ27内のオイルを送油口から押し出す。また、ソレノイドバルブ24が閉じると、供給ポンプ27内の該ピストンを駆動させた圧縮エアが逃げ、それにより該スプリングの付勢力によってピストンは反給油口側に移動させられ、貯蔵タンク28から給油口を介して供給ポンプ27内にオイルを吸入する。即ち、ソレノイドバルブ24の一回のオン・オフ動作により、供給ポンプ27は一行程だけ作動する。
貯蔵タンク28内のオイル量はフロートスイッチ(図示せず)により検知され、オイル供給管路14中の圧力は圧力スイッチ29により検知される。圧力スイッチ29は、オイル供給管路14内が異常圧力になったことに反応して異常圧力信号を発生するように機能する。圧力計25、ソレノイドバルブ22、貯蔵タンク28のフロートスイッチ、並びに圧力スイッチ29の作動はコントローラ30によって制御される。これらの各構成要素によって、潤滑ポンプユニット11が形成される。潤滑ポンプユニット11を出たエア供給管路13及びオイル供給管路14はその後それぞれ定量吐出装置12に入り、オイルエア供給管路16の数に応じた複数の系統に分岐される。
エア供給管路13には、定量吐出装置12内において絞り弁41が設けられている。この絞り弁41は、エア供給管路13を閉じてそれ以降圧縮エアを伝達しないようにするもので、例えば機械装置に本システムを設置した場合、定量吐出装置が正常に作動しているか確認するため、オイル供給管路14より出るオイルの状態を圧縮エアなしで観察するために使用される。
オイル供給管路14には、定量吐出装置12において定量ピストン42を有する定量器43が複数設けられている。この定量器43はシリンダ44、ピストン42、ピストン42を付勢するスプリング及び不図示の弁機構(いずれも図示せず)とからなる。シリンダ44内において前後に往復動自在となっているピストン42は、該スプリングにより後方(流れに対して上流の方向)に付勢されており、オイル供給管路14内が供給ポンプ27の排出行程に伴って加圧されたときだけ前方(流れに対して下流の方向)に移動してシリンダ44内の所定流量のオイル粒子を定量的(例えば、1ストロークで0.03cc供給するように)制限する。なお、ピストン42は、1ストロークで供給するオイル粒子の流量に応じて15秒〜75秒間作動する。
また、オイル供給管路14内の圧力が供給ポンプ27の停止に伴い減少し、ピストン42はスプリングの付勢力により、後方に戻ると同時に、オイル供給管路14内のオイルをシリンダ44内に吸入する。供給ポンプ27の容量は、複数個の定量器43の容量の合計よりも大きくなっているが、供給ポンプ27は空気圧で駆動されるため、定量器43が前方に行き着いたらそれ以上オイルを押し出さない。定量器43の下流には、逆止弁45が設けられ、後述する連結部46を介して、オイルエア供給管路16からの圧縮エアによりオイルが逆流するのを防止する。
定量吐出装置12内では、連結部46においてエア供給管路13にオイル供給管路14が合流している。従って、定量器43により極微量かつ定量的に供給されているオイル粒子は、連結部46からオイルエア供給管路16に吐出され、圧縮エアと混合されたオイルエアとして軸受装置50に供給される。
各オイルエア供給管路16は、軸受装置50のハウジング51に向けて延び、回転軸52を支持する各軸受53,54,55近傍の所定の軸方向位置に配置された各潤滑剤供給用ノズルコマ15等に接続されており、オイルエア供給管路16に吐出されたオイル粒子は、圧縮エアによりオイルエア供給管路16の内周面に沿って空気流によって軸受53,54,55に供給される。
また、オイルエア供給管路16の定量吐出装置12近傍に配置されるオイルエア監視用センサー17は、光の反射を利用してオイル粒子の流量を常時監視しており、定量吐出装置12によって定期的に吐出されるオイル粒子の吐出流量が正常であるか検知する。また、これらのオイルエア監視用センサー17は、対応するオイルエア供給管路16を流れる所定流量のオイル粒子に応じて監視感度を設定可能である。
例えば、定量吐出装置12が1つのオイルエア供給管路16に対して0.03cc/shotで16分おきにオイル粒子を吐出する場合、オイルエア供給管路16内のセンサー17が位置する箇所では、図2に示すような流量のオイル粒子が通過する。ここで、センサー17の感度は、所定流量のオイル粒子に応じた検知領域Aの範囲に設定されている。このため、センサー17は、吐出されたオイル粒子の流量がこの検知領域Aに入ったことを、オイル粒子の吐出(即ち、ピストン42の作動)と同期してある一定時間検知したとき、センサー17は吐出流量が正常であることを表す信号を発生し、配線47を利用して制御手段である他のコントローラ48に送信する。
また、オイル粒子の流量が検知領域A以下となって、センサー17から信号が発生されない場合には、コントローラ48は、定量吐出装置12の作動状況、或はオイルエアの吐出状況に異常が発生したと判断する。また、コントローラ48は、センサー17からの信号に加え、軸受装置の回転速度信号を検出しており、これらの信号に基づいて必要に応じてアラームを発生したり、或は、軸受装置50の作動を停止制御する。これにより、軸受53,54,55の回転、つまり軸受装置50の回転を止めて事前に潤滑不良による軸受の損傷を防止する。なお、コントローラ48は、潤滑ポンプユニット11内のコントローラ30へも、オイル及びエアの供給を停止するように制御信号を送信する。
このように、オイル粒子の流量に応じてセンサー17の感度を設定することができ、1仕様のセンサー17で定量吐出装置12から吐出されるオイル粒子の流量をオイルエア供給管路16ごとに監視し検知することが可能である。
図3は、複数の転がり軸受を備える軸受装置50の一例である、主軸装置60の断面図である。主軸装置60は、複数の転がり軸受である、4つのアンギュラ玉軸受61,62,63,64と1つの円筒ころ軸受65を介して主軸66をハウジング67に対して回転可能に支承する。
ハウジング67は、ハウジング本体68と、ハウジング本体68の前端(図中左側)に固定された前側ハウジング69と、ハウジング本体68の後端(図中右側)に固定された外輪間座を構成する後側ハウジング70とを備えている。前側ハウジング69と主軸66との間、及び、後側ハウジング70と主軸66に外嵌される内輪間座71との間には、ラビリンスが形成され、主軸66の外周面とハウジング67の内周面間を密封している。
また、4つのアンギュラ玉軸受61,62,63,64は、外輪間座72,73,74,75及び内輪間座76,77,78を介して並んで配置されている。各外輪間座73,74,75には貫通孔73a,74a,75aが形成され、それぞれハウジング本体68の上方に取り付けられた各潤滑剤供給用ノズルコマ79,80,81が貫通孔72a,73a,74aから突出して配置される。各潤滑剤供給用ノズルコマ79,80,81内には、オイル通路79a,80a,81aが設けられ、その先端にはオイルエアを各玉軸受61,62,63,64に向けて吐出するノズル孔79b,80b,80c,81bが形成されている。なお、ノズルコマ79は、玉軸受61に向けて指向されたノズル孔79bを、ノズルコマ80は、玉軸受62,63に向けて指向された一対のノズル孔80b,80cを、ノズルコマ81は、玉軸受65に向けて指向されたノズル孔81bをそれぞれ有する。
さらに、円筒ころ軸受65は、外輪間座82と後側ハウジング70との間、及び、一対の内輪間座71,83との間に配置されている。そして、後側ハウジング70の上方には、オイル通路70aが形成され、その先端には円筒ころ軸受65に向けて指向されたノズル孔70bが形成される。
そして、潤滑剤供給装置10から延びる4つのオイルエア供給管路16は、後側ハウジング70の上部外側面に同心に配置された4つのオイル入口部83(図は、1箇所のみ示す。)から各オイル通路70a,79a,80a,81aにそれぞれ接続され、各ノズル孔70b,79b,80b,80c,81bからオイルエアが各軸受61,62,63,64,65に吐出される。また、外輪間座72,73,74,75,82の下方には、排出孔72a,73b,74b,75b,82aがそれぞれ形成され、これら排出孔72a、73b,74b,75b,82aと連通するハウジング本体68の排出路68aを通じて、排出ポート68bからオイルエアを排出する。
主軸装置60では、各オイルエア供給管路16に応じて、定量吐出装置12から所定流量のオイル粒子が吐出され、ノズル孔70b,79b,80b,80c,81bから各軸受61,62,63,64,65に向けて吐出されて、各軸受61,62,63,64,65が潤滑される。特に、円筒ころ軸受65を潤滑するために必要なオイル粒子の流量は、他のアンギュラ玉軸受61,62,63,64を潤滑するために必要なオイル粒子の流量より少量であり、また、ノズルコマ80に接続されるオイルエア供給管路16を流れるオイル粒子の流量は、アンギュラ玉軸受62,63を同時に潤滑するために一番多量となる。
このため、オイルエア監視用センサー17では、各オイルエア供給管路16内を通過する所定流量のオイル粒子に応じて感度調節され、定量吐出装置12から吐出されるオイル粒子の流量が所定流量のオイル粒子以上である場合には、正常であるとして信号をコントローラ48に発する。また、コントローラ48は、オイルエア監視用センサー17からの信号と、主軸装置60の回転速度に応じて、アラーム信号を発生したり、或は、主軸装置60の回転を停止制御することで事前に潤滑不良による軸受の損傷を防止することができる。
従って、本実施形態の潤滑剤供給装置10によれば、複数のオイルエア監視用センサー17は、オイルエア供給管路16内を流れるオイル粒子の流量を監視するとともに、所定流量のオイル粒子に応じて監視感度を設定可能であり、各センサー17は、オイルエア供給管路16内を流れるオイル粒子の流量が所定流量のオイル粒子以上であると信号を発する。これにより、オイルエア供給管路16ごとに必要なオイル粒子の流量に応じて、定量吐出装置12の吐出流量が正常であるかどうかを正確に監視できる。
また、オイルエア監視用センサー17は、複数の軸受にオイルエアを供給するための複数の潤滑剤供給路ごとに、所定流量のオイル粒子を圧縮エアと混合しながら間欠的に吐出する定量吐出装置12とともに使用されるので、脈動するオイル粒子の流量に応じて定量吐出装置12の作動状況、或はオイル粒子の吐出状況を確認することができる。特に、オイルエア監視用センサー17がオイルエア供給管路16における定量吐出装置12近傍に配置されるので、オイルエア監視用センサー17は、最も時間に対するオイル粒子の流れの脈動が大きい、定量吐出装置12から吐出された直後のオイル粒子について監視を行うことができる。また、この脈動が大きいことから、センサー17の検知領域を広く設定することができ、感度調節が容易となる。
さらに、コントローラ48がセンサー17からの信号を、軸受装置50からの回転速度信号とともに検知しているので、これらの信号に応じて、軸受装置50の回転を停止させ潤滑不足による軸受53,54,55の損傷を事前に防止することができる。
なお、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能である。
本実施形態では、複数の転がり軸受を備える軸受装置として主軸装置を例に説明したが、ギヤ及び摺動部材を有する機械装置であってもよく、この機械装置に組み込まれる複数の転がり軸受に潤滑剤供給装置を介してオイル粒子を吐出するようにしてもよい。
本発明は、複数の軸受にそれぞれ対応した複数の潤滑剤供給路を備えてもよく、或は、例えば、図3に示すように1つの潤滑剤供給路で2つの軸受を潤滑するようにして、複数の軸受と異なる複数の潤滑剤供給路を備えるものであってもよい。
本発明の潤滑剤供給装置は、潤滑ポンプユニット11のソレノイドバルブ22を除いた構成であってもよい。また、本実施形態の潤滑ポンプユニット11は、空圧駆動ポンプとしたが、ギヤ駆動ポンプであってもよい。
さらに、本実施形態の潤滑剤供給装置は、複数の潤滑剤供給路ごとに対応する複数のセンサーを備えているが、各潤滑剤供給路のオイルエアの流量が一定である等の場合には、少なくとも一つのセンサーを備えるものであってもよい。
ここで、図1に示すような潤滑剤供給装置10を用いて行われた3つの試験及びその試験結果について説明する。
(試験A)
この試験では、以下の(1)〜(4)の作業を行って、オイルエア監視用センサーの作動状態を確認した。
(1)定量吐出装置を用いて0.03cc/16分でオイル粒子を吐出するように潤滑剤供給装置を作動するとともに、主軸装置を回転させる。
(2)オイルエアの流れを監視するオイルエア監視用センサーの感度を、図3に示すセンサー検知領域A(0.03cc/shotにて設定した感度)に設定し、この感度をセンサーに記憶させる。
(3)潤滑ポンプユニットの作動と同期した定期的なオイル粒子の流量をオイルエア監視用センサーによって検知する。
(4)潤滑ポンプユニットを停止させてオイルエア供給管部へのオイルエアの流れを遮断する。
試験Aでは、潤滑ポンプユニットが停止し、オイルエア供給管部へオイルエアの供給が遮断されてから数回検知後にオイルエア監視用センサーはオイルエアの流れを潤滑ポンプユニットに同期して検知しなくなった。
この結果、主軸装置へのオイルエアが遮断された場合において所定流量のオイル粒子が軸受内部へ供給されていないことが確認された。これにより、コントローラ48は、この信号と、主軸装置の回転速度に応じて主軸装置の運転を停止するかどうかを判断し、軸受が損傷する前に主軸装置の運転を停止、つまり軸受の回転を停止することが可能である。
(試験B)
試験Aの(1)において、定量吐出装置を0.01cc/16分で作動させ、(2)において、センサーの感度を図3に示す検知領域B(0.01cc/shotにて設定した感度)に設定して、同様な試験を行なった。
試験Bにおいても、オイルエア監視用センサーは、主軸装置へのオイルエアが遮断されたことを正確に検知しており、軸受が損傷する前に主軸装置の運転を停止することが可能である。
(試験C)
試験Aの(1)において、定量吐出装置を0.01cc/16分で作動させ、(2)において、センサーの感度を図3に示す検知領域A(0.03cc/shotにて設定した感度)に設定して、同様な試験を行なった。
試験Cでは、オイルエアは正常に流れている様子であったが、オイルエア監視用センサーはオイル粒子の流れを検知できなかった。
以上より、オイルエアの流れを監視する感度を定量吐出装置のオイルエア吐出流量の変化により可変に設定できることにより、オイルエア監視用センサーが1仕様で多種の吐出流量に対応できる。
本発明の一実施形態である潤滑剤供給装置を示す説明図である。 オイルエア供給管路内のオイル粒子の流量と時間の関係を示すグラフである。 潤滑剤供給装置が適用される主軸装置の断面図である。 定量吐出装置の吐出量の違いによるオイルエア供給管路内のオイル粒子の流量と時間の関係を示すグラフである。
符号の説明
10 潤滑剤供給装置
11 潤滑ポンプユニット
12 定量吐出装置
15 潤滑剤供給用ノズルコマ
16 オイルエア供給管路(潤滑剤供給路)
17 オイルエア監視用センサー
50 軸受装置
53,54,55 軸受
60 主軸装置
61,62,63,64 アンギュラ玉軸受(軸受)
65 円筒ころ軸受(軸受)

Claims (7)

  1. 所定の軸受にオイルエアを供給する潤滑剤供給装置であって、
    前記所定の軸受に前記オイルエアを供給するための所定の潤滑剤供給路に、所定流量のオイル粒子を圧縮エアと混合しながら間欠的に吐出する定量吐出装置と、
    前記所定の潤滑剤供給路に設けられ、前記潤滑剤供給路内を流れるオイル粒子の流量を監視するとともに、前記所定流量のオイル粒子に応じて監視感度を設定可能なセンサーと、
    を備え、
    前記センサーは、前記潤滑剤供給路内を流れるオイル粒子の流量が前記所定流量のオイル粒子以上であると信号を発することを特徴とする潤滑剤供給装置。
  2. 前記定量吐出装置は、前記オイル粒子を間欠的に吐出するためのピストンを備え、
    前記センサーは、前記ピストン駆動後の所定時間における前記オイル粒子の流量を検知することを特徴とする請求項1に記載の潤滑剤供給装置。
  3. 請求項1又は2に記載の潤滑剤供給装置を備えることを特徴とする軸受装置。
  4. 請求項3に記載の軸受装置を備えることを特徴とする工作機械用、或は高速モータ用の主軸装置。
  5. 請求項1又は2に記載の潤滑剤供給装置、或は請求項4に記載の軸受装置を備えることを特徴とするギヤ及び摺動部材を有する機械装置。
  6. 所定の軸受にオイルエアを供給する潤滑剤供給方法であって、
    前記所定の軸受に前記オイルエアを供給するための所定の潤滑剤供給路に、所定流量のオイル粒子を圧縮エアと混合しながら間欠的に吐出する工程と、
    前記所定の潤滑剤供給路に設けられ、前記所定流量のオイル粒子に応じて監視感度を設定されたセンサーを用いて、前記潤滑剤供給路内を流れるオイル粒子の流量を監視する工程と、
    前記潤滑剤供給路内を流れるオイル粒子の流量が前記所定流量のオイル粒子以上であると、信号を発する工程と、
    を備えることを特徴とする潤滑剤供給方法。
  7. 前記監視工程は、前記定量吐出装置のピストン駆動後の所定時間における前記オイル粒子の流量を検知することを特徴とする請求項6に記載の潤滑剤供給方法。
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