JP2006253391A - 半導体レーザ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の半導体レーザ装置は、サブマウントと、このサブマウント上に取り付けられたレーザチップとを備え、サブマウント前端面は、レーザチップの出射端面に対して傾斜しており、サブマウント後端面は、サブマウント前端面と相補的な形状であることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
溝は、ダイシングブレードを用いて形成することができる。
図1(a),(b)を用いて、本発明の第1実施形態の半導体レーザ装置について説明する。図1(a)は平面図であり、図1(b)は断面図である。
図3(a),(b)を用いて、本発明の第2実施形態の半導体レーザ装置について説明する。図3(a)は平面図であり、図3(b)は断面図である。
図5(a),(b)を用いて、本発明の第3実施形態の半導体レーザ装置について説明する。図5(a)は平面図であり、図5(b)は断面図である。
Claims (13)
- サブマウントと、このサブマウント上に取り付けられたレーザチップとを備え、
サブマウント前端面は、レーザチップの出射端面に対して傾斜しており、
サブマウント後端面は、サブマウント前端面と相補的な形状であることを特徴とする半導体レーザ装置。 - サブマウントと、このサブマウント上に取り付けられた第1及び第2レーザチップを含む複数のレーザチップとを備え、
サブマウント前端面は、少なくとも1つのレーザチップの出射端面に対して傾斜しており、
サブマウント後端面は、サブマウント前端面と相補的な形状であり、
第1及び第2レーザチップを互いに電気的に分離するための溝がサブマウントに形成されていることを特徴とする半導体レーザ装置。 - サブマウント前端面と後端面は、互いに平行な平面からなる請求項1又は2に記載の装置。
- サブマウント前端面は、幅方向に傾斜しており、傾斜の角度は、4〜8度である請求項1又は2に記載の装置。
- サブマウント前端面は、厚さ方向に傾斜しており、傾斜の角度は、8〜20度である請求項1又は2に記載の装置。
- サブマウント前端面は、サブマウントの少なくとも1つの側面又は上面若しくは下面に対して鋭角に交わる請求項1又は2に記載の装置。
- 少なくとも1つのレーザチップは、光出射方向が、サブマウント上面と側面とが交わる直線の少なくとも1つに実質的に平行になるように取り付けられる請求項1又は2に記載の装置。
- 溝は、幅が10〜50μmであり、深さが10〜100μmである請求項2に記載の装置。
- サブマウント前端面は、幅方向に傾斜しており、
第1及び第2レーザチップのうち、より放熱性を確保する必要のものを、光出射方向に迫り出した側に配置する請求項2に記載の装置。 - 請求項1又は2に記載の半導体レーザ装置の製造方法であって、
サブマウント前端面及び後端面は、ダイシングの際に同時に形成されることを特徴とする半導体レーザ装置の製造方法。 - ダイシングは、サブマウント前端面が、サブマウントの少なくとも1つの側面又は上面若しくは下面に対して鋭角に交わるように行われる請求項10に記載の方法。
- レーザチップは、光出射方向がサブマウントの少なくとも1つの側面に実質的に平行になるように取り付けられる請求項10に記載の方法。
- 請求項2に記載の半導体レーザ装置の製造方法であって、
溝は、ダイシングブレードを用いて形成されることを特徴とする半導体レーザ装置の製造方法。
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