JP2006253244A - 気相成長装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 円盤状の基板保持台11と、該基板保持台に対向配置されて基板保持台との間に偏平円筒状の反応室13を形成する隔壁12と、該隔壁の中央部に設けられたガス導入部15と、前記反応室の外周に設けられたガス導出部16と、前記基板保持台の同一円周上に配設された複数の基板保持部19と、該基板保持部に保持した基板18を加熱するヒーター21とを備えた気相成長装置において、前記ガス導入部を構成する多重管の先端部に、反応室内に導入するガスを反応室の外周方向に向けてガイドするための円形のガイド板24a,24bを設けるとともに、基板面に対するガイド板の先端Bと基板中心Cとを結ぶ直線Sの仰角θを20度以下に設定する。
【選択図】 図1
Description
Claims (5)
- 円盤状の基板保持台と、該基板保持台に対向配置されて基板保持台との間に偏平円筒状の反応室を形成する隔壁と、該隔壁の中央部に設けられたガス導入部と、前記反応室の外周に設けられたガス導出部と、前記基板保持台の同一円周上に配設された複数の基板保持部と、該基板保持部に保持した基板を加熱する加熱手段とを備えた気相成長装置において、前記ガス導入部は、反応室の軸線を中心とした多重管構造を有し、該多重管の反応室内の先端部に、該多重管により区画されたガス導入経路を通ってそれぞれ導入されるガスを反応室の外周方向に向けてガイドするための外縁が円形のガイド板を有するとともに、前記基板面に対する前記ガイド板の先端と基板中心とを結ぶガイド板径方向の直線の仰角を20度以下に設定したことを特徴とする気相成長装置。
- 前記ガス導入経路が3経路以上設けられ、該3経路以上の経路の内、中間に位置する経路に有機金属化合物を含む原料ガスのガス導入経路を設けたことを特徴とする請求項1記載の気相成長装置。
- 前記仰角を20度以下に設定するガイド板は、前記有機金属化合物を含む原料ガスをガイドするガイド板である請求項2記載の気相成長装置。
- 前記ガス導入部に対向する前記基板保持台の中央部に冷却手段を設けたことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項記載の気相成長装置。
- 前記ガス導入部に対向する前記基板保持台の中央部に前記基板保持部の反応室内面よりも反応室外側方向に窪ませた凹部を形成するとともに、前記ガイド板を前記凹部内に配置したことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項記載の気相成長装置。
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