JP2006250620A - Contact probe, inspection device, and inspection device of coil product - Google Patents
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Abstract
Description
この発明は、プリント配線基板などの電極に接触して、回路やコイル製品などの電子部品の導通検査などを行なうコンタクトプローブ、検査装置およびコイル製品の検査装置に関する。 The present invention relates to a contact probe, an inspection device, and an inspection device for a coil product, which are in contact with an electrode such as a printed wiring board and conduct continuity inspection of electronic components such as circuits and coil products.
従来から、プリント配線基板などに部品を実装した後や、コイル製品などの電子部品を製造した後の検査において、コンタクトプローブを備えた検査装置が用いられている。 Conventionally, an inspection apparatus provided with a contact probe has been used in an inspection after mounting a component on a printed wiring board or the like or after manufacturing an electronic component such as a coil product.
このようなコンタクトプローブとしては、先端部を電極に点接触させるピン状のものが一般的である。図10にこのようなコンタクトプローブの一例を示す。従来のコンタクトプローブ101は、バネ102を備え、このバネ102により先端部103を付勢して、先端部103を電極110に一定圧力で押圧する。
As such a contact probe, a pin-shaped probe in which the tip portion is brought into point contact with an electrode is generally used. FIG. 10 shows an example of such a contact probe. The
このようなピン状のコンタクトプローブは、たとえば特許文献1(特開平8−35986号公報)に開示されている。 Such a pin-shaped contact probe is disclosed in, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 8-35986.
一方、特許文献2(特開平7−273158号公報)には、板バネ部を備え、基板との安定した接触を図ることができるプローブヘッドが開示されている。
特許文献1に記載されたような、ピン状のコンタクトプローブ101を用いた場合には、電極とコンタクトプローブ101とが点接触となるため、接触抵抗が大きく、測定精度を確保することが困難である。また、コンタクトプローブ101の先端部に、電極110の表面に樹脂111などが付着していた場合には、接触が不安定となることがあった。
When the pin-
また、特許文献2に開示されたプローブヘッドにおいても、点接触であるために同様の問題があった。 Also, the probe head disclosed in Patent Document 2 has the same problem due to point contact.
接触信頼性を向上するため、その先端部をナイフエッジ形状とし、かつ、先端縁が電極に線接触するように構成したコンタクトプローブ120が提案されている。このコンタクトプローブ120によると、その先端縁が線接触するので、点接触の場合に比べて接触抵抗を低減できる。また、このコンタクトプローブ120の先端部を電極110に強く押圧することで、電極110の表面に付着した樹脂などを先端部の鋭利な部分が突き破り、コンタクトプローブ120を電極110に確実に接触させることができる。
In order to improve the contact reliability, a
このような樹脂の付着は、前工程で電極110に樹脂被覆された線材をディップハンダ付けした場合に発生しやすい。ディップハンダ付け時に、線材の樹脂の被覆が溶けて、はんだの表面に残留することがあるためである。
Such adhesion of the resin is likely to occur when the wire coated with the resin on the
上記のように、ナイフエッジ形状の先端部を電極110に強く押圧すると、その先端部がある程度電極110の表面に食い込む。特に、電極110に予備はんだが設けられていたり、前工程で電線がはんだ付けされていたりするような場合には、ナイフエッジ形状の先端部ははんだに接触するが、はんだは比較的柔らかいため、コンタクトプローブ120の先端部が食い込み易い。
As described above, when the knife-edge shaped tip is strongly pressed against the
検査対象が比較的軽い電子部品などの場合において、コンタクトプローブ120の先端が電極110に食い込んだ状態で、コンタクトプローブ120が電極110から離間する方向に駆動されると、図11に示すように、電極110がコンタクトプローブ120の先端に付着し、コンタクトプローブ120の移動に伴って電子部品が回転したり、位置ずれが生じたりするという問題があった。
When the inspection target is a relatively light electronic component or the like, when the
電子部品が図10および図11に示すようなコイル製品の場合には、コイルが収納されるコイル製品本体は円筒状に形成され、その上面から電極110が突出しているのが一般的である。このようなコイル製品は、円形の下面が搬送台上に載置され、電極110を上向きにした状態で検査される。このようなコイル製品は、検査状態において回転しやすいため、コンタクトプローブ120に電極110が付着することで、大きく回転してしまうことがあった。
When the electronic component is a coil product as shown in FIGS. 10 and 11, the coil product main body in which the coil is accommodated is generally formed in a cylindrical shape, and the
このように、検査対象製品が回転したり、位置ずれしたりすると、後の工程において検査対象製品を正確にチャックできなくなるという問題があった。 As described above, when the inspection target product is rotated or displaced, there is a problem that the inspection target product cannot be accurately chucked in a later process.
この発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、コンタクトプローブと被接触部とが離間するときに、コンタクトプローブに被接触部が付着することを防止することができるコンタクトプローブ、検査装置およびコイル製品の検査装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve the above problems, and a contact probe that can prevent the contacted portion from adhering to the contact probe when the contact probe and the contacted portion are separated from each other. An object of the present invention is to provide a device and an inspection device for a coil product.
この発明の基づいたコンタクトプローブに従えば、先端を被接触部に接触させることで被接触部との導通を図るコンタクトプローブ本体と、上記コンタクトプローブ本体の先端付近にその先端が位置するように設けられ、無負荷状態においてその先端が上記コンタクトプローブ本体の先端より突出し、その突出方向にバネ性を有する押え部材とを備えている。 According to the contact probe based on the present invention, the contact probe main body is designed to be electrically connected to the contacted portion by bringing the tip into contact with the contacted portion, and the tip is located near the tip of the contact probe main body. In the unloaded state, the distal end protrudes from the distal end of the contact probe main body, and includes a pressing member having a spring property in the protruding direction.
この構成によると、被接触部にコンタクトプローブ本体が接触して所定の検査を終了した後、コンタクトプローブが後退する方向への駆動が開始しても、コンタクトプローブ本体より無負荷状態においてその先端が突出する押え部材が、徐々に無負荷状態の位置に復元しながら被接触部を押圧し続ける。被接触部にコンタクトプローブ本体の先端が食い込んでいる場合でも、押え部材により押圧されるので、被接触部がコンタクトプローブ本体の先端に付着せず、被接触部が移動することを防止することができる。 According to this configuration, after the contact probe main body comes into contact with the contacted portion and the predetermined inspection is finished, the tip of the contact probe main body is unloaded from the contact probe main body even if the contact probe starts to move backward. The protruding presser member continues to press the contacted portion while gradually restoring the unloaded position. Even when the tip of the contact probe body bites into the contacted portion, it is pressed by the pressing member, so that the contacted portion does not adhere to the tip of the contact probe main body and the contacted portion can be prevented from moving. it can.
上記コンタクトプローブにおいて、上記押え部材を曲げられた形状の板バネにより構成しても良い。この場合には、突出方向にバネ性を有する押え部材を簡素な構造で達成することができる。 In the contact probe, the pressing member may be formed of a bent leaf spring. In this case, it is possible to achieve a pressing member having a spring property in the protruding direction with a simple structure.
また、コンタクトプローブ本体の先端部が、ナイフエッジ形状の場合には、被接触部の表面に付着した不純物など先端部が貫通し、確実に被接触部に接触させることができる反面、コンタクトプローブ本体の先端が被接触部に食い込みやすい。この場合でも、押え部材により被接触部を押圧することで、被接触部がコンタクトプローブ本体に付着して移動することを防止することができる。 In addition, when the tip of the contact probe body has a knife edge shape, the tip of the contact portion can penetrate through the surface of the contacted portion and the contact probe body can be reliably contacted. The tip of the bite is easy to bite into the contacted part. Even in this case, it is possible to prevent the contacted portion from adhering to the contact probe main body and moving by pressing the contacted portion with the pressing member.
上記コンタクトプローブを用いて、次のような検査装置を構成することができる。上記のコンタクトプローブを対向配置し、該対向配置されたコンタクトプローブ間に被接触部を位置させる支持部を設ける。上記コンタクトプローブは、駆動部により上記被接触部に向かって進退可能に構成し、上記コンタクトプローブが上記被接触部に接触して所定の検査を終了した後、上記対向配置されたコンタクトプローブの上記押え部材が上記被接触部から同時に離間するように上記駆動部を制御する。 The following inspection apparatus can be configured using the contact probe. The contact probes described above are arranged to face each other, and a support part for positioning the contacted part is provided between the contact probes arranged to face each other. The contact probe is configured to be able to advance and retreat toward the contacted portion by a drive unit, and after the contact probe contacts the contacted portion and completes a predetermined inspection, the contact probe disposed above the contact probe The drive unit is controlled so that the pressing member is simultaneously separated from the contacted part.
この検査装置においては、コンタクトプローブが対向配置されて、被接触部を挟むように被接触部に接触する。この状態において、コンタクトプローブ本体の先端が被接触部に食い込んでいた場合でも、コンタクトプローブ本体が被接触部から離間するときには、押え部材により被接触部が押圧されるので、被接触部の位置が保持される。また、対向するコンタクトプローブの押え部材は、被接触部から同時に離れるので、押え部材が離れるときにも押え部材のバネ性により被接触部が位置ずれすることはない。これらにより被接触部の位置は、検査の前後で変化しない。 In this inspection apparatus, the contact probes are arranged to face each other and come into contact with the contacted part so as to sandwich the contacted part. In this state, even when the tip of the contact probe main body bites into the contacted portion, when the contact probe main body is separated from the contacted portion, the contacted portion is pressed by the pressing member, so that the position of the contacted portion is Retained. Further, since the pressing members of the contact probe facing each other are simultaneously separated from the contacted portion, the contacted portion is not displaced due to the spring property of the pressing member even when the pressing member is separated. Thus, the position of the contacted part does not change before and after the inspection.
この検査装置と同様の構造により、コイルと、上記コイルに電気的に接続された、外部に突出した電極とを有するコイル製品を検査するコイル製品検査装置を構成することができる。これにより、コイル製品のような回転しやすい製品でも、回転を防止することができる。 A coil product inspection device that inspects a coil product having a coil and an electrode that is electrically connected to the coil and protrudes to the outside can be configured with the same structure as the inspection device. Thereby, even if it is a product which rotates easily like a coil product, rotation can be prevented.
以下、この発明に基づいた各実施の形態におけるコンタクトプローブおよびコイル製品の検査装置の構造について、図を参照しながら説明する。図1および図2は本実施の形態のコンタクトプローブの構造およびそれを用いて検査する工程を示す斜視図である。 Hereinafter, the structure of a contact probe and a coil product inspection apparatus according to each embodiment based on the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 and FIG. 2 are perspective views showing the structure of the contact probe according to the present embodiment and the inspection process using the same.
以下の説明においては、コンタクトプローブおよび検査装置の検査対象が、コイル製品の場合について説明するが、本発明のコンタクトプローブおよび検査装置の検査対象は、これに限定されるものではない。たとえば、センサなどの電子部品や、機能部品を実装した基板の検査など、種々の製品の検査に用いることができる。 In the following description, the case where the inspection object of the contact probe and the inspection apparatus is a coil product will be described, but the inspection object of the contact probe and the inspection apparatus of the present invention is not limited to this. For example, it can be used for inspection of various products such as inspection of electronic components such as sensors and substrates mounted with functional components.
本実施の形態のコンタクトプローブ1は、被接触部75に接触させることで被接触部75との導通を図るコンタクトプローブ本体11と、コンタクトプローブ本体11の先端付近にその先端が位置するように設けられ、無負荷状態においてその先端がコンタクトプローブ本体11の先端より突出し、その突出方向にバネ性を有する押え部材21とを備えている。
The
コンタクトプローブ本体11は、金属板により構成された板状の部材であり、その先端部は鋭角になるようにナイフエッジ状に構成されている。金属板を構成する材料としては、たとえば、機械的性質や耐食性に優れる燐青銅を用いることができる。また、表面には、たとえば錫めっきなどを施すことが好ましい。
The contact probe
図1に示すコンタクトプローブ本体11においては、その先端部が上面から先端縁に接続するように傾斜した、片刃状のナイフエッジ形状としているが、これをコンタクトプローブ本体11の上下面から先端縁に接続するように傾斜した、両刃状のナイフエッジ形状としてもよい。
The
また、先端縁の長さが図1に示すように、コンタクトプローブ本体11の幅と一致するようにしてもよいが、接触する対象物が小さい場合には、先端に向かって幅狭となるようにしてもよい。
Further, as shown in FIG. 1, the length of the tip edge may be made to coincide with the width of the contact probe
コンタクトプローブ本体11の先端縁は、被接触部75の表面に対して略平行とされており、被接触部75に対して線接触する。コンタクトプローブ本体11の後端部は、上方に向かって直角に折り曲げられており、この折り曲げられた部分が検査装置に固定される。
The tip edge of the contact probe
コンタクトプローブ本体11の下方には、中央部で鈍角に屈曲した板バネからなる押え部材21が設けられている。押え部材21を構成する材料としては、たとえば、コンタクトプローブ本体11と同様に機械的性質や耐食性に優れる燐青銅を用いることができる。また、表面には、たとえば錫めっきなどを施すことが好ましい。
A pressing
押え部材21は、コンタクトプローブ本体11と略同じ幅に構成されており、その先端部はコンタクトプローブ本体11より先端方向に突出している。この突出長さは、検査装置の構造などに合わせて種々変更しうるが、この押え部材21はコンタクトプローブ本体11が被接触部75から離間するまでの間、被接触部75を押圧するものであるので、コンタクトプローブ本体11より僅かに前方に突出していればよい。
The holding
押え部材21は中央部で屈曲しているので、板バネにより突出方向の安定したバネ性が得られる。すなわち、押え部材21を構成する板バネは、先端に荷重が加わると、中央部がより大きく屈曲することで反力が発生する。押え部材21は、このようなバネ性を有しているので、押え部材21が被接触部75に当接されても、押え部材21の先端が被接触部に食い込むことはない。
Since the pressing
押え部材21の先端は、コンタクトプローブ本体11とは異なり、被接触部75に対して面接触するように、平らに構成されている。これにより、押え部材21の先端がさらに被接触部75に食い込みにくくされている。
Unlike the contact probe
押え部材21の先端部の形状は、この形状に限定されず、たとえば、先端部を丸くして食い込みにくくしてもよい。また、押え部材21のバネ性により、被接触部75への食い込みが十分に回避できる場合には、押え部材21の先端が鋭角にされていても良い。
The shape of the distal end portion of the pressing
コンタクトプローブ本体11の先端と、押え部材21の先端部付近とは、近接している。被接触部75にコンタクトプローブ本体11の先端縁が接触した状態においては、コンタクトプローブ本体11と被接触部75との接触部の近傍に、押え部材21の先端が接触する。
The tip of the contact probe
図1に示す押え部材21は、中央部で屈曲させているが、全体を湾曲させるようにしてもよい。また、コイルバネやゴムなどを押え部材の一部に設けて、これにより突出方向のバネ性を付与するようにしても良い。
The
本実施の形態では、被接触部75は、コイル製品から上方に突出した電極により構成されている。図1に示すように、コイル製品76は、コイルが収納される円筒状に形成コイル製品本体77と、その上面から突出した2個の電極とを有している。コイル製品76は、その円形の下面がその上面に接するように搬送台上に載置され、電極を上向きにした状態で検査される。
In the present embodiment, the contacted
このコンタクトプローブ1を用いた検査工程について、図3も併せて参照しながら説明する。図3は、本実施の形態のコンタクトプローブを用いた検査工程を示す側面図である。
The inspection process using the
図1に示すように、コンタクトプローブ1は、被接触部75を構成する電極を両面から挟み込むように対向配置される。ここでは、2個の電極に接触するので、二対のコンタクトプローブ1が対向配置されている。
As shown in FIG. 1, the
コンタクトプローブ1を被接触部75に向かって両側から前進させると、まず、押え部材21の先端が被接触部75の表裏面に当接し、さらにコンタクトプローブ1を前進させると、押え部材21が大きく屈曲し、次いで図3(b)に示すように、コンタクトプローブ本体11の先端が接触する。
When the
このとき、コンタクトプローブ本体11の先端縁は、線接触するので、点接触の場合に比べて接触抵抗を低減することができる。また、コンタクトプローブ本体11の先端部はナイフエッジ形状とされているので、被接触部75の表面に樹脂などが付着していてもこれを突き破ることができる。これらにより高い接触信頼性が得られる。
At this time, since the tip edge of the contact probe
この状態で検査を行ない、検査が終了すると、コンタクトプローブ1が後退方向に駆動される。駆動が開始すると、まず、コンタクトプローブ本体11の先端が、被接触部75から離間する(図2および図3(c)参照)。このとき、押え部材21の先端はまだ被接触部75に接触したままであり、押え部材21のバネ性により、コンタクトプローブ本体11の後退する方向と反対方向に被接触部75を押圧している。
When the inspection is performed in this state and the inspection is completed, the
これにより、コンタクトプローブ本体11の先端が、被接触部75に設けられたはんだなどに食い込んでいるような場合でも、コンタクトプローブ本体11の先端が被接触部75に付着することがなく、コンタクトプローブ本体11の後退に伴って位置ずれすることがない。
Thereby, even when the tip of the contact probe
また、押え部材21は、被接触部75の両面を押圧するので、両押え部材21のバネ性による付勢力が均衡し、位置ずれを生じることがない。さらにコンタクトプローブ1が後退すると、押え部材21は同時に被接触部75から離間する。被接触部75から同時に離間するので、被接触部75から押え部材21が離間するときに、被接触部75が位置ずれすることはない。
Further, since the pressing
上記説明においては、コンタクトプローブ1が対向配置される場合を説明したが、必ずしも対向配置させる必要はなく、たとえば、被接触部75の片面に位置ずれを防止する当接面を位置させ、反対面にのみコンタクトプローブ1を接触させるようにしてもよい。
In the above description, the case in which the contact probes 1 are disposed to face each other has been described. However, the contact probes 1 do not necessarily have to be disposed to face each other. Alternatively, the
続いて、このコンタクトプローブ1を用いた検査装置について説明する。図4は、検査装置全体の構造を示す斜視図であり、図5は、コンタクトプローブを駆動する装置を示す斜視図であり、図6および図7は、コンタクトプローブを保持する構造を示す斜視図であり、図8は、同平面図、図9は、同縦断面図である。
Subsequently, an inspection apparatus using the
検査装置31は、図4に示すようにコンタクトプローブ1を保持する保持部41と、この保持部41を駆動するエアシリンダ32からなる駆動部と、検査対象であるコイル製品76を支持して搬送する搬送部51と、駆動部および搬送部51を制御する図示しない制御器により構成されている。
As shown in FIG. 4, the
搬送部51は、複数の載置台54を支持するスライドテーブル52と、このスライドテーブル52をスライド自在に支持するレール部53とを有している。各載置台54の上面には、コイル製品76が載置される平面視円形の凹部が設けられている。凹部にはそれぞれ1個づつコイル製品76が載置される。
The
保持部41は、レール部53の上方に突出するように配設されている。この保持部41には、後述するように、二対のコンタクトプローブ1が対向して保持されており、載置台54に載置されたコイル製品76を検査することができる。検査時には、スライドテーブル52が水平方向に駆動され、先頭に位置する載置台54が保持部41の真下に搬送される。全てのコイル製品76が順に検査された後、再び図4に示す位置に搬送される。
The holding
図5に示すように、保持部41は、平行に設けられた一対の棒状部材42,43と、その両側に位置し、その先端部が棒状部材42,43の先端側に突出するように直角に曲がった一対のL型部材44,45とを有している。棒状部材42,43の先端部と、L型部材44,45の曲がった部分との間には隙間Gが設けられており、この隙間Gに面してコンタクトプローブ1が設けられている。
As shown in FIG. 5, the holding
棒状部材42,43の後端部およびL型部材44,45の後端部にはそれぞれ水平方向にロッド42a,43a,44a,45aが突設されている。これらのロッド42a,43a,44a,45aの後端部には、それぞれコイルバネ42b,43b,44b,45bが設けられている。棒状部材42,43に設けられたロッド42a,43aの後端部には、第1のアーム46が連結されている。
第1のアーム46には、コイルバネ42b,43bの一端が接触しており、コイルバネ42b,43bの他端には当接片47が接触している。当接片47は動かないように固定されている。第1のアーム46はエアシリンダ32に連結されており、これに駆動されて進退することができる。
One end of
第1のアーム46を矢印で示す方向に駆動すると、コイルバネ42b,43bに抗しながらロッド42a,43aが駆動され、それに伴って棒状部材42,43も矢印で示す方向に駆動される。これにより棒状部材42,43の先端部にそれぞれ取付けられているコンタクトプローブ1,1は被接触部に向かって駆動される。
When the
第1のアーム46は、コイルバネ42b,43bに抗しながらロッド42a,43aを駆動するので、コイルバネ42b,43bの強弱を調整することで、コンタクトプローブ1,1それぞれの被接触部へのコンタクト力を調整することができる。
Since the
L型部材44,45に設けられたロッド44a,45aの後端にはエンドプレート44c,45cが設けられている。エンドプレート44c,45cにはそれぞれコイルバネ44b,45bの一端が当接しており、コイルバネ44b,45bの他端には、第2のアーム48が当接している。第2のアーム48は上部が二股に分かれたY字状とされており、その第2のアーム48もエアシリンダ32により駆動される。
第2のアーム48がエアシリンダ32により矢印の方向に駆動されると、コイルバネ44b,45bおよびエンドプレート44c,45cを介して、その駆動力がロッド44a,45aに伝達される。それに伴って、L型部材44,45が矢印の方向に駆動される。これによりL型部材44,45に取付けられているコンタクトプローブ1,1は被接触部に向かって駆動される。
When the
エアシリンダ32の駆動力は、コイルバネ44b,45bを介してロッド44a,45aに伝達されるので、コイルバネ44b,45bの強弱を調整することで、コンタクトプローブ1,1それぞれの被接触部へのコンタクト力を調整することができる。
Since the driving force of the
続いて図6および図7を参照して、棒状部材42,43およびL型部材44,45へのコンタクトプローブ1の取付け構造について説明する。コンタクトプローブ本体11および押え部材はL型に構成されているが、その直立した部分が、棒状部材42,43の先端およびL型部材44,45の曲がった部分の内面にネジ止めされている。L型部材44,45の曲がった部分の内面には上下方向に延びる窪みが設けられており、その窪みの直立面にコンタクトプローブ1の直立した部分が当接している。
Next, with reference to FIGS. 6 and 7, a structure for attaching the
図8および図9に示すように、対向配置されたコンタクトプローブ1,1間に被接触部75が位置するように、制御器に制御された搬送部によりコイル製品76が搬送される。棒状部材42,43およびL型部材44,45に固定された各コンタクトプローブ1が被接触部75に向かって駆動され制御器により制御されて上述のように作動する。
As shown in FIGS. 8 and 9, the
このコンタクトプローブ1を用いたことにより、検査時にはコイル製品76は位置ずれしない。これにより、検査終了後、図4に示すスライドテーブル52が元の位置に戻った時には、検査前と同じ位置に各コイル製品76が位置しているので、各コイル製品76を載置台54に載置した時と同じ把持ロボットにより把持して、次の工程に搬送することができる。
By using the
なお、今回開示した上記実施の形態はすべての点で例示であって、限定的な解釈の根拠となるものではない。したがって、本発明の技術的範囲は、上記した実施の形態のみによって解釈されるのではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて画定される。また、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。 In addition, the said embodiment disclosed this time is an illustration in all the points, Comprising: It does not become the basis of limited interpretation. Therefore, the technical scope of the present invention is not interpreted only by the above-described embodiments, but is defined based on the description of the claims. Further, all modifications within the meaning and scope equivalent to the scope of the claims are included.
1 コンタクトプローブ、5 被接触部、11 コンタクトプローブ本体、21 押え部材、31 検査装置、32 エアシリンダ、41 保持部、54 載置台(支持部)、75 被接触部、76 コイル製品。
DESCRIPTION OF
Claims (5)
前記コンタクトプローブ本体の先端付近にその先端が位置するように設けられ、無負荷状態においてその先端が前記コンタクトプローブ本体の先端より突出し、その突出方向にバネ性を有する押え部材とを備えた、コンタクトプローブ。 A contact probe main body for conducting electrical connection with the contacted portion by bringing the tip into contact with the contacted portion;
A contact provided with a tip located near the tip of the contact probe main body, the tip protruding from the tip of the contact probe main body in an unloaded state, and a pressing member having a spring property in the protruding direction. probe.
該対向配置されたコンタクトプローブ間に被接触部を位置させる支持部と、
前記コンタクトプローブを前記被接触部に向かって進退させる駆動部と、
前記コンタクトプローブが前記被接触部に接触して所定の検査を終了した後、前記対向配置されたコンタクトプローブの前記押え部材が前記被接触部から同時に離間するように前記駆動部を制御する制御器とが設けられている、検査装置。 The contact probe according to any one of claims 1 to 3, which is disposed to face each other,
A support part for positioning a contacted part between the contact probes arranged opposite to each other;
A drive unit that advances and retracts the contact probe toward the contacted part;
A controller that controls the drive unit so that the pressing members of the contact probes arranged opposite to each other are simultaneously separated from the contacted part after the contact probe has contacted the contacted part and finished a predetermined inspection. And inspection equipment.
対向配置された、請求項1から3のいずれかに記載のコンタクトプローブと、
該対向配置されたコンタクトプローブ間に前記電極が位置するように、前記コイル製品を支持する支持部と、
前記対向配置されたコンタクトプローブを電極に向かって進退させる駆動部と、
前記コンタクトプローブが前記電極に接触して所定の検査を終了した後、前記対向配置されたコンタクトプローブの前記押え部材が前記電極から同時に離間するように前記駆動部を制御する制御器とが設けられている、コイル製品の検査装置。 A coil product inspection device for inspecting a coil product having a coil and an electrode projecting outside, electrically connected to the coil,
The contact probe according to any one of claims 1 to 3, which is disposed to face each other,
A support part for supporting the coil product such that the electrode is positioned between the contact probes arranged opposite to each other;
A drive part for advancing and retracting the contact probe arranged opposite to the electrode;
A controller for controlling the drive unit so that the pressing member of the contact probe disposed opposite to the electrode is simultaneously separated from the electrode after the contact probe contacts the electrode and the predetermined inspection is completed; Coil product inspection equipment.
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