JP2006248628A - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006248628A JP2006248628A JP2005063606A JP2005063606A JP2006248628A JP 2006248628 A JP2006248628 A JP 2006248628A JP 2005063606 A JP2005063606 A JP 2005063606A JP 2005063606 A JP2005063606 A JP 2005063606A JP 2006248628 A JP2006248628 A JP 2006248628A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slider
- tweezers
- drive unit
- partition wall
- rail
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
簡素な構成でありながら、被搬送物を精度良く2次元方向に搬送できる搬送装置を提供する。
【解決手段】
図1(a)に示すように、駆動部によりスライダS1、S2を近接する方向に駆動することによって、ツイーザTをガイドレールRから遠ざかる方向に移動させることができる。これとは逆に、駆動部によりスライダS1、S2を離隔する方向に駆動することによって、ツイーザTをガイドレールRに近接する方向に移動させることができる。更に、図1(b)に示すように、駆動部によりスライダS1、S2を等速で同方向に駆動することによって、ツイーザTをガイドレールRに沿った方向に移動させることができる。即ち、スライダS1,S2の移動のみで、ツイーザTが保持するウエハを2次元方向に任意の位置に搬送できることとなる。
【選択図】 図1
Description
レールに沿って移動可能に配置された一対のスライダと、
前記スライダに各々一端を枢動可能に取り付けられた一対のアームと、
前記アームの他端に取り付けられ、被搬送物を保持可能なツイーザと、
前記スライダを前記レールに沿って駆動する駆動部と、
前記駆動部が前記スライダを等速で同方向に移動させることによって、前記ツイーザを前記レールの方向に移動させ、前記駆動部が前記スライダを異なる速度で移動させることによって、前記ツイーザを前記レールと交差する方向に移動させることを特徴とする。
1a 底面
1b 開口
2,2 リニアガイドレール
3 ベアリング
4 スライダ
4a 軸部
4b 脚部
5,7 軸受
6 アーム
6a 軸部
8 ツイーザ
9 隔壁
10 駆動部
11 本体
12 モータ
12a プーリ
13 ボールねじ機構
13a ねじ軸
13b ナット
14 リニアガイドレール
15 ベアリング
17 タイミングベルト
CC 搬送チャンバ
LM 可動子
LS 固定子
MG1,MG2 永久磁石
PC プロセスチャンバ
W ウエハ
WS ウエハ支持シャフト
Claims (5)
- レールに沿って移動可能に配置された一対のスライダと、
前記スライダに各々一端を枢動可能に取り付けられた一対のアームと、
前記アームの他端に取り付けられ、被搬送物を保持可能なツイーザと、
前記スライダを前記レールに沿って駆動する駆動部と、
前記駆動部が前記スライダを等速で同方向に移動させることによって、前記ツイーザを前記レールの方向に移動させ、前記駆動部が前記スライダを異なる速度で移動させることによって、前記ツイーザを前記レールと交差する方向に移動させることを特徴とする搬送装置。 - 前記スライダと、前記アームと、前記ツイーザは、大気から遮蔽される隔壁内に配置され、前記駆動部は、前記隔壁の外部に設けられており、前記駆動部と前記スライダとの間は、磁気カップリングを介して動力が伝達されることを特徴とする請求項1に記載の搬送装置。
- 前記磁気カップリングは、前記スライダに取り付けられた第1の磁石と、前記隔壁の外部に配置された第2の磁石とを含み、前記第2の磁石は、前記駆動部により前記レールに沿った方向に駆動されることを特徴とする請求項2に記載の搬送装置。
- 前記スライダと、前記アームと、前記ツイーザは、大気から遮蔽される隔壁内に配置され、前記駆動部は、前記隔壁の外部に設けられてたリニアモータ固定子を含むことを特徴とする請求項2に記載の搬送装置。
- 前記レールに沿った方向に複数のプロセスチャンバが配置され、前記ツイーザは、一つのプロセスチャンバに侵入した後に、他のプロセスチャンバに侵入するようになっていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005063606A JP4711216B2 (ja) | 2005-03-08 | 2005-03-08 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005063606A JP4711216B2 (ja) | 2005-03-08 | 2005-03-08 | 搬送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006248628A true JP2006248628A (ja) | 2006-09-21 |
JP4711216B2 JP4711216B2 (ja) | 2011-06-29 |
Family
ID=37089536
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005063606A Active JP4711216B2 (ja) | 2005-03-08 | 2005-03-08 | 搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4711216B2 (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008028179A (ja) * | 2006-07-21 | 2008-02-07 | Yaskawa Electric Corp | 搬送機構およびそれを備えた処理装置 |
JP2015509259A (ja) * | 2011-12-23 | 2015-03-26 | アルストム テクノロジー リミテッドALSTOM Technology Ltd | 永久磁石を有する電磁アクチュエータおよびこのアクチュエータによって作動する機械的負荷遮断器 |
JP2016074064A (ja) * | 2014-10-07 | 2016-05-12 | 平田機工株式会社 | 搬送装置、搬送システム及び搬送方法 |
JP2020027018A (ja) * | 2018-08-10 | 2020-02-20 | 日本精工株式会社 | テーブル装置 |
JP2020027014A (ja) * | 2018-08-10 | 2020-02-20 | 日本精工株式会社 | テーブル装置 |
CN113858186A (zh) * | 2021-11-11 | 2021-12-31 | 长城电源技术(广西)有限公司 | 一种模块化直线驱动式电动手抓 |
CN114198474A (zh) * | 2021-12-09 | 2022-03-18 | 苏州优备精密智能装备股份有限公司 | 多点矩形自动缩放装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003332404A (ja) * | 2002-05-13 | 2003-11-21 | Shinko Electric Co Ltd | 真空容器内搬送装置 |
-
2005
- 2005-03-08 JP JP2005063606A patent/JP4711216B2/ja active Active
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003332404A (ja) * | 2002-05-13 | 2003-11-21 | Shinko Electric Co Ltd | 真空容器内搬送装置 |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008028179A (ja) * | 2006-07-21 | 2008-02-07 | Yaskawa Electric Corp | 搬送機構およびそれを備えた処理装置 |
JP4660434B2 (ja) * | 2006-07-21 | 2011-03-30 | 株式会社安川電機 | 搬送機構およびそれを備えた処理装置 |
JP2015509259A (ja) * | 2011-12-23 | 2015-03-26 | アルストム テクノロジー リミテッドALSTOM Technology Ltd | 永久磁石を有する電磁アクチュエータおよびこのアクチュエータによって作動する機械的負荷遮断器 |
JP2016074064A (ja) * | 2014-10-07 | 2016-05-12 | 平田機工株式会社 | 搬送装置、搬送システム及び搬送方法 |
JP2020027018A (ja) * | 2018-08-10 | 2020-02-20 | 日本精工株式会社 | テーブル装置 |
JP2020027014A (ja) * | 2018-08-10 | 2020-02-20 | 日本精工株式会社 | テーブル装置 |
JP7103052B2 (ja) | 2018-08-10 | 2022-07-20 | 日本精工株式会社 | テーブル装置 |
JP7268301B2 (ja) | 2018-08-10 | 2023-05-08 | 日本精工株式会社 | テーブル装置 |
CN113858186A (zh) * | 2021-11-11 | 2021-12-31 | 长城电源技术(广西)有限公司 | 一种模块化直线驱动式电动手抓 |
CN114198474A (zh) * | 2021-12-09 | 2022-03-18 | 苏州优备精密智能装备股份有限公司 | 多点矩形自动缩放装置 |
CN114198474B (zh) * | 2021-12-09 | 2024-02-13 | 苏州优备精密智能装备股份有限公司 | 多点矩形自动缩放装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4711216B2 (ja) | 2011-06-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4711216B2 (ja) | 搬送装置 | |
JP4660434B2 (ja) | 搬送機構およびそれを備えた処理装置 | |
JP6122004B2 (ja) | 電子デバイス製造において基板を輸送するように構成されるロボットシステム、装置及び方法 | |
KR101206959B1 (ko) | 기판의 처리 장치 | |
TWI704038B (zh) | 用於在進行電子設備製造時輸送基板的機械手組件、基板處理裝置及方法 | |
KR20150078173A (ko) | 기판 이송장치 | |
JPH08119409A (ja) | 集合処理装置 | |
US20230129289A1 (en) | Transport apparatus with linear bearing and method therefor | |
US8936293B2 (en) | Robotic device for substrate transfer applications | |
WO2004079884A1 (ja) | 真空内駆動装置およびこれを用いた基板搬送装置 | |
TW201233511A (en) | Coaxial harmonic drive vacuum robot | |
JP2004106105A (ja) | 搬送ロボット | |
JP5288164B2 (ja) | スカラーロボット | |
KR20130096072A (ko) | 기판 반송 장치 | |
JP2005236218A (ja) | 半導体ウエハの搬送ロボット、及びそれを備えた処理装置 | |
JP4736025B2 (ja) | ダイレクトドライブモータ | |
TW202417359A (zh) | 真空基板運送設備 | |
JP2006109654A (ja) | モータシステム | |
JP2009038911A (ja) | ブラシレスモータ | |
JP4692156B2 (ja) | モータシステム | |
JP2004218844A (ja) | 非接触式磁気誘導送り装置 | |
JP2006296060A (ja) | モータシステム | |
WO2010143505A1 (ja) | 搬送モジュール | |
JP2006109657A (ja) | モータシステム | |
JPH07112395A (ja) | 磁気的に結合された試料搬送装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080306 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101216 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101221 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110214 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110228 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4711216 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110313 |