JP2006247641A

JP2006247641A - Ultrasonic levitation device

Info

Publication number: JP2006247641A
Application number: JP2005230850A
Authority: JP
Inventors: Teruaki Fujinaga; 輝明藤永; Yoshifumi Yamashita; 嘉文山下
Original assignee: IAI Corp
Current assignee: IAI Corp
Priority date: 2005-02-14
Filing date: 2005-08-09
Publication date: 2006-09-21

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ultrasonic levitation device that can be made to have a higher maximum allowable load and is suitable for downsizing and enhancing its rigidity to angular moment. <P>SOLUTION: The ultrasonic levitation device is equipped with a stationary section, a movable section disposed to be movable relative to the stationary section, and a vibration generator that generates ultrasonic vibration disposed in the stationary section or in the movable section, so that the ultrasonic vibration generated by the ultrasonic vibration generator causes the movable section to levitate above the levitation surface, which is characterized in that the shape of the transverse cross section of the stationary section or the movable section is symmetrical or roughly symmetrical with respect to a line direction that intersects at right angles with the direction of the main vibration. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は超音波浮上装置に係り、特に、ガイドの構成を工夫すると共に振動発生装置の構成を改良することにより、許容負荷荷重をより大きくすることができると共に装置のコンパクト化を図り、さらに回転モーメントに対する剛性を向上させることができるように工夫したものに関する。 The present invention relates to an ultrasonic levitation device, and in particular, by devising the structure of a guide and improving the structure of a vibration generator, the allowable load can be increased and the apparatus can be made more compact and further rotated. The present invention relates to a device devised to improve the rigidity against moment.

超音波振動を利用した超音波浮上装置は、非接触であって摩耗や潤滑剤による環境汚染がないため、クリーンルーム環境や精密位置決め用途に好適なものとして考えられている。
そのような超音波浮上装置として、例えば、特許文献１に示すようなものがある。これは本発明者による発明である。 An ultrasonic levitation apparatus using ultrasonic vibration is considered to be suitable for a clean room environment and a precision positioning application because it is non-contact and free from abrasion and environmental contamination by a lubricant.
As such an ultrasonic levitation apparatus, there exists a thing as shown to patent document 1, for example. This is an invention by the present inventors.

ＷＯ２００４／０８４３９６Ａ１号公報WO 2004/084396 A1

上記特許文献１に開示されている超音波浮上装置は、図１１に示すような構成になっている。まず、固定部１０１があり、この固定部１０１はロ字形状の固定側ガイド部１０３を備えている。この固定側ガイド部１０３は、一対の短辺１０５、１０７と、一対の長辺１０９、１１１とから構成されている。 The ultrasonic levitation device disclosed in Patent Document 1 is configured as shown in FIG. First, there is a fixed portion 101, and this fixed portion 101 includes a square-shaped fixed side guide portion 103. The fixed-side guide portion 103 includes a pair of short sides 105 and 107 and a pair of long sides 109 and 111.

上記固定側ガイド部１０３の内側には、振動発生装置１１３、１１５が設置されている。上記振動発生装置１１３は、保持部材１１７と、ランジュバン型超音波振動子１１９とから構成されている。上記振動発生装置１１３は上記保持部材１１７を介してベース１２１上に設置されている。又、上記ランジュバン型超音波振動子１１９は、圧電材料板１１９ａ、１１９ａと共振振動用錘１１９ｂ、１１９ｂを図示しないネジ部材によって結合して、上記保持部材１１７に取り付けた構成になっており、図１１中左側の錘１１９ｂを介して上記短辺１０５に接続された構成になっている。 Vibration generators 113 and 115 are installed inside the fixed-side guide portion 103. The vibration generator 113 includes a holding member 117 and a Langevin type ultrasonic transducer 119. The vibration generator 113 is installed on the base 121 via the holding member 117. The Langevin type ultrasonic vibrator 119 has a configuration in which the piezoelectric material plates 119a and 119a and the resonance vibration weights 119b and 119b are coupled by a screw member (not shown) and attached to the holding member 117. 11 is connected to the short side 105 via a left weight 119b.

又、上記振動発生装置１１５も同様の構成になっている。すなわち、上記振動発生装置１１５は、保持部材１２３と、ランジュバン型超音波振動子１２５とから構成されている。上記振動発生装置１１５は上記保持部材１２３を介してベース１２１上に設置されている。又、上記ランジュバン型超音波振動子１２５は、圧電材料板１２５ａ、１２５ａと共振振動用錘１２５ｂ、１２５ｂを図示しないネジ部材によって結合して、上記保持部材１２３に取り付けた構成になっており、図１１中右側に配置された錘１２５ｂを介して上記短辺１０７に接続された構成になっている。 The vibration generator 115 has the same configuration. That is, the vibration generator 115 includes a holding member 123 and a Langevin type ultrasonic transducer 125. The vibration generator 115 is installed on the base 121 via the holding member 123. The Langevin type ultrasonic transducer 125 has a configuration in which the piezoelectric material plates 125a and 125a and the resonance vibration weights 125b and 125b are coupled by a screw member (not shown) and attached to the holding member 123. 11 is connected to the short side 107 via a weight 125b arranged on the right side.

上記固定部１０１上には可動部１３１が設置されている。この可動部１３１は上記固定部１０１に沿って移動可能に構成されている。又、上記固定部１０１の一対の長辺１０９、１１１には、図１１（ｃ）に示すように、傾斜面１０９ａ、１１１ａが形成されていて、横断面形状が「ハの字」形状となっている。これに対向するように、上記可動部１３１側にも、図１１（ｃ）に示すように、傾斜面１３１ａ、１３１ｂが形成されている。 A movable part 131 is installed on the fixed part 101. The movable part 131 is configured to be movable along the fixed part 101. Further, as shown in FIG. 11C, inclined surfaces 109a and 111a are formed on the pair of long sides 109 and 111 of the fixing portion 101, and the cross-sectional shape is a “C” shape. ing. As shown in FIG. 11 (c), inclined surfaces 131a and 131b are also formed on the movable portion 131 side so as to face this.

又、図１１（ｃ）に示すように、上記ベース１２１上には、コイルベース１４１が設置されていて、このコイルベース１４１上にはコイル１４３が設置されている。又、上記可動部１３１側には凹部１４５が形成されていて、この凹部１４５には永久磁石１４７が設置されている。上記コイル１４３と上記永久磁石１４７とによって駆動用のボイスコイルモータ１４９を構成している。 Further, as shown in FIG. 11C, a coil base 141 is installed on the base 121, and a coil 143 is installed on the coil base 141. Further, a concave portion 145 is formed on the movable portion 131 side, and a permanent magnet 147 is installed in the concave portion 145. The coil 143 and the permanent magnet 147 constitute a driving voice coil motor 149.

上記構成において、まず、振動発生装置１１３、１１５によって、固定部１０１に対して超音波振動を付与する。該超音波振動の付与によって、固定部１０１側の傾斜面１０９ａ、１１１ａと可動部１３１側の傾斜面１３１ａ、１３１ｂとの間の空気層の圧力が上昇する。それによって、可動部１３１が浮上することになる。 In the above configuration, first, ultrasonic vibration is applied to the fixed portion 101 by the vibration generators 113 and 115. By applying the ultrasonic vibration, the pressure of the air layer between the inclined surfaces 109a and 111a on the fixed portion 101 side and the inclined surfaces 131a and 131b on the movable portion 131 side increases. Thereby, the movable part 131 is levitated.

又、上記コイル１４９に適宜の方向の電流を流すことにより、永久磁石１４７の磁束の流れとの相互作用によって、いわゆる「フレミングの左手の法則」に基づいて、可動部１３１に対してＹ方向の何れかに移動させるための駆動力が発生する。それによって、可動部１３１は固定部１０１に対して浮上した状態でＹ方向の何れかの方向に移動することになる。 Further, by passing a current in an appropriate direction through the coil 149, the interaction with the magnetic flux flow of the permanent magnet 147 causes the movable portion 131 to move in the Y direction based on the so-called “Fleming's left hand rule”. A driving force for moving to either one is generated. Thereby, the movable part 131 moves in any direction of the Y direction in a state of floating with respect to the fixed part 101.

上記従来の構成によると次のような問題があった。
まず、従来の構成によると、振動が必ずしも主振動方向（水平方向）のみではなく、他方向の振動（垂直方向）も励起されてしまうという問題があった。これは、図１１（ｃ）に示すように、固定部１０１の横断面形状が「ハの字」型をしていて、水平方向には対称であるが、垂直方向には対称になっていないことに起因する。すなわち、垂直方向に対して対称な断面形状になっていないために、垂直方向に対して荷重のアンバランスが存在しており、それによって、垂直方向の振動が励起されてしまうことになる。このような垂直方向の振動が励起されてしまうと、上記固定部１０１側の傾斜面１０９ａ、１１１ａと可動部１３１側の傾斜面１３１ａ、１３１ｂとが接触してしまい、その結果、安定した浮上が得られなくなってしまうという問題があった。
特に、耐荷重（負荷容量）を大きくするべく主振動方向の振動振幅を上げようとすると上記垂直方向の振動も励起され易くなり、固定部１０１側の傾斜面１０９ａ、１１１ａと可動部１３１側の傾斜面１３１ａ、１３１ｂとの接触、それによって安定した浮上が損なわれてしまうという問題がより顕著なものとなる。
又、別の問題として、振動発生装置の設置スペースの問題があった。すなわち、振動パワーを上げるためには振動発生装置１１３、１１５を大型化する必要がある。ところが、上記振動発生装置１１３、１１５は、既に説明したように、ロ字型の固定部側ガイド部１０３の内側に配置されており、よって、振動発生装置１１３、１１５を大型化しようとしても、ロ字型の固定部側ガイド部１０３の内側のスペースには限界があるために設置できないという問題があった。
又、これを設置するためには上記ロ字型の固定部側ガイド部１０３を大型化する必要があり、結局、装置全体が大型化してしまうという問題があった。換言すれば従来の構成では振動発生装置１１３、１１５の大型化に対して有効に対応できないものである。
さらに、従来の場合には、振動発生装置１１３、１１５の中央部を支持するように構成しているので、振動装置１１３、１１５の大型化によって長くなった場合には、いわゆる「オーバーハング量」が大きくなり支持剛性が低下してしまうという問題があった。すなわち、図１１（ａ）に示すように、まず、振動発生装置１１３、１１５はその中央部において夫々保持部材１１７、１２３によって支持されている。又、各振動発生装置１１３、１１５には外側端を介して固定側ガイド部１０３が連結されている。そして、上記したように、振動装置１１３、１１５の大型化によって長くなった場合には、いわゆる「オーバーハング量」｛（図１１（ａ）中符号（Ｌ_１）で示す）｝が大きくなり、それによって、支持剛性が低下してしまうものである。 The conventional configuration has the following problems.
First, according to the conventional configuration, there is a problem that vibrations are not always excited in the main vibration direction (horizontal direction) but also in other directions (vertical direction). This is because, as shown in FIG. 11C, the cross-sectional shape of the fixed portion 101 has a “C” shape, and is symmetrical in the horizontal direction but not in the vertical direction. Due to that. That is, since the cross-sectional shape is not symmetrical with respect to the vertical direction, load imbalance exists in the vertical direction, thereby exciting vibration in the vertical direction. When such vertical vibration is excited, the inclined surfaces 109a and 111a on the fixed portion 101 side and the inclined surfaces 131a and 131b on the movable portion 131 side come into contact with each other, and as a result, stable levitation occurs. There was a problem that it could not be obtained.
In particular, if the vibration amplitude in the main vibration direction is increased in order to increase the load resistance (load capacity), the vibration in the vertical direction is also easily excited, and the inclined surfaces 109a and 111a on the fixed portion 101 side and the movable portion 131 side are facilitated. The problem that the contact with the inclined surfaces 131a and 131b and thereby the stable levitation is impaired becomes more remarkable.
Another problem is the installation space of the vibration generator. That is, in order to increase the vibration power, it is necessary to enlarge the vibration generators 113 and 115. However, as described above, the vibration generators 113 and 115 are disposed inside the square-shaped fixed portion side guide portion 103. Therefore, even if the vibration generators 113 and 115 are to be enlarged, There is a problem that the space inside the square-shaped fixed portion side guide portion 103 cannot be installed because there is a limit.
Moreover, in order to install this, it is necessary to enlarge the said square-shaped fixed part side guide part 103, and there existed a problem that the whole apparatus enlarged eventually. In other words, the conventional configuration cannot effectively cope with the increase in size of the vibration generators 113 and 115.
Furthermore, in the conventional case, the vibration generators 113 and 115 are configured so as to support the central portion thereof. Therefore, when the vibration devices 113 and 115 are increased in size, the so-called “overhang amount” is obtained. There is a problem that the support rigidity is lowered due to an increase in the height. That is, as shown in FIG. 11A, first, the vibration generators 113 and 115 are supported by holding members 117 and 123, respectively, at the central portions thereof. In addition, a fixed guide 103 is connected to each of the vibration generators 113 and 115 via an outer end. As described above, when the vibration devices 113 and 115 become longer due to an increase in size, the so-called “overhang amount” {(indicated by reference numeral (L ₁ ) in FIG. 11A)} increases. As a result, the support rigidity is lowered.

本発明はこのような点に基づいてなされたものでその目的とするところは、許容負荷荷重をより大きくできるとともに、装置のコンパクト化も図ることが可能な超音波浮上装置を提供することにある。 The present invention has been made based on such points, and an object of the present invention is to provide an ultrasonic levitation device that can increase the allowable load and can be made compact. .

上記目的を達成するべく本願発明の請求項１による超音波浮上装置は、固定部と、上記固定部に対して移動可能に設置された可動部と、上記固定部又は可動部に設けられ超音波振動を発生する振動発生装置と、を具備し、上記振動発生装置が超音波振動することにより上記可動部が浮上面を介して浮上するように構成された超音波浮上装置において、上記振動発生装置が設けられている上記固定部又は可動部の横断面形状が主振動方向に直交する方向に対して対称又は略対称になっていることを特徴とするものである。
又、請求項２による超音波浮上装置は、固定部と、上記固定部に対して移動可能に設置された可動部と、上記固定部又は可動部に設けられ超音波振動を発生する振動発生装置と、を具備し、上記振動発生装置が超音波振動することにより上記可動部が浮上面を介して浮上するように構成された超音波浮上装置において、上記固定部は固定部負荷側ガイド面と固定部反負荷側ガイド面を備えていて、上記可動部は上記固定部負荷側ガイド面と固定部反負荷側ガイド面の夫々に対向する可動部負荷側ガイド面と可動部反負荷側ガイド面を備えた構成になっていることを特徴とするものである。
又、請求項３による超音波浮上装置は、請求項２記載の超音波浮上装置において、上記可動部の可動部負荷側ガイド面側と可動部反負荷側ガイド面側は別体に設けられていることを特徴とするものである。
又、請求項４による超音波浮上装置は、請求項３記載の超音波浮上装置において、上記可動部の可動部負荷側ガイド面と可動部反負荷側ガイド面との間には隙間が設けられていることを特徴とする超音波浮上装置。
又、請求項５による超音波浮上装置は、請求項４記載の超音波浮上装置において、上記可動部の可動部負荷側ガイド面側と可動部反負荷側ガイド面側とは連結部材を介して連結されていることを特徴とするものである。
又、請求項６による超音波浮上装置は、請求項５記載の超音波浮上装置において、上記連結部材は可撓性材料から構成されていることを特徴とするものである。
又、請求項７による超音波浮上装置は、固定部と、上記固定部に対して移動可能に設置された可動部と、上記固定部又は可動部に設けられ超音波振動を発生する振動発生装置と、を具備し、上記振動発生装置が超音波振動することにより上記可動部が浮上面を介して浮上するように構成された超音波浮上装置において、上記振動発生装置の略中央部に上記固定部又は可動部の一部を振動変換部材として配置したことを特徴とするものである。
又、請求項８による超音波浮上装置は、固定部と、上記固定部に対して移動可能に設置された可動部と、上記固定部又は可動部に設けられ超音波振動を発生する振動発生装置と、を具備し、上記振動発生装置が超音波振動することにより上記可動部が浮上面を介して浮上するように構成された超音波浮上装置において、上記振動発生装置は振動源と該振動源を支持する支持部材とから構成されていて、上記支持部材を振動する上記固定部又は可動部の節部以外の部分に配置したことを特徴とするものである。
又、請求項９による超音波浮上装置は、請求項８記載の超音波浮上装置において、上記支持部材を振動する上記固定部又は可動部に接合または接触させるように配置したことを特徴とするものである。
又、請求項１０による超音波浮上装置は、請求項８記載の超音波浮上装置において、上記支持部材は可撓性形状をなしていることを特徴とするものである。 In order to achieve the above object, an ultrasonic levitation apparatus according to claim 1 of the present invention includes a fixed portion, a movable portion movably installed with respect to the fixed portion, and an ultrasonic wave provided in the fixed portion or the movable portion. In the ultrasonic levitation device, the vibration generation device configured to float through the air bearing surface when the vibration generation device ultrasonically vibrates. The cross-sectional shape of the fixed part or the movable part provided with is symmetric or substantially symmetric with respect to the direction orthogonal to the main vibration direction.
The ultrasonic levitation device according to claim 2 is a fixed portion, a movable portion that is movably installed with respect to the fixed portion, and a vibration generator that is provided in the fixed portion or the movable portion and generates ultrasonic vibrations. An ultrasonic levitation device configured to float the movable part via an air bearing surface by ultrasonic vibration of the vibration generator, wherein the fixed part is a fixed part load side guide surface. A fixed portion anti-load side guide surface is provided, and the movable portion is opposed to the fixed portion load side guide surface and the fixed portion anti-load side guide surface, respectively. It has the structure provided with.
The ultrasonic levitation device according to claim 3 is the ultrasonic levitation device according to claim 2, wherein the movable portion load side guide surface side and the movable portion anti-load side guide surface side of the movable portion are provided separately. It is characterized by being.
The ultrasonic levitation device according to claim 4 is the ultrasonic levitation device according to claim 3, wherein a gap is provided between the movable portion load side guide surface and the movable portion anti-load side guide surface of the movable portion. An ultrasonic levitation device.
The ultrasonic levitation device according to claim 5 is the ultrasonic levitation device according to claim 4, wherein the movable portion load side guide surface side and the movable portion anti-load side guide surface side of the movable portion are connected via a connecting member. It is characterized by being connected.
The ultrasonic levitation apparatus according to claim 6 is the ultrasonic levitation apparatus according to claim 5, wherein the connecting member is made of a flexible material.
An ultrasonic levitation apparatus according to claim 7 is a fixed portion, a movable portion that is movably installed with respect to the fixed portion, and a vibration generator that is provided in the fixed portion or the movable portion and generates ultrasonic vibrations. In the ultrasonic levitation device configured to float the movable portion via the air bearing surface by ultrasonic vibration of the vibration generator, the fixed portion is fixed to a substantially central portion of the vibration generator. A part of the part or the movable part is arranged as a vibration converting member.
An ultrasonic levitation apparatus according to claim 8 is a fixed portion, a movable portion movably installed with respect to the fixed portion, and a vibration generating device that is provided in the fixed portion or the movable portion and generates ultrasonic vibrations. An ultrasonic levitation device configured such that when the vibration generator vibrates ultrasonically, the movable portion floats via the air bearing surface. The vibration generator includes a vibration source and the vibration source. And the support member is arranged in a portion other than the node portion of the fixed portion or the movable portion that vibrates.
The ultrasonic levitation apparatus according to claim 9 is the ultrasonic levitation apparatus according to claim 8, wherein the support member is disposed so as to be joined to or contacted with the fixed portion or the movable portion that vibrates. It is.
An ultrasonic levitation apparatus according to claim 10 is the ultrasonic levitation apparatus according to claim 8, wherein the support member has a flexible shape.

以上述べたように本願発明による超音波浮上装置によると、固定部と、上記固定部に対して移動可能に設置された可動部と、上記固定部又は可動部に設けられ超音波振動を発生する振動発生装置と、を具備し、上記振動発生装置が超音波振動することにより上記可動部が浮上面を介して浮上するように構成された超音波浮上装置において、上記振動発生装置が設けられている上記固定部又は可動部の横断面形状が主振動方向に直交する方向に対して対称又は略対称になっており、よって、耐荷重（負荷容量）を大きくするべく主振動方向の振動振幅を上げても何等問題はなく、より大きな耐荷重機能を有する超音波浮上装置を提供することができる。
又、本願発明による超音波浮上装置によると、固定部と、上記固定部に対して移動可能に設置された可動部と、上記固定部又は可動部に設けられ超音波振動を発生する振動発生装置と、を具備し、上記振動発生装置が超音波振動することにより上記可動部が浮上面を介して浮上するように構成された超音波浮上装置において、上記固定部を固定部負荷側ガイド面と固定部反負荷側ガイド面を備えた構成とし、上記可動部を上記固定部負荷側ガイド面と固定部反負荷側ガイド面の夫々に対向する可動部負荷側ガイド面と可動部反負荷側ガイド面を備えた構成とした場合には、仮に、可動部の横断面の左右何れかの方向に偏った位置において負荷が作用して回転モーメントが発生しても、固定部と可動部の反負荷側のガイド面が効果的に機能して回転モーメントによる回転を効果的に規制することができる。つまり、回転モーメントに対する剛性が大幅に向上することになる。
又、上記可動部の可動部負荷側ガイド面側と可動部反負荷側ガイド面側とを別体に設けるようにした場合には、組立・調整作業は必要になるものの固定部、可動部に対する寸法精度の裕度を拡大することができる。
又、上記可動部の可動部負荷側ガイド面と可動部反負荷側ガイド面との間に隙間を設けた場合には、該鋤の範囲内で寸法誤差を吸収することができるので、寸法精度の裕度を拡大することができる。
又、上記可動部の可動部負荷側ガイド面側と可動部反負荷側ガイド面側とを連結部材を介して連結するようにした場合には、上記隙間の範囲内で調整しながら、可動部負荷側ガイド面側と可動部反負荷側ガイド面側とを適宜の位置において連結することができる。
又、上記連結部材を可撓性材料から構成するようにした場合には、可動部反負荷側ガイド面を固定部反負荷側ガイド面に対して密着した状態で締結・固定しても、上記連結部材が撓むことにより、可動部反負荷側ガイド面を固定部反負荷側ガイド面との間に適度な浮上隙間を確保することができ、隙間調整作業が大幅に容易化される。
又、本願発明による超音波浮上装置によると、固定部と、上記固定部に対して移動可能に設置された可動部と、上記固定部又は可動部に設けられ超音波振動を発生する振動発生装置と、を具備し、上記振動発生装置が超音波振動することにより上記可動部が浮上面を介して浮上するように構成された超音波浮上装置において、上記振動発生装置の略中央部に上記固定部又は可動部の一部を振動変換部材として配置した構成になっているので、耐荷重を上げるべく振動発生装置の大型化を図ろうとした場合、それに対して効果的に対応することができる。又、振動発生装置における「オーバーハング量」を小さくすることができ、それによって、支持剛性の向上を図ることができる。
又、本願発明による超音波浮上装置によると、固定部と、上記固定部に対して移動可能に設置された可動部と、上記固定部又は可動部に設けられ超音波振動を発生する振動発生装置と、を具備し、上記振動発生装置が超音波振動することにより上記可動部が浮上面を介して浮上するように構成された超音波浮上装置において、上記振動発生装置は振動源と該振動源を支持する支持部材とから構成されていて、上記支持部材を振動する上記固定部又は可動部の節部以外の部分に配置した構成になっているので、「オーバーハング量」を著しく小さくする配置ができる。
又、上記支持部材を振動する上記固定部又は可動部に接合または接触させるように配置した場合には、上記効果をより高めることができる。
さらに、上記支持部材は可撓性形状をなしているような構成にした場合には、支持に伴う振動の減衰をも低減することができる。 As described above, according to the ultrasonic levitation apparatus of the present invention, the fixed portion, the movable portion that is movably installed with respect to the fixed portion, and the ultrasonic vibration that is provided in the fixed portion or the movable portion is generated. An ultrasonic levitation device configured such that the movable portion floats through the air bearing surface by ultrasonic vibration of the vibration generation device, wherein the vibration generation device is provided. The cross-sectional shape of the fixed part or movable part is symmetric or substantially symmetric with respect to the direction orthogonal to the main vibration direction. Therefore, the vibration amplitude in the main vibration direction is increased in order to increase the load resistance (load capacity). There is no problem even if it is raised, and it is possible to provide an ultrasonic levitation device having a greater load-bearing function.
In addition, according to the ultrasonic levitation device of the present invention, the fixed portion, the movable portion installed so as to be movable with respect to the fixed portion, and the vibration generating device that is provided in the fixed portion or the movable portion and generates ultrasonic vibrations In the ultrasonic levitation apparatus configured to float the movable part via the air bearing surface when the vibration generator vibrates ultrasonically, the fixed part is a fixed part load side guide surface. A movable portion load side guide surface and a movable portion opposite load side guide that are provided with a fixed portion opposite load side guide surface, and the movable portion faces the fixed portion load side guide surface and the fixed portion opposite load side guide surface, respectively. In the case of a configuration having a surface, even if a load is applied at a position deviated in either the left or right direction of the cross section of the movable part and a rotational moment is generated, the anti-load between the fixed part and the movable part will occur. Side guide surface works effectively It is possible to effectively restrict the rotation due to the rolling moment. That is, the rigidity against the rotation moment is greatly improved.
When the movable part load side guide surface side and the movable part anti-load side guide surface side of the movable part are provided separately, assembly / adjustment work is required, but the fixed part and the movable part The tolerance of dimensional accuracy can be expanded.
In addition, when a gap is provided between the movable part load side guide surface and the movable part opposite load side guide surface of the movable part, dimensional errors can be absorbed within the range of the wrinkles. Can be expanded.
Further, when the movable part load side guide surface side and the movable part opposite load side guide surface side of the movable part are connected via a connecting member, the movable part is adjusted while adjusting within the gap. The load side guide surface side and the movable part anti-load side guide surface side can be connected at an appropriate position.
Further, when the connecting member is made of a flexible material, even if the movable portion anti-load side guide surface is fastened and fixed in close contact with the fixed portion anti-load side guide surface, By bending the connecting member, it is possible to secure an appropriate floating gap between the movable part opposite load side guide surface and the fixed part opposite load side guide surface, and the gap adjustment work is greatly facilitated.
In addition, according to the ultrasonic levitation device of the present invention, the fixed portion, the movable portion installed so as to be movable with respect to the fixed portion, and the vibration generating device that is provided in the fixed portion or the movable portion and generates ultrasonic vibrations In the ultrasonic levitation device configured to float the movable portion via the air bearing surface by ultrasonic vibration of the vibration generator, the fixed portion is fixed to a substantially central portion of the vibration generator. Since part of the movable part or part of the movable part is arranged as a vibration converting member, when trying to increase the size of the vibration generator in order to increase the load resistance, it is possible to cope with it effectively. In addition, the “overhang amount” in the vibration generating device can be reduced, thereby improving the support rigidity.
In addition, according to the ultrasonic levitation device of the present invention, the fixed portion, the movable portion installed so as to be movable with respect to the fixed portion, and the vibration generating device that is provided in the fixed portion or the movable portion and generates ultrasonic vibrations An ultrasonic levitation device configured such that when the vibration generator vibrates ultrasonically, the movable portion floats via the air bearing surface. The vibration generator includes a vibration source and the vibration source. The support member is configured to be disposed in a portion other than the fixed portion or the movable portion of the movable portion that vibrates, so that the “overhang amount” is significantly reduced. Can do.
Further, when the support member is arranged so as to be joined or brought into contact with the fixed portion or the movable portion that vibrates, the above-described effect can be further enhanced.
Furthermore, when the support member is configured to have a flexible shape, it is possible to reduce vibration attenuation associated with support.

以下、図１乃至図３を参照して本発明の第１の実施の形態を説明する。まず、固定部１があり、この固定部１はロ字形状の固定側ガイド部３を備えている。この固定側ガイド部３は、一対の短辺５、７と、一対の長辺９、１１とから構成されている。 Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. First, there is a fixing portion 1, and the fixing portion 1 includes a fixed-side guide portion 3 having a square shape. The fixed-side guide portion 3 includes a pair of short sides 5 and 7 and a pair of long sides 9 and 11.

上記固定側ガイド部３の左右両端部の短辺５、７の位置には、振動発生装置１３、１５が夫々設置されている。上記振動発生装置１３は、平板状であってＬ字型に折り曲げられた支持部材１７、１９と、ランジュバン型超音波振動子２１とから構成されている。上記振動発生装置１３は上記支持部材１７、１９を介してベース２３上に設置されている。上記ランジュバン型超音波振動子２１は、上記短辺５を挟んでその両側に圧電材料２１ａ、２１ａを配置し、それら圧電材料２１ａ、２１ａの外側に共振振動用錘２１ｂ、２１ｂを配置して、上記支持部材１７、１９を介して上記短辺５に図示しないネジ部材によってねじ止めした構成になっている。つまり、上記短辺５をランジュバン型超音波振動子２１の構成部品として使用しているものである。このように構成することにより、短辺５の内側に占めるスペースの割合が半減されることになる。
又、支持部材１７、１９はＬ字型に折り曲げられた板材であり、ガイド重量を支える垂直方向（Ｚ方向）には剛性は大きいものの、ランジュバン型超音波振動子１３の振動方向には剛性は低く撓み易い構成になっている。したがって、振動の節以外の支持による振動抑制は振動方向（Ｙ方向）の剛性は低くて撓み易い本構造により振動減衰は抑制できる。 Vibration generators 13 and 15 are installed at the positions of the short sides 5 and 7 at the left and right ends of the fixed-side guide portion 3, respectively. The vibration generator 13 is composed of support members 17 and 19 that are flat and bent in an L shape, and a Langevin type ultrasonic transducer 21. The vibration generator 13 is installed on the base 23 through the support members 17 and 19. The Langevin type ultrasonic transducer 21 has piezoelectric materials 21a and 21a arranged on both sides of the short side 5 and resonance vibration weights 21b and 21b arranged outside the piezoelectric materials 21a and 21a. The short side 5 is screwed with a screw member (not shown) via the support members 17 and 19. That is, the short side 5 is used as a component of the Langevin type ultrasonic transducer 21. By comprising in this way, the ratio of the space which occupies the inner side of the short side 5 will be halved.
The support members 17 and 19 are L-shaped plate members, which have a large rigidity in the vertical direction (Z direction) for supporting the guide weight, but have a rigidity in the vibration direction of the Langevin type ultrasonic vibrator 13. The structure is low and easy to bend. Therefore, the vibration suppression by the support other than the vibration node can suppress the vibration attenuation by the present structure which has a low rigidity in the vibration direction (Y direction) and is easily bent.

上記振動発生装置１５も同様の構成になっている。すなわち、上記振動発生装置１５は、平板状であってＬ字型に折り曲げられた支持部材２５、２７と、ランジュバン型超音波振動子２９とから構成されている。上記振動発生装置１５は上記支持部材２５、２７を介してベース２３上に設置されている。上記ランジュバン型超音波振動子２９は、上記短辺７を挟んでその両側に夫々圧電材料２９ａ、２９ａを配置し、これら圧電材料２９ａ、２９ａの外側に共振振動用錘２９ｂ、２９ｂを配置して、上記支持部材２５、２７を介して上記短辺７に図示しないネジ部材によってねじ止めした構成になっている。つまり、上記短辺７をランジュバン型超音波振動子２９の構成部品として使用しているものである。このように構成することにより、短辺７の内側に占めるスペースの割合が半減されることになる。
又、支持部材２５、２７はＬ字型に折り曲げられた板材であり、ガイド重量を支える垂直方向（Ｚ方向）には剛性は大きいものの、ランジュバン型超音波振動子１５の振動方向には剛性は低く撓み易い構成になっている。したがって、振動の節以外の支持による振動抑制は振動方向（Ｙ方向）の剛性は低くて撓み易い本構造により振動減衰は抑制できる。 The vibration generator 15 has the same configuration. That is, the vibration generator 15 is composed of support members 25 and 27 that are flat and bent in an L shape, and a Langevin type ultrasonic transducer 29. The vibration generator 15 is installed on the base 23 through the support members 25 and 27. In the Langevin type ultrasonic transducer 29, piezoelectric materials 29a and 29a are arranged on both sides of the short side 7, and resonant vibration weights 29b and 29b are arranged outside the piezoelectric materials 29a and 29a. The short side 7 is screwed with a screw member (not shown) through the support members 25 and 27. That is, the short side 7 is used as a component of the Langevin type ultrasonic transducer 29. By comprising in this way, the ratio of the space which occupies the inner side of the short side 7 will be halved.
The support members 25 and 27 are plate members bent in an L shape, and the rigidity is large in the vertical direction (Z direction) for supporting the guide weight, but the rigidity in the vibration direction of the Langevin type ultrasonic transducer 15 is not. The structure is low and easy to bend. Therefore, the vibration suppression by the support other than the vibration node can suppress the vibration attenuation by the present structure which has a low rigidity in the vibration direction (Y direction) and is easily bent.

上記固定部１上には可動部３１が設置されている。この可動部３１は上記固定部１に沿って移動可能に構成されている。すなわち、上記固定部１の一対の長辺９、１１には傾斜面９ａ、９ｂ、１１ａ、１１ｂが形成されていて、図３に示すように、垂直方向において夫々対称になるような形状となっている。又、これに対向するように、上記可動部３１側には、傾斜面３１ａ、３１ｂが形成されている。 A movable part 31 is installed on the fixed part 1. The movable portion 31 is configured to be movable along the fixed portion 1. That is, inclined surfaces 9a, 9b, 11a, and 11b are formed on the pair of long sides 9 and 11 of the fixing portion 1, and are shaped so as to be symmetrical in the vertical direction as shown in FIG. ing. In addition, inclined surfaces 31a and 31b are formed on the movable portion 31 side so as to face this.

このように、主振動が励起される固定部１の断面形状が、主振動方向に直交方向である垂直方向（図中上下方向）に対しても対称な断面形状となるように構成することにより、垂直方向に対してのガイドの重量アンバランスをなくすことが可能になり、それによって、垂直方向の振動励起を抑制しようとするものである。そして、このことにより、より大きなガイド浮上面の振動振幅が実現でき、より大きな耐荷重をもつ超音波浮上ガイドが実現できることになる。 As described above, the cross-sectional shape of the fixed portion 1 where the main vibration is excited is configured to be a symmetric cross-sectional shape with respect to the vertical direction (vertical direction in the figure) that is orthogonal to the main vibration direction. It is possible to eliminate the weight imbalance of the guide with respect to the vertical direction, thereby suppressing the vibration excitation in the vertical direction. As a result, a larger vibration amplitude of the guide air bearing surface can be realized, and an ultrasonic levitating guide having a greater load resistance can be realized.

又、上記ベース２３上には、コイルベース４１が設置されていて、このコイルベース４１上にはコイル４３が設置されている。又、上記可動部３１側にはバックプレート４５が形成されていて、このバックプレート４５には永久磁石４７が設置されている。上記コイル４３と上記永久磁石４７とによって駆動用のボイスコイルモータ４９を構成しているものである。 A coil base 41 is installed on the base 23, and a coil 43 is installed on the coil base 41. A back plate 45 is formed on the movable portion 31 side, and a permanent magnet 47 is installed on the back plate 45. The coil 43 and the permanent magnet 47 constitute a voice coil motor 49 for driving.

以上の構成を基にその作用を説明する。まず、振動発生装置１３、１５によって、固定部１の固定部側ガイド部３に対して超音波振動を付与する。該超音波振動の付与によって、固定部１の固定部側ガイド部３の傾斜面９ａ、１１ａと可動部３１側の傾斜面３１ａ、３１ｂとの間の空気層の圧力が上昇する。それによって、可動部３１が浮上することになる。 The operation will be described based on the above configuration. First, the vibration generators 13 and 15 apply ultrasonic vibration to the fixed portion side guide portion 3 of the fixed portion 1. By applying the ultrasonic vibration, the pressure of the air layer between the inclined surfaces 9a and 11a of the fixed portion side guide portion 3 of the fixed portion 1 and the inclined surfaces 31a and 31b on the movable portion 31 side increases. Thereby, the movable part 31 is levitated.

又、上記コイル４３に適宜の方向の電流を流すことにより、永久磁石４７の磁束の流れとの相互作用によって、いわゆる「フレミングの左手の法則」に基づいて、可動部３１に対してＹ方向の何れかに移動させるための駆動力が発生する。それによって、可動部３１は固定部１の固定部側ガイド部３に対して浮上した状態でＹ方向の何れかの方向に移動することになる。 In addition, by passing an electric current in an appropriate direction through the coil 43, an interaction with the flow of magnetic flux of the permanent magnet 47 causes the Y-direction relative to the movable portion 31 based on the so-called “Fleming's left-hand rule”. A driving force for moving to either one is generated. Thereby, the movable part 31 moves in any direction of the Y direction in a state where it floats with respect to the fixed part side guide part 3 of the fixed part 1.

以上本実施の形態によると次のような効果を奏することができる。
まず、主振動方向（水平方向）に直交する方向の振動（垂直方向）の励起を抑制することができる。これは、固定部側ガイド部３の長辺９、１１の断面形状が垂直方向に沿って対称に形成されていて、垂直方向に対して荷重のアンバランスが存在しない構成になっているからである。よって、耐荷重（負荷容量）を大きくするべく主振動方向の振動振幅を上げても垂直方向の振動の励起は抑制されているので何等問題はなく、より大きな耐荷重機能を有する超音波浮上装置を提供することができる。
又、装置の大型化を誘発させることなく振動発生装置１３、１５の大型化を図ることができる。すなわち、振動発生装置１３、１５は、固定部１の固定部側ガイド部３の短辺５、７を挟むようにして設置されていて、従来のように、固定部側ガイド部３の内側に全てが配置されている構成ではない。よって、固定部側ガイド部３の内側に占めるスペース割合も小さく、よって、その大型化を図ることが可能になるものである。それによって、振動パワーの増大に効果的に対応することができる。
又、振動発生装置１３、１５は、固定部１の固定部側ガイド部３の短辺５、７を挟むようにして設置していて、固定部側ガイド部３の短辺５、７をランジュバン型超音波振動子の構成の一部として組み込んでいるので、「オーバーハング量」を小さくすることができ、それによって、支持剛性の向上を図ることができるものである。この点に関して詳しく説明すると、本実施の形態の場合には、その「オーバーハング量」は、図１中符号（Ｌ_２）で示す大きさである。つまり、短辺５、７の厚みの半分の大きさである。これは、従来に比べて極めて小さな値であり、それによって、支持剛性を大幅に向上させることができるものである。又、これは、振動発生装置１３、１５を大型化しても何等変わることはないものである。
又、各振動発生装置１３、１５側において２個ずつの支持部材１７、１９、２５、２７を配置しているので、支持剛性をさらに高くすることができる。
特に、支持部材１７、１９、２５、２７は平板状の可撓性形状にて構成されているので、節以外の支持拘束による振動減衰は抑制される。 As described above, according to the present embodiment, the following effects can be obtained.
First, excitation of vibration (vertical direction) in a direction orthogonal to the main vibration direction (horizontal direction) can be suppressed. This is because the cross-sectional shapes of the long sides 9 and 11 of the fixed portion side guide portion 3 are formed symmetrically in the vertical direction, and there is no load imbalance in the vertical direction. is there. Therefore, even if the vibration amplitude in the main vibration direction is increased to increase the load resistance (load capacity), the excitation of vibration in the vertical direction is suppressed, so there is no problem and the ultrasonic levitation device having a larger load resistance function Can be provided.
In addition, the vibration generators 13 and 15 can be increased without inducing the increase in size of the apparatus. That is, the vibration generators 13 and 15 are installed so as to sandwich the short sides 5 and 7 of the fixed portion side guide portion 3 of the fixed portion 1, and are all inside the fixed portion side guide portion 3 as in the past. It is not a configuration that is arranged. Therefore, the space ratio which occupies the inside of the fixed part side guide part 3 is also small, and thus it is possible to increase the size. Thereby, it is possible to effectively cope with an increase in vibration power.
Further, the vibration generators 13 and 15 are installed so as to sandwich the short sides 5 and 7 of the fixed portion side guide portion 3 of the fixed portion 1, and the short sides 5 and 7 of the fixed portion side guide portion 3 are placed over the Langevin type. Since it is incorporated as a part of the structure of the acoustic wave vibrator, the “overhang amount” can be reduced, and thereby the support rigidity can be improved. This point will be described in detail. In the case of the present embodiment, the “overhang amount” is the size indicated by the symbol (L ₂ ) in FIG. That is, it is half the thickness of the short sides 5 and 7. This is an extremely small value as compared with the prior art, whereby the support rigidity can be greatly improved. Further, this does not change even if the vibration generators 13 and 15 are enlarged.
Further, since the two support members 17, 19, 25, 27 are arranged on the vibration generators 13, 15 side, the support rigidity can be further increased.
In particular, since the support members 17, 19, 25, and 27 are formed in a flat plate-like flexible shape, vibration attenuation due to support restraints other than the nodes is suppressed.

次に、図４を参照して本発明の第２の実施の形態を説明する。前記第１の実施の形態では、振動発生装置１３、１５側において、２個ずつの支持部材１７、１９、２５、２７を配置したが、この第２の実施の形態の場合には、これを支持部材１７、２５のみとしたものである。
その他の構成は前記第１の実施の形態の場合と同じであり、同一部分には同一符号を付して示しその説明は省略する。
このような構成でも略同様の効果を奏することができる。
尚、この場合、内側の支持部材１９、２７のみの構成にすることも考えられる。 Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In the first embodiment, two support members 17, 19, 25, and 27 are arranged on the vibration generators 13 and 15 side. In the case of the second embodiment, the support members 17, 19, 25, and 27 are disposed. Only the support members 17 and 25 are used.
Other configurations are the same as those in the first embodiment, and the same portions are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.
With such a configuration, substantially the same effect can be achieved.
In this case, it is also conceivable that only the inner support members 19 and 27 are configured.

次に、図５乃至図８を参照して本発明の第３の実施の形態を説明する。まず、この第３の実施の形態の場合には、図７に示すように、可動部３１の下方に左側下部可動部５１と右側下部可動部５３を夫々設けた構成になっている。上記左側下部可動部５１には可動部反負荷側ガイド面としての傾斜面５１ａが設けられていると共に、上記右側下部可動部５３には可動部反負荷側ガイド面としての傾斜面５３ａが設けられている。これら傾斜面５１ａ、５３ａは、固定部側の傾斜面９ｂ、１１ｂに対向・配置されている。
尚、固定部１側の傾斜面９ａ、１１ａが固定部負荷側ガイド面であり、固定部１側の傾斜面９ｂ、１１ｂが固定部反負荷側ガイド面として機能する。又、可動部３１の傾斜面３１ａ、３１ｂが可動部負荷側ガイド面として機能するものである。 Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. First, in the case of the third embodiment, as shown in FIG. 7, a left lower movable portion 51 and a right lower movable portion 53 are provided below the movable portion 31. The left lower movable portion 51 is provided with an inclined surface 51a as a movable portion anti-load side guide surface, and the right lower movable portion 53 is provided with an inclined surface 53a as a movable portion anti-load side guide surface. ing. The inclined surfaces 51a and 53a are opposed to the inclined surfaces 9b and 11b on the fixed part side.
The inclined surfaces 9a and 11a on the fixed portion 1 side are fixed portion load side guide surfaces, and the inclined surfaces 9b and 11b on the fixed portion 1 side function as fixed portion anti-load side guide surfaces. Further, the inclined surfaces 31a and 31b of the movable portion 31 function as movable portion load side guide surfaces.

上記左側下部可動部５１と右側下部可動部５３は可動部３１に対して別体に設けられていて、可動部３１の左右において複数本の固定ネジ部材５５によって締結・固定されている。その際、上記左側下部可動部５１と右側下部可動部５３を可動部３１に対して図７中左右方向に適宜スライドさせることにより、左側下部可動部５１と右側下部可動部５３の傾斜面５１ａ、５３ａと固定部１側の傾斜面９ｂ、１１ｂとの隙間を適宜の大きさに調整し、その状態で上記固定ネジ部材５５によって締結・固定するものである。
その他の構成は前記第１、第２の実施の形態の場合と同様であり、同一部分には同一符号を付して示しその説明は省略する。
尚、コイルベース４１、コイル４３の配置等については、前記第１、第２の実施の形態の場合とは若干異なっている。 The left lower movable portion 51 and the right lower movable portion 53 are provided separately from the movable portion 31, and are fastened and fixed by a plurality of fixing screw members 55 on the left and right sides of the movable portion 31. At that time, the left lower movable portion 51 and the right lower movable portion 53 are appropriately slid in the left-right direction in FIG. The gap between 53a and the inclined surfaces 9b and 11b on the fixing portion 1 side is adjusted to an appropriate size, and in this state, the fixing screw member 55 is used for fastening and fixing.
Other configurations are the same as those of the first and second embodiments, and the same portions are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.
Note that the arrangement and the like of the coil base 41 and the coil 43 are slightly different from those in the first and second embodiments.

次に、この第３の実施の形態の背景について説明する。例えば、前記第１の実施の形態において、可動部３１の中心位置（図３に示す横断面において左右方向の中心位置）に負荷を作用させた場合の負荷容量は大きい。しかしながら、中心から左右何れかの方向に偏った位置に負荷を作用させた場合にはその負荷容量は著しく低下してしまう。すなわち、中心から左右何れかの方向に偏った位置に負荷を作用させると回転モーメントが発生し、固定部１の傾斜面９ａと可動部３１の傾斜面３１ａ、又は固定部１の傾斜面１１ａと可動部３１の傾斜面３１ｂが接触してしまうことになる。つまり、回転モーメントに対する剛性が低いという欠点がある。 Next, the background of the third embodiment will be described. For example, in the first embodiment, the load capacity is large when a load is applied to the center position of the movable portion 31 (the center position in the horizontal direction in the cross section shown in FIG. 3). However, when a load is applied to a position that is biased in either the left or right direction from the center, the load capacity is significantly reduced. That is, when a load is applied to a position that is biased in the left or right direction from the center, a rotational moment is generated, and the inclined surface 9a of the fixed portion 1 and the inclined surface 31a of the movable portion 31 or the inclined surface 11a of the fixed portion 1 The inclined surface 31b of the movable part 31 comes into contact. That is, there is a drawback that the rigidity against the rotational moment is low.

上記点を更に詳しく説明する。前記第１の実施の形態において、図３に示すように、可動部３１のガイド断面形状は「ハの字」断面形状であり、固定部１のガイド面である傾斜面９ａ、１１ａの図示左右方向の超音波振動により生ずる圧力により傾斜面９ａ、１１ａに対抗する可動部３１の傾斜面３１ａ、３１ｂは浮力を受け、図示下方向の負荷を支えるとともに、図示左右方向のガイドとして機能することになる。 The above point will be described in more detail. In the first embodiment, as shown in FIG. 3, the guide cross-sectional shape of the movable portion 31 is a “C” cross-sectional shape, and the inclined surfaces 9 a and 11 a that are the guide surfaces of the fixed portion 1 are illustrated on the left and right sides. The inclined surfaces 31a and 31b of the movable portion 31 that oppose the inclined surfaces 9a and 11a due to the pressure generated by the ultrasonic vibration in the direction receive buoyancy and support a load in the downward direction in the figure and function as a guide in the horizontal direction in the figure. Become.

その際、可動部３１の中心位置（図３において左右方向の中心位置）に負荷が作用するときは左右の両傾斜面３１ａ、３１ｂに均等な負荷が作用するので大きな負荷に対しても耐えることができる。しかしながら、可動部３１の中心から左右何れかの方向に偏った位置に負荷を作用させた場合には、左右の傾斜面３１ａ、３１ｂにはアンバランスな負荷が掛かり、その結果可動部３１に回転モーメントが生じることになる。そのため、均等な負荷を作用させたときに比べて極端に小さな負荷によって可動部３１と固定部１の面ガイド、すなわち、固定部１の傾斜面９ａと可動部３１の傾斜面３１ａ、又は固定部１の傾斜面１１ａと可動部３１の傾斜面３１ｂが接触してしまって、非接触ガイドとしての機能が損なわれてしまうことになる。 At that time, when a load acts on the center position of the movable portion 31 (the center position in the left-right direction in FIG. 3), an equal load acts on both the left and right inclined surfaces 31a, 31b, so that it can withstand a large load. Can do. However, when a load is applied to a position that is biased in the left or right direction from the center of the movable portion 31, an unbalanced load is applied to the left and right inclined surfaces 31a and 31b, and as a result, the movable portion 31 rotates. A moment will be generated. Therefore, the surface guides of the movable part 31 and the fixed part 1, that is, the inclined surface 9 a of the fixed part 1 and the inclined surface 31 a of the movable part 31, or the fixed part with an extremely small load compared to when an equal load is applied. The 1 inclined surface 11a and the inclined surface 31b of the movable part 31 contact, and the function as a non-contact guide will be impaired.

更に具体的に説明すると、図３において、可動部３１の中心より右側に偏った位置に負荷を作用させた場合には時計方向の回転モーメントが発生し、可動部３１の左側の傾斜面３１ａは容易に浮き上がってしまう。又、この傾斜面３１ａの浮き上がりのため、可動部３１の右側の傾斜面３１ｂは固定部１の対向する傾斜面１１ａに対して傾いてしまい均一な浮上隙間が損なわれてしまう。その結果、負荷容量が著しく低下してしまうことになるものである。
尚、これは図３において、可動部３１の中心より左側に偏った位置に負荷を作用させた場合も同様である。その場合には反時計方向の回転モーメントが発生し、可動部３１の右側の傾斜面３１ｂは容易に浮き上がってしまう。又、この傾斜面３１ｂの浮き上がりのため、可動部３１の左側の傾斜面３１ａは固定部１の対向する傾斜面９ａに対して傾いてしまい均一な浮上隙間が損なわれてしまう。その結果、負荷容量が著しく低下してしまうことになるものである。 More specifically, in FIG. 3, when a load is applied to a position deviated to the right side from the center of the movable part 31, a clockwise rotational moment is generated, and the inclined surface 31a on the left side of the movable part 31 is It floats up easily. Further, due to the rising of the inclined surface 31a, the inclined surface 31b on the right side of the movable portion 31 is inclined with respect to the opposing inclined surface 11a of the fixed portion 1, and the uniform floating gap is lost. As a result, the load capacity is significantly reduced.
The same applies to the case where a load is applied to a position deviated to the left from the center of the movable portion 31 in FIG. In that case, a counterclockwise rotational moment is generated, and the right inclined surface 31b of the movable portion 31 is easily lifted. Further, due to the rising of the inclined surface 31b, the left inclined surface 31a of the movable portion 31 is inclined with respect to the opposing inclined surface 9a of the fixed portion 1, and the uniform floating gap is lost. As a result, the load capacity is significantly reduced.

この第３の実施の形態はそのような点に基づいて構成されたものであり、上記したような回転モーメントに対する剛性を向上させることができるように工夫しているものである。すなわち、固定部１側の反負荷側ガイド面としての傾斜面９ｂ、１１ｂに対して、可動部反負荷側ガイド面としての傾斜面５１ａ、５３ａを備えた左側下部可動部５１と右側下部可動部５３を設置して、回転モーメントに対する剛性を向上させるようにしたものである。 The third embodiment is configured based on such points, and is devised so that the rigidity against the rotational moment as described above can be improved. That is, with respect to the inclined surfaces 9b and 11b as the anti-load side guide surfaces on the fixed portion 1 side, the left lower movable portion 51 and the right lower movable portion provided with the inclined surfaces 51a and 53a as the movable portion anti-load side guide surfaces. 53 is installed to improve the rigidity against the rotational moment.

以上の構成を基にその作用を説明する。
この第３の実施の形態の場合には、繰り返しになるが固定部１の負荷側の傾斜面９ａ、１１ａに対抗する可動部３１側の負荷側の傾斜面３１ａ、３１ｂだけでなく、固定部１の反負荷側の傾斜面に９ｂ、１１ｂに対しても、傾斜面５１ａ、５３ａを備えた左側下部可動部５１と右側下部可動部５３を設置したものである。このような構成とすることにより、例えば、図７において、可動部３１の中心より右側に偏った位置に負荷を作用させた場合、可動部３１の左側の傾斜面３１ａは回転モーメントを受けるものの、反対側の反負荷側の傾斜面５１ａと固定部１の反負荷側の傾斜面９ｂとの隙間が狭くなって高い圧力が生じるので、上記回転モーメントによる回転を規制する力が発生することになる。つまり、回転モーメントに対する剛性が大幅に向上するものである。
これは図７において可動部３１の中心より左側に偏った位置に負荷を作用させた場合も同様であり、可動部３１の右側の傾斜面３１ｂは回転モーメントを受けるものの、反対側の反負荷側の傾斜面５３ａと固定部１の反負荷側の傾斜面１１ｂとの隙間が狭くなって高い圧力が生じるので、上記回転モーメントによる回転を規制する力が発生する。つまり、回転モーメントに対する剛性が大幅に向上するものである。 The operation will be described based on the above configuration.
In the case of the third embodiment, although it is repeated, not only the load-side inclined surfaces 31a and 31b on the movable portion 31 side that oppose the load-side inclined surfaces 9a and 11a of the fixed portion 1, but also the fixed portion. The left lower movable part 51 and the right lower movable part 53 provided with the inclined surfaces 51a and 53a are also installed on the inclined surface on the opposite load side of 1b and 11b. By adopting such a configuration, for example, in FIG. 7, when a load is applied to a position biased to the right side from the center of the movable part 31, the left inclined surface 31 a of the movable part 31 receives a rotational moment, Since the gap between the inclined surface 51a on the opposite antiload side and the inclined surface 9b on the antiload side of the fixed portion 1 is narrowed and high pressure is generated, a force that restricts rotation due to the rotational moment is generated. . That is, the rigidity against the rotational moment is greatly improved.
The same applies to the case where a load is applied to a position biased to the left side from the center of the movable portion 31 in FIG. 7, and the inclined surface 31b on the right side of the movable portion 31 receives a rotational moment, but on the opposite anti-load side. Since the gap between the inclined surface 53a and the inclined surface 11b on the anti-load side of the fixed portion 1 is narrowed and high pressure is generated, a force that restricts the rotation due to the rotational moment is generated. That is, the rigidity against the rotational moment is greatly improved.

以上この第３の実施の形態によると、前記第１、第２の実施の形態の場合と同様の作用・効果を奏することができるのはもとより、回転モーメントに対する剛性を向上させることができるものである。これを図８を参照して確認する。 As described above, according to the third embodiment, it is possible to improve the rigidity against the rotational moment as well as to achieve the same operation and effect as in the first and second embodiments. is there. This is confirmed with reference to FIG.

図８は、この第３の実施の形態の場合と比較例（例えば、第１の実施の形態）とにおいて、横断面における許容負荷荷重を測定して図示したものであり、横軸に測定位置（これは図７に示す横断面に相当する方向の位置である）をとり、縦軸に許容負荷をとり、中心から左右夫々の方向に測定位置を移動させていったときの各測定位置における許容負荷荷重を示している。又、許容負荷荷重とは固定側と可動側の負荷側の傾斜面、すなわち、傾斜面９ａと傾斜面３１ａ、傾斜面１１ａと傾斜面３１ｂとが接触してしまう直前の荷重である。
そして、この図８から明らかなように、比較例の場合には荷重負荷位置が左右方向に偏っていくと許容負荷荷重が極端に減少してしまう。これは既に説明した回転モーメントの作用に起因するものである。これに対して、この第３の実施の形態の場合には、荷重負荷位置が左右方向に偏っていっても許容負荷荷重が極端に減少してしまうことはない。これは既に説明した回転モーメントの対する剛性が向上しているからである。 FIG. 8 shows the measurement of the allowable load in the cross section in the case of the third embodiment and the comparative example (for example, the first embodiment), and the measurement position is shown on the horizontal axis. (This is a position in the direction corresponding to the cross section shown in FIG. 7), the allowable load is taken on the vertical axis, and the measurement position is moved in the left and right directions from the center. The allowable load is shown. The allowable load load is a load immediately before the inclined surfaces of the fixed side and the movable side, that is, the inclined surfaces 9a and 31a and the inclined surfaces 11a and 31b come into contact with each other.
As is apparent from FIG. 8, in the case of the comparative example, the allowable load is extremely reduced if the load position is biased in the left-right direction. This is due to the action of the rotational moment already described. On the other hand, in the case of the third embodiment, even if the load load position is biased in the left-right direction, the allowable load load is not extremely reduced. This is because the rigidity against the rotational moment already described is improved.

又、この第３の実施の形態の場合には、左側下部可動部５１と右側下部可動部５３は可動部３１に対して別体に設けているので次のような効果を奏することができる。すなわち、偏心荷重による回転モーメントに対する剛性を向上させるために、左側下部可動部５１と右側下部可動部５３を設ける場合、これら左側下部可動部５１と右側下部可動部５３を可動部３１に対して一体に設ける構成も考えられる（因みに、そのような構成も本願発明の範囲である）。 In the case of the third embodiment, since the left lower movable part 51 and the right lower movable part 53 are provided separately from the movable part 31, the following effects can be obtained. That is, when the left lower movable part 51 and the right lower movable part 53 are provided in order to improve the rigidity against the rotational moment due to the eccentric load, the left lower movable part 51 and the right lower movable part 53 are integrated with the movable part 31. A configuration provided in the above is also conceivable (by the way, such a configuration is also within the scope of the present invention).

一方、前記第１の実施の形態における可動部３１のように、ガイド面が「ハ字」型形状である場合には、断面図左右方向の寸法精度が多少低くても固定部1の傾斜面９ａ、１１ａと可動部３１の傾斜面３１ａ、３１ｂの間を僅かな浮上隙間で略均一に設定することができる。しかしながら、一体で反負荷側に傾斜面５１ａ、５３ａを設けるようにした場合には、そのような隙間調整が極めて困難なものとなってしまう。通常
固定部１側の傾斜面９ａ、１１ａと可動部３１の傾斜３１ａ、３１ｂとの浮上隙間は２〜５μｍ程度と小さいために、例えば、１μｍ程度の精度が必要とされる。そのため、高い加工精度が要求され加工費用も高騰してしまうことになる。 On the other hand, when the guide surface has a “C” shape like the movable portion 31 in the first embodiment, the inclined surface of the fixed portion 1 even if the dimensional accuracy in the horizontal direction of the sectional view is somewhat low. 9a, 11a and the inclined surfaces 31a, 31b of the movable part 31 can be set substantially uniformly with a slight floating gap. However, when the inclined surfaces 51a and 53a are provided integrally on the non-load side, such a gap adjustment becomes extremely difficult. Usually, the floating gap between the inclined surfaces 9a, 11a on the fixed part 1 side and the inclinations 31a, 31b of the movable part 31 is as small as about 2 to 5 μm, so that an accuracy of about 1 μm is required, for example. For this reason, high machining accuracy is required, and the machining cost is also increased.

そこで、これを解決するため、左側下部可動部５１と右側下部可動部５３を可動部３１に対して別体にして固定ネジ部材５５によって締結・固定するようにしたものである。このように別体とすることによって、可動部３１と左側下部可動部５１と右側下部可動部５３の組立・調整は必要になるが、可動部３１、固定部１の寸法精度についてはより高いものを要求されることはない。 In order to solve this problem, the left lower movable portion 51 and the right lower movable portion 53 are separated from the movable portion 31 and fastened and fixed by the fixing screw member 55. By making such a separate body, assembly / adjustment of the movable part 31, the left lower movable part 51, and the right lower movable part 53 is necessary, but the dimensional accuracy of the movable part 31 and the fixed part 1 is higher. Is not required.

次に、図９を参照して本発明の第４の実施の形態を説明する。この第４の実施の形態の場合には、前記第３の実施の形態における上記左側下部可動部５１と右側下部可動部５３を隙間５７を設けた状態で配置し、連結部材５９、６１を介して複数個の固定ネジ部材６３によって連結・固定したものである。
その他の構成は前記第３の実施の形態の場合と同様であり、同一部分には同一符号を付して示しその説明は省略する。 Next, a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In the case of the fourth embodiment, the left lower movable portion 51 and the right lower movable portion 53 in the third embodiment are arranged with a gap 57 therebetween, and the connecting members 59 and 61 are interposed therebetween. Are connected and fixed by a plurality of fixing screw members 63.
Other configurations are the same as those of the third embodiment, and the same portions are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.

すなわち、前記第３の実施の形態の場合には、左側下部可動部５１と右側下部可動部５３を可動部３１に対して固定ネジ部材５５によって締結・固定するように構成することにより、回転モーメントに対する剛性を向上させることができる。しかしながら、可動部３１と上記左側下部可動部５１と右側下部可動部５３との接触部、傾斜面５１ａ、５３ａに関して高い加工精度が要求されるという欠点がある。 That is, in the case of the third embodiment, the rotational moment is configured by fastening and fixing the left lower movable portion 51 and the right lower movable portion 53 to the movable portion 31 by the fixing screw member 55. The rigidity with respect to can be improved. However, there is a drawback that high processing accuracy is required for the contact portion between the movable portion 31, the left lower movable portion 51 and the right lower movable portion 53, and the inclined surfaces 51a and 53a.

これに対して、この第４の実施の形態の場合には、上記左側下部可動部５１と右側下部可動部５３を隙間５７を設けた状態で配置し、連結部材５９、６１を介して連結・固定したものであり、それによって、第３の実施の形態の場合のように、可動部３１と上記左側下部可動部５１と右側下部可動部５３との接触部や、傾斜面５１ａ、５３ａに関して高い加工精度が要求されるようなことはなくなるものである。つまり、隙間５７の範囲内である程度の寸法誤差を吸収することができるからである。
そして、この第４の実施の形態の場合にも、前記第３の実施の形態の場合と略同等の効果を奏することができる。 On the other hand, in the case of the fourth embodiment, the left lower movable portion 51 and the right lower movable portion 53 are arranged with a gap 57 therebetween, and are connected via connecting members 59 and 61. Accordingly, as in the case of the third embodiment, the contact portion between the movable portion 31 and the left lower movable portion 51 and the right lower movable portion 53 and the inclined surfaces 51a and 53a are high. The processing accuracy is not required. That is, a certain amount of dimensional error can be absorbed within the gap 57.
Also in the case of the fourth embodiment, substantially the same effect as in the case of the third embodiment can be obtained.

次に、図１０を参照して本発明の第５の実施の形態を説明する。この第５の実施の形態の場合には、上記左側下部可動部５１と右側下部可動部５３が、夫々の傾斜面５１ａ、５３ａを固定部１側の傾斜面９ｂ、１１ｂとを密着させた状態で、夫々連結部材６５、６７を介して複数本の固定ネジ部材６９によって可動部３１に連結・固定されている。上記連結部材６５、６７は可撓性材料によって構成されている。この実施例の場合には、上記連結部材６５、６７を薄肉状のステンレス板によって構成している。
尚、その他の構成は前記第１の実施の形態の場合と同じであり、同一部分には同一符号を付して示しその説明は省略する。 Next, a fifth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In the case of the fifth embodiment, the left lower movable portion 51 and the right lower movable portion 53 are in a state where the inclined surfaces 51a and 53a are in close contact with the inclined surfaces 9b and 11b on the fixed portion 1 side. Thus, they are connected and fixed to the movable portion 31 by a plurality of fixing screw members 69 via connecting members 65 and 67, respectively. The connecting members 65 and 67 are made of a flexible material. In the case of this embodiment, the connecting members 65 and 67 are constituted by thin stainless steel plates.
The other configurations are the same as those in the first embodiment, and the same portions are denoted by the same reference numerals and the description thereof is omitted.

すなわち、前記第４の実施の形態の場合には、上記左側下部可動部５１と右側下部可動部５３を隙間５７を設けた状態で配置し、連結部材５９、６１を介して連結・固定したものであり、それによって、第３の実施の形態の場合のように、可動部３１と上記左側下部可動部５１と右側下部可動部５３との接触部や傾斜面５１ａ、５３ａに関して高い加工精度が要求されるようなことはなくなる。しかしながら、固定部１の傾斜面９ｂ、１１ｂと左側下部可動部５１と右側下部可動部５３の傾斜面５１ａ、５３ａとの間に数μｍの適当な隙間を設けた状態で、上記左側下部可動部５１と右側下部可動部５３を連結部材５９、６１を介して連結・固定しなければならないという煩雑さについてはこれを解消することはできない。 That is, in the case of the fourth embodiment, the left lower movable portion 51 and the right lower movable portion 53 are arranged with a gap 57 provided, and are connected and fixed via connecting members 59 and 61. Accordingly, as in the case of the third embodiment, high machining accuracy is required for the contact portion between the movable portion 31, the left lower movable portion 51 and the right lower movable portion 53, and the inclined surfaces 51a, 53a. There will be no such thing. However, the left lower movable portion is provided with a suitable gap of several μm between the inclined surfaces 9b and 11b of the fixed portion 1 and the left lower movable portion 51 and the inclined surfaces 51a and 53a of the right lower movable portion 53. It is not possible to eliminate the trouble of having to connect / fix 51 and the lower right movable portion 53 via connecting members 59 and 61.

その点、この第５の実施の形態の場合には、連結部材６５、６７として可撓性材料、具体的には薄肉状のステンレス板を採用しているので、固定部１の傾斜面９ｂ、１１ｂと左側下部可動部５１と右側下部可動部５３の傾斜面５１ａ、５３ａを密着させた状態で締結しても、傾斜面相互間の圧力上昇によって連結部材６５、６７が撓むことにより適度な浮上隙間が確保される。したがって上記したような煩雑な隙間調整を強いられることもないものである。 In that respect, in the case of the fifth embodiment, a flexible material, specifically a thin-walled stainless steel plate, is used as the connecting members 65 and 67. 11b, the left lower movable part 51, and the right lower movable part 53 are tightened with the inclined surfaces 51a and 53a in close contact with each other. A clearance gap is secured. Therefore, the complicated gap adjustment as described above is not forced.

尚、本発明は前記第１乃至第５の実施の形態に限定されるものではない。
前記第1 乃至第５の実施の形態では固定部１側に振動発生装置１３、１５を取り付けた例を示したが、可動部３１側に取り付けるような構成も考えられる。
又、支持部材の長さを調整して支持部材についても共振させるように構成することが考えられる。
その他、図示した構成はあくまで一例であり、例えば、固定側ガイド部の長辺の断面形状等についても様々なものが考えられる。 The present invention is not limited to the first to fifth embodiments.
In the first to fifth embodiments, the example in which the vibration generators 13 and 15 are attached to the fixed portion 1 side is shown, but a configuration in which the vibration generators 13 and 15 are attached to the movable portion 31 side is also conceivable.
Further, it can be considered that the length of the support member is adjusted so that the support member also resonates.
In addition, the illustrated configuration is merely an example, and for example, various cross-sectional shapes and the like of the long side of the fixed side guide portion are conceivable.

本発明は超音波浮上装置に係り、特に、ガイド機構と駆動装置の構成を改良することにより、装置のコンパクト化と浮上の安定性を図ることができるように工夫したものに関し、又、併せて回転モーメントに対する剛性の向上を図ることができるように工夫したものに関し、例えば、各種アクチュエータに使用される浮上装置に好適である。 The present invention relates to an ultrasonic levitation device, and in particular, to a device devised to improve the structure of a guide mechanism and a driving device so that the device can be made compact and levitation stability can be achieved. For example, it is suitable for a levitation device used for various actuators.

本発明の第１の実施の形態を示す図で、超音波浮上装置の構成を示す平面図である。It is a figure which shows the 1st Embodiment of this invention and is a top view which shows the structure of an ultrasonic levitation apparatus. 本発明の第１の実施の形態を示す図で、図１のＩＩ−ＩＩ矢視図である。It is a figure which shows the 1st Embodiment of this invention, and is II-II arrow line view of FIG. 本発明の第１の実施の形態を示す図で、図１のＩＩＩ−ＩＩＩ断面図である。It is a figure which shows the 1st Embodiment of this invention, and is III-III sectional drawing of FIG. 本発明の第２の実施の形態を示す図で、超音波浮上装置の構成を示す側面図である。It is a figure which shows the 2nd Embodiment of this invention, and is a side view which shows the structure of an ultrasonic levitation apparatus. 本発明の第３の実施の形態を示す図で、超音波浮上装置の構成を示す平面図である。It is a figure which shows the 3rd Embodiment of this invention, and is a top view which shows the structure of an ultrasonic levitation apparatus. 本発明の第３の実施の形態を示す図で、図５のＶＩ−ＶＩ矢視図である。It is a figure which shows the 3rd Embodiment of this invention, and is VI-VI arrow line view of FIG. 本発明の第３の実施の形態を示す図で、図５のＶＩＩ−ＶＩＩ断面図である。It is a figure which shows the 3rd Embodiment of this invention, and is VII-VII sectional drawing of FIG. 本発明の第３の実施の形態を示す図で、横断面方向の荷重特性を示す特性図である。It is a figure which shows the 3rd Embodiment of this invention, and is a characteristic view which shows the load characteristic of a cross-sectional direction. 本発明の第４の実施の形態を示す図で、可動部側のガイド部材を上下別体とすると共に相互間に隙間を設けて連結部材によって連結した構成を示す横断面図である。It is a figure which shows the 4th Embodiment of this invention, and is a cross-sectional view which shows the structure which made the guide member by the side of a movable part separate, and provided the clearance gap between them and connected with the connection member. 本発明の第５の実施の形態を示す図で、可動部側のガイド部材を上下別体とすると共に可撓性の連結部材によって連結した構成を示す横断面図である。It is a figure which shows the 5th Embodiment of this invention, and is a cross-sectional view which shows the structure which made the guide member by the side of a movable part separate from upper and lower bodies, and was connected by the flexible connection member. 従来例を示す図で、図１１（ａ）は超音波浮上装置の構成を示す平面図、図１１（ｂ）は図１１（ａ）のｂ−ｂ矢視図、図１１（ｃ）は図１１（ａ）のｃ−ｃ断面図である。FIG. 11A is a plan view showing the configuration of the ultrasonic levitation device, FIG. 11B is a view taken along the line bb in FIG. 11A, and FIG. It is cc sectional drawing of 11 (a).

Explanation of symbols

１固定部
３固定部ガイド
５固定部ガイドの短辺
７固定部ガイドの短辺
９固定部ガイドの長辺
９ａ傾斜面（固定部負荷側ガイド面）
９ｂ傾斜面（固定部反負荷側ガイド面）
１１ａ傾斜面（固定部負荷側ガイド面）
１１ｂ傾斜面（固定部反負荷側ガイド面）
１１固定部ガイドの長辺
１３振動発生装置
１５振動発生装置
１７支持部材
１９支持部材
２１ランジュバン型振動子
２３ベース
２５支持部材
２７支持部材
２９ランジュバン型振動子
３１可動部
３１ａ傾斜面（可動部負荷側ガイド面）
３１ｂ傾斜面（可動部負荷側ガイド面）
５１左側下部可動部
５３右側下部可動部
５１ａ傾斜面（可動部反負荷側ガイド面）
５３ａ傾斜面（可動部反負荷側ガイド面）

DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Fixed part 3 Fixed part guide 5 Short side of fixed part guide 7 Short side of fixed part guide 9 Long side of fixed part guide 9a Inclined surface (fixed part load side guide surface)
9b Inclined surface (fixed part opposite load side guide surface)
11a Inclined surface (fixed portion load side guide surface)
11b Inclined surface (fixed part anti-load side guide surface)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Long side of fixed part guide 13 Vibration generator 15 Vibration generator 17 Support member 19 Support member 21 Langevin type vibrator 23 Base 25 Support member 27 Support member 29 Langevin type vibrator 31 Movable part 31a Inclined surface (movable part load side) Guide surface)
31b Inclined surface (moving part load side guide surface)
51 Lower left movable part 53 Right lower movable part 51a Inclined surface (movable part anti-load side guide surface)
53a Inclined surface (movable part anti-load side guide surface)

Claims

A fixed part;
A movable part installed movably with respect to the fixed part;
A vibration generating device that is provided in the fixed part or the movable part and generates ultrasonic vibrations,
In the ultrasonic levitation apparatus configured such that the movable part is levitated via the air bearing surface by ultrasonic vibration of the vibration generator,
The ultrasonic levitation device, wherein a cross-sectional shape of the fixed portion or the movable portion provided with the vibration generating device is symmetric or substantially symmetric with respect to a direction orthogonal to a main vibration direction.

A fixed part;
A movable part installed movably with respect to the fixed part;
A vibration generating device that is provided in the fixed part or the movable part and generates ultrasonic vibrations,
In the ultrasonic levitation apparatus configured such that the movable part is levitated via the air bearing surface by ultrasonic vibration of the vibration generator,
The fixed portion includes a fixed portion load side guide surface and a fixed portion anti-load side guide surface,
The movable portion has a configuration including a movable portion load side guide surface and a movable portion antiload side guide surface facing the fixed portion load side guide surface and the fixed portion antiload side guide surface, respectively. Ultrasonic levitation device.

The ultrasonic levitation apparatus according to claim 2,
The ultrasonic levitation apparatus, wherein the movable portion load side guide surface side and the movable portion anti-load side guide surface side of the movable portion are provided separately.

In the ultrasonic levitation device according to claim 3,
An ultrasonic levitation apparatus, wherein a gap is provided between a movable portion load side guide surface and a movable portion opposite load side guide surface of the movable portion.

In the ultrasonic levitation device according to claim 4,
The ultrasonic levitation apparatus, wherein the movable part load side guide surface side and the movable part anti-load side guide surface side of the movable part are connected via a connecting member.

In the ultrasonic levitation device according to claim 5,
The ultrasonic levitation apparatus, wherein the connecting member is made of a flexible material.

A fixed part;
A movable part installed movably with respect to the fixed part;
A vibration generating device that is provided in the fixed part or the movable part and generates ultrasonic vibrations,
In the ultrasonic levitation apparatus configured such that the movable part is levitated via the air bearing surface by ultrasonic vibration of the vibration generator,
An ultrasonic levitation apparatus, wherein a part of the fixed part or the movable part is arranged as a vibration converting member at a substantially central part of the vibration generating apparatus.

A fixed part;
A movable part installed movably with respect to the fixed part;
A vibration generating device that is provided in the fixed part or the movable part and generates ultrasonic vibrations,
In the ultrasonic levitation apparatus configured such that the movable part is levitated via the air bearing surface by ultrasonic vibration of the vibration generator,
The vibration generator includes a vibration source and a support member that supports the vibration source,
An ultrasonic levitation apparatus, wherein the support member is arranged in a portion other than a node portion of the fixed portion or the movable portion that vibrates.

In the ultrasonic levitation device according to claim 8,
An ultrasonic levitation apparatus, wherein the support member is disposed so as to be bonded or brought into contact with the fixed portion or the movable portion that vibrates.

In the ultrasonic levitation device according to claim 8,
The ultrasonic levitation apparatus, wherein the support member has a flexible shape.