JP2006243210A - マスク照合方法及びマスク照合システム - Google Patents

Abstract

【課題】マスクのセット間違えを防止することができるマスク照合方法及びマスク照合システムを提供すること。
【解決手段】製造使用マスクを指示するマスク情報管理データベース１と、識別コードを付与したマスクと、識別コードを読み取ることを特徴とする読み取り装置５と、読み取られた識別コード情報と、指示されたマスクを照合することを特徴とする照合処理装置２から構成されており、マスクの照合を自動的に行うことができるため、マスクのセットミスによる不良品の製造を防止することができる。
【選択図】 図１

Description

本発明は、カラーフィルタの露光工程において、露光機に使用指示されたマスクをセットする場合に、マスクのセット間違えによるカラーフィルタの製造開始を防止できるようにするマスクの照合方法およびマスク照合システムに関する。

従来、例えばカラーフィルタ製造工程においては、所望のパターンを基板に転写させる為にマスクが使用されている。

露光工程においては、まず、使用指示を受けた所定の遮光パターンを有する露光用マスクを露光機にセットし基板に対しパターン露光を行う。

セットしたマスクが、使用指示されたマスクと同一であるかの確認は、作業員が目視確認により照合することでおこなっており、それにより露光工程での誤作業を防止している。

しかしながら、セットするマスクの確認は作業員による目視作業な為、確認ミスが発生することがあり、また確認を忘れてしまうこともあり、その結果、指示されたマスクと違うマスクをセットしたまま製造を開始してしまう問題点があった。

使用指示されたマスクと異なるマスクで製造をすることは、当然のことながら不良製品を製造することとなり、時間、資材とも多大な無駄を発生させることとなる。結果として製造コストの上昇に繋がってしまっていた。

一方、近年では多品種少量生産や短納期化が進み、客先からの受注情報を迅速に生産に反映するニーズが高まっている。そのため、生産日程作成も生産工場内で行うのでなく、より営業部門に近い部署で行う必要が出てきている。

そのため、生産日程計画に関わる情報を生産工場から離れた場所で入力し、その情報に基づき生産工場が適宜生産に関わる資材を選択し、生産を実行する仕組みのへの対応が望まれている。同時に、工場側の稼動状況や、生産品目の情報をより直接的に生産工場から離れた部門でも知りたいというニーズも高まっていた。

特許文献１には、フォトマスクにバーコードを設け、そのバーコードを読み取ることでフォトマスクを間違える誤作業を防ぐようにしたフォトマスクの提案がされている。しかし、その作業は単に工程内での誤作業の防止に留まり、それらの情報を関連の他部門と共有化することは示されていない。

特開平５−３１３３５０号公報

本発明は上記のような課題を解決するためになされたもので、製造指示情報に基づくマスク情報を通信ネットワークを介して通信し、そのマスク情報と、マスクを装置にセットする際にマスクに付与されている例えば二次元コードなどの識別コードを読み取って、両者を自動的に照合をかけることで作業者の作業工数の削減を図るとともに、作業者の誤作業をなくしてマスクのセット間違いを防止し、同時に実際に使われるマスク情報を通信ネットワークで直接的に把握できるマスク照合方法及び照合システムを提供することを目的とする。

また本発明は、照合が得られなかった場合に作業者に通知することで、製造の開始を禁止させ、より確実に間違ったマスクによる生産を防止できるものとなる。

上記の目的を達成するために、本発明では、以下のような手段を講じる。

すなわち、請求項１の発明は、カラーフィルタ製造の露光工程におけるマスク照合方法において、所定のカラーフィルタの製造指示に基づき、情報記憶媒体から使用するマスク情報を出力する使用マスク情報出力段階と、その出力情報を通信ネットワークを介して通信し処理装置に記憶する使用マスク情報記憶段階と、識別コード読み取り装置によってセットしたマスクの識別コードを取得するマスク識別コード情報取得段階と、前記マスク識別コード情報を前記処理装置に出力するマスク識別コード情報出力段階と、前記処理装置において前記使用マスク情報と前記マスク識別コード情報を照合するマスク照合段階を含むことを特徴とするマスク照合方法である。

また請求項２の発明は、前記マスク照合段階で、前記マスク識別コード情報が前記使用マスク情報に対して異常であると判定された場合には、作業者に対して照合異常通知を行うことを特徴とする請求項１に記載のマスク照合方法である。

また請求項３の発明は、前記マスク照合段階での照合結果を前記通信ネットワークを介して通信し、前記情報記憶媒体に出力することを特徴とする請求項１または２に記載のマスク照合方法である。

また請求項４の発明は、請求項１から３のいずれかに記載のマスク照合方法によりマスクの照合を行うマスク照合システムである。

本発明のマスク照合方法およびマスク照合システムによれば、生産に使用されるマスク情報が生産部門に通信を介して提供され、そのマスクが正しく使われているかの情報を生産部門から遠隔の他部門でも確認が出来る。また、マスクに管理情報を記憶する識別コードを備え、しかもその管理情報を自動的に読み出し、使用すべきマスクとの照合が行える。このため、マスクのセットミスによる不良品の製造を阻止することが可能となる。

一方、作業者は照合結果が異常であった場合、異常の通知を受けることができる。これによって、作業者は、マスクセットの確認ミスによる不良製造の進行を防止することが可能となる。

以下に、本発明を実施するための最良の形態について図面を参照しながら説明する。

図１は、本発明に係わるマスク照合方法を適用したマスク照合システムが適用されるネットワーク構成を示す概念図である。

すなわち、本発明に係わるマスク照合方法を適用したマスク照合システムは、たとえばインターネット等の通信ネットワーク１０を介してマスク情報管理記憶媒体１およびマスク照合処理装置２に接続をし、識別コード読み取り装置５を備えている。またマスク３は例えば二次元コード等のような識別コード４を基板に備えている。

露光工程において作業指示が出され、露光機にマスクをセットした後、製造が始まるまでの場合の例を図３に示すフローチャートで説明する。

情報記憶媒体から使用するマスク情報を
所定のカラーフィルタの製造指示に基づき露光工程で使用されるマスクが決まると、使用マスク指示（Ｓ１）に基づきマスク情報データベース１から使用マスク情報が選択、出力され、マスク照合処理装置２に送信される（Ｓ２）。

次に、作業者が露光機にマスクをセットする（Ｓ３）と、マスクに付与されている前記識別コード４を、読み取り装置５を用いて読み取り（Ｓ４）、識別コードの情報を検出する。そして、その検出情報をマスク照合処理装置２に送信する（Ｓ５）。

次に、マスク照合処理装置２では、この検出情報と、マスク照合処理装置から受信した使用マスク情報とが照合される。そして、照合の結果、照合が異常でない場合（Ｓ６：ＮＯ）には、製造が許可され（Ｓ７）、異常と判定された場合（Ｓ６：ＹＥＳ）には、製造が許可されず、作業者に異常報告がなされ（Ｓ８）、ステップ３の処理に戻る。

判定結果情報は必要に応じて、通信ネットワーク１０を介してマスク情報管理記憶媒体１に転送することが可能である。これらマスク情報管理記憶媒体１に保持されている情報は、適宜、コンピュータ端末６等で参照できる。そのため、実際の工程で使用されたマスクの情報、それを通じて製造の進捗具合を遠隔の場所からも確認することが出来る。

本発明のマスク照合方法が適用されるネットワークシステム構成例を示す概念図。 識別コード４が備えられたマスク３を示す斜視図。 製造指示が出てから製造が始まるまでの流れを示すフローチャート。

符号の説明

１・・・マスク情報管理データベース
２・・・照合処理装置
３・・・マスク
４・・・識別コード
５・・・識別コード読み取り装置
６・・・コンピュータ端末
１０、１１・・・通信ネットワーク

Claims (4)

1. カラーフィルタ製造の露光工程におけるマスク照合方法において、所定のカラーフィルタの製造指示に基づき、情報記憶媒体から使用するマスク情報を出力する使用マスク情報出力段階と、その出力情報を通信ネットワークを介して通信し処理装置に記憶する使用マスク情報記憶段階と、識別コード読み取り装置によってセットしたマスクの識別コードを取得するマスク識別コード情報取得段階と、前記マスク識別コード情報を前記処理装置に出力するマスク識別コード情報出力段階と、前記処理装置において前記使用マスク情報と前記マスク識別コード情報を照合するマスク照合段階を含むことを特徴とするマスク照合方法。
2. 前記マスク照合段階で、前記マスク識別コード情報が前記使用マスク情報に対して異常であると判定された場合には、作業者に対して照合異常通知を行うことを特徴とする請求項１に記載のマスク照合方法。
3. 前記マスク照合段階での照合結果を前記通信ネットワークを介して通信し、前記情報記憶媒体に出力することを特徴とする請求項１または２に記載のマスク照合方法。
4. 請求項１から３のいずれかに記載のマスク照合方法によりマスクの照合を行うマスク照合システム。

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