JP2006235153A - Photosensitive resin composition for forming light shielding layer, and light shielding layer and color filter - Google Patents

Photosensitive resin composition for forming light shielding layer, and light shielding layer and color filter Download PDF

Info

Publication number
JP2006235153A
JP2006235153A JP2005048507A JP2005048507A JP2006235153A JP 2006235153 A JP2006235153 A JP 2006235153A JP 2005048507 A JP2005048507 A JP 2005048507A JP 2005048507 A JP2005048507 A JP 2005048507A JP 2006235153 A JP2006235153 A JP 2006235153A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
shielding layer
light shielding
photosensitive resin
resin composition
forming
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2005048507A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP4794870B2 (en
Inventor
Hiroyuki Onishi
啓之 大西
Kenji Maruyama
健治 丸山
Kiyoshi Uchigawa
喜代司 内河
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd
Original Assignee
Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd filed Critical Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd
Priority to JP2005048507A priority Critical patent/JP4794870B2/en
Priority to KR1020077019562A priority patent/KR100919148B1/en
Priority to CN2006800056119A priority patent/CN101128774B/en
Priority to PCT/JP2006/302234 priority patent/WO2006090590A1/en
Priority to TW95105103A priority patent/TWI308669B/en
Publication of JP2006235153A publication Critical patent/JP2006235153A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4794870B2 publication Critical patent/JP4794870B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/20Filters
    • G02B5/22Absorbing filters
    • G02B5/223Absorbing filters containing organic substances, e.g. dyes, inks or pigments
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/0005Production of optical devices or components in so far as characterised by the lithographic processes or materials used therefor
    • G03F7/0007Filters, e.g. additive colour filters; Components for display devices
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/09Photosensitive materials characterised by structural details, e.g. supports, auxiliary layers
    • G03F7/105Photosensitive materials characterised by structural details, e.g. supports, auxiliary layers having substances, e.g. indicators, for forming visible images

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive resin composition for forming a light shielding layer for favorably forming a light shielding layer of a thick film. <P>SOLUTION: The photosensitive resin composition for forming a light shielding layer contains (A) a light shielding dye, (B) an alkali-soluble resin, (C) a photopolymerizable compound, and (D) a photopolymerization initiator, and used to form a light shielding layer with over 2 μm film thickness, wherein the (A) light shielding dye contains a perylene-based black pigment. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、遮光層形成用感光性樹脂組成物、ならびにこれを用いて形成される遮光層およびカラーフィルタに関する。   The present invention relates to a photosensitive resin composition for forming a light shielding layer, and a light shielding layer and a color filter formed using the same.

例えば、カラー表示装置に用いられるカラーフィルタにあっては、一般に赤(R)、緑(G)、青(B)の各色からなる画素が、ブラックマトリクスと呼ばれる格子状の黒色遮光層で囲まれている構成を有する。
かかるカラーフィルタの製造方法の一つとして、ブラックマトリクスを隔壁として、カラーフィルタの着色層をインクジェット方式で形成する方法が提案されている(例えば、下記特許文献1)
またカラーフィルタに限らず各種表示装置において、各画素間の境界上にブラックマトリクスを設けることによって画像のコントラスト向上を図ることもある。
For example, in a color filter used in a color display device, pixels of each color of red (R), green (G), and blue (B) are generally surrounded by a grid-like black light shielding layer called a black matrix. It has the composition which is.
As one method for manufacturing such a color filter, a method of forming a colored layer of a color filter by an ink jet method using a black matrix as a partition is proposed (for example, Patent Document 1 below).
In addition to color filters, various display devices may improve image contrast by providing a black matrix on the boundary between pixels.

ブラックマトリクスは、例えば、黒色顔料を含有するホトレジスト組成物を用い、ホトリソグラフ法によって形成される。黒色顔料としてはカーボンブラックが一般的に用いられている(例えば、特許文献1)。
またペリレン系色素については、下記特許文献2,3に、カーボンブラック等の黒色顔料とペリレン系色素とを併用した遮光層形成用レジストの例が記載されている。
特開2004−325736号公報 特開平4−190362号公報 特開平6−289602号公報
The black matrix is formed by, for example, a photolithographic method using a photoresist composition containing a black pigment. Carbon black is generally used as the black pigment (for example, Patent Document 1).
As for the perylene dye, Patent Documents 2 and 3 below describe examples of a resist for forming a light shielding layer using a black pigment such as carbon black and a perylene dye in combination.
JP 2004-325736 A Japanese Patent Laid-Open No. 4-190362 JP-A-6-289602

近年、ブラックマトリクスには、より高い光学密度(optical density、以下OD値という。)が求められるようになっている。一般に、ブラックマトリクスは2μm以下の膜厚で形成されるが、ブラックマトリクスの膜厚を従来より厚く形成できれば、よりOD値の高いブラックマトリクスを形成することができる。
しかしながら、一般の黒色顔料を含有するホトレジスト組成物で厚膜のブラックマトリクスを形成しようとしても、露光工程における露光光の透過が不十分になり、不均一になる露光不良が生じ易い。つまり、感度が低いため硬化不良が生じ、厚膜のブラックマトリクスを良好に形成するのが難しいという問題がある。
In recent years, higher optical density (hereinafter referred to as OD value) has been required for black matrices. In general, the black matrix is formed with a film thickness of 2 μm or less. However, if the black matrix can be formed thicker than before, a black matrix having a higher OD value can be formed.
However, even if an attempt is made to form a thick black matrix with a photoresist composition containing a general black pigment, transmission of exposure light in the exposure process becomes insufficient, and non-uniform exposure failure tends to occur. In other words, since the sensitivity is low, curing failure occurs, and it is difficult to form a thick black matrix well.

本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、厚膜の遮光層を良好に形成できる遮光層形成用感光性樹脂組成物、ならびに該遮光層形成用感光性樹脂組成物を用いて形成される遮光層およびカラーフィルタを提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and is formed using a photosensitive resin composition for forming a light-shielding layer that can satisfactorily form a thick light-shielding layer, and the photosensitive resin composition for forming a light-shielding layer. An object is to provide a light shielding layer and a color filter.

上記の目的を達成するために、本発明の遮光層形成用感光性樹脂組成物は、(A)遮光性色素、(B)アルカリ可溶性樹脂、(C)光重合性化合物、および(D)光重合開始剤を含有し、膜厚が2μm超の遮光層を形成するための感光性樹脂組成物であって、前記(A)遮光性色素が、ペリレン系黒色顔料を含むことを特徴とする。   In order to achieve the above object, the light-sensitive layer forming photosensitive resin composition of the present invention comprises (A) a light-shielding dye, (B) an alkali-soluble resin, (C) a photopolymerizable compound, and (D) light. A photosensitive resin composition for forming a light-shielding layer containing a polymerization initiator and having a film thickness of more than 2 μm, wherein the (A) light-shielding dye contains a perylene-based black pigment.

本発明は、本発明の遮光層形成用感光性樹脂組成物を用いて形成される遮光層を提供する。
本発明は、本発明の遮光層形成用感光性樹脂組成物を用いて形成されるブラックマトリクスが設けられているカラーフィルタを提供する。
This invention provides the light shielding layer formed using the photosensitive resin composition for light shielding layer formation of this invention.
This invention provides the color filter provided with the black matrix formed using the photosensitive resin composition for light shielding layer formation of this invention.

本発明の遮光層形成用感光性樹脂組成物によれば、厚膜の遮光層を良好に形成することができる。これにより、よりOD値の高いブラックマトリクスを形成することができる。さらに、赤(R)、緑(G)、青(B)の着色層を厚くして色を濃くしても、コントラストを十分とることができる。
本発明の遮光層形成用感光性樹脂組成物を用いて形成されるブラックマトリクスが設けられているカラーフィルタは、上記のようにコントラストを十分とることができるので、より鮮明なカラー表示が可能となる。
According to the photosensitive resin composition for forming a light shielding layer of the present invention, a thick light shielding layer can be formed satisfactorily. Thereby, a black matrix having a higher OD value can be formed. Furthermore, even if the red (R), green (G), and blue (B) colored layers are thickened to darken the color, sufficient contrast can be obtained.
Since the color filter provided with the black matrix formed using the photosensitive resin composition for forming a light shielding layer of the present invention can have sufficient contrast as described above, a clearer color display is possible. Become.

<(A)遮光性色素>
本発明では遮光性色素としてペリレン系黒色顔料(以下単にペリレン系顔料と称する)が用いられる。具体例としては、下記一般式(I)で表されるペリレン系顔料および下記一般式(II)で表されるペリレン系顔料が挙げられる。また市販品では製品名;K0084、K0086、BASF社製等を好ましく用いることができる。
<(A) Light-shielding dye>
In the present invention, a perylene black pigment (hereinafter simply referred to as a perylene pigment) is used as the light-shielding dye. Specific examples include perylene pigments represented by the following general formula (I) and perylene pigments represented by the following general formula (II). For commercial products, product names such as K0084, K0086, and BASF can be preferably used.

Figure 2006235153
Figure 2006235153

(式中、R,Rは、それぞれ独立して炭素数1〜3のアルキレン基を表し、R,Rはそれぞれ独立して水素原子、水酸基、メトキシ基又はアセチル基を表す。) (In the formula, R 1 and R 2 each independently represent an alkylene group having 1 to 3 carbon atoms, and R 3 and R 4 each independently represent a hydrogen atom, a hydroxyl group, a methoxy group, or an acetyl group.)

Figure 2006235153
Figure 2006235153

(式中、R,Rは、それぞれ独立して炭素数1〜7のアルキレン基を表す。) (In formula, R < 5 >, R < 6 > represents a C1-C7 alkylene group each independently.)

前記一般式(I)で表される化合物および一般式(II)で表される化合物は、例えば特開昭62−1753号公報、特公昭63−26784号公報に記載の方法を用いて合成することができる。すなわち、ペリレン−3,5,9,10−テトラカルボン酸又はその二無水物とアミン類とを原料とし、水又は有機溶媒中で加熱反応を行う。そして、得られた粗製物を硫酸中で再沈殿させるか、又は、水、有機溶媒あるいはこれらの混合溶媒中で再結晶させることによって目的物を得ることができる。   The compound represented by the general formula (I) and the compound represented by the general formula (II) are synthesized using, for example, the methods described in JP-A Nos. 62-1753 and 63-26784. be able to. That is, perylene-3,5,9,10-tetracarboxylic acid or a dianhydride thereof and amines are used as raw materials, and a heating reaction is performed in water or an organic solvent. The obtained crude product is reprecipitated in sulfuric acid or recrystallized in water, an organic solvent or a mixed solvent thereof to obtain the target product.

本発明において、ペリレン系顔料は1種単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
また、遮光層形成用感光性樹脂組成物中においてペリレン系顔料を分散状態にするためには、ペリレン系顔料の平均粒径が10〜1000nmであることが好ましい。
本発明の遮光層形成用感光性樹脂組成物におけるペリレン系顔料の含有量は、(B)アルカリ可溶性樹脂100質量部に対して、5〜250質量部が好ましい。より好ましい範囲は10〜200質量部である。ペリレン系顔料の含有量を上記範囲の下限値以上とすることにより、良好な遮光性が得られる。また上記範囲の上限値以下とすることが露光不良や硬化不良を防止するうえで好ましい。
In the present invention, perylene pigments may be used alone or in combination of two or more.
Moreover, in order to make a perylene pigment into a dispersed state in the photosensitive resin composition for light shielding layer formation, it is preferable that the average particle diameter of a perylene pigment is 10-1000 nm.
As for content of the perylene pigment in the photosensitive resin composition for light shielding layer formation of this invention, 5-250 mass parts is preferable with respect to 100 mass parts of (B) alkali-soluble resin. A more preferable range is 10 to 200 parts by mass. When the content of the perylene pigment is not less than the lower limit of the above range, good light shielding properties can be obtained. Moreover, it is preferable when it is below the upper limit of the said range, when exposure failure and hardening failure are prevented.

また(A)遮光性色素以外の他の黒、赤、青、緑、黄、紫の色素を併用して、色調等を調整してもよい。該他の色素は公知のものを適宜用いることができ、好ましくはカーボンブラック等の黒色顔料である。他の色素の使用量は、色素全体、すなわちペリレン系顔料と他の色素の合計のうちペリレン系顔料が占める割合が85質量%以上となるように設定することが好ましい。より好ましくは90質量%以上であり、100質量%でもよい。
上記の下限値以上とすることにより、上記遮光層形成用感光性樹脂組成物を用いて2μm超の厚膜を形成する際の感度を得ることができるとともに、遮光膜の良好な遮光率を達成することができる。
特に、他の顔料として、カーボンブラックを用いた場合、このカーボンブラックが全顔料中の15質量%未満であると、上記遮光層形成用感光性樹脂組成物の感度を低下させることなく、遮光率を向上させることができる。
Moreover, (A) Color tone etc. may be adjusted by using together black, red, blue, green, yellow, and purple pigments other than the light-shielding pigment. As the other dye, known ones can be used as appropriate, and a black pigment such as carbon black is preferable. The amount of the other dye used is preferably set so that the ratio of the whole dye, that is, the perylene pigment to the total of the perylene pigment and the other dye is 85% by mass or more. More preferably, it is 90 mass% or more, and may be 100 mass%.
By setting it to the above lower limit value or more, it is possible to obtain sensitivity when forming a thick film exceeding 2 μm using the photosensitive resin composition for forming a light shielding layer, and achieve a good light shielding rate of the light shielding film. can do.
In particular, when carbon black is used as the other pigment, if the carbon black is less than 15% by mass in the total pigment, the light shielding ratio is reduced without reducing the sensitivity of the photosensitive resin composition for forming the light shielding layer. Can be improved.

<(B)アルカリ可溶性樹脂>
(I)アルカリ可溶性樹脂
本発明におけるアルカリ可溶性樹脂としては、アクリル酸、メタクリル酸などのカルボキシ基を有するモノマーから選ばれる1種以上と、アクリル酸メチル、メタクリル酸メチル、アクリル酸エチル、メタクリル酸エチル、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、2−ヒドロキシプロピルメタクリレート、N−ブチルアクリレート、N−ブチルメタクリレート、イソブチルアクリート、イソブチルメタクリレート、ベンジルアクリレート、ベンジルメタクリレート、フェノキシアクリレート、フェノキシメタクリレート、イソボルニルアクリレート、イソボルニルメタクリレート、グリシジルメタクリレート、スチレン、アクリルアミド、アクリロニトリルなどから選ばれる1種以上との共重合体や;
フェノールノボラック型エポキシアクリレート重合体、フェノールノボラック型エポキシメタクリレート重合体、クレゾールノボラック型エポキシアクリレート重合体、クレゾールノボラック型エポキシメタクリレート重合体、ビスフェノールA型エポキシアクリレート重合体、ビスフェノールS型エポキシアクリレート重合体などの樹脂が挙げられる。
これらの樹脂はアクリロイル基またはメタクリロイル基が導入されていることから架橋効率が高められ塗膜の耐光性、耐薬品性が優れている。
前記アルカリ可溶性樹脂を構成するモノマー成分のうち、アクリル酸、メタクリル酸などのカルボキシ基を有するモノマー成分の含有量が5〜40質量%の範囲であることが好ましい。
<(B) Alkali-soluble resin>
(I) Alkali-soluble resin As the alkali-soluble resin in the present invention, at least one selected from monomers having a carboxy group such as acrylic acid and methacrylic acid, and methyl acrylate, methyl methacrylate, ethyl acrylate, and ethyl methacrylate , 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, 2-hydroxypropyl methacrylate, N-butyl acrylate, N-butyl methacrylate, isobutyl acrylate, isobutyl methacrylate, benzyl acrylate, benzyl methacrylate, phenoxy acrylate, phenoxy methacrylate, isobornyl 1 selected from acrylate, isobornyl methacrylate, glycidyl methacrylate, styrene, acrylamide, acrylonitrile, etc. Copolymer with more than species;
Resins such as phenol novolac type epoxy acrylate polymer, phenol novolac type epoxy methacrylate polymer, cresol novolac type epoxy acrylate polymer, cresol novolac type epoxy methacrylate polymer, bisphenol A type epoxy acrylate polymer, bisphenol S type epoxy acrylate polymer Is mentioned.
Since these resins have an acryloyl group or a methacryloyl group introduced, the crosslinking efficiency is improved and the light resistance and chemical resistance of the coating film are excellent.
Of the monomer components constituting the alkali-soluble resin, the content of monomer components having a carboxy group such as acrylic acid and methacrylic acid is preferably in the range of 5 to 40% by mass.

(II)光硬化性を有するアルカリ可溶性樹脂
また、アルカリ可溶性樹脂として、下記一般式(1)で示される重合体も適用できる。該一般式(1)で示される化合物は、それ自体が光重合性(光硬化性)を有するので、これを含有する遮光膜形成用感光性樹脂では、紫外線の透過率を高めることにより、一層感度を向上させることをできる。
(II) Alkali-soluble resin which has photocurability Moreover, the polymer shown by following General formula (1) is also applicable as alkali-soluble resin. The compound represented by the general formula (1) itself has photopolymerizability (photocurability). Therefore, in the photosensitive resin for forming a light-shielding film containing the compound, by increasing the transmittance of ultraviolet rays, Sensitivity can be improved.

Figure 2006235153
Figure 2006235153

(式中Xは、下記化学式(2)で示される基であり、Yはジカルボン酸無水物からカルボン酸無水物基(−CO−O−CO−)を除いた残基であり、Zはテトラカルボン酸二無水物から2個のカルボン酸無水物基を除いた残基である。) (Wherein X is a group represented by the following chemical formula (2), Y is a residue obtained by removing a carboxylic acid anhydride group (—CO—O—CO—) from dicarboxylic acid anhydride, and Z is a tetra This is a residue obtained by removing two carboxylic anhydride groups from carboxylic dianhydride.)

Figure 2006235153
Figure 2006235153

前記Yを誘導するジカルボン酸無水物(カルボン酸無水物基を除く前のジカルボン酸無水物)の具体例としては、例えば無水マレイン酸、無水コハク酸、無水イタコン酸、無水フタル酸、無水テトラヒドロフタル酸、無水ヘキサヒドロフタル酸、無水メチルエンドメチレンテトラヒドロフタル酸、無水クロレンド酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、無水グルタル酸等が挙げられる。
また、前記Zを誘導するテトラカルボン酸二無水物(2個のカルボン酸無水物基を除く前のテトラカルボン酸二無水物)の具体例としては、例えば無水ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ビフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物等のテトラカルボン酸二無水物等が挙げられる。
Specific examples of the dicarboxylic acid anhydride (the dicarboxylic acid anhydride before removing the carboxylic acid anhydride group) for deriving Y include, for example, maleic anhydride, succinic anhydride, itaconic anhydride, phthalic anhydride, and tetrahydrophthalic anhydride. Examples thereof include acid, hexahydrophthalic anhydride, methylendomethylenetetrahydrophthalic anhydride, chlorendic anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride, and glutaric anhydride.
Specific examples of the tetracarboxylic dianhydride for deriving Z (tetracarboxylic dianhydride before removing two carboxylic anhydride groups) include, for example, pyromellitic anhydride, benzophenone tetracarboxylic acid bis Examples thereof include tetracarboxylic dianhydrides such as anhydrides, biphenyl tetracarboxylic dianhydrides, and biphenyl ether tetracarboxylic dianhydrides.

(B)アルカリ可溶性樹脂は一種単独でもよく、2種以上を混合して用いてもよい。また前記アルカリ可溶性樹脂(I)だけを用いてもよく、光硬化性を有するアルカリ可溶性樹脂(II)だけを用いてもよく、両者を併用してもよい。
本発明における(B)アルカリ可溶性樹脂の質量平均分子量(Mw)(ゲルパーミエーションクロマトグラフィーによるポリスチレン換算基準)は、特に限定するものではないが、1000〜1000000が好ましく、3000〜50000がより好ましく、5000〜15000が最も好ましい。この範囲の上限よりも小さいと、レジストとして用いるのに充分なレジスト溶剤への溶解性があり、この範囲の下限よりも大きいとレジストパターン断面形状が良好である。
(B) The alkali-soluble resin may be used alone or in combination of two or more. Moreover, only the said alkali-soluble resin (I) may be used, only the alkali-soluble resin (II) which has photocurability may be used, and both may be used together.
The mass average molecular weight (Mw) of the alkali-soluble resin (Mw) in the present invention (polystyrene conversion standard by gel permeation chromatography) is not particularly limited, but is preferably 1000 to 1000000, more preferably 3000 to 50000, Most preferred is 5000-15000. If it is smaller than the upper limit of this range, it has sufficient solubility in a resist solvent to be used as a resist. If it is larger than the lower limit of this range, the resist pattern cross-sectional shape is good.

<(C)光重合性化合物>
本発明における光重合性化合物としては、メチルアクリレート、メチルメタクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、2−ヒドロキシプロピルメタクリレート、エチレングリコールジアクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジメタクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、テトラエチレングリコールジメタクリレート、プロピレングリコールジアクリレート、プロピレングリコールジメタクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、テトラメチロールプロパンテトラアクリレート、テトラメチロールプロパンテトラメタクリレート、ペンタエリトリトールトリアクリレート、ペンタエリトリトールトリメタクリレート、ペンタエリトリトールテトラアクリレート、ペンタエリトリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリトリトールペンタアクリレート、ジペンタエリトリトールペンタメタクリレート、ジペンタエリトリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリトリトールヘキサメタクリレート、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、ベンジルアクリレート、ベンジルメタクリレート、カルドエポキシジアクリレート、アクリル酸、メタクリル酸等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。
光重合性化合物は1種単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
なお本発明において、光重合性を有するアルカリ可溶性の重合体は上記(B)アルカリ可溶性樹脂(II)に含まれ、光重合性を有する単量体は(C)光重合性化合物に含まれるものとする。
<(C) Photopolymerizable compound>
Examples of the photopolymerizable compound in the present invention include methyl acrylate, methyl methacrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, 2-hydroxypropyl methacrylate, ethylene glycol diacrylate, ethylene glycol dimethacrylate, triethylene glycol diacrylate, Triethylene glycol dimethacrylate, tetraethylene glycol diacrylate, tetraethylene glycol dimethacrylate, propylene glycol diacrylate, propylene glycol dimethacrylate, trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, tetramethylolpropane tetraacrylate, tetramethylolpropane tetra Methacrylate, pe Taerythritol triacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, pentaerythritol tetramethacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol pentamethacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, dipentaerythritol hexamethacrylate, 1,6-hexanediol Examples include, but are not limited to, diacrylate, benzyl acrylate, benzyl methacrylate, cardo epoxy diacrylate, acrylic acid, methacrylic acid, and the like.
A photopolymerizable compound may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.
In the present invention, the photopolymerizable alkali-soluble polymer is contained in the (B) alkali-soluble resin (II), and the photopolymerizable monomer is contained in the (C) photopolymerizable compound. And

(C)光重合性化合物の配合量は、(B)アルカリ可溶性樹脂として前記アルカリ可溶性樹脂(I)を用いる場合、該樹脂(I)100質量部に対して、5〜500質量部の範囲が好ましい。より好ましい範囲は20〜300質量部である。
(C)光重合性化合物の配合量を上記範囲の下限値以上とすることにより、露光時の硬化不良が生じ難く、十分な耐熱性、耐薬品性を得ることができる。また良好な被膜形成能を得、現像後の膜残りを防止するうえで、上記範囲の上限値以下とすることが好ましい。
(C) The compounding quantity of a photopolymerizable compound has the range of 5-500 mass parts with respect to 100 mass parts of this resin (I), when using the said alkali-soluble resin (I) as (B) alkali-soluble resin. preferable. A more preferable range is 20 to 300 parts by mass.
(C) By making the compounding quantity of a photopolymerizable compound more than the lower limit of the said range, it is hard to produce the hardening defect at the time of exposure, and sufficient heat resistance and chemical-resistance can be obtained. Moreover, it is preferable to make it into the upper limit value or less of the said range, when obtaining favorable film formation ability and preventing the film residue after image development.

<(D)光重合開始剤>
本発明における(D)光重合開始剤としては、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、1−〔4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル〕−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン、1−(4−イソプロピルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、1−(4−ドデシルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン、ビス(4−ジメチルアミノフェニル)ケトン、2−メチル−1−〔4−(メチルチオ)フェニル〕−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オン、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキシド、4−ベンゾイル−4’−メチルジメチルスルフィド、4−ジメチルアミノ安息香酸、4−ジメチルアミノ安息香酸メチル、4−ジメチルアミノ安息香酸エチル、4−ジメチルアミノ安息香酸ブチル、4−ジメチルアミノ−2−エチルヘキシル安息香酸、4−ジメチルアミノ−2−イソアミル安息香酸、ベンジル−β−メトキシエチルアセタール、ベンジルジメチルケタール、1−フェニル−1,2−プロパンジオン−2−(o−エトキシカルボニル)オキシム、o−ベンゾイル安息香酸メチル、2,4−ジエチルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2,4−ジメチルチオキサントン、1−クロロ−4−プロポキシチオキサントン、チオキサンテン、2−クロロチオキサンテン、2,4−ジエチルチオキサンテン、2−メチルチオキサンテン、2−イソプロピルチオキサンテン、2−エチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、1,2−ベンズアントラキノン、2,3−ジフェニルアントラキノン、アゾビスイソブチロニトリル、ベンゾイルパーオキシド、クメンパーオキシド、2−メルカプトベンゾイミダール、2−メルカプトベンゾオキサゾール、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジ(m−メトキシフェニル)−イミダゾリル二量体、ベンゾフェノン、2−クロロベンゾフェノン、p,p'−ビスジメチルアミノベンゾフェノン、4,4’−ビスジエチルアミノベンゾフェノン、4,4’−ジクロロベンゾフェノン、3,3−ジメチル−4−メトキシベンゾフェノン、ベンジル、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾイン−n−ブチルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾインブチルエーテル、アセトフェノン、2,2−ジエトキシアセトフェノン、p−ジメチルアセトフェノン、p−ジメチルアミノプロピオフェノン、ジクロロアセトフェノン、トリクロロアセトフェノン、p−tert−ブチルアセトフェノン、p−ジメチルアミノアセトフェノン、p−tert−ブチルトリクロロアセトフェノン、p−tert−ブチルジクロロアセトフェノン、α,α−ジクロロ−4−フェノキシアセトフェノン、チオキサントン、2−メチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、ジベンゾスベロン、ペンチル−4−ジメチルアミノベンゾエート、9−フェニルアクリジン、1,7−ビス−(9−アクリジニル)ヘプタン、1,5−ビス−(9−アクリジニル)ペンタン、1,3−ビス−(9−アクリジニル)プロパン、p−メトキシトリアジン、2,4,6−トリス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−メチル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−[2−(5−メチルフラン−2−イル)エテニル]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−[2−(フラン−2−イル)エテニル]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−[2−(4−ジエチルアミノ−2−メチルフェニル)エテニル]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−[2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−エトキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−n−ブトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2,4−ビス−トリクロロメチル−6−(3−ブロモ−4−メトキシ)フェニル−s−トリアジン、2,4−ビス−トリクロロメチル−6−(2−ブロモ−4−メトキシ)フェニル−s−トリアジン、2,4−ビス−トリクロロメチル−6−(3−ブロモ−4−メトキシ)スチリルフェニル−s−トリアジン、2,4−ビス−トリクロロメチル−6−(2−ブロモ−4−メトキシ)スチリルフェニル−s−トリアジンなどを挙げることができる。
<(D) Photopolymerization initiator>
Examples of the (D) photopolymerization initiator in the present invention include 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, and 1- [4- (2-hydroxyethoxy) phenyl]. 2-hydroxy-2-methyl-1-propan-1-one, 1- (4-isopropylphenyl) -2-hydroxy-2-methylpropan-1-one, 1- (4-dodecylphenyl) -2- Hydroxy-2-methylpropan-1-one, 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethane-1-one, bis (4-dimethylaminophenyl) ketone, 2-methyl-1- [4- (methylthio) Phenyl] -2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, 4-benzoyl-4′-methyldimethylsulfide, 4-dimethylaminobenzoic acid, methyl 4-dimethylaminobenzoate, ethyl 4-dimethylaminobenzoate, 4-dimethyl Butyl aminobenzoate, 4-dimethylamino-2-ethylhexylbenzoic acid, 4-dimethylamino-2-isoamylbenzoic acid, benzyl-β-methoxyethyl acetal, benzyldimethyl ketal, 1-phenyl-1,2-propanedione- 2- (o-ethoxycarbonyl) oxime, methyl o-benzoylbenzoate, 2,4-diethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2,4-dimethylthioxanthone, 1-chloro-4-propoxythioxanthone, thioxanthene, 2- Chloro Oxanthene, 2,4-diethylthioxanthene, 2-methylthioxanthene, 2-isopropylthioxanthene, 2-ethylanthraquinone, octamethylanthraquinone, 1,2-benzanthraquinone, 2,3-diphenylanthraquinone, azobisisobutyronitrile Benzoyl peroxide, cumene peroxide, 2-mercaptobenzoimidazole, 2-mercaptobenzoxazole, 2-mercaptobenzothiazole, 2- (o-chlorophenyl) -4,5-di (m-methoxyphenyl) -imidazolyl Mer, benzophenone, 2-chlorobenzophenone, p, p'-bisdimethylaminobenzophenone, 4,4'-bisdiethylaminobenzophenone, 4,4'-dichlorobenzophenone, 3,3-dimethyl-4-methoxyben Phenone, benzyl, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin n-butyl ether, benzoin isobutyl ether, benzoin butyl ether, acetophenone, 2,2-diethoxyacetophenone, p-dimethylacetophenone, p-dimethylamino Propiophenone, dichloroacetophenone, trichloroacetophenone, p-tert-butylacetophenone, p-dimethylaminoacetophenone, p-tert-butyltrichloroacetophenone, p-tert-butyldichloroacetophenone, α, α-dichloro-4-phenoxyacetophenone, Thioxanthone, 2-methylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, dibenzosuberone, Nthyl-4-dimethylaminobenzoate, 9-phenylacridine, 1,7-bis- (9-acridinyl) heptane, 1,5-bis- (9-acridinyl) pentane, 1,3-bis- (9-acridinyl) Propane, p-methoxytriazine, 2,4,6-tris (trichloromethyl) -s-triazine, 2-methyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (5-methyl) Furan-2-yl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (furan-2-yl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s- Triazine, 2- [2- (4-diethylamino-2-methylphenyl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (3,4) Dimethoxyphenyl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-ethoxystyryl) ) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-n-butoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2,4-bis-trichloromethyl- 6- (3-Bromo-4-methoxy) phenyl-s-triazine, 2,4-bis-trichloromethyl-6- (2-bromo-4-methoxy) phenyl-s-triazine, 2,4-bis-trichloro Methyl-6- (3-bromo-4-methoxy) styrylphenyl-s-triazine, 2,4-bis-trichloromethyl-6- (2-bromo-4-methoxy) ) Styrylphenyl-s-triazine and the like.

これらの中でも、p−メトキシトリアジン等のトリアジン類;2,4,6−トリス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−メチル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−[2−(5−メチルフラン−2−イル)エテニル]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−[2−(フラン−2−イル)エテニル]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−[2−(4−ジエチルアミノ−2−メチルフェニル)エテニル]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−[2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−エトキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−n−ブトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン等のハロメチル基を有するトリアジン類;等のトリアジン化合物、2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジ(m−メトキシフェニル)−イミダゾリル二量体;等のイミダゾリル化合物、及び2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1オン;等のアミノケトン化合物が好ましく用いられる。
また、その他の好ましい光重合開始剤として、下記一般式(III)で示される化合物が挙げられる。
Among these, triazines such as p-methoxytriazine; 2,4,6-tris (trichloromethyl) -s-triazine, 2-methyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [ 2- (5-methylfuran-2-yl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (furan-2-yl) ethenyl] -4,6-bis ( Trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (4-diethylamino-2-methylphenyl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (3,4- Dimethoxyphenyl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2 Halomethyl groups such as (4-ethoxystyryl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-n-butoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine Triazine compounds such as: Triazine compounds such as 2- (o-chlorophenyl) -4,5-di (m-methoxyphenyl) -imidazolyl dimer; Imidazolyl compounds such as 2-benzyl-2-dimethylamino-1 An amino ketone compound such as-(4-morpholinophenyl) -butan-1-one; is preferably used.
Other preferred photopolymerization initiators include compounds represented by the following general formula (III).

Figure 2006235153
Figure 2006235153

(式中、X’は、一般式(IV)又は一般式(V)で示される基であり、R11は、フェニル基、炭素数1〜20のアルキル基、CN、NO又は炭素数1〜4のハロゲン化アルキル基であり、R12は、炭素数2〜12のアシル基又は炭素数4〜6のアルケノイル基である。) (In the formula, X ′ is a group represented by the general formula (IV) or the general formula (V), and R 11 is a phenyl group, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, CN, NO 2, or 1 carbon atom. -4 halogenated alkyl group, and R 12 is an acyl group having 2 to 12 carbon atoms or an alkenoyl group having 4 to 6 carbon atoms.)

Figure 2006235153
Figure 2006235153

(式中、R13〜R17はそれぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜12のアルキル基、フェニル基又はフェニルスルファニル基(CS−)である。) (Wherein the R 13 to R 17 each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom, an alkyl group, phenyl group having 1 to 12 carbon atoms is a phenylsulfanyl group (C 6 H 5 S-). )

Figure 2006235153
Figure 2006235153

(式中、R18〜R19はそれぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜12のアルキル基又はフェニル基である。) (In the formula, R 18 to R 19 are each independently a hydrogen atom, a halogen atom, an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, or a phenyl group.)

上記一般式(III)で示される化合物は、特開2000−80068号公報に記載の方法により得られる化合物である。該化合物は、光に対する感受性が他の既知の光重合開始剤に較べてきわめて高く、わずかな照射量の光によって効率的に活性化して光重合性化合物を硬化させることができる。   The compound represented by the general formula (III) is a compound obtained by the method described in JP-A No. 2000-80068. The compound is extremely sensitive to light compared to other known photopolymerization initiators, and can be efficiently activated by a small amount of light to cure the photopolymerizable compound.

本発明において、光重合開始剤として、複数の種類を併用してもよい。とくに、一般式(III)で表される化合物と、その他の少なくとも一種の化合物とを併用することが好ましい。このように少なくとも二種の化合物(光重合開始剤)を併用することは、わずかな照射量の光によって効率的に活性化して、感度や現像マージンをさらに高めるうえで好ましい。
以下に一般式(III)で表される化合物と、その他の少なくとも一種の化合物との組み合わせにおいて、好ましい例を(1)〜(3)に示す。
In the present invention, a plurality of types may be used in combination as the photopolymerization initiator. In particular, it is preferable to use a compound represented by the general formula (III) in combination with at least one other compound. Use of at least two kinds of compounds (photopolymerization initiators) in this way is preferable in that they can be efficiently activated by a small amount of light to further increase sensitivity and development margin.
Preferred examples (1) to (3) of the combination of the compound represented by the general formula (III) and at least one other compound are shown below.

(1)上記一般式(III)で示されるO−アシルオキシム化合物の少なくとも一種の光重合開始剤と、該O−アシルオキシム化合物以外の化合物(上記一般式(III)で示される化合物以外の光重合開始剤)との組み合わせが好ましい。
上記O−アシルオキシム化合物の中では、一般式(III)において、R11がn−ヘキシル(C13−)で、R12がベンゾイル基で、X’が一般式(IV)で示されるとともに、R13、R14、R16、R17が水素原子、R15がフェニルスルファニル基(CS−)であるもの、すなわち下記式(VI)で示される1,2−オクタンジオン−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−2−(O−ベンゾイルオキシム)が、光に対する感度や入手の容易さの点で好ましい。
(1) At least one photopolymerization initiator of the O-acyloxime compound represented by the general formula (III) and a compound other than the O-acyloxime compound (light other than the compound represented by the general formula (III) A combination with a polymerization initiator) is preferred.
Among the above O- acyl oxime compound, in the general formula (III), R 11 is n- hexyl (C 6 H 13 -), in R 12 is a benzoyl group, X 'is represented by the general formula (IV) And R 13 , R 14 , R 16 , R 17 are hydrogen atoms and R 15 is a phenylsulfanyl group (C 6 H 5 S—), that is, 1,2-octanedione represented by the following formula (VI) -1- [4- (Phenylthio) phenyl] -2- (O-benzoyloxime) is preferable in terms of sensitivity to light and availability.

Figure 2006235153
Figure 2006235153

さらに、上記O−アシルオキシム化合物の中では、一般式(III)において、R11がメチルで、R12がアセチル基で、X’が前記一般式(V)で示されるとともに、R18がエチル基で、R19がメチル基であるもの、すなわち下記式(VII)で示されるエタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾル−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)が、光に対する感度がさらに高く、より好ましい。 Further, among the O-acyloxime compounds, in general formula (III), R 11 is methyl, R 12 is an acetyl group, X ′ is represented by general formula (V), and R 18 is ethyl. R 19 is a methyl group, that is, ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] -1- represented by the following formula (VII) (O-acetyloxime) is more preferable because it has higher sensitivity to light.

Figure 2006235153
Figure 2006235153

(2)上記一般式(III)で示され、X’が一般式(IV)で示される光重合開始剤と、トリアジン化合物との組み合わせも好ましい。
特にトリアジン化合物としては、下記式(VIII)、下記式(IX)、下記式(X)(式中、R21、R22は炭素数1〜3のアルキル基を示す。)で示されるトリアジン化合物が特に好ましい。また、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オンも上記トリアジン化合物と同様に用いることができる。
(2) A combination of a photopolymerization initiator represented by the above general formula (III) and X ′ represented by the general formula (IV) and a triazine compound is also preferable.
In particular, as the triazine compound, a triazine compound represented by the following formula (VIII), the following formula (IX), or the following formula (X) (wherein R 21 and R 22 represent an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms). Is particularly preferred. 2-Benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one can also be used in the same manner as the triazine compound.

Figure 2006235153
Figure 2006235153

Figure 2006235153
Figure 2006235153

Figure 2006235153
Figure 2006235153

(3)上記一般式(III)で示され、X’が一般式(V)で示される光重合開始剤と、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オンとの組み合わせも好ましい。また、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1オンの代わりに上述のトリアジン化合物も同様に組み合わせることができる。 (3) a photopolymerization initiator represented by the above general formula (III) and X ′ represented by the general formula (V), and 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butane A combination with -1-one is also preferred. Moreover, the above-mentioned triazine compound can be similarly combined instead of 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one.

一般式(III)で表される化合物と、一般式(III)で示される化合物以外のその他の化合物(特にトリアジン化合物、イミダゾイル化合物及びアミノケトン化合物)との配合割合は、質量比で10:90〜90:10であることが好ましく、特に20:80〜80:20であることが好ましい。一般式(III)で示される化合物と、一般式(III)で示される化合物以外のその他の化合物との配合割合が上述の範囲内であることで、両者の化合物が効果的に相互作用して、遮光層形成用感光性樹脂組成物の感度、現像マージンをさらに向上させることができる。   The compounding ratio of the compound represented by the general formula (III) and other compounds other than the compound represented by the general formula (III) (especially triazine compound, imidazolyl compound and aminoketone compound) is 10:90 to mass ratio. 90:10 is preferable, and 20:80 to 80:20 is particularly preferable. Since the compounding ratio of the compound represented by the general formula (III) and the other compound other than the compound represented by the general formula (III) is within the above-mentioned range, both compounds effectively interact with each other. Further, the sensitivity and development margin of the photosensitive resin composition for forming a light shielding layer can be further improved.

本発明の遮光層形成用感光性樹脂組成物における上記(D)光重合開始剤の配合量は、(B)アルカリ可溶性樹脂100質量部に対して、0.1〜30質量部の範囲が好ましい。   The blending amount of the (D) photopolymerization initiator in the photosensitive resin composition for forming a light shielding layer of the present invention is preferably in the range of 0.1 to 30 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the (B) alkali-soluble resin. .

本発明の遮光層形成用感光性樹脂組成物には、塗布性の改善、粘度調整のため(E)有機溶剤を配合できる。
有機溶剤としては、ベンゼン、トルエン、キシレン、メチルエチルケトン、アセトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、ジエチレングリコール、グリセリン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)、プロピレングリコールモノメチルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールモノエチルエーテルプロピオネート、炭酸メチル、炭酸エチル、炭酸プロピル、炭酸ブチルなどが挙げられる。中でも3−メトキシブチルアセテートは遮光層形成用感光性樹脂組成物中の可溶成分に対して優れた溶解性を示すのみならず、顔料などの不溶性成分の分散性を良好にするところから好適である。
(E)有機溶剤の使用量は特に限定しないが、基板等に塗布可能な濃度で、塗布膜厚に応じて適宜設定される。本発明における遮光層形成用感光性樹脂組成物の粘度は、5〜100cp、好ましくは10〜50cp、より好ましくは20〜30cpである。また、固形分濃度は、5〜100質量%、好ましくは20〜50質量%の範囲である。
The photosensitive resin composition for forming a light shielding layer of the present invention may contain (E) an organic solvent for improving coating properties and adjusting viscosity.
Organic solvents include benzene, toluene, xylene, methyl ethyl ketone, acetone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, methanol, ethanol, propanol, butanol, hexanol, cyclohexanol, ethylene glycol, diethylene glycol, glycerin, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl Ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, 3-methoxybutyl acetate, 3-methyl-3-methoxybutyl acetate, propylene glycol mono Chill ether acetate (PGMEA), propylene glycol monomethyl ether propionate, propylene glycol monoethyl ether propionate, methyl carbonate, ethyl carbonate, propyl carbonate and carbonate butyl. Among them, 3-methoxybutyl acetate is preferable because it not only exhibits excellent solubility for the soluble component in the photosensitive resin composition for forming a light shielding layer, but also improves dispersibility of insoluble components such as pigments. is there.
(E) Although the usage-amount of an organic solvent is not specifically limited, It is a density | concentration which can be apply | coated to a board | substrate etc., and is suitably set according to a coating film thickness. The viscosity of the photosensitive resin composition for forming a light shielding layer in the present invention is 5 to 100 cp, preferably 10 to 50 cp, more preferably 20 to 30 cp. Moreover, solid content concentration is 5-100 mass%, Preferably it is the range of 20-50 mass%.

また、本発明の遮光層形成用感光性樹脂組成物には、熱重合禁止剤、消泡剤、界面活性剤等を添加してもよい。
上記熱重合禁止剤としては、従来公知のものであってよく、ヒドロキノン、ヒドロキノンモノエチルエーテル等が挙げられる。
上記消泡剤としては、従来公知のものであってよく、シリコーン系、フッ素系化合物が挙げられる。
上記界面活性剤としては、従来公知のものであってよく、アニオン系、カチオン系、ノニオン系等の化合物が挙げられる。
Moreover, you may add a thermal polymerization inhibitor, an antifoamer, surfactant, etc. to the photosensitive resin composition for light shielding layer formation of this invention.
The thermal polymerization inhibitor may be a conventionally known one, and examples thereof include hydroquinone and hydroquinone monoethyl ether.
As said antifoamer, a conventionally well-known thing may be used and a silicone type and a fluorine-type compound are mentioned.
The surfactant may be a conventionally known surfactant, and examples thereof include anionic, cationic and nonionic compounds.

<遮光層形成用感光性樹脂組成物の調製方法>
本発明の遮光層形成用感光性樹脂組成物は、以下の方法により調製することができる。
(A)遮光性色素、(B)アルカリ可溶性樹脂、(C)光重合性化合物、(D)光重合開始剤、および必要に応じて有機添加剤等を加えて3本ロールミル、ボールミル、サンドミル等の撹拌機で混合(分散・混練)し、例えば5μmメンブランフィルターで濾過して遮光層形成用感光性樹脂組成物を調製する。
<Preparation method of photosensitive resin composition for light shielding layer formation>
The photosensitive resin composition for light shielding layer formation of this invention can be prepared with the following method.
(A) light-shielding dye, (B) alkali-soluble resin, (C) photopolymerizable compound, (D) photopolymerization initiator, and a three-roll mill, ball mill, sand mill, etc., if necessary, with organic additives Are mixed (dispersed and kneaded) with, for example, a 5 μm membrane filter to prepare a light-sensitive layer forming photosensitive resin composition.

本発明の遮光層形成用感光性樹脂組成物は、膜厚が2μm超の(2μmよりも膜厚が厚い)遮光層を形成する用途に好適に用いられる。該遮光層の上限は特に制限されず、可能な範囲で厚く形成してよい。該遮光層の膜厚の好ましい範囲は3〜10μm程度であり、より好ましい範囲は3〜8μm、さらに好ましい範囲は4〜6μm程度である。   The photosensitive resin composition for forming a light shielding layer of the present invention is suitably used for the purpose of forming a light shielding layer having a film thickness of more than 2 μm (thickness greater than 2 μm). The upper limit of the light shielding layer is not particularly limited, and may be formed as thick as possible. A preferable range of the thickness of the light shielding layer is about 3 to 10 μm, a more preferable range is 3 to 8 μm, and a further preferable range is about 4 to 6 μm.

本発明における遮光層は、例えば各種表示装置において各画素の周囲や、表示部と非表示部との境界部分に設けられるブラックマトリクスである。かかるブラックマトリクスを備えた表示装置の例としては液晶表示装置、プラズマディスプレイ表示装置等が挙げられる。   The light shielding layer in the present invention is, for example, a black matrix provided around each pixel in various display devices or at a boundary portion between the display unit and the non-display unit. Examples of the display device provided with such a black matrix include a liquid crystal display device and a plasma display display device.

<遮光層の形成方法>
以下、本発明の遮光層形成用感光性樹脂組成物を用いて遮光層を形成する方法の一実施形態として、ブラックマトリクスを形成する方法の例を説明する。
まず遮光層形成用感光性樹脂組成物を、基板上にロールコーター、リバースコーター、バーコーター等の接触転写型塗布装置やスピンナー(回転式塗布装置)、カーテンフローコータ等の非接触型塗布装置を用いて塗布する。基板は、光透過性を有する基板が用いられ、例えば厚さ0.5〜1.1mmのガラス基板である。
ガラス基板と遮光層形成用感光性樹脂組成物との密着性を向上させるために、予めガラス基板上にシランカップリング剤を塗布しておいてもよい。あるいは遮光層形成用感光性樹脂組成物の調製時にシランカップリング剤を添加しておいてもよい。
上記塗布後、乾燥させて溶剤を除去する。乾燥方法は特に限定されず、例えば(1)ホットプレートにて80℃〜120℃、好ましくは90℃〜100℃の温度にて60秒〜120秒間乾燥する方法、(2)室温にて数時間〜数日放置する方法、(3)温風ヒーターや赤外線ヒーター中に数十分〜数時間入れて溶剤を除去する方法、のいずれでもよい。
次いで、ネガ型のマスクを介して、紫外線、エキシマレーザー光等の活性性エネルギー線を照射して部分的に露光する。照射するエネルギー線量は、遮光層形成用感光性樹脂組成物の組成によっても異なるが、例えば30〜2000mJ/cm程度が好ましい。
露光後の膜を、現像液を用いて現像することによってブラックマトリクスパターンを形成する。現像方法は特に限定されず、例えば浸漬法、スプレー法等を用いることができる。現像液の具体例としては、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン等の有機系のものや、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、アンモニア、4級アンモニウム塩等の水溶液が挙げられる。
<Method for forming light shielding layer>
Hereinafter, an example of a method for forming a black matrix will be described as an embodiment of a method for forming a light shielding layer using the photosensitive resin composition for forming a light shielding layer of the present invention.
First, a photosensitive resin composition for forming a light-shielding layer is formed on a substrate by using a contact transfer type coating device such as a roll coater, reverse coater or bar coater, or a non-contact type coating device such as a spinner (rotary coating device) or a curtain flow coater. Use to apply. As the substrate, a light-transmitting substrate is used, for example, a glass substrate having a thickness of 0.5 to 1.1 mm.
In order to improve the adhesion between the glass substrate and the photosensitive resin composition for forming a light shielding layer, a silane coupling agent may be applied on the glass substrate in advance. Or you may add a silane coupling agent at the time of preparation of the photosensitive resin composition for light shielding layer formation.
After the application, the solvent is removed by drying. The drying method is not particularly limited. For example, (1) a method of drying on a hot plate at 80 ° C. to 120 ° C., preferably 90 ° C. to 100 ° C. for 60 seconds to 120 seconds, (2) several hours at room temperature Any one of a method of leaving for several days, and a method of removing the solvent by putting in a warm air heater or an infrared heater for several tens of minutes to several hours may be used.
Next, exposure is performed partially by irradiating active energy rays such as ultraviolet rays and excimer laser light through a negative mask. The energy dose to be irradiated varies depending on the composition of the light-sensitive layer forming photosensitive resin composition, but is preferably about 30 to 2000 mJ / cm 2 , for example.
The exposed film is developed using a developer to form a black matrix pattern. The development method is not particularly limited, and for example, an immersion method, a spray method, or the like can be used. Specific examples of the developer include organic ones such as monoethanolamine, diethanolamine, and triethanolamine, and aqueous solutions such as sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, ammonia, and quaternary ammonium salts.

本発明の遮光層形成用感光性樹脂組成物によれば、膜厚が2μm超であってもホトリソグラフ法により良好なパターンを形成することができる。したがって、厚膜のブラックマトリクス等、厚膜の遮光層を形成することができる。
これは、遮光性色素としてペリレン系顔料を用いることにより、樹脂組成物が露光光を透過し、かつ可視光を遮光するという特性を実現できるものと考えられる。
According to the photosensitive resin composition for forming a light shielding layer of the present invention, a good pattern can be formed by the photolithography method even if the film thickness is more than 2 μm. Accordingly, a thick light shielding layer such as a thick black matrix can be formed.
This is considered to be realized by using a perylene pigment as a light-shielding dye, whereby the resin composition can transmit exposure light and shield visible light.

<スペーサー>
また本発明の遮光層形成用感光性樹脂組成物を用いて形成される、膜厚が一定の遮光層は、2枚の基板間に液晶が収容された構成を有する液晶ディスプレイにおいて、2枚の基板間の間隔を一定に保つために、該2枚の基板間に挟まれた状態で設けられるスペーサーを兼ねることができる。このようなスペーサー機能を有する遮光層の膜厚は、特に限定されるものではないが、2μm超であることが好ましい。
<Spacer>
The light-shielding layer having a constant film thickness formed using the photosensitive resin composition for forming a light-shielding layer of the present invention is a liquid crystal display having a configuration in which liquid crystal is accommodated between two substrates. In order to keep the distance between the substrates constant, it can also serve as a spacer provided between the two substrates. The thickness of the light shielding layer having such a spacer function is not particularly limited, but is preferably more than 2 μm.

従来の液晶ディスプレイにあっては、球状のスペーサー粒子あるいは感光性樹脂組成物で形成されたスペーサーを2枚の基板間に配していた。球状のスペーサー粒子を用いた場合には、振動や衝撃が加わった時に液晶中でスペーサーが移動し、基板内面上に設けられている配向膜を傷つけるおそれがあったが、本発明によればかかる問題を解決することができる。また上記のように感光性樹脂組成物で形成されたスペーサーを用いた場合には、ブラックマトリクスを別個に形成する必要があったが、本発明によれば別個に形成する必要はなく、液晶ディスプレイの製造工程を減らすことができる。
さらに、スペーサーが遮光性を有するので、スペーサー部分が常に光透過状態にあることによる「白抜け」を防止することができる。
In a conventional liquid crystal display, a spacer formed of spherical spacer particles or a photosensitive resin composition is disposed between two substrates. When spherical spacer particles are used, the spacer may move in the liquid crystal when vibration or impact is applied, and the alignment film provided on the inner surface of the substrate may be damaged. The problem can be solved. Further, when the spacer formed of the photosensitive resin composition is used as described above, it is necessary to form the black matrix separately, but according to the present invention, it is not necessary to form the black matrix separately. The manufacturing process can be reduced.
Furthermore, since the spacer has a light-shielding property, “white spots” due to the spacer portion being always in a light transmitting state can be prevented.

<カラーフィルタ>
本発明によれば、ブラックマトリクスを厚膜に形成することができる。したがって、本発明の遮光層形成用感光性樹脂組成物は、特に、予め形成したブラックマトリクスの開口部内にインクジェット方式で着色層を形成してカラーフィルタを形成する方法におけるブラックマトリクスの形成に好適である。該方法におけるブラックマトリクスは、いわゆる隔壁(バンク)としての役割を果たす。
本発明において、インクジェット方式における隔壁(バンク)として用いられるブラックマトリクスの膜厚は、特に限定されるものではないが、2μm超であることが好ましい。
<Color filter>
According to the present invention, the black matrix can be formed in a thick film. Therefore, the photosensitive resin composition for forming a light shielding layer of the present invention is particularly suitable for forming a black matrix in a method for forming a color filter by forming a colored layer in an opening of a previously formed black matrix by an inkjet method. is there. The black matrix in the method serves as a so-called partition wall (bank).
In the present invention, the film thickness of the black matrix used as the partition (bank) in the ink jet system is not particularly limited, but is preferably more than 2 μm.

本発明の遮光層形成用感光性樹脂組成物を用いて、隔壁(バンク)としてのブラックマトリクスを形成する方法は、上記遮光層の形成方法と同様にして行うことができる。
そして、隔壁(バンク)としてのブラックマトリクスを形成した後、該ブラックマトリクスの開口部内にインクジェット方式で着色インクを塗布する工程と、該着色インクを硬化させる工程とを繰り返して着色層を形成し、さらに必要に応じて透明保護膜を形成することによりカラーフィルタを製造することができる。インクジェット方式により着色層を形成する方法は、公知の手法を用いることができる。
A method of forming a black matrix as a partition (bank) using the photosensitive resin composition for forming a light shielding layer of the present invention can be performed in the same manner as the method for forming the light shielding layer.
Then, after forming a black matrix as a partition (bank), a colored layer is formed by repeating a step of applying a colored ink by an inkjet method in an opening of the black matrix and a step of curing the colored ink, Furthermore, a color filter can be manufactured by forming a transparent protective film as needed. A known method can be used as a method of forming a colored layer by an inkjet method.

本発明によれば、インクジェット方式における隔壁(バンク)として用いるブラックマトリクスを厚膜に形成することができるので、ブラックマトリクスの開口部に付与される着色インクが隔壁を超えてあふれ画素間で混色が生じるのを防止することができる。
またブラックマトリクスが薄い(隔壁が低い)場合に比べて、低粘度の着色インクを使用することができる。
また、従来どおりホトリソグラフ法によってもカラーフィルタを形成することができる。
According to the present invention, since a black matrix used as a partition (bank) in the ink jet system can be formed in a thick film, the color ink applied to the opening of the black matrix exceeds the partition and color mixing occurs between overflowing pixels. It can be prevented from occurring.
Further, compared with a case where the black matrix is thin (the partition walls are low), a colored ink having a low viscosity can be used.
In addition, a color filter can be formed by a photolithography method as usual.

(アルカリ可溶性樹脂の合成例1)
特開2001−354735号公報に従い、500mL四つ口フラスコ中に、ビスフェノールフルオレン型エポキシ樹脂235g(エポキシ当量235)とテトラメチルアンモニウムクロライド110mg、2,6−ジ−tertブチル−4−メチルフェノール100mg及びアクリル酸72.0gを仕込み、これに25mL/分の速度で空気を吹き込みながら90〜100℃で加熱溶解した。
次に、溶液が白濁した状態のまま徐々に昇温し、120℃に加熱して完全溶解させた。ここで溶液は次第に透明粘稠になったがそのまま攪拌を継続した。
この間、酸価を測定し、1.0mgKOH/g未満になるまで加熱攪拌を続けた。酸価が目標に達するまで12時間を要した。そして室温まで冷却し、無色透明で固体状の、下記化学式(3)で表されるビスフェノールフルオレン型エポキシアクリレートを得た。
(Synthesis example 1 of alkali-soluble resin)
In accordance with JP 2001-354735 A, in a 500 mL four-necked flask, 235 g of bisphenolfluorene type epoxy resin (epoxy equivalent 235), 110 mg of tetramethylammonium chloride, 100 mg of 2,6-di-tertbutyl-4-methylphenol and Acrylic acid 72.0 g was charged and heated and dissolved at 90 to 100 ° C. while blowing air at a rate of 25 mL / min.
Next, the temperature was gradually raised while the solution was clouded, and the solution was heated to 120 ° C. to be completely dissolved. Here, although the solution gradually became transparent and viscous, stirring was continued as it was.
During this time, the acid value was measured, and heating and stirring were continued until the acid value was less than 1.0 mgKOH / g. It took 12 hours for the acid value to reach the target. And it cooled to room temperature and obtained the bisphenol fluorene type epoxy acrylate represented by following Chemical formula (3) which is a colorless and transparent solid.

Figure 2006235153
Figure 2006235153

次いで、このようにして得られた上記のビスフェノールフルオレン型エポキシアクリレート307.0gにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート600gを加えて溶解した後、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物78g及び臭化テトラエチルアンモニウム1gを混合し、徐々に昇温して110〜115℃で4時間反応させた。
酸無水物基の消失を確認した後、1,2,3,6−テトラヒドロ無水フタル酸38.0gを混合し、90℃で6時間反応させ、上記化学式(1)(式中、Xは前記化学式(3)で表される化合物から2個の水酸基を除いた2価の残基であり、Yは、1,2,3,6−テトラヒドロ無水フタル酸からカルボン酸無水物基を除いた2価の残基であり、Zはビフェニルテトラカルボン酸二無水物から2個のカルボン酸無水物基を除いた4価の残基である。式中のY/Zのモル比=50.0/50.0である。)で表される化合物1を得た。酸無水物の消失はIRスペクトルにより確認した。
Next, after adding 600 g of propylene glycol monomethyl ether acetate to 307.0 g of the bisphenolfluorene type epoxy acrylate obtained in this way and dissolving, 78 g of biphenyltetracarboxylic dianhydride and 1 g of tetraethylammonium bromide were mixed. The temperature was gradually raised and the reaction was carried out at 110 to 115 ° C. for 4 hours.
After confirming the disappearance of the acid anhydride group, 38.0 g of 1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride was mixed and reacted at 90 ° C. for 6 hours to obtain the above chemical formula (1) (wherein X represents the above) It is a divalent residue obtained by removing two hydroxyl groups from the compound represented by the chemical formula (3), and Y is 2 obtained by removing a carboxylic acid anhydride group from 1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride. Z is a tetravalent residue obtained by removing two carboxylic anhydride groups from biphenyltetracarboxylic dianhydride, wherein the molar ratio of Y / Z in the formula = 50.0 / The compound 1 represented by this was obtained. The disappearance of the acid anhydride was confirmed by IR spectrum.

(実施例1)
下記の配合で各成分を混合して遮光層形成用感光性樹脂組成物を調製した。
(B)アルカリ可溶性樹脂として上記合成例1で得た化合物1を100質量部用いた。
(C)成分としてジペンタエリトリトールテトラアクリレートを50質量部用いた。
(A)遮光性色素として、ペリレン系黒色顔料分散液(C.I.ピグメントブラック31:15%、分散剤10%、溶剤:PGMEA)を30質量部用いた。
(D)光重合開始剤として、チバスペシャリティーケミカルズ社製、製品名;イルガキュアー369、化合物名;2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オンを30質量部用いた。
(E)有機溶剤として、質量比PGMEA:3−メトキシブチルアセテートが1:3の
の混合溶剤を用いた。有機溶剤の使用量は固形分濃度が30質量%となるように調整した。
Example 1
Each component was mixed by the following mixing | blending and the photosensitive resin composition for light shielding layer formation was prepared.
(B) 100 parts by mass of Compound 1 obtained in Synthesis Example 1 was used as the alkali-soluble resin.
As the component (C), 50 parts by mass of dipentaerythritol tetraacrylate was used.
(A) 30 parts by mass of perylene-based black pigment dispersion (CI Pigment Black 31: 15%, dispersant 10%, solvent: PGMEA) was used as a light-shielding dye.
(D) As a photopolymerization initiator, manufactured by Ciba Specialty Chemicals, product name; Irgacure 369, compound name; 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one 30 parts by mass was used.
(E) As the organic solvent, a mixed solvent having a mass ratio of PGMEA: 3-methoxybutyl acetate of 1: 3 was used. The amount of the organic solvent used was adjusted so that the solid concentration was 30% by mass.

上記で調製した遮光層形成用感光性樹脂組成物を、ガラス基板にスピンコーター(1H−360s:ミカサ社製)を用いて塗布し、90℃で2分間ホットプレート上にて乾燥して塗膜を形成した。
次いで、露光機(EXM−1066−E01:オーク社製)にて照射エネルギー線量20mJ/cmで露光した。露光後、水酸化カリウム0.04%現像液にてスプレー方式により60秒間現像した。さらに200℃で30分間のポストベークを行って、膜厚2.5である20μmのマトリクスパターン、ドットパターン、孤立パターンのブラックマトリックスを形成した。形成されたブラックマトリクスのOD値は3.0であった。
得られたブラックマトリクスの形状は良好であった。
The photosensitive resin composition for forming a light shielding layer prepared above is applied to a glass substrate using a spin coater (1H-360s: manufactured by Mikasa), and dried on a hot plate at 90 ° C. for 2 minutes to form a coating film. Formed.
Subsequently, it exposed with the irradiation energy dose of 20 mJ / cm < 2 > with the exposure machine (EXM-1066-E01: product made from Oak Co.). After the exposure, development was performed for 60 seconds by a spray method using a potassium hydroxide 0.04% developer. Further, post baking was performed at 200 ° C. for 30 minutes to form a 20 μm matrix pattern, a dot pattern, and an isolated pattern black matrix having a film thickness of 2.5. The OD value of the formed black matrix was 3.0.
The shape of the obtained black matrix was good.

(比較例1)
上記実施例1の配合において、(A)遮光性色素として、ペリレン系顔料を用いず、代わりにカーボンブラック分散液「CFブラックEX−1455」(御国色素社製、カーボンブラック24%含有)を50質量部用いた他は、実施例1と同様にして遮光層形成用感光性樹脂組成物を調製した。
得られた遮光層形成用感光性樹脂組成物を用い、実施例1と同様にして膜厚2μmである20μmのマトリクスパターン、ドットパターン、孤立パターンのブラックマトリックスを形成しようとしたが、形状にかかわらず全てはがれてしまい形成することができなかった。
(Comparative Example 1)
In the formulation of Example 1 above, (A) As a light-shielding dye, a perylene pigment was not used, and instead a carbon black dispersion “CF Black EX-1455” (manufactured by Mikuni Dye Co., Ltd., containing 24% carbon black) was used. A photosensitive resin composition for forming a light shielding layer was prepared in the same manner as in Example 1 except that parts by mass were used.
Using the obtained photosensitive resin composition for forming a light shielding layer, an attempt was made to form a 20 μm matrix pattern, a dot pattern, and an isolated pattern black matrix having a film thickness of 2 μm in the same manner as in Example 1. All were peeled off and could not be formed.

(実施例2)
実施例1の配合において、ペリレン系顔料分散液の30質量部に代えて、該ペリレン顔料分散液と前記カーボンブラック分散液「CFブラックEX−1455」とを90:10の割合で混合した顔料混合液を40質量部を用いて遮光層形成用感光性樹脂組成物を調製した。
得られた遮光層形成用感光性樹脂組成物を用い、実施例1と同様にして塗膜を形成し、30mJ/cmで露光した。露光後、水酸化カリウム0.04%現像液にてスプレー方式により60秒間現像した。さらに200℃で30分間のポストベークを行って、膜厚3μmである20μmのマトリクスパターン、ドットパターン、孤立パターンのブラックマトリックスを形成した。形成されたブラックマトリクスのOD値は4.5であった。
得られたブラックマトリクスの形状は良好であった。
(Example 2)
In the formulation of Example 1, instead of 30 parts by mass of the perylene pigment dispersion, a pigment mixture in which the perylene pigment dispersion and the carbon black dispersion “CF Black EX-1455” were mixed at a ratio of 90:10 A light-sensitive layer forming photosensitive resin composition was prepared using 40 parts by mass of the liquid.
Using the obtained photosensitive resin composition for forming a light shielding layer, a coating film was formed in the same manner as in Example 1, and exposed at 30 mJ / cm 2 . After the exposure, development was performed for 60 seconds by a spray method using a potassium hydroxide 0.04% developer. Further, post-baking was performed at 200 ° C. for 30 minutes to form a black matrix of 20 μm matrix pattern, dot pattern, and isolated pattern with a film thickness of 3 μm. The OD value of the formed black matrix was 4.5.
The shape of the obtained black matrix was good.

(実施例3)スペーサー
実施例1の配合において、ペリレン系顔料分散液の30質量部に代えて、該ペリレン顔料分散液と赤色顔料分散液(C.I.Pigment Red 177を23.4%含有)と青色顔料分散液(C.I.Pigment Blue 15:6を含む23.4%含有)を88:5:7の割合で混合した顔料混合液40質量部を用いて遮光層形成用感光性樹脂組成物を調製した。
得られた遮光層形成用感光性樹脂組成物を用い、実施例1と同様にして塗膜を形成し、200mJ/cmで露光した。露光後、TMAH 0.1%現像液にてスプレー方式により60秒間現像した。さらに250℃で30分間のポストベークを行って、膜厚5μmである20μmのドットパターンからなるスペーサーを形成した。形成されたスペーサーのOD値は4.0であった。
得られたスペーサーの形状は良好であった。
(Example 3) Spacer In the formulation of Example 1, instead of 30 parts by mass of the perylene pigment dispersion, the perylene pigment dispersion and the red pigment dispersion (CI Pigment Red 177 were contained in 23.4%) ) And a blue pigment dispersion (containing 23.4% including CI Pigment Blue 15: 6) at a ratio of 88: 5: 7 in a ratio of 88: 5: 7, the light-sensitive layer-forming photosensitivity. A resin composition was prepared.
Using the obtained photosensitive resin composition for forming a light shielding layer, a coating film was formed in the same manner as in Example 1 and exposed at 200 mJ / cm 2 . After the exposure, the film was developed with a TMAH 0.1% developer by a spray method for 60 seconds. Further, post-baking was performed at 250 ° C. for 30 minutes to form a spacer composed of a 20 μm dot pattern having a thickness of 5 μm. The OD value of the formed spacer was 4.0.
The shape of the obtained spacer was good.

(比較例2)
上記実施例3の配合において、前記顔料混合液の40質量部に代えて、カーボンブラック分散液「CFブラックEX−1455」(御国色素社製、カーボンブラック24%含有)40質量部を用いた他は、実施例1と同様にして遮光層形成用感光性樹脂組成物を調製した。
得られた遮光層形成用感光性樹脂組成物を用い、実施例3と同様にして膜厚5μmである20μmのドットパターンを形成した。形成されたスペーサーのOD値は4.0であった。
得られたスペーサーの表面はしわが発生し、スペーサーとしての使用は不可能の状態であった。

(Comparative Example 2)
In the formulation of Example 3 above, instead of 40 parts by mass of the pigment mixture, 40 parts by mass of carbon black dispersion “CF Black EX-1455” (manufactured by Mikuni Dye Co., Ltd., containing 24% carbon black) was used. Prepared a light-sensitive layer-forming photosensitive resin composition in the same manner as in Example 1.
Using the obtained photosensitive resin composition for forming a light shielding layer, a dot pattern of 20 μm having a thickness of 5 μm was formed in the same manner as in Example 3. The OD value of the formed spacer was 4.0.
The surface of the obtained spacer was wrinkled, and could not be used as a spacer.

Claims (7)

(A)遮光性色素、(B)アルカリ可溶性樹脂、(C)光重合性化合物、および(D)光重合開始剤を含有し、膜厚が2μm超の遮光層を形成するための感光性樹脂組成物であって、
前記(A)遮光性色素が、ペリレン系黒色顔料を含むことを特徴とする遮光層形成用感光性樹脂組成物。
Photosensitive resin for forming a light-shielding layer having a thickness of more than 2 μm, comprising (A) a light-shielding dye, (B) an alkali-soluble resin, (C) a photopolymerizable compound, and (D) a photopolymerization initiator. A composition comprising:
(A) The light-shielding pigment | dye contains the perylene-type black pigment in (A) light-shielding pigment | dye, The photosensitive resin composition for light shielding layer formation characterized by the above-mentioned.
前記膜厚が3〜10μmである請求項1記載の遮光層形成用感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition for forming a light shielding layer according to claim 1, wherein the film thickness is 3 to 10 μm. 前記(B)アルカリ可溶性樹脂100質量部に対して、前記ペリレン系黒色顔料を5〜250質量部含む請求項1または2記載の遮光層形成用感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition for light shielding layer formation of Claim 1 or 2 which contains 5-250 mass parts of said perylene type black pigments with respect to 100 mass parts of said (B) alkali-soluble resin. 前記遮光層がスペーサー機能を有する遮光層である請求項1〜3のいずれか一項に記載の遮光層形成用感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition for forming a light shielding layer according to claim 1, wherein the light shielding layer is a light shielding layer having a spacer function. 前記遮光層が、予め形成したブラックマトリクスの開口部内にインクジェット方式で着色層を形成してカラーフィルタを製造する方法におけるブラックマトリクスである請求項1〜4のいずれか一項に記載の遮光層形成用感光性樹脂組成物。   The light shielding layer formation according to any one of claims 1 to 4, wherein the light shielding layer is a black matrix in a method for producing a color filter by forming a colored layer in an opening of a black matrix formed in advance by an ink jet method. Photosensitive resin composition. 請求項1〜5のいずれか一項に記載の遮光層形成用感光性樹脂組成物を用いて形成される遮光層。   The light shielding layer formed using the photosensitive resin composition for light shielding layer formation as described in any one of Claims 1-5. 請求項1〜5のいずれか一項に記載の遮光層形成用感光性樹脂組成物を用いて形成されるブラックマトリクスが設けられているカラーフィルタ。



The color filter provided with the black matrix formed using the photosensitive resin composition for light shielding layer formation as described in any one of Claims 1-5.



JP2005048507A 2005-02-24 2005-02-24 Photosensitive resin composition for forming light shielding layer, light shielding layer and color filter Active JP4794870B2 (en)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005048507A JP4794870B2 (en) 2005-02-24 2005-02-24 Photosensitive resin composition for forming light shielding layer, light shielding layer and color filter
KR1020077019562A KR100919148B1 (en) 2005-02-24 2006-02-09 Photosensitive resin composition for forming light shielding layer, light shielding layer and color filter
CN2006800056119A CN101128774B (en) 2005-02-24 2006-02-09 Photosensitive resin composition for forming light shielding layer, light shielding layer and color filter
PCT/JP2006/302234 WO2006090590A1 (en) 2005-02-24 2006-02-09 Photosensitive resin composition for forming light shielding layer, light shielding layer and color filter
TW95105103A TWI308669B (en) 2005-02-24 2006-02-15 Photosensitive resin composition for use in forming light-blocking layer, light-blocking layer and color filter

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005048507A JP4794870B2 (en) 2005-02-24 2005-02-24 Photosensitive resin composition for forming light shielding layer, light shielding layer and color filter

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2006235153A true JP2006235153A (en) 2006-09-07
JP4794870B2 JP4794870B2 (en) 2011-10-19

Family

ID=36927232

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005048507A Active JP4794870B2 (en) 2005-02-24 2005-02-24 Photosensitive resin composition for forming light shielding layer, light shielding layer and color filter

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JP4794870B2 (en)
KR (1) KR100919148B1 (en)
CN (1) CN101128774B (en)
TW (1) TWI308669B (en)
WO (1) WO2006090590A1 (en)

Cited By (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008304710A (en) * 2007-06-07 2008-12-18 Hitachi Chem Co Ltd Photosensitive resin composition and photosensitive film
JP2009258613A (en) * 2008-03-26 2009-11-05 Taiyo Ink Mfg Ltd Photosensitive resin composition, cured material thereof and printed wiring board having solder-resist layer made of cured material thereof
US7749682B2 (en) * 2006-05-30 2010-07-06 Nippon Sheet Glass Co., Ltd. Alkali-developable black photosensitive resin composition for forming light-shielding barrier wall
WO2011039984A1 (en) * 2009-09-29 2011-04-07 太陽ホールディングス株式会社 Photosensitive resin composition, cured product thereof, and printed wiring board
JP2011257711A (en) * 2010-06-11 2011-12-22 Tamura Seisakusho Co Ltd Black curable resin composition
JP2012018384A (en) * 2010-06-08 2012-01-26 Toyo Ink Sc Holdings Co Ltd Black resin composition and black matrix
JP2013134264A (en) * 2011-12-22 2013-07-08 Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd Photosensitive resin composition for black column spacer, black column spacer, display device, and method for forming black column spacer
JP2013134263A (en) * 2011-12-22 2013-07-08 Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd Photosensitive resin composition for black column spacer, black column spacer, display device, and method for forming black column spacer
US20140145126A1 (en) * 2012-11-27 2014-05-29 Jsr Corporation Photosensitive composition, colorant dispersion solution, light filter and light sensor
JP2014126663A (en) * 2012-12-26 2014-07-07 Nippon Kayaku Co Ltd Active energy ray-curable resin composition, colored spacer for display element and black matrix
JP2014164262A (en) * 2013-02-27 2014-09-08 Mitsubishi Chemicals Corp Photosensitive resin composition, cured product obtained by curing the same, color filter, and liquid crystal display device
JP2015069181A (en) * 2013-09-30 2015-04-13 Jsr株式会社 Radiation-sensitive resin composition, cured film, method for forming the same and display element
US20150183955A1 (en) * 2012-06-01 2015-07-02 Basf Se Black colorant mixture
JP2016053185A (en) * 2015-12-24 2016-04-14 東京応化工業株式会社 Photosensitive resin composition for black column spacer, black column spacer, display device, and method for forming black column spacer
KR20160060645A (en) 2013-09-25 2016-05-30 미쓰비시 가가꾸 가부시키가이샤 Photosensitive coloring composition, black matrix, coloring spacer, image display device, and pigment dispersion
JP2016218284A (en) * 2015-05-21 2016-12-22 株式会社きもと Light-shielding member, black resin composition, and black resin molding
JP2019035970A (en) * 2011-10-25 2019-03-07 三菱ケミカル株式会社 Colored photosensitive composition, colored spacer, color filter and liquid crystal display device
KR20190106497A (en) 2018-03-09 2019-09-18 동우 화인켐 주식회사 A black photo sensitive resin composition, a color filter comprising a black metrics, a column spacer or a black column spacer prepared by using the composition, and a liquid crystal display device comprising the color filter
KR20220050770A (en) 2020-10-16 2022-04-25 산요 시키소 가부시키가이샤 Black pigment dispersion
KR20220145534A (en) 2021-04-22 2022-10-31 제이에스알 가부시끼가이샤 Photosensitive resin composition for forming black matrix, method for forming black matrix, black matrix and organic el device
KR20230000980A (en) 2021-06-25 2023-01-03 산요 시키소 가부시키가이샤 Black pigment dispersion and chromatic color pigment dispersion

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103819082A (en) * 2014-02-20 2014-05-28 北京京东方光电科技有限公司 Cutting method of liquid crystal panel, and liquid crystal panel
JP6713746B2 (en) * 2015-10-08 2020-06-24 日鉄ケミカル&マテリアル株式会社 Photosensitive resin composition for light-shielding film having spacer function, light-shielding film, liquid crystal display device, method for producing photosensitive resin composition for light-shielding film having spacer function, method for producing light-shielding film, and production of liquid crystal display device Method
JP6318132B2 (en) * 2015-11-11 2018-04-25 株式会社有沢製作所 Colored photosensitive resin composition

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10268121A (en) * 1997-03-21 1998-10-09 Sumitomo Rubber Ind Ltd Ink for black matrix, and black matrix using it
JP2003105226A (en) * 2001-09-28 2003-04-09 Toda Kogyo Corp Coloring material for black matrix, coloring composition for black matrix containing the same, and color filter
JP2003139938A (en) * 2001-11-07 2003-05-14 Fuji Photo Film Co Ltd Method for manufacturing multicolor picture sheet, multicolor picture sheet and color filter
JP2004347916A (en) * 2003-05-23 2004-12-09 Toyo Ink Mfg Co Ltd Photosensitive color composition for forming color filter, and color filter

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4627617B2 (en) * 2003-05-23 2011-02-09 東洋インキ製造株式会社 Coloring composition, method for producing color filter, and method for producing black matrix substrate
CN1248052C (en) * 2004-03-26 2006-03-29 奇美实业股份有限公司 Light sensitive resin compsn. for black matrix
CN1260619C (en) * 2004-04-30 2006-06-21 奇美实业股份有限公司 Light-sensitive resin composition for black matrix

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10268121A (en) * 1997-03-21 1998-10-09 Sumitomo Rubber Ind Ltd Ink for black matrix, and black matrix using it
JP2003105226A (en) * 2001-09-28 2003-04-09 Toda Kogyo Corp Coloring material for black matrix, coloring composition for black matrix containing the same, and color filter
JP2003139938A (en) * 2001-11-07 2003-05-14 Fuji Photo Film Co Ltd Method for manufacturing multicolor picture sheet, multicolor picture sheet and color filter
JP2004347916A (en) * 2003-05-23 2004-12-09 Toyo Ink Mfg Co Ltd Photosensitive color composition for forming color filter, and color filter

Cited By (37)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7749682B2 (en) * 2006-05-30 2010-07-06 Nippon Sheet Glass Co., Ltd. Alkali-developable black photosensitive resin composition for forming light-shielding barrier wall
JP2008304710A (en) * 2007-06-07 2008-12-18 Hitachi Chem Co Ltd Photosensitive resin composition and photosensitive film
JP2009258613A (en) * 2008-03-26 2009-11-05 Taiyo Ink Mfg Ltd Photosensitive resin composition, cured material thereof and printed wiring board having solder-resist layer made of cured material thereof
JP2013137573A (en) * 2008-03-26 2013-07-11 Taiyo Holdings Co Ltd Photosensitive resin composition, cured product thereof and printed wiring board having solder resist layer made from cured product
KR101410086B1 (en) * 2009-09-29 2014-06-25 다이요 홀딩스 가부시키가이샤 Photosensitive resin composition, cured product thereof, and printed wiring board
WO2011039984A1 (en) * 2009-09-29 2011-04-07 太陽ホールディングス株式会社 Photosensitive resin composition, cured product thereof, and printed wiring board
JP2011075678A (en) * 2009-09-29 2011-04-14 Taiyo Holdings Co Ltd Photosensitive resin composition, cured product of the same, and printed wiring board
US9282644B2 (en) 2009-09-29 2016-03-08 Taiyo Holdings Co., Ltd. Photosensitive resin composition, cured product thereof, and printed wiring board
JP2012018384A (en) * 2010-06-08 2012-01-26 Toyo Ink Sc Holdings Co Ltd Black resin composition and black matrix
JP2011257711A (en) * 2010-06-11 2011-12-22 Tamura Seisakusho Co Ltd Black curable resin composition
JP2019035970A (en) * 2011-10-25 2019-03-07 三菱ケミカル株式会社 Colored photosensitive composition, colored spacer, color filter and liquid crystal display device
KR20130079165A (en) * 2011-12-22 2013-07-10 도쿄 오카 고교 가부시키가이샤 Photosensitive resin composition for black column spacer, black column spacer, display device, and forming method for the black column spacer
KR20170118006A (en) * 2011-12-22 2017-10-24 도쿄 오카 고교 가부시키가이샤 Photosensitive resin composition for black column spacer, black column spacer, display device, and forming method for the black column spacer
KR101988737B1 (en) * 2011-12-22 2019-06-12 도쿄 오카 고교 가부시키가이샤 Photosensitive resin composition for black column spacer, black column spacer, display device, and forming method for the black column spacer
KR101966995B1 (en) * 2011-12-22 2019-04-08 도쿄 오카 고교 가부시키가이샤 Photosensitive resin composition for black column spacer, black column spacer, display device, and forming method for the black column spacer
JP2013134264A (en) * 2011-12-22 2013-07-08 Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd Photosensitive resin composition for black column spacer, black column spacer, display device, and method for forming black column spacer
JP2013134263A (en) * 2011-12-22 2013-07-08 Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd Photosensitive resin composition for black column spacer, black column spacer, display device, and method for forming black column spacer
US20150183955A1 (en) * 2012-06-01 2015-07-02 Basf Se Black colorant mixture
US9217070B2 (en) * 2012-06-01 2015-12-22 Basf Se Black colorant mixture
JP2017199027A (en) * 2012-11-27 2017-11-02 Jsr株式会社 Light filter and light sensor
US9297927B2 (en) * 2012-11-27 2016-03-29 Jsr Corporation Photosensitive composition, colorant dispersion solution, light filter and light sensor
US20140145126A1 (en) * 2012-11-27 2014-05-29 Jsr Corporation Photosensitive composition, colorant dispersion solution, light filter and light sensor
JP2014126663A (en) * 2012-12-26 2014-07-07 Nippon Kayaku Co Ltd Active energy ray-curable resin composition, colored spacer for display element and black matrix
JP2014164262A (en) * 2013-02-27 2014-09-08 Mitsubishi Chemicals Corp Photosensitive resin composition, cured product obtained by curing the same, color filter, and liquid crystal display device
KR20230009515A (en) 2013-09-25 2023-01-17 미쯔비시 케미컬 주식회사 Photosensitive coloring composition, black matrix, coloring spacer, image display device, and pigment dispersion
KR20160060645A (en) 2013-09-25 2016-05-30 미쓰비시 가가꾸 가부시키가이샤 Photosensitive coloring composition, black matrix, coloring spacer, image display device, and pigment dispersion
KR20200030639A (en) 2013-09-25 2020-03-20 미쯔비시 케미컬 주식회사 Photosensitive coloring composition, black matrix, coloring spacer, image display device, and pigment dispersion
KR20220016300A (en) 2013-09-25 2022-02-08 미쯔비시 케미컬 주식회사 Photosensitive coloring composition, black matrix, coloring spacer, image display device, and pigment dispersion
KR20230085213A (en) 2013-09-25 2023-06-13 미쯔비시 케미컬 주식회사 Photosensitive coloring composition, black matrix, coloring spacer, image display device, and pigment dispersion
JP2015069181A (en) * 2013-09-30 2015-04-13 Jsr株式会社 Radiation-sensitive resin composition, cured film, method for forming the same and display element
JP2016218284A (en) * 2015-05-21 2016-12-22 株式会社きもと Light-shielding member, black resin composition, and black resin molding
US10975253B2 (en) 2015-05-21 2021-04-13 Kimoto Co., Ltd. Light-blocking member, black resin composition, and black resin molded article
JP2016053185A (en) * 2015-12-24 2016-04-14 東京応化工業株式会社 Photosensitive resin composition for black column spacer, black column spacer, display device, and method for forming black column spacer
KR20190106497A (en) 2018-03-09 2019-09-18 동우 화인켐 주식회사 A black photo sensitive resin composition, a color filter comprising a black metrics, a column spacer or a black column spacer prepared by using the composition, and a liquid crystal display device comprising the color filter
KR20220050770A (en) 2020-10-16 2022-04-25 산요 시키소 가부시키가이샤 Black pigment dispersion
KR20220145534A (en) 2021-04-22 2022-10-31 제이에스알 가부시끼가이샤 Photosensitive resin composition for forming black matrix, method for forming black matrix, black matrix and organic el device
KR20230000980A (en) 2021-06-25 2023-01-03 산요 시키소 가부시키가이샤 Black pigment dispersion and chromatic color pigment dispersion

Also Published As

Publication number Publication date
TWI308669B (en) 2009-04-11
CN101128774B (en) 2011-07-20
CN101128774A (en) 2008-02-20
KR20070100383A (en) 2007-10-10
KR100919148B1 (en) 2009-09-28
TW200641523A (en) 2006-12-01
WO2006090590A1 (en) 2006-08-31
JP4794870B2 (en) 2011-10-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4794870B2 (en) Photosensitive resin composition for forming light shielding layer, light shielding layer and color filter
JP4448381B2 (en) Photosensitive composition
JP4745110B2 (en) Photosensitive composition and color filter formed with the photosensitive composition
JP4510672B2 (en) Photosensitive resin composition and color filter
JP5096814B2 (en) Colored photosensitive composition
JP5890297B2 (en) Photosensitive resin composition, color filter and display device using the same, oxime ester compound, and photopolymerization initiator
JP2007033467A (en) Photosensitive composition and black matrix
JP2006330209A (en) Photosensitive composition and color filter formed of the photosensitive composition
JP2017102431A (en) Colored photosensitive resin composition, and color filter and image display device manufactured by using the same
JP4745146B2 (en) Colored photosensitive resin composition
KR20130084277A (en) Colored photosensitive resin composition, color filter and liquid crystal display
KR20160112640A (en) A color photosensitive resin composition, color filter and display device comprising the same
JP4675693B2 (en) Photosensitive resin composition
JP5636675B2 (en) Coloring composition for color filter, color filter, and color liquid crystal display element
JP2008268894A (en) Colored photosensitive resin composition, black matrix, color filter and liquid crystal display
KR101860580B1 (en) A black photosensitive resin composition, color filter and display device comprising the same
JPWO2011152277A1 (en) Coloring composition for color filter, color filter and display element
CN104749882B (en) Coloring composition, colored cured film, and display element
KR101962481B1 (en) A colored photosensitive resin composition, color filter and display device comprising the same
JP2008249822A (en) Colored photosensitive resin composition, color filter and liquid crystal display
JP4611724B2 (en) Photosensitive composition for forming light-shielding film, and black matrix formed with the photosensitive composition for forming light-shielding film
JP2006133338A (en) Photosensitive composition for forming light shielding film and black matrix formed of the photosensitive composition for forming light shielding film
JP5510080B2 (en) Coloring composition for color filter, color filter, and color liquid crystal display element
JP6051094B2 (en) Method for producing photosensitive substrate composition for forming light shielding layer
JP5851307B2 (en) Method for producing photosensitive substrate composition for forming light shielding layer

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20071109

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20101116

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110105

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

Effective date: 20110106

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20110719

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20110727

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4794870

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140805

Year of fee payment: 3