JP2006234975A - 位置合わせ用パターン、表示デバイス、表示デバイスの組立て方法、表示デバイスの位置合わせ検査方法 - Google Patents

位置合わせ用パターン、表示デバイス、表示デバイスの組立て方法、表示デバイスの位置合わせ検査方法 Download PDF

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Abstract


【課題】 簡便かつ高精度に位置合わせできる位置合わせ用パターンを提供する。
【解決手段】 液晶パネルの基板に設けられた第1パターン200と、フレキシブルテープに設けられた第2パターン300と、を備える。第1パターン200は、第1中心点220を中心とする周囲に第1補助孔群230を備える。第2パターン300は、第2中心点320を中心とする周囲に第2補助孔群330を備える。第1パターン200と第2パターン300とが重なる状態で、中心点を中心とした点対称位置におい孔が重なっている点対称組120〜150が4方向に存在する。各点対称組120〜150において中心点を挟んだ一方の重なり面積と他方の重なり面積とが等しい。
【選択図】図4

Description

本発明は、位置合わせ用パターン、表示デバイス、表示デバイスの組立方法、表示デバイスの位置合わせ検査方法に関する。
液晶パネル等の表示デバイスの組立てにあたって、基板同士を貼り合わせる際や、配線接続のためのフレキシブルテープを基板に貼り合わせる際に二つの部材の位置合わせを行っている(例えば、特許文献1)。
例えば、図13、図14は、特許文献1に開示される基板同士の位置合わせ方法を説明する図である。
液晶パネルは、一対の基板を貼り合わせて構成されるところ、一対の基板部材1,2のうちの第1基板1は、第1アライメントマーク9と、主尺目盛り4a〜4dとを備える。そして、第2基板2は、第1アライメントマーク9と対になる第2アライメントマーク10と、主尺目盛り4a〜4dと対になる副尺目盛り7a〜7dと、を備える。
主尺目盛り4a〜4dは、第1基板1の4隅に配設され、副尺目盛り7a〜7dも第2基板2の4隅に配設されている。そして、第1基板1と第2基板2とを貼り合わせるにあたっては、アライメントマーク9、10を重ねたうえで、主尺目盛りと副尺目盛りとが互いの基準目盛りで重なりあうようにする。4隅に設けられた主尺目盛り4a〜4dと副尺目盛り7a〜7dとを重ねるようにすると、二枚の基板1、2が正確に貼り合わされる。
特開平9−230800号公報
しかしながら、帯状の目盛りを読むのには主観的な差があり、主尺目盛り4a〜4dと副尺目盛り7a〜7dとの重なり度の判断にも主観的な差が生じる。したがって、作業員ごとに位置合わせの精度が異なってくるという問題が生じる。
また、目盛りが非常に小さいので、目盛りの確認は顕微鏡下において作業する必要があるところ、4箇所において主尺目盛り4a〜4dと副尺目盛り7a〜7dとを位置合わせすることには相当の困難が生じ、作業の手間および時間が非常にかかってしまうという問題がある。
本発明の目的は、簡便かつ高精度に位置合わせできる位置合わせ用パターン、表示デバイスの位置合わせ方法、表示デバイスの組立方法、表示デバイスの検査方法を提供することにある。
本発明の位置合わせ用パターンは、互いを所定位置関係にして重ね合わされる第1部材と第2部材との位置合わせのための位置合わせ用パターンであって、前記第1部材に設けられた第1パターンと、前記第2部材に設けられ、この第2部材を前記第1部材に重ねた際に前記第1パターンに重なる第2パターンと、を備え、前記第1パターンは、中心位置となる第1中心点を中心とする周囲において複数設けられた透光部により構成される第1補助透光部群を備え、前記第2パターンは、中心位置となる第2中心点を中心とする周囲において複数設けられた第2補助透光部群を備え、前記第1パターンと前記第2パターンとを重ねて前記第1中心点と前記第2中心点とが重なる状態において、前記第1および第2中心点を中心とした点対称位置において前記第1補助透光部群の前記透光部と前記第2補助透光部群の前記透光部とが重なっている点対称組が少なくとも異なる二方向に存在し、前記各点対称組において前記第1および第2中心点を挟んだ一方の重なり面積と他方の重なり面積とが等しいことを特徴とする。
このような構成において、第1部材と第2部材とを所定位置関係に重ね合わせるにあたって、第1部材に設けられた第1パターンと第2部材に設けられた第2パターンとを重ねて、第1パターンと第2パターンとの位置合わせによって第1部材と第2部材との位置合わせが行われる。
そして、第1パターンと第2パターンとが重ね合わされたとき、第1パターンには第1補助透光部群が設けられ、第2パターンには第2補助透光部群が設けられているので、第1補助透光部群の透光部と第2補助透光部群の透光部とで透光部同士が重なり、透光部同士の重なりから光が透過する。
そこで、透過してくる光の有無さらには光の光量により第1パターンと第2パターンとの重なりの程度を判断することができる。そして、光が透過しているかどうかは極めて明瞭に誰にでも認識できる客観的なサインである。
したがって、例えば帯状の目盛り同士を合わせることに比べて作業者の主観に影響されにくく、位置合わせの程度のばらつきを極限的に抑えることができる。
また、第1パターンと第2パターンとで互いの中心点同士が重なったときに、中心点を中心とした点対称位置で透光部同士が重なる組が異なる二方向に存在するので、逆に、二方向において透光部の重なりが生じるように第1パターンと第2パターンとの位置を調整することにより、二次元的な位置合わせを行うことができる。
従来の位置合わせ用パターンでは一方向の位置合わせしかできなかったため、二次元的な位置合わせを行うためには一方向の位置合わせパターンを複数個所(例えば4箇所)に設けておかねばならず、複数のパターンを同時に調整して位置合わせすることが難しかった。この点、本発明は、一箇所のパターン合わせだけで二次元的な位置合わせができるので簡便であり、作業時間も短縮できる。
さらに、中心を挟んだ点対称位置の組において、一方の透光部の重なりから透過してくる光の量と他方の透光部の重なりから透過してくる光の量を均等にすることによって、第1パターンと第2パターンとのずれを微調整し、第1パターンと第2パターンとを極めて高精度に位置合わせすることができる。
例えば従来一般に行われているように中心を挟んで両側の目盛りの重なり度合いが均等であることを判断するのは困難であり、多分に作業者の主観や癖に影響されるところ、中心を挟んで透過してくる二つの光のうちどちらが明るいか暗いかといった明るさの判断は容易であり、かつ、誰の目にもほぼ同じように判断できる明瞭なサインとなる。よって、どの作業者がやっても迅速かつ高精度に位置合わせを行うことができる。
本発明では、前記第1補助透光部群の前記透光部の配列ピッチと前記第2補助透光部群の前記透光部の配列ピッチとは互いに異なっていることが好ましい。
このように第1パターンと第2パターンとで補助透光部群の透光部の配列ピッチが異なっているので、一方が本尺目盛り、他方が副尺目盛りとなる関係となり、どの透光部同士で重なっているかをみることで、中心点同士がどの程度離間しているかの目算をつけたり、中心点同士がどちらの方向にずれているかの目星をつけたりすることができる。
したがって、このような目算や目星をつけたうえで第1パターンと第2パターンとの位置を調整でき、非常に簡便かつ迅速に第1パターンと第2パターンとの中心点同士を重ねて位置合わせすることができる。
ここで、第1補助透光部群と第2補助透光部群とで配列ピッチを異ならせるにあたり、例えば、第1補助透光部群の透光部と第2補助透光部群の透光部とが格子状に配列されている場合には互いの格子ピッチを異ならせればよい。また、第1補助透光部群の透光部と第2補助透光部群の透光部とが中心点から放射状に配列されている場合、中心点から放射方向に見たときの配列ピッチが互いに異なっていてもよい。
また、本発明では、第1パターンと第2パターンとが位置合わせされた状態において、第1補助透光部の透光部と第2補助透光部の透光部との重なり面積が小さいことが好ましい。
例えば、第1パターンと第2パターンとで補助透光部の配列ピッチまたは透光部の大きさを異ならせて、第1パターンと第2パターンとの位置合わせが正確に行われた状態で第1補助透光部の透光部と第2補助透光部の透光部との重なり面積が小さくなるように設定しておく。すると、第1パターンと第2パターンとを位置合わせする際に、わずかでも互いの位置関係がずれていれば光が透過してこない一方、透光部同士の重なりから光が透過するように位置をあわせれば、少なくとも透光部同士の重なり面積程度の精度で位置合わせできたことが確認できる。
光の透過の有無は誰の目にも明らかに分かるサインであるので、透過してくる光を確認することで正確に位置合わせされていることが容易かつ瞬時に判断できる。
なお、透光部同士の重なり面積の大きさとしては、位置合わせにおいて許容される公差程度にすることが例として挙げられる。この構成によれば、透光部同士の重なりから透過してくる光を確認することで、公差内の精度で位置合わせできたことが確認できる。
本発明では、前記第1中心点には第1中心透光部が設けられ、前記第2中心点には第2中心透光部が設けられていることが好ましい。
このような構成において、中心透光部同士が重なってこの透光部の重なりから光が透過してくると、中心点同士が重なっていることが簡単に分かる。そのうえで、中心点を挟む点対称位置の透光部の重なり度合いを調整すれば、簡便かつ迅速に位置合わせすることができる。
本発明の位置合わせ用パターンは、互いを所定位置関係にして貼り合わされる第1部材と第2部材との位置合わせのための位置合わせ用パターンであって、前記第1部材に設けられた第1パターンと、前記第2部材に設けられ、この第2部材を前記第1部材に張り合わせた際に前記第1パターンに重なる第2パターンと、を備え、前記第1パターンは、中心点に設けられた第1中心透光部と、この第1中心透光部を中心とする周囲において複数設けられた透光部により構成される第1補助透光部群と、を備え、前記第2パターンは、中心点に設けられた第2中心透光部と、前記第1補助透光部群の透光部と同じピッチで前記第2中心透光部を中心とする周囲において複数設けられた透光部により構成される第2補助透光部群と、を備えることを特徴とする。
このような構成によれば、第1パターンと第2パターンとは同じ位置に透光部を有しているのであるから、総ての透光部同士が重なって総ての透光部同士の重なりから光が透過してくれば、第1パターンと第2パターンとが完全に位置合わせされたことを簡便に判断することができる。
本発明の位置合わせ用パターンは、互いを所定位置関係にして重ね合わせられる第1部材と第2部材との位置合わせにあたって、所定の一方向における位置合わせのための位置合わせ用パターンであって、前記第1部材に設けられた第1パターンと、前記第2部材に設けられ、この第2部材を前記第1部材に重ね合わせた際に前記第1パターンの少なくとも一部に重なる第2パターンと、を備え、前記第1パターンは、前記一方向に直交する方向にいくに従って先細る形状で設けられた光透過性の第1マークを前記一方向に沿って複数有し、前記第2パターンは、前記第2部材を前記第1部材に重ねた際に前記第1マークとは先端同士が突き合う向きに先細る形状で設けられた光透過性の第2マークを前記一方向に沿って複数有することを特徴とする。
このような構成において、第1部材と第2部材との一方向における位置合わせにあたって、第1パターンと第2パターンとの位置合わせによって第1部材と第2部材との位置合わせが行われる。
そして、第1パターンには光透過性の第1マークが設けられ、第2パターンには光透過性の第2マークが設けられているので、第1パターンと第2パターンとが重ね合わされた状態で第1マークと第2マークとが重なり、この重なりから光が透過してくる。そこで、透過してくる光の有無さらには光の光量により第1パターンと第2パターンとの重なりの程度を判断することができる。光が透過しているかどうかは極めて明瞭に誰にでも認識できる客観的なサインである。したがって、例えば帯状の目盛り同士を合わせることに比べて作業者の主観に影響されにくく、位置合わせの程度のばらつきを極限的に抑えることができる。
また、第1パターンの第1マークと第2パターンの第2マークとでは、互いの先端を突きあうように先細る形状であるので、互いの先端同士が重ねられたとき、互いの点と点との位置合わせにより極めて高精度な位置合わせが達成される。
そして、まずおおよその目算で第1マークと第2マークとが広い面積で確実に重なるように重ねておいて、続いて、この重なりを確認しながら第1パターンと第2パターンとを相対的に移動させて、第1マークと第2マークとの重なり面積が小さく、すなわち、透過してくる光の量が少なくなるようにする。すると、第1マークと第2マークとの先端同士が重なる状態にもっていくことができる。
単純に点のみがマークされたパターン同士を合わせる場合に点同士が完全に重なっているかどうかの判断は作業者の主観に左右されやすいが、本発明では、第1マークと第2マークとの先端同士の重なりから極めて微量の光が透過していることを確認すれば、先端同士で重なっていることが容易かつ確実に判断できる。
また、はじめは第1マークと第2マークとが大きく重なって多量に見えていた透過光を徐々に絞るように第1パターンと第2パターンとをずらしていけばよいので、第1パターンと第2パターンとを動かすべき方向が容易にわかる。その結果、作業効率を向上させることができる。
本発明では、前記第1マークおよび前記第2マークは、前記第1部材と前記第2部材とが貼り合わせられた際に互いの頂角を突き合わせる向きで設けられた三角形状のマークであることが好ましい。
なお、先細る形状としては、三角形状の他、三角形の頂角を挟む二辺を階段状にして先端に向かうに従って段階的に先細る形状であってもよい。
本発明では、前記第1パターンにおける第1マークの配列ピッチと前記第2パターンにおける前記第2マークの配列ピッチとは互いに異なり、前記第1部材と前記第2部材と位置合わせされた際に重なるべき第1マークと第2マークとをそれぞれ示す指示手段が設けられていることが好ましい。
このように第1パターンと第2パターンとで第1マークと第2マークとの配列ピッチが異なっていれば、一方が本尺目盛りとなり他方が副尺目盛りとなる関係となり、マーク同士で重なっているかをみることで、本来重なるべきマーク同士がどの程度離間しているかの目算をつけたり、どちらの方向にずれているかの目星をつけたりすることができる。
したがって、このような目算や目星をつけたうえで第1パターンと第2パターンとの位置を調整でき、非常に簡便かつ迅速に第1パターンと第2パターンとの位置合わせすることができる。
本発明の表示デバイスは、互いを所定位置関係にして貼り合わされる第1部材と第2部材とを有する表示デバイスであって、前記第1部材には前記第1パターンが設けられ、前記第2部材には前記第2パターンが設けられていることを特徴とする。
本発明の表示デバイスは、互いを所定位置関係にして貼り合わされる第1部材と第2部材とを有する表示デバイスであって、前記第1部材には前記第1パターンが設けられ、前記第2部材には前記第2パターンが設けられていることを特徴とする。
このような構成によれば、上記発明の作用効果により、第1パターンと第2パターンとを簡便かつ高精度に位置合わせでき、迅速かつ高精度に組立て可能な表示デバイスとすることができる。
本発明の表示デバイスの組立方法は、表示デバイスの組立において互いを所定位置関係にして貼り合わされる第1部材と第2部材とを位置合わせして組み立てる組立方法であって、前記第1部材に前記第1パターンを設ける工程と、前記第2部材に前記第2パターンを設ける工程と、前記第1部材と前記第2部材とを重ねた際に前記第1補助透光部群と前記第2補助透光部群との重なりから透過する光の量に基づいて前記第1部材と前記第2部材との位置合わせを行う工程と、を備えることを特徴とする。
本発明の表示デバイスの組立方法は、表示デバイスの組立において互いを所定位置関係にして貼り合わされる第1部材と第2部材とを位置合わせして組み立てる組立方法であって、前記第1部材に前記第1パターンを設ける工程と、前記第2部材に前記第2パターンを設ける工程と、前記第1マークと前記第2マークとの重なりから透過する光の量に基づいて前記第1部材と前記第2部材との位置合わせを行う工程と、を備えることを特徴とする。
このような構成によれば、上記発明の作用効果により、第1パターンと第2パターンとを簡便かつ高精度に位置合わせすることができ、表示デバイスを迅速かつ高精度に組立てることができる。
本発明の表示デバイスの位置合わせ検査方法は、互いを所定位置関係にして貼り合わされる第1部材と第2部材とを有する表示デバイスの前記第1部材と前記第2部材との位置合わせ度を検査する表示デバイスの位置合わせ検査方法であって、前記第1部材には前記第1パターンが設けられ、前記第2部材には前記第2パターンが設けられており、前記第1補助透光部群と前記第2補助透光部群との重なりから透過する透過光を検出する透過光検出工程と、前記透過光に基づいて前記第1部材と前記第2部材との位置合わせ度を検査する検査工程と、を備えることを特徴とする。
本発明の表示デバイスの位置合わせ検査方法は、互いを所定位置関係にして貼り合わされる第1部材と第2部材とを有する表示デバイスの前記第1部材と前記第2部材との位置合わせ度を検査する表示デバイスの位置合わせ検査方法であって、前記第1部材には前記第1パターンが設けられ、前記第2部材には前記第2パターンが設けられており、前記第1マークと前記第2マークとの重なりから透過する透過光を検出する透過光検出工程と、前記透過光に基づいて前記第1部材と前記第2部材との位置合わせ度を検査する検査工程と、を備えることを特徴とする。
このような構成によれば、光の透過光量あるいは透過光の位置を検出することで、第1パターンと第2パターンとの重なりの程度を定量的に検出することができる。
以下、本発明の実施の形態を図示するとともに図中の各要素に付した符号を参照して説明する。
(第1実施形態)
本発明の第1実施形態について説明する。
本発明は、表示デバイスの組立にあたって、互いを所定位置関係にして貼り合わせられる二つの部材に位置合わせ用のパターンを設けて、この位置合わせ用パターンを用いて両部材を正確に貼り合わせる方法についての発明である。
そこで、本第1実施形態では、液晶パネル(表示デバイス)の基板910に配線を有するフレキシブルテープ920を貼り合わせる場合を例にして説明する。
図1は、液晶パネル900の基板910と、配線を有するフレキシブルテープ920と、を示す図である。
液晶パネル900の基板910には、その一辺912にデータ線および走査線の端子911が配列されている。フレキシブルテープ920の一辺922には、液晶パネル900のデータ線および走査線に接続される配線端子921が配列されている。
そして、液晶パネル900の組立にあたっては、例えば、図4に示されるように、データ線および走査線の端子911にフレキシブルテープ920の配線端子921が正確に接続されるように液晶パネル900の基板910とフレキシブルテープ920とを貼り合わせなければならない。
液晶パネル900の基板910の一辺912における端部とフレキシブルテープ920の一辺922の端部には、液晶パネル900の基板910とフレキシブルテープ920との位置合わせのための位置合わせ用パターン100が設けられている。
位置合わせ用パターン100は、液晶パネル900の基板910に設けられる第1パターン200と、フレキシブルテープ920に設けられる第2パターン300と、からなる。
図2に、位置合わせ用パターン100の第1パターン200を示し、図3に、位置合わせ用パターン100の第2パターン300を示す。
図2に示される第1パターン200は、略正方形の領域210において、中心点220に穿設された第1中心孔(第1中心透光部)221と、第1中心孔221の周囲に複数穿設された第1補助孔群(第1補助透光部群)230と、を備える。
第1パターン200には、第1中心孔221および第1補助孔群230の孔(透光部)231を含めて49個の孔が格子状に配列されている。孔の大きさは0.1mm程度である。また、総ての孔は円形である。
格子配列のx方向およびy方向には各方向のセンターを示すセンターマーク240、240が穿設されている。
二つのセンターマーク240、240によりそれぞれ示される方向を結んだ線の交点が第1パターン200の中心点としての第1中心点220となり、この第1中心点220に穿設された孔が第1中心孔221である。
図3に示される第2パターン300は、第1パターン200と同様に、略正方形310の領域において、中心点320に穿設された第2中心孔(第2中心透光部)321と、第2中心孔321の周囲に複数穿設された第2補助孔群(第2補助透光部)330と、を備える。
第2パターン300も第1パターン200と同様に、第2中心孔321および第2補助孔群330の孔を含めて49個の孔が格子状に配列されている。第2パターン300の孔の大きさは、0.2mm程度である。また、総ての孔は円形である。
そして、格子配列のx方向およびy方向には各方向のセンターを示すセンターマーク340、340が穿設され、二つのセンターマーク340、340によりそれぞれ示される方向を結んだ線の交点が第2パターン300の中心点としての第2中心点320となり、この第2中心点320に穿設された孔が第2中心孔321である。
ここで、第1パターン200に穿設された孔(第1中心孔221、第1補助孔)の配列ピッチと、第2パターン300に穿設された孔(第2中心孔321、第2補助孔)の配列ピッチと、は互いに異なり、第1パターン300の第2補助孔群330の方が広い格子ピッチで穿設されている。
また、第1パターン200の孔の径に比べて第2パターン300の孔の径の方が小さい。
次に、第1パターン200と第2パターン300とが理想的に完全に重なった状態について説明する。
図4は、第1パターン200と第2パターン300とを重ね合わせた図である。
図4に示されるように、第1パターン200と第2パターン300とが正確に重なりあったとき、第1パターン200の第1中心孔221と第2パターン300の第2中心孔321とは完全に重なる。
そして、この第1および第2中心孔221、321の周囲に対称に第1補助孔群230の孔231と第2補助孔群330の孔331との重なりが生じる。
図4中において、重なりあった第1および第2中心孔221、321の周囲にある8箇所において第1補助孔群230の孔231と第2補助孔群330の孔331とが重なっている。ただし、第1補助孔群230と第2補助孔群330とでは互いの配列ピッチが異なるので、中心の周囲の8箇所では完全な重なりではなく、一部が重なっている状態である。
なお、この8箇所を除いては第1補助孔群230の孔231と第2補助孔群330の孔331との重なりは存在しない。そして、第1補助孔群230と第2補助孔群330との配列ピッチが異なっているところ、中心から遠ざかるにつれて対応する孔同士の離間間隔は広がっていく。
第1補助孔群230の孔231および第2補助孔群330の孔331とは中心孔221、321を中心にして格子状に配列されているので、重なった孔は中心点220、320を中心とした点対称に位置し、中心孔221、321を中心とする点対称の組が4組120、130、140、150できる。点対称である各組120、130、140、150において中心を挟んだ一方の重なりと他方の重なり具合は同じになる。
このような第1パターン200が設けられた液晶パネル900の基板910と第2パターン300が設けられたフレキシブルテープ920とを重ね合わせて組み立てる方法について説明する。
図5は、液晶パネル900の基板910とフレキシブルテープ920とを重ね合わせて張り合わせる様子を示す図である。
図5に示されるように、液晶パネル900の基板910とフレキシブルテープ920とを貼り合わせるにあたっては、液晶パネル900の背面側に光源400を配置して、第1パターン200の孔と第2パターン300の孔とを透過する光に基づいて基板910とフレキシブルテープ920との位置合わせを行う。なお、作業環境としては暗室か、あるいは薄暗いところであることが好ましい。
具体的には、まず、基板910とフレキシブルテープ920とをおおよその目分量で適当に重ね合わせる。
この際に、第1パターン200と第2パターン300とが正確に重なっていない場合、第1中心孔221と第2中心孔321とはもちろん重ならないが、複数ある補助孔群230、330のどこかで一箇所あるいは複数個所で孔同士の重なりが生じる。そして、重なりが生じた孔を通って光源400からの光が透過してくる。このように孔を透過してくる光を観察することができれば、第1パターン200と第2パターン300とは、中心点同士を合わせた完全な重なりではないものの、第1パターン200と第2パターン300とはある程度重なっていることが認識される。
また、透過してくる光の観察に基づいて、光が通ってきた孔が中心から離れた位置であれば中心同士がかなりずれていると判断でき、光が透過してくる孔が中心に近ければ中心同士は近いと判断される。これにより中心点同士のずれ量をおおよそ目算することができる。
さらに、例えば、中心からみて左側から多くの光が透過しているのであれば、第2パターン300の中心が第1パターン200の中心に対して左にずれているとの目星がつく。また、例えば、中心からみて上側から多くの光が透過しているのであれば、第2パターン300の中心が第1パターン200の中心に対して上にずれているとの目星がつく。このように二次元的に互いの中心同士のずれ量を目算することができる。
そこで、この目星をもとに第2パターン300を第1パターン200に対してシフトさせて、中心を挟む両側で透過する光の光量が等しくなるように調整していく。中心点同士のずれ量を目算し、さらにずれている方向の目星もたっていることから、第2パターン300に対して第1パターン200を正しい位置に調整することは非常に容易となる。
わずかな試行によって第1パターン200と第2パターン300とが略正確な位置に重なりあって、第1中心孔221と第2中心孔321とが重なり、中心から光が透過してくるようになる。すると、第1中心孔221と第2中心孔321との重なりの周囲における8箇所で孔の重なりが生じてくる。
そこで、8箇所の孔の重なりについて、中心を挟んだ点対称の組120、130、140、150で同じ光量の光が透過し、中心を囲んで上下120、左右130、両斜め140、150の点対称の孔で同等の光が見えるように微調整していく。
第1中心孔221と第2中心孔321との重なりから光が透過し、さらに、中心を囲んで上下120、左右130、両斜め140、150の点対称の孔で同等の光が見えたとき、第1パターン200と第2パターン300とは中心を一致させて完全に重なりあったことになる。よって、この状態で液晶パネル900とフレキシブルテープ920とは正確な相対位置関係で重なりあっていることになるので、そのまま両者が固定される。
このような第1実施形態によれば、次の効果を奏することができる。
(1)第1パターン200には第1補助孔群230が穿設され、第2パターン300には第2補助孔群330が穿設されているので、孔同士の重なりから透過する光によって孔同士の重なりを確認することができる。光が透過しているかどうかは極めて明瞭に誰にでも認識できる客観的なサインであるので、作業者の主観に影響されにくく、位置合わせの程度のばらつきを極限的に抑えることができる。
(2)第1パターン200と第2パターン300とで互いの中心点同士が重なったときに、中心点220、320を中心とした点対称位置で孔同士が重なる組120〜150が異なる4方向に存在するので、逆に、4方向において孔の重なりが生じるように第1パターン200と第2パターン300との位置を調整することにより、二次元的な位置合わせを行うことができる。一箇所のパターン合わせだけで二次元的な位置合わせができるので、簡便であり、作業時間の短縮を図ることができる。
(3)中心を挟んだ点対称位置の組120〜150において、一方の孔の重なりから透過してくる光の量と他方の孔の重なりから透過してくる光の量を均等にすることによって、第1パターン200と第2パターン300とを極めて高精度に位置合わせすることができる。中心を挟んで透過してくる二つの光のうちどちらが明るいか暗いかといった明るさの判断は容易であり、かつ、誰の目にもほぼ同じように判断できる明瞭なサインであるので、どの作業者がやっても同様に迅速かつ高精度に位置合わせを行うことができる。
(4)第1パターン200と第2パターン300とで補助孔群の孔の配列ピッチが異なっているので、一方が本尺目盛りとなり他方が副尺目盛りとなる関係となり、どの孔同士で重なっているかをみることで、中心点同士がどの程度離間しているかの目算をつけたり、中心点同士がどちらの方向にずれているかの目星をつけたりすることができる。したがって、このような目算や目星をつけたうえで第1パターン200と第2パターン300との位置を調整でき、非常に簡便かつ迅速に第1パターン200と第2パターン300との中心点同士を重ねて位置合わせすることができる。
(5)第1パターン200の中心点220および第2パターン300の中心点320にそれぞれ中心孔221、321が設けられているので、中心孔221、321同士が重なってこの孔の重なりから光が透過してくるのを観察して、中心点同士が重なっていることを簡単に認識することができる。そのうえで、中心孔221、321を挟む点対称位置の孔の重なり度合いを調整すれば、簡便かつ迅速に位置合わせすることができる。
(変形例1)
次に、本発明の変形例1について図6を参照して説明する。
変形例1の基本的構成は第1実施形態に同様であるが、第1補助孔群230と第2補助孔群330とが同じピッチで配列されている点に特徴を有する。
すなわち、第1パターン200と第2パターン300とは全く同一である。
図6は、このような第1パターン200と第2パターン300とを重ね合わせた状態を示す図である。
なお、図6においては、第1パターン200と第2パターン300とは、完全に重なりあっているわけではなく、互いの中心は重なっているものの、第1パターン200が第2パターン300に対して少しずれて重ねられた状態である。
このように、第1パターン200と第2パターン300との中心孔221、321が重なってはいるものの第1パターン200と第2パターン300とがずれている場合、第1補助孔群230と第2補助孔群330とは同じピッチで設けられているので、中心から遠ざかるほど補助孔群同士の重なり面積が小さくなっていく。
逆に、中心から遠ざかるほど透過光の光量が小さくなっていた場合、第1パターン200と第2パターン300とがずれていることが認識できる。そこで、総ての孔の重なりから透過してくる光の光量が同じになって、総ての孔の重なりから第1補助孔の形状である円形の光が透過してくるようにすれば、第1パターン200と第2パターン300とを完全に重ね合わせることができる。
(変形例2)
次に、本発明の変形例2について図7を参照して説明する。
変形例2の基本的構成は第1実施形態に同様であり、液晶パネル900の基板910とフレキシブルテープ920とに位置合わせ用パターン100が設けられているが、変形例2では、位置合わせ用パターン100が左右両側に設けられている点に特徴を有する。
図7は、液晶パネル900の基板910およびフレキシブルテープ920において一辺の両側に位置合わせ用パターン100を設けた構成を示す図である。
すなわち、液晶パネル900の基板910においてデータ線および走査線の端子911を間にした両側に位置合わせ用パターン100が設けられ、フレキシブルテープ920の一辺922における両端に位置合わせ用パターン100が設けられている。
このような構成において、光源400を液晶パネル900の背面側に配置して孔同士の重なりから透過してくる光に基づいて位置合わせする。もちろん、まずは、両側のそれぞれに配された位置合わせ用パターン100について位置合わせしていき、両側の位置合わせ用パターン100で位置合わせがされた状態にする。
ここで、液晶パネル900およびフレキシブルテープ920の製造過程において、液晶パネル900の基板910に位置合わせ用パターン100の第1パターン200を形成し、フレキシブルテープ920に位置合わせ用パターン100の第2パターン300を形成するのではあるが、総ての製品が設計通りではなく、製品個体差を有しており、さらには、ある程度の公差内でばらつきがある。したがって、液晶パネル900とフレキシブルテープ920とが完全な位置合わせになるように液晶パネル900とフレキシブルテープ920とに第1パターン200および第2パターン300を形成するつもりでも、第1パターン200と第2パターン300との形成位置がわずかながらずれている場合があることはやむを得ないことである。
そこで、一方の位置合わせ用パターン100で完全な位置合わせをしたときに、他方の位置合わせ用パターン100で位置が合わないという場合には、両方の位置合わせ用パターン100から透過してくる光の量が同じになるように按分する。すると、液晶パネル900とフレキシブルテープ920とが製品個体差を有してはいても最も望ましい位置に両者の位置を合わせることができる。
(第2実施形態)
次に、本発明の第2実施形態について説明する。
第2実施形態は、第1実施形態と同様に、液晶パネル900の基板910に設けられた第1パターンと、フレキシブルテープ920に設けられた第2パターンと、を備え、液晶パネル900の基板910とフレキシブルテープ920との位置合わせに利用されるが、二次元的ではなく、一次元(一方向)の位置合わせに使用される点が異なっている。
第2実施形態の位置合わせ用パターン500を図8に示す。
図8中において(A)に第1パターンを示し、(B)に第2パターン520を示す。
第1パターン510と第2パターン520とはともに、一方向Xに沿って配列された三角形状のマークを有し、これら三角形状は穿設されている。
ここで、第1パターン510に穿設された三角形状を第1マーク511と称し、第2パターン520に穿設された三角形状を第2マーク521と称する。
第1パターン510の第1マーク511と第2パターン520の第2マーク521とは、液晶パネル900の基板910とフレキシブルテープ920とを重ね合わせる際に互いの頂角512、522を突き合わせる向きに形成されている。
すなわち、第1パターン510の第1マーク511は、配列方向に対して直交する第1の方向Yに向けて先細るのに対し、第2パターン520の第2マークは、第1の方向Yとは反対方向である第2の方向Yに向けて先細る。
また、第1パターン510には複数の第1マーク511が設けられ、第2パターン520には複数の第2マーク521が設けられているところ、位置合わせの際に互いに重なるべき中心のマークをそれぞれ示すセンターマーク(指示手段)513、523が穿設されている。
このような構成を備える第2実施形態を使用して位置合わせする方法について説明する。
第2実施形態においても、液晶パネル900の背面に光源400を配して、第1マーク511と第2マーク521との重なりから透過してくる光に基づいて位置合わせする点は第1実施形態と同様である。
図9は、第1マーク511と第2マーク521とが比較的広い面積で重なるようにして第1パターン510と第2パターン520とを重ね合わせた様子を示す図である。
第1パターン510と第2パターン520とを用いて位置合わせするにあたっては、図9に示されるように、第1マーク511と第2マーク521とが比較的広い面積で重なるようにおおよその目分量で重ねる。このとき、センターマーク513、523によって指示された第1マーク511と第2マーク521とが重なるようにする。
ここで、図10は、おおよその目分量で第1パターン510と第2パターン520とを重ねた際にセンターマーク513、523で指示された第1マーク511と第2マーク521とが重ならず、その隣に重なりが生じた様子を示す図である。
第1マーク511と第2マーク521とがともに複数設けられているので、互いのセンター同士が重ならない場合でも、どこかのマーク同士が重なり合って光が透過してくる。すると、第1パターン510と第2パターン520とがある程度重なっていることが認識される。そして、重なりがセンターマーク513、523から見て左右のどちらにあるかを見て、センターマーク513、523に指示された第1マーク511と第2マーク521とが重なるように第1パターン510と第2パターン520との位置を調整する。このようにセンターマークで指示された第1マークと第2マークとが重なることにより一方向Xにおける位置合わせが大まかに行われたことになる。
図9に示されるように、センターマーク513、523で示される第1マーク511と第2マーク521とが重なったところで、続いて、第1マーク511と第2マーク521との先端部のみが重なる向きへ第1パターン510と第2パターン520とをずらす。
図11は、第1マーク511と第2マーク521との先端部のみが重なっている様子を示す図である。
第1マーク511と第2マーク521との先端部のみが重なる向きへ第1パターン510と第2パターン520とをずらすと、第1マーク511と第2マーク521との重なりから透過してくる光の量が絞られていく。そして、図10に示されるように、第1マーク511と第2マーク521とのお互いの先端部のみが重なって頂点同士の一点で重なったとき、極めて高精度に位置合わせされた状態になる。
このような第2実施形態によれば、次の効果を奏することができる。
(6)第1パターン510には第1マーク511が穿設され、第2パターン520には第2マーク521が穿設されているので、第1マーク511と第2マーク521とが重なると、重なりから光が透過してくる。よって、透過してくる光の有無さらには光の光量により第1パターン510と第2パターン520との重なりの程度を判断することができる。そして、光が透過しているかどうかは極めて明瞭に誰にでも認識できる客観的なサインであるので、作業者の主観に影響されにくく、位置合わせの程度のばらつきを極限的に抑えることができる。
(7)第1パターン510の第1マーク511と第2パターン520の第2マーク521とでは、互いの先端を突きあうように先細る形状であるので、互いの先端同士が重ねたとき、互いの点と点との位置合わせにより極めて高精度な位置合わせを達成することができる。
(8)第1マーク511および第2マーク521が三角形状であるので、まずおおよその目算で第1マーク511と第2マーク521とが広い面積で確実に重なるように重ねておいて、続いて、この重なりを確認しながら透過してくる光の量が少なくなるようにすると、第1マーク511と第2マーク521との先端同士が重なる状態にもっていくことができる。はじめは第1マーク511と第2マーク521とが大きく重なって多量に見えていた透過光を徐々に絞るように第1パターン510と第2パターン520とをずらしていけばよいので、第1パターン510と第2パターン520とを動かすべき方向が容易にわかる。その結果、作業効率を向上させることができる。
(9)第1マーク511と第2マーク521との先端同士の重なりから極めて微量の光が透過していることを確認することにより、先端同士で重なっていることが容易かつ確実に判断できる。
(10)第1パターン510と第2パターン520とで第1マーク511と第2マーク521との配列ピッチが異なっているので、一方が本尺目盛りとなり他方が副尺目盛りとなる関係となり、どのマーク同士で重なっているかをみることで、本来重なるべきマーク同士がどの程度離間しているかの目算をつけたり、どちらの方向にずれているかの目星をつけたりすることができる。すると、このような目算や目星をつけたうえで第1パターン510と第2パターン520との位置を調整でき、非常に簡便かつ迅速に第1パターン510と第2パターン520との位置合わせすることができる。
(変形例3)
次に、本発明の変形例3について図12を参照して説明する。
変形例3の基本的構成は、第2実施形態と同様であるが、第1パターン510の第1マーク511と第2パターン520の第2マーク521とが同じピッチで配列されている点に特徴を有する。すなわち、第1パターン510と第2パターン520とは、三角形状の先細る方向が反対方向である点を除けば、全く同じである。
図12は、このような第1パターン510と第2パターン520とを重ね合わせた状態を示す図である。
なお、図12においては、第1パターン510と第2パターン520とは、完全に重なりあっているわけではなく、総てのマーク同士はある程度の面積で重なりあってはいるものの、第1パターン510が第2パターン520に対して少し傾いて重ねられた状態である。
このように、第1パターン510と第2パターン520が重なってはいるが互いに傾いている場合、第1マーク511と第2マーク521とは同じピッチで設けられているので、左右のうち片方側では重なり面積が広く、他方側では重なり面積が小さくなる。
逆に、左右で透過光量が違っていた場合、第1パターン510と第2パターン520とが傾いていることが認識できる。そこで、総てのマーク同士の重なりから透過してくる光の量が同等になるようにすれば、第1パターン510と第2パターン520とを完全に重ね合わせることができる。
(第3実施形態)
次に、本発明の第3実施形態として、表示デバイスの位置合わせ検査方法について説明する。
この第3実施形態では、前記第1実施形態または前記第2実施形態において説明した液晶パネル900の基板910とフレキシブルテープ920との位置合わせを位置合わせ用パターン100、500にて行ったうえで、その位置合わせが正確に行われているかを検査する。
この際、まず、第1パターン200、510と第2パターン300、520とが互いに重ね合わされた位置合わせ用パターン100、500の画像をCCDカメラ(撮像手段)等で撮像する。
そして、CCDカメラ(不図示)からの撮像データを画像解析して、透過光の光量および位置に基づいて位置合わせが正確に行われているかを検査する。
例えば、第1実施形態のように、第1パターン200と第2パターン300とが重なって所定位置に孔同士の重なりが生じる場合には、中心孔221、321からの光量を検出し、さらに、中心孔221、321を囲む点対称の組である8つの孔の重なりからの光量および点対称組での光量のバランス等を検出する。
また、第2実施形態のように、第1マーク511と第2マーク521との先端同士の重なりが生じている場合には、先端部の重なりから光が透過しているか否か、さらには、その光の光量を検出する。
このような光の検出により、第1パターン200、510と第2パターン300、520との重なりの程度を定量的に検出することができる。
なお、本発明は前述の実施形態に限定されず、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれる。
第1実施形態において、孔の大きさは任意であり、また、第1パターンと第2パターンとで孔の大きさが同じであってもよい。また、孔は円形ではなく、例えば、正方形などであってもよい。
第1実施形態において二次元的位置合わせを行う位置合わせ用パターンについて説明したが、二次元的位置合わせをするにあたっては、第1パターンと第2パターンとに同一直線上に位置しない3以上の透光部をそれぞれ設け、第1パターンと第2パターンとが位置合わせされた状態において第1パターンと第2パターンとの対応する透光部同士の重なり面積が等しくなるようにしてもよい。二次元的な位置合わせをするにあたっては、少なくとも3点において互いの位置が合っていればよいからである。
また、第1パターンと第2パターンとの位置合わせを行うにあたり孔の重なりから透過してくる光を確認するのに顕微鏡を用いてもよい。この場合でも単なる帯状の目盛りを読むことに比べれば、光の有無を確認するだけなので作業効率が格段に向上するのはもちろんである。
液晶パネルの基板にフレキシブルテープを貼り付ける際の位置合わせを例にして説明したが、例えば、液晶パネルの基板同士を貼り合わせる際の位置合わせなど、本発明の位置合わせ用パターンは、液晶パネルの組立に際して種々の部材の位置合わせに用いることができるのはもちろんである。また、表示デバイスの部材に関わらず、二つの部材の位置合わせにおいて本発明が適用可能であることはいうまでもない。
上記実施形態においては、第1パターンおよび第2パターンに孔もしくはマークが穿設されている例を説明したが、光が透過すればよいので必ずしも孔である必要はない。例えば、透光部あるいはマークに対応する位置に光透過性のガラス(有機ガラス、無機ガラス)が設けられていてもよい。あるいは、第1部材と第2部材とが光透過性の板部材であれば、透過部またはマークに対応する位置のみで光が透過するように孔を設けたマスクで前記板部材を被覆して第1および第2パターンを形成してもよい。
本発明は、二部材を位置合わせする位置合わせ用パターンに利用でき、例えば、液晶パネルの組み立てにあたって基板同士の位置合わせや基板とフレキシブルテープとの位置合わせなどに利用できる。
第1実施形態において、液晶パネルの基板と、配線を有するフレキシブルテープと、を示す図。 第1実施形態において、位置合わせ用パターンの第1パターンを示す図。 第1実施形態において、位置合わせ用パターンの第2パターンを示す図。 第1実施形態において、第1パターンと第2パターンとを重ね合わせた図。 第1実施形態において、液晶パネルの基板とフレキシブルテープとを重ね合わせて張り合わせる様子を示す図。 変形例1において、第1パターンと第2パターンとを重ね合わせた状態を示す図。 変形例2において、液晶パネルの基板およびフレキシブルテープにおいて一辺の両側に位置合わせ用パターンを設けた構成を示す図。 第2実施形態において、位置合わせ用パターンを示す図であり、(A)は第1パターンを示す図であり、(B)は第2パターンを示す図である。 第2実施形態において、第1マークと第2マークとが比較的広い面積で重なるようにして第1パターンと第2パターンとを重ね合わせた様子を示す図。 第2実施形態において、おおよその目分量で第1パターンと第2パターンとを重ねた際の様子を示す図。 第2実施形態において、第1マークと第2マークとの先端部のみが重なっている様子を示す図 変形例3において、第1パターンと第2パターンとを重ね合わせた状態を示す図。 従来の基板同士の位置合わせ方法を説明する図 従来の基板同士の位置合わせ方法を説明する図。
符号の説明
1…第1基板、2…第2基板、9、10…アライメントマーク、100…位置合わせ用パターン、200…第1パターン、220…第1中心点、221…第1中心孔(第1中心透光部)、230…第1補助孔群(第1補助透光部)、240…センターマーク、300…第2パターン、320…第2中心点、321…第2中心孔(第2中心透光部)、330…第2補助孔群(第2補助透光部)、340…センターマーク、400…光源、500…位置合わせ用パターン、510…第1パターン、511…第1マーク、513…センターマーク、520…第2パターン、521…第2マーク、900…液晶パネル、910…基板、911…端子、920…フレキシブルテープ、921…配線端子。

Claims (13)

  1. 互いを所定位置関係にして重ね合わされる第1部材と第2部材との位置合わせのための位置合わせ用パターンであって、
    前記第1部材に設けられた第1パターンと、
    前記第2部材に設けられ、この第2部材を前記第1部材に重ねた際に前記第1パターンに重なる第2パターンと、を備え、
    前記第1パターンは、中心位置となる第1中心点を中心とする周囲において複数設けられた透光部により構成される第1補助透光部群を備え、
    前記第2パターンは、中心位置となる第2中心点を中心とする周囲において複数設けられた透光部により構成される第2補助透光部群を備え、
    前記第1パターンと前記第2パターンとを重ねて前記第1中心点と前記第2中心点とが重なる状態において、
    前記第1および第2中心点を中心とした点対称位置において前記第1補助透光部群の前記透光部と前記第2補助透光部群の前記透光部とが重なっている点対称組が少なくとも異なる二方向に存在し、
    前記各点対称組において前記第1および前記第2中心点を挟んだ一方の重なり面積と他方の重なり面積とが等しい
    ことを特徴とする位置合わせ用パターン。
  2. 請求項1に記載の位置合わせ用パターンにおいて、
    前記第1補助透光部群の前記透光部の配列ピッチと前記第2補助透光部群の前記透光部の配列ピッチとは互いに異なっている
    ことを特徴とする位置合わせ用パターン。
  3. 請求項1または請求項2に記載の位置合わせ用パターンにおいて
    前記第1中心点には第1中心透光部が設けられ、
    前記第2中心点には第2中心透光部が設けられている
    ことを特徴とする位置合わせ用パターン。
  4. 互いを所定位置関係にして貼り合わされる第1部材と第2部材との位置合わせのための位置合わせ用パターンであって、
    前記第1部材に設けられた第1パターンと、
    前記第2部材に設けられ、この第2部材を前記第1部材に張り合わせた際に前記第1パターンに重なる第2パターンと、を備え、
    前記第1パターンは、中心点に設けられた第1中心透光部と、この第1中心透光部を中心とする周囲において複数設けられた透光部により構成される第1補助透光部群と、を備え、
    前記第2パターンは、中心点に設けられた第2中心透光部と、前記第1補助透光部群の前記透光部と同じピッチで前記第2中心透光部を中心とする周囲において複数設けられた透光部により構成される第2補助透光部群と、を備える
    ことを特徴とする位置合わせ用パターン。
  5. 互いを所定位置関係にして重ね合わせられる第1部材と第2部材との位置合わせにあたって、所定の一方向における位置合わせのための位置合わせ用パターンであって、
    前記第1部材に設けられた第1パターンと、
    前記第2部材に設けられ、この第2部材を前記第1部材に重ね合わせた際に前記第1パターンの少なくとも一部に重なる第2パターンと、を備え、
    前記第1パターンは、前記一方向に直交する方向にいくに従って先細る形状で設けられた光透過性の第1マークを前記一方向に沿って複数有し、
    前記第2パターンは、前記第2部材を前記第1部材に重ねた際に前記第1マークとは先端同士が突き合う向きに先細る形状で設けられた光透過性の第2マークを前記一方向に沿って複数有する
    ことを特徴とする位置合わせ用パターン。
  6. 請求項5に記載の位置合わせ用パターンにおいて、
    前記第1マークおよび前記第2マークは、前記第1部材と前記第2部材とが貼り合わせられた際に互いの頂角を突き合わせる向きで設けられた三角形状のマークである
    ことを特徴とする位置合わせ用パターン。
  7. 請求項5または請求項6に記載の位置合わせ用パターンにおいて、
    前記第1パターンにおける第1マークの配列ピッチと前記第2パターンにおける前記第2マークの配列ピッチとは互いに異なり、
    前記第1部材と前記第2部材と位置合わせされた際に重なるべき第1マークと第2マークとをそれぞれ示す指示手段が設けられている
    ことを特徴とする位置合わせ用パターン。
  8. 互いを所定位置関係にして貼り合わされる第1部材と第2部材とを有する表示デバイスであって、
    前記第1部材には請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の前記第1パターンが設けられ、
    前記第2部材には請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の前記第2パターンが設けられている
    ことを特徴とする表示デバイス。
  9. 互いを所定位置関係にして貼り合わされる第1部材と第2部材とを有する表示デバイスであって、
    前記第1部材には請求項5ないし請求項7のいずれかに記載の前記第1パターンが設けられ、
    前記第2部材には請求項5ないし請求項7のいずれかに記載の前記第2パターンが設けられている
    ことを特徴とする表示デバイス。
  10. 表示デバイスの組立において互いを所定位置関係にして貼り合わされる第1部材と第2部材とを位置合わせして組み立てる組立方法であって、
    前記第1部材に請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の前記第1パターンを設ける工程と、
    前記第2部材に請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の前記第2パターンを設ける工程と、
    前記第1部材と前記第2部材とを重ねた際に前記第1補助透光部群と前記第2補助透光部群との重なりから透過する光の量に基づいて前記第1部材と前記第2部材との位置合わせを行う工程と、を備える
    ことを特徴とする表示デバイスの組立方法。
  11. 表示デバイスの組立において互いを所定位置関係にして貼り合わされる第1部材と第2部材とを位置合わせして組み立てる組立方法であって、
    前記第1部材に請求項5ないし請求項7のいずれかに記載の前記第1パターンを設ける工程と、
    前記第2部材に請求項5ないし請求項7のいずれかに記載の前記第2パターンを設ける工程と、
    前記第1マークと前記第2マークとの重なりから透過する光の量に基づいて前記第1部材と前記第2部材との位置合わせを行う工程と、を備える
    ことを特徴とする表示デバイスの組立方法。
  12. 互いを所定位置関係にして貼り合わされる第1部材と第2部材とを有する表示デバイスの前記第1部材と前記第2部材との位置合わせ度を検査する表示デバイスの位置合わせ検査方法であって、
    前記第1部材には請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の前記第1パターンが設けられ、
    前記第2部材には請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の前記第2パターンが設けられており、
    前記第1補助透光部群と前記第2補助透光部群との重なりから透過する透過光を検出する透過光検出工程と、
    前記透過光に基づいて前記第1部材と前記第2部材との位置合わせ度を検査する検査工程と、を備える
    ことを特徴とする表示デバイスの位置合わせ検査方法。
  13. 互いを所定位置関係にして貼り合わされる第1部材と第2部材とを有する表示デバイスの前記第1部材と前記第2部材との位置合わせ度を検査する表示デバイスの位置合わせ検査方法であって、
    前記第1部材には請求項5ないし請求項7のいずれかに記載の前記第1パターンが設けられ、
    前記第2部材には請求項5ないし請求項7のいずれかに記載の前記第2パターンが設けられており、
    前記第1マークと前記第2マークとの重なりから透過する透過光を検出する透過光検出工程と、
    前記透過光に基づいて前記第1部材と前記第2部材との位置合わせ度を検査する検査工程と、を備える
    ことを特徴とする表示デバイスの位置合わせ検査方法。
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