JP2006234861A - Method of manufacturing optical glass, method of manufacturing polarization conversion element, and polarization conversion element - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To utilize a reference face to perform an operation of division into a desired size or the like by surely keeping a portion to be the reference face up to the last stage of manufacturing procedure of an optical element. <P>SOLUTION: Optical glass plates 10, 11, and 12 are laminated like stairs having 45° in a longitudinal direction, and both right and left sides are formed into perpendicular faces to form a glass laminate block 13. Width of one or more optical glass plates 12 placed in a middle stage is narrowed to form reference grooves 14 running through in the longitudinal direction, in both right and left side parts, and the block is sliced so as to obtain the prescribed number of joined glass plane plates 15, and the joined glass plane plates 15 are subjected to edge treatment and surface polishing and then are cut in a state i which each joined glass plane plate 15 is accurately positioned in y and θ directions by disposing two positioning pins 22 provided in a positioning jig 23 for cutting, in the reference grooves 14 on both sides of the joined glass plane plate 15. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、全反射膜面と偏光膜面とが交互に形成され、入射光の偏光方向を揃えて出力する偏光変換素子等の光学素子の製造方法及び偏光変換素子の製造方法に関するものであり、またこの偏光変換素子の製造方法により製造された偏光変換素子に関する。   The present invention relates to a method for manufacturing an optical element such as a polarization conversion element in which a total reflection film surface and a polarization film surface are alternately formed, and outputs the light with the polarization direction of incident light aligned, and a method for manufacturing the polarization conversion element. The present invention also relates to a polarization conversion element manufactured by the method for manufacturing the polarization conversion element.

光学素子として、例えば偏光変換素子は、相互に直交する偏光成分が含まれている光を入射させたときに、光の利用効率を低下させることなく、偏光方向を揃えて出力する機能を発揮するものである。このために、光学素子は平板状に形成されるが、その入射面に対して45°の角度をもって全反射面と偏光面とが交互に多段に形成されており、また出射側の面には、偏光面と対面する部位に1/2波長板がストライプ状に形成されている。これによって、P偏光成分とS偏光成分とを含む光が入射されると、S偏光成分の光は偏光面で反射した後、全反射面で再び反射してそのまま反対側の面から出射される。一方、P偏光成分光は偏光面を透過することによって、S偏光成分と分離されて、1/2波長板で偏光方向を90°回転させることによって、S偏光成分の光として出射させるものである。この種の偏光変換素子の構成については、例えば特許文献1に記載されている。   As an optical element, for example, a polarization conversion element exhibits a function of outputting the light with the polarization direction aligned without reducing the light use efficiency when light containing polarization components orthogonal to each other is incident. Is. For this reason, the optical element is formed in a flat plate shape, and the total reflection surface and the polarization surface are alternately formed in multiple stages at an angle of 45 ° with respect to the incident surface, A half-wave plate is formed in a stripe shape at a portion facing the polarization plane. As a result, when light including a P-polarized component and an S-polarized component is incident, the light of the S-polarized component is reflected by the polarization surface, then reflected again by the total reflection surface, and emitted as it is from the opposite surface. . On the other hand, the P-polarized component light is separated from the S-polarized component by transmitting through the polarization plane, and is emitted as S-polarized component light by rotating the polarization direction by 90 ° with a half-wave plate. . The configuration of this type of polarization conversion element is described in Patent Document 1, for example.

前述したように、光路に対して斜め45°の斜面となった全反射面及び偏光面を上下方向に交互に複数並ぶように配置するには、全反射膜を形成した光学ガラス板と、偏光膜を形成した光学ガラスとを交互に重ね合わせて、それらの膜面が光学素子の入射平面に対して45°となるように配置する。このためには、45°に傾斜させた基準壁を設けて、この基準壁に沿って2種類の光学ガラスを順次積層し、各層間を接着剤により固着することによって、ガラス積層体ブロックを形成する。そして、このガラス積層体ブロックを、例えばワイヤソーによって基準壁と平行な方向にスライスし、その表裏両面を研磨することによって、所定の厚みを有する接合ガラス平面板が形成される。この接合ガラス平面板を鉛直方向に配置すれば、つまり研磨した面を光路と直交する方向に配置すれば、光路に対して斜め45°の斜面となった全反射面及び偏光面を上下方向に交互に複数配列することができる。このような光学素子の製造について特許文献2に開示されている。なお、この特許文献2では、さらに前述のようにして得られた接合ガラス平面板を分割して、ビームスプリッタを製造している。
特開平10−186195号公報 特開2000−199810号公報
As described above, in order to arrange a total reflection surface and a polarization plane that are inclined at an angle of 45 ° with respect to the optical path so as to be alternately arranged in the vertical direction, an optical glass plate on which a total reflection film is formed, and a polarization The optical glass on which the films are formed are alternately overlapped and arranged so that their film surfaces are 45 ° with respect to the incident plane of the optical element. For this purpose, a glass wall block is formed by providing a reference wall inclined at 45 °, laminating two types of optical glass sequentially along the reference wall, and fixing each layer with an adhesive. To do. Then, this glass laminate block is sliced in a direction parallel to the reference wall with, for example, a wire saw, and both the front and back surfaces are polished to form a bonded glass flat plate having a predetermined thickness. If this bonded glass flat plate is arranged in the vertical direction, that is, if the polished surface is arranged in a direction perpendicular to the optical path, the total reflection surface and the polarization plane that are inclined at an angle of 45 ° with respect to the optical path will be in the vertical direction. Multiple arrays can be arranged alternately. The manufacture of such an optical element is disclosed in Patent Document 2. In Patent Document 2, the bonded glass flat plate obtained as described above is further divided to manufacture a beam splitter.
JP 10-186195 A JP 2000-199810 A

ところで、ガラス積層体ブロックを所定の厚みとなるようにスライスした後、その表裏両面を研磨することになるが、この研磨は高精度に行う必要があるために、ラッピングにより行うのが一般的である。このラッピング加工の際には、その加工工具が損傷しないように保護するために、予めワークの角隅部や稜線等に鋭利なエッジ部を研磨することにより除去しておく必要がある。この研磨加工を行うと、ワークの外形に基準となる位置が失われてしまう。そして、このワークをラッピング加工した後に、このワークを外形基準で位置決めして何らかの加工を行うことができなくなってしまう。従って、例えば前述した接合ガラス平面板の段階では、大判のものとなし、これを切断して複数に分割して所定のサイズの光学素子として製造する場合に、正確な基準が存在しないために、製品の寸法精度にばらつきが生じる可能性がある等といった不都合が生じる。   By the way, after slicing the glass laminate block to have a predetermined thickness, both the front and back surfaces are polished. Since this polishing must be performed with high accuracy, it is generally performed by lapping. is there. In this lapping process, in order to protect the processing tool from being damaged, it is necessary to remove a sharp edge portion in advance on a corner portion or a ridge line of the workpiece. When this polishing process is performed, a reference position is lost in the outer shape of the workpiece. Then, after the workpiece is lapped, it is impossible to perform any processing by positioning the workpiece on the basis of the outer shape. Therefore, for example, in the stage of the bonded glass flat plate described above, it is a large format, and when this is cut and divided into a plurality of parts to produce an optical element of a predetermined size, there is no accurate reference, Inconveniences such as the possibility of variation in the dimensional accuracy of the product occur.

本発明は以上の点に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、光学素子の製造の最終段階に至るまで、基準面となる部位を確実に残しておき、この基準面を利用して、所望のサイズに分割する等の操作を極めて正確に行えるようにすることにある。   The present invention has been made in view of the above points, and the object of the present invention is to reliably leave a portion serving as a reference surface until the final stage of manufacturing the optical element, It is intended to be able to perform operations such as dividing into a desired size extremely accurately.

前述した目的を達成するために、本発明は、所定角度に傾斜させた基準壁に沿って、相異なる光学特性を有する光学ガラス板を一定の順序に応じて階段状に複数枚積層して貼り合わせることによって、前後方向に階段状に傾斜し、左右両側部が垂直となったガラス積層体ブロックを形成するガラス板ブロック化工程と、前記ガラス積層体ブロックを、その基準壁と平行な方向に所定の厚み毎にスライスして、接合ガラス平面板を形成する平面板形成工程と、前記接合ガラス平面板の稜線部及び角隅部を研磨して、エッジを除去するエッジ処理工程と、エッジ除去処理がなされた接合ガラス平面板の表裏両面を研磨する表面研磨工程と、表面研磨がなされた接合ガラス平面板を切断して、所定サイズの光学素子となるように分割する平面板分割工程とからなり、前記ガラス板ブロック化工程で貼り合わされる光学ガラス板のうち、概略中間の段に積層される1または複数枚の光学ガラス板を他の光学ガラス板より短寸のものとすることによりガラス積層体ブロックに形成される左右両側の垂直面に基準溝を形成し、この基準溝を前記平面板分割工程時で前記接合ガラス平面板を分割する際に、その切断用位置決め治具に設けた位置決め部材により位置決めされる基準部とすることをその特徴とするものである。   In order to achieve the above-described object, the present invention is to stack a plurality of optical glass plates having different optical characteristics in a step-like manner along a reference wall inclined at a predetermined angle. By combining, a glass plate blocking step for forming a glass laminate block that is inclined stepwise in the front-rear direction and the left and right sides are vertical, and the glass laminate block in a direction parallel to the reference wall A flat plate forming step of slicing each predetermined thickness to form a bonded glass flat plate, an edge processing step of removing edges by polishing ridge lines and corners of the bonded glass flat plate, and edge removal A surface polishing step for polishing both the front and back surfaces of the processed bonded glass flat plate, and a flat plate division for cutting the bonded glass flat plate subjected to the surface polishing into optical elements of a predetermined size. Of the optical glass plates to be bonded together in the glass plate blocking step, one or a plurality of optical glass plates laminated in an approximately middle stage are made shorter than other optical glass plates. By forming a reference groove on the left and right vertical surfaces formed in the glass laminate block, and when dividing the bonded glass flat plate in the flat plate dividing step, the positioning jig for cutting The reference portion is positioned by a positioning member provided on the head.

要するに、光学素子の製造の最終段階では、大判に形成した接合ガラス平面板を光学素子として必要なサイズに分割するようになし、もって製造効率を向上させる。この分割のための切断が行われるまで基準部を保持させておくことによって、製品として高品質の光学素子を製造することができる。   In short, in the final stage of manufacturing the optical element, the large-sized bonded glass flat plate is divided into the necessary size as the optical element, thereby improving the manufacturing efficiency. A high quality optical element can be manufactured as a product by holding the reference portion until cutting for the division is performed.

光学ガラス板として、2種類乃至それ以上の種類のものを交互に積層させるが、中間の段に位置する1または複数枚の光学ガラス板を厚手の素ガラス板で構成することもできる。このように、中間に素ガラス板を挿入することによって、平面板分割工程でこの素ガラス板を境界部として、分割することができる。また、この素ガラス板の切断面を研磨して、この研磨面同士を接合することもできる。   Two or more types of optical glass plates are alternately laminated, but one or a plurality of optical glass plates positioned at an intermediate stage may be formed of a thick unglazed glass plate. Thus, by inserting a raw glass plate in the middle, it is possible to divide the raw glass plate as a boundary portion in the plane plate dividing step. Further, the cut surfaces of the raw glass plates can be polished and the polished surfaces can be joined to each other.

ガラス積層体ブロックを形成する際には、所定角度を有する傾斜階段状に積層するが、最低限傾斜した基準壁を必要とするが、もう1つの側に第2の基準面を形成することもできる。即ち、斜めに形成した基準壁に加えて、この基準壁と直交する方向に設けた鉛直状態となった第2の基準壁を設け、この第2の基準壁において、基準溝の配置部には突出部を形成しておく。ガラス板ブロック化工程では、基準壁と第2の基準壁に沿って光学ガラス板を積層させる。ガラス積層体ブロックの光学ガラス板間の接合は、例えば紫外線硬化樹脂を用いることができる。そして、紫外線は光学ガラスの端面方向から照射するように設定する。   When the glass laminate block is formed, it is laminated in an inclined step shape having a predetermined angle, but a reference wall that is inclined at a minimum is required, but a second reference surface may be formed on the other side. it can. That is, in addition to the obliquely formed reference wall, a vertical second reference wall provided in a direction orthogonal to the reference wall is provided, and in the second reference wall, the reference groove is disposed in the arrangement portion of the reference groove. A protrusion is formed. In the glass plate blocking step, the optical glass plate is laminated along the reference wall and the second reference wall. For example, an ultraviolet curable resin can be used for bonding between the optical glass plates of the glass laminate block. And it sets so that an ultraviolet-ray may be irradiated from the end surface direction of optical glass.

ここで、光学素子として、偏光変換素子を製造する方法として用いる場合の第1の発明は、45°の傾斜角を有する基準壁に沿って、全反射膜を形成した第1の光学ガラス板と、偏光膜を形成した第2の光学ガラス板とを交互に配置して階段状に複数枚積層して貼り合わせることによって、前後方向に階段状に傾斜し、左右両側部が垂直となったガラス積層体ブロックを形成するガラス板ブロック化工程と、前記ガラス積層体ブロックを、その基準壁と平行な方向に所定の厚み毎にスライスして、接合ガラス平面板を形成する平面板形成工程と、前記接合ガラス平面板の稜線部及び角隅部を研磨して、エッジを除去するエッジ処理工程と、エッジ除去処理がなされた接合ガラス平面板の表裏両面を研磨する表面研磨工程と、前記接合ガラス平面板を切断して、所定サイズの光学素子となるように分割する平面板分割工程と、このように分割した平面板の一側面に前記偏光膜または全反射膜と対面する位置に1/2波長板を積層させる積層工程とからなり、前記ガラス板ブロック化工程で貼り合わされる光学ガラス板のうち、概略中間の段に積層される1または複数枚の光学ガラス板を他の光学ガラス板より短寸のものとすることによりガラス積層体ブロックに形成される左右両側の垂直面に基準溝を形成し、この基準溝を前記平面板分割工程時で前記接合ガラス平面板を分割する際に、その切断用位置決め治具に設けた位置決め部材により位置決めされる基準部とすることをその特徴としている。   Here, the first invention when used as a method for manufacturing a polarization conversion element as an optical element includes: a first optical glass plate having a total reflection film formed along a reference wall having an inclination angle of 45 °; A glass that is inclined stepwise in the front-rear direction and the left and right sides are vertical by alternately arranging and laminating a plurality of step-like optical glass plates on which the polarizing film is formed. A glass plate blocking step for forming a laminated body block, and a flat plate forming step for slicing the glass laminated body block at a predetermined thickness in a direction parallel to the reference wall to form a bonded glass flat plate, An edge processing step for polishing edges and corners of the bonded glass flat plate to remove edges, a surface polishing step for polishing both front and back surfaces of the bonded glass flat plate subjected to the edge removal processing, and the bonding glass flat A flat plate dividing step of cutting the plate into optical elements of a predetermined size, and a half wavelength at a position facing the polarizing film or the total reflection film on one side of the flat plate thus divided Among the optical glass plates to be laminated in the glass plate blocking step, one or a plurality of optical glass plates laminated in an approximately middle stage are shorter than other optical glass plates. By forming a reference groove on the right and left vertical surfaces formed in the glass laminate block by making the size, and dividing the bonded glass plane plate in the plane plate dividing step, It is characterized in that the reference portion is positioned by a positioning member provided in the cutting positioning jig.

また、偏光変換素子の製造方法についての第2の発明としては、45°の傾斜角を有する基準壁に沿って、全反射膜を形成した第1の光学ガラス板と、偏光膜を形成した第2の光学ガラス板とを交互に配置して階段状に複数枚積層して貼り合わせ、かつ中間の段に配設される光学ガラス板を他の光学ガラス板より厚手の素ガラス板で構成して、前後方向に階段状に傾斜し、左右両側部が垂直となったガラス積層体ブロックを形成するガラス板ブロック化工程と、前記ガラス積層体ブロックを、その基準壁と平行な方向に所定の厚み毎にスライスして、接合ガラス平面板を形成する平面板形成工程と、前記接合ガラス平面板の稜線部及び角隅部を研磨して、エッジを除去するエッジ処理工程と、エッジ除去処理がなされた接合ガラス平面板の表裏両面を研磨する表面研磨工程と、前記接合ガラス平面板を切断して、所定サイズの光学素子となるように分割し、かつ前記素ガラス板の部位で切断して2分割する平面板分割工程と、このようにして分割した平面板の一側面に前記偏光膜または全反射膜と対面する位置に1/2波長板を積層させる積層工程と、前記素ガラス板で2分割した切断面を研磨した後に、一方を反転させてそれらの研磨面を接合させる反転接合工程とからなり、前記ガラス板ブロック化工程で貼り合わされる光学ガラス板のうち、概略中間の段に積層される1または複数枚の光学ガラス板を他の光学ガラス板より短寸のものとすることによりガラス積層体ブロックに形成される左右両側の垂直面に基準溝を形成し、この基準溝を前記平面板分割工程時で前記接合ガラス平面板を分割する際に、その切断用位置決め治具に設けた位置決め部材により位置決めされる基準部とすることを特徴としている。   In addition, as a second invention regarding the method for manufacturing a polarization conversion element, a first optical glass plate having a total reflection film formed along a reference wall having an inclination angle of 45 °, and a first film having a polarization film formed thereon The two optical glass plates are alternately arranged and laminated in a stepped manner, and the optical glass plate disposed in the middle step is composed of a thicker glass plate than the other optical glass plates. A glass plate blocking step for forming a glass laminate block that is inclined stepwise in the front-rear direction and the left and right sides are vertical, and the glass laminate block is arranged in a direction parallel to the reference wall. A flat plate forming step for slicing each thickness to form a bonded glass flat plate, an edge processing step for removing edges by polishing ridges and corners of the bonded glass flat plate, and an edge removing process Table of bonded glass flat plate made A surface polishing step of polishing both surfaces, a plane plate dividing step of cutting the bonded glass plane plate to be divided into optical elements of a predetermined size, and cutting at a portion of the base glass plate to divide into two. Then, a laminating step of laminating a half-wave plate at a position facing the polarizing film or the total reflection film on one side surface of the flat plate thus divided, and the cut surface divided into two by the raw glass plate were polished. Later, it comprises an inversion joining step in which one side is inverted to join the polished surfaces, and one or more of the optical glass plates laminated in the glass plate blocking step are laminated in an approximately middle stage By making the optical glass plate shorter than other optical glass plates, reference grooves are formed on the left and right vertical surfaces formed in the glass laminate block, and the reference grooves are formed at the time of the plane plate dividing step. Bonded glass When the flat plate is divided, the reference plate is positioned by a positioning member provided in the cutting positioning jig.

光学素子の製造最終段階まで基準面が残るようにしているので、接合ガラス平面板を分割するまで、高精度な加工や処理が行われ、光学素子として高い品質が得られる等の効果を奏する。   Since the reference plane remains until the final stage of manufacturing the optical element, high-precision processing and processing are performed until the bonded glass flat plate is divided, and an effect of obtaining high quality as an optical element is obtained.

以下、図面に基づいて本発明の実施の形態について説明する。まず、図1に本発明の方法により製造した最終製品としての光学素子の構成を示す。この光学素子は偏光変換素子であって、構造的に異なる2種類の素子が示されている。同図(a)は入射面2Aと出射面3Aとを有する光学素子1Aであって、これら入射面2A,出射面3Aに対して斜め45°の角度をもって光学膜が形成されており、第1の光学膜は全反射膜4であり、第2の光学膜は偏光膜5である。偏光膜5はS偏光光を反射させ、P偏光光を透過させるものである。さらに、光学素子1Aの出射面3A側において、偏光膜5と対面する部位には1/2波長板6が成膜手段により形成されている。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. First, FIG. 1 shows a configuration of an optical element as a final product manufactured by the method of the present invention. This optical element is a polarization conversion element and two structurally different elements are shown. FIG. 2A shows an optical element 1A having an incident surface 2A and an exit surface 3A, and an optical film is formed at an angle of 45 ° with respect to the entrance surface 2A and the exit surface 3A. The optical film is a total reflection film 4, and the second optical film is a polarizing film 5. The polarizing film 5 reflects S-polarized light and transmits P-polarized light. Further, on the exit surface 3A side of the optical element 1A, a half-wave plate 6 is formed by a film forming means at a portion facing the polarizing film 5.

光源7から出射される光はS偏光光とP偏光光とが含まれており、この光源7からの出射光は、この光学素子1を通過する間に、入射面2Aからの入射光のうち、S偏光光は偏光膜5に反射し、かつこの反射光は全反射膜4で再び反射した後、出射面3AからS偏光光のまま出射される。一方、P偏光光は偏光膜5によりS偏光光から分離されて、1/2波長板6により偏光面が90°回転して、S偏光光に変換される。従って、光学素子1Aの出射側では、全ての光がS偏光光に変換される。なお、図示した偏光変換素子はS偏光光とP偏光光とが含まれる光をS偏光光に変換して出射させるようにしたが、1/2波長板6を全反射膜4と対面させるようにすれば、出射光は全てP偏光光となる。   The light emitted from the light source 7 includes S-polarized light and P-polarized light. The emitted light from the light source 7 is included in the incident light from the incident surface 2A while passing through the optical element 1. The S-polarized light is reflected by the polarizing film 5, and the reflected light is reflected again by the total reflection film 4 and then emitted as S-polarized light from the exit surface 3 </ b> A. On the other hand, the P-polarized light is separated from the S-polarized light by the polarizing film 5, and the plane of polarization is rotated by 90 ° by the half-wave plate 6 to be converted into S-polarized light. Accordingly, all light is converted into S-polarized light on the exit side of the optical element 1A. In the illustrated polarization conversion element, light including S-polarized light and P-polarized light is converted into S-polarized light and emitted. However, the half-wave plate 6 faces the total reflection film 4. In this case, all the emitted light becomes P-polarized light.

また、図1(b)は他のタイプの光学素子1Bであって、2B側が入射面、3B側が出射面である。この光学素子1Bは、全反射膜4及び偏光膜5が交互に形成されているが、長さ方向の中央部Cを中心として、左右両側で膜の傾き方向が逆になっている。そして、1/2波長板6は偏光膜5と対面する側に設けられている。このように構成しても、光源7からのP偏光光とS偏光光とを含む出射光は全てS偏光光となって出射される点は、光学素子1Aと同様である。   FIG. 1B shows another type of optical element 1B, where the 2B side is the entrance surface and the 3B side is the exit surface. In this optical element 1B, total reflection films 4 and polarizing films 5 are alternately formed, but the tilt directions of the films are reversed on both the left and right sides with the central portion C in the length direction as the center. The half-wave plate 6 is provided on the side facing the polarizing film 5. Even in this configuration, the light emitted from the light source 7 including the P-polarized light and the S-polarized light is all emitted as S-polarized light in the same manner as the optical element 1A.

そこで、以下においては、偏光変換素子としての光学素子1Bの製造方法について説明する。ここで、図2及び図3に示したように、3種類の光学ガラス板10,11,12が用いられる。光学ガラス板10は、その一面に全反射膜4を形成したものであり、光学ガラス板11は、その一面に偏光膜5が形成されている。また、光学ガラス板12はいずれの面にも成膜されていない素ガラスである。この光学ガラス板12は1枚または複数枚用いる。一方、光学ガラス板10,11は同じ厚みで、サイズも同じである。これに対して、光学ガラス板12は、光学ガラス板10,11より厚みが大きく、幅寸法はそれらより小さくなっている。   Therefore, in the following, a method for manufacturing the optical element 1B as a polarization conversion element will be described. Here, as shown in FIGS. 2 and 3, three types of optical glass plates 10, 11, and 12 are used. The optical glass plate 10 has a total reflection film 4 formed on one surface thereof, and the optical glass plate 11 has a polarizing film 5 formed on one surface thereof. Moreover, the optical glass plate 12 is a raw glass which is not formed on any surface. One or a plurality of optical glass plates 12 are used. On the other hand, the optical glass plates 10 and 11 have the same thickness and the same size. On the other hand, the optical glass plate 12 is thicker than the optical glass plates 10 and 11, and the width dimension is smaller than them.

光学ガラス板10,11は交互に積層される。そして、真ん中の1段または2〜3段については光学ガラス板12を介在させている。そして、この光学ガラス板12が配設されている段の上下の段には偏光膜5を形成した光学ガラス板11が配設され、最下段及び最上段には全反射膜4を形成した光学ガラス板10が配設される。これらの順で光学ガラス10,11及び12を積層させることによって、ガラス積層体ブロック13が形成される。   The optical glass plates 10 and 11 are laminated alternately. And the optical glass plate 12 is interposed about 1 step | paragraph of the center, or 2-3 steps | paragraphs. An optical glass plate 11 on which a polarizing film 5 is formed is disposed on the upper and lower stages of the stage on which the optical glass plate 12 is disposed, and an optical film on which a total reflection film 4 is formed on the lowermost and uppermost stages. A glass plate 10 is disposed. By laminating the optical glasses 10, 11 and 12 in this order, the glass laminate block 13 is formed.

このガラス積層体ブロック13は、階段状に積層されており、全体として、図2に示したように、前後方向には45°の角度を持った階段状となし、図3に示したように、ガラス積層体ブロック13の左右両側は垂直面となるようにしている。このために、2つの基準壁が用いられる。第1の基準壁20はガラス積層体ブロック13の階段を形成するに当っての傾斜の基準壁となるものであり、この第1の基準壁20は斜め45°となっている。また、第2の基準壁21は鉛直状態となっており、中間に突条21aが形成されている。この突条21aの位置には光学ガラス12が積層されるものであり、この突条21aの突出部分の長さは光学ガラス板10,11と光学ガラス板12との幅方向における寸法差の半分に相当する寸法となっている。   This glass laminate block 13 is laminated stepwise, and as a whole, as shown in FIG. 2, the glass laminate block 13 has a stepped shape with an angle of 45 ° in the front-rear direction, as shown in FIG. The left and right sides of the glass laminate block 13 are vertical surfaces. For this, two reference walls are used. The first reference wall 20 serves as an inclined reference wall for forming the staircase of the glass laminate block 13, and the first reference wall 20 is inclined at 45 °. The second reference wall 21 is in a vertical state, and a protrusion 21a is formed in the middle. The optical glass 12 is laminated at the position of the protrusion 21a, and the length of the protruding portion of the protrusion 21a is half of the dimensional difference in the width direction between the optical glass plates 10 and 11 and the optical glass plate 12. The dimensions correspond to.

光学ガラス板10,11及び12は、このようにして形成した第1,第2の基準壁20,21に相隣接する2辺を当接させるようにして積層させることによって、容易に、しかも正確に積層させることができる。そして、所定枚数の光学ガラス板が積層されると、ガラス積層体ブロック13が形成される。このガラス積層体ブロック13は、図2に示したように、斜め方向にずれながら傾斜状態に積層されているが、左右の両側部は全体的には鉛直状態となっている。そして、図3から明らかなように、中段に位置する光学ガラス板12の部位では、その前後方向に貫通する溝14が左右両側部に形成されている。ここで、光学ガラス板10〜12はいずれも厳格に寸法管理がなされており、従ってガラス間に形成される溝14は高精度な寸法を有する基準溝となる。   The optical glass plates 10, 11 and 12 can be easily and accurately laminated by bringing the two adjacent sides into contact with the first and second reference walls 20 and 21 thus formed. Can be laminated. When a predetermined number of optical glass plates are laminated, a glass laminate block 13 is formed. As shown in FIG. 2, the glass laminate block 13 is laminated in an inclined state while being shifted in an oblique direction, but the left and right side portions are generally in a vertical state. As is clear from FIG. 3, in the portion of the optical glass plate 12 positioned in the middle stage, grooves 14 penetrating in the front-rear direction are formed on both left and right side portions. Here, all of the optical glass plates 10 to 12 are strictly controlled in size, and therefore the groove 14 formed between the glasses serves as a reference groove having a highly accurate dimension.

ガラス積層体ブロック13を形成するために光学ガラス板を積層する際には、その積層面に例えば紫外線硬化接着剤を塗布するようになし、積層が終了した後に、例えば鉛直面側から紫外線を照射することによって、紫外線硬化接着剤を硬化させる。これによって、ガラス積層体ブロック13が固定される。以上がガラス板ブロック化工程である。   When an optical glass plate is laminated to form the glass laminate block 13, for example, an ultraviolet curable adhesive is applied to the laminated surface, and after the lamination is finished, for example, ultraviolet rays are irradiated from the vertical surface side. By doing so, the ultraviolet curing adhesive is cured. Thereby, the glass laminated body block 13 is fixed. The above is the glass plate blocking step.

次に、図4に示したように、ガラス積層体ブロック13を、その傾斜方向、つまり第1の基準壁20と平行な方向にスライスして、接合ガラス平面板15を得る。この接合ガラス平面板15の厚みTは、後述するように、光学素子1Bとしての最終厚みより両側の研磨代分だけ厚いものとする。このガラス積層体ブロック13をスライスするには、ワイヤソーまたはバンドソーを用いることによって、容易に切断することができる。勿論、このガラス積層体ブロック13の切断は、基準壁から取り出した後に行う。この工程が平面板形成工程である。ここで、ガラス積層体ブロック13をスライスして取得した所定数の接合ガラス平面板15の全てにおいて、基準溝14が存在している。   Next, as shown in FIG. 4, the glass laminate block 13 is sliced in the inclined direction, that is, in the direction parallel to the first reference wall 20, to obtain the bonded glass flat plate 15. As will be described later, the thickness T of the bonded glass flat plate 15 is thicker than the final thickness of the optical element 1B by the amount of polishing on both sides. In order to slice this glass laminated body block 13, it can cut | disconnect easily by using a wire saw or a band saw. Of course, the glass laminate block 13 is cut after being taken out from the reference wall. This step is a flat plate forming step. Here, the reference groove 14 exists in all of the predetermined number of bonded glass flat plates 15 obtained by slicing the glass laminate block 13.

平面板形成工程で形成した接合ガラス平面板15は、その稜線部分、つまりその6面を構成する各辺や、角隅部に鋭利な部位が存在しているので、これらの鋭利な部位を研磨して面取りを行う。これがエッジ処理工程である。このエッジ処理工程は、後述する表面研磨工程において、研磨装置の部品、特にラッピング定盤等を損傷させるのを防止し、また接合ガラス平面板15の割れや欠けを防止するためである。ただし、基準溝14の部位には鋭利な部位が残存しているが、この基準溝14は奥まった位置であって、しかも僅かな長さ寸法のものであるから、ラッピング時に加工工具を損傷する等といった問題が生じることはない。   Since the bonded glass flat plate 15 formed in the flat plate forming step has sharp portions at its ridgeline portions, that is, each side constituting the six surfaces and corner portions, these sharp portions are polished. Then chamfer. This is the edge processing step. This edge treatment process is to prevent damage to parts of the polishing apparatus, particularly a lapping surface plate, and the like, and to prevent cracking and chipping of the bonded glass flat plate 15 in the surface polishing process described later. However, although a sharp part remains in the part of the reference groove 14, the reference groove 14 is a deep position and has a slight length, so that the processing tool is damaged at the time of lapping. And so on.

以上のようにして得た接合ガラス平面板15の表面を研磨する。この表面研磨は、例えばラッピングにより表裏両面を同時に加工する。この表面研磨は平面板形成工程で研磨代として残存させた分について行う。   The surface of the bonded glass flat plate 15 obtained as described above is polished. In this surface polishing, for example, both front and back surfaces are simultaneously processed by lapping. This surface polishing is performed for the amount remaining as a polishing allowance in the flat plate forming step.

その後に、図5に示したように、2本の位置決めピン22を立設した切断用位置決め治具23上に、成膜後の接合ガラス平面板15を載置して、例えばダイアモンドカッタ等の切断工具によって、この接合ガラス平面板15を切断線DX1〜DX3,DY1〜DY4に沿って切断する。そして、切断後には、各々の切断ラインに対して幅G分を研磨する。なお、この幅G分の研磨は、最低限切断線DX2の位置では必須であるが、それ以外の位置については必ずしも研磨する必要はない。ここで、横方向の切断線DX1〜DX3のうち、切断線DX1,DX3による切断は、偏光変換素子1Bとして構成したときに、上下の両端における平面部を作り出すものであり、中間の切断線DX2は後述するように反転接合を行わせるための切断線である。   After that, as shown in FIG. 5, the bonded glass flat plate 15 after film formation is placed on a cutting positioning jig 23 in which two positioning pins 22 are erected, for example, a diamond cutter or the like. The bonded glass flat plate 15 is cut along cutting lines DX1 to DX3 and DY1 to DY4 by a cutting tool. Then, after cutting, the width G is polished for each cutting line. The polishing for the width G is indispensable at least at the position of the cutting line DX2, but it is not always necessary to polish at other positions. Here, of the cutting lines DX1 to DX3 in the horizontal direction, the cutting by the cutting lines DX1 and DX3, when configured as the polarization conversion element 1B, creates flat portions at both the upper and lower ends, and the intermediate cutting line DX2 Is a cutting line for performing reverse joining as will be described later.

接合ガラス平面板15の切断時には、切断用位置決め治具23上において、この接合ガラス平面板15が正確に位置決めされていなければならない。ここで、接合ガラス平面板15の位置決めにおいて、x,y,θ方向のうち、y方向及びθ方向については正確に位置決めする必要はある。ただし、x方向については、切断線DY1−DY2,DY2−DY3,DY3−DY4の間隔は重要ではあるものの、これらの切断線が全体的に多少左右にずれても何等問題ではない。以上のことから、この方向においては、格別位置決め精度が要求されない。切断用位置決め治具23には、2本の位置決めピン22,22が立設されており、これらの位置決めピン22は接合ガラス平面板15において、その左右の両側に位置する基準溝14内において、この基準溝14の側壁部をとなるのは正確な寸法精度を有する光学ガラス板11の側面部であり、この部位はエッジ処理工程時に研磨がなされていないので、寸法精度が維持されている。従って、2本の位置決めピン22を両側の基準溝14内において、光学ガラス板11の側面に当接させることによって、接合ガラス平面板15はy方向及びθ方向については正確に位置決めすることができる。また、この光学ガラス板10の側面に部分的に欠けがあっても、この接合ガラス平面板15をx方向にずらせることにより、位置決めピン22との当接部を、この欠けた位置を避けるようにして位置決めできる。   When the bonded glass flat plate 15 is cut, the bonded glass flat plate 15 must be accurately positioned on the cutting positioning jig 23. Here, in the positioning of the bonded glass flat plate 15, it is necessary to accurately position the y direction and the θ direction among the x, y, and θ directions. However, in the x direction, although the interval between the cutting lines DY1-DY2, DY2-DY3, and DY3-DY4 is important, it does not matter at all if these cutting lines are slightly shifted from side to side. From the above, exceptional positioning accuracy is not required in this direction. In the positioning jig 23 for cutting, two positioning pins 22 and 22 are erected, and these positioning pins 22 are in the reference grooves 14 located on both the left and right sides of the bonding glass plane plate 15. The side wall portion of the reference groove 14 is a side surface portion of the optical glass plate 11 having accurate dimensional accuracy, and this portion is not polished during the edge processing step, so that dimensional accuracy is maintained. Accordingly, by bringing the two positioning pins 22 into contact with the side surfaces of the optical glass plate 11 in the reference grooves 14 on both sides, the bonded glass flat plate 15 can be accurately positioned in the y direction and the θ direction. . Further, even if the side surface of the optical glass plate 10 is partially chipped, the contact portion with the positioning pin 22 is avoided from the chipped position by shifting the bonding glass flat plate 15 in the x direction. In this way, positioning can be performed.

以上が平面板分割工程である。この平面板分割工程時に、図5において、切断線DY1から左側及び切断線DY4から右側の部位は廃棄され、その結果基準溝が存在しなくなる。ただし、これ以後は位置決め壁を必要としないので、位置決め基準位置が存在しなくなっても何等の問題もない。   The above is the plane plate dividing step. In this plane plate dividing step, the portions on the left side from the cutting line DY1 and the right side from the cutting line DY4 in FIG. 5 are discarded, and as a result, there is no reference groove. However, since no positioning wall is required thereafter, there is no problem even if the positioning reference position does not exist.

以上のようにして6分割されたものにおいて、光学素子1Bとして構成したときに、出射面3B側となる面であって、偏光膜5と対面する位置または全反射膜4と対面する位置に限定して1/2波長板6を形成する。この1/2波長板6は成膜手段で行うことができ、またフィルムの貼り付け等適宜の手段を採用することもできる。従って、出射面3B側の面には、ガラスが露出している面と、1/2波長板6が積層されている面とが交互のストライプ状となる。この積層の後に、表裏両面において、それらの全面に反射防止膜を成膜する。   When the optical element 1B is divided into six parts as described above, it is limited to a surface on the emission surface 3B side that faces the polarizing film 5 or a position that faces the total reflection film 4. Thus, the half-wave plate 6 is formed. The half-wave plate 6 can be formed by a film forming means, or an appropriate means such as a film attachment can be employed. Accordingly, on the surface on the exit surface 3B side, the surface from which the glass is exposed and the surface on which the half-wave plate 6 is laminated are alternately striped. After this lamination, an antireflection film is formed on both the front and back surfaces.

さらに、図6に示したように、切断線DX2により2分割され、かつ端面が研磨された光学素子部片16a,16bのうちの一方、例えば光学素子部片16bを反転させて裏向きとなし、研磨された素ガラス板12の面を接合させて、接着剤により固着する。これによって図1(b)に示されている光学素子1Bが製造される。ここで、光学素子1Bにおいて、1/2波長板6を偏光膜5と対面する位置に積層させると、出射光はS偏光光となり、また全反射膜4と対面する位置に1/2波長板6を配置すると、出射光はP偏光光となる。   Further, as shown in FIG. 6, one of the optical element pieces 16a and 16b, which is divided into two by the cutting line DX2 and whose end face is polished, for example, the optical element piece 16b is inverted and turned face down. Then, the surfaces of the ground glass plate 12 are bonded and fixed with an adhesive. Thereby, the optical element 1B shown in FIG. 1B is manufactured. Here, in the optical element 1B, when the half-wave plate 6 is laminated at a position facing the polarizing film 5, the emitted light becomes S-polarized light, and the half-wave plate is located at a position facing the total reflection film 4. When 6 is arranged, the emitted light becomes P-polarized light.

なお、図1(a)に示した光学素子1Aを製造する場合においても、概ね前述したと同様であるが、ガラス積層体ブロックの中段を構成する光学ガラス板は素ガラス板ではなく、光学ガラス板10,11を交互に積層させるようにする。そして、基準溝を形成するために、最下段及び最上段の光学ガラス板を除き、中間に積層されるいずれかの光学ガラス板1枚または複数枚については、幅寸法が狭くなったものを用いる。また、平面板分割工程で、図6の切断線DX2に相当する部位の切断は必要ではなく、またその後の反転接合も行わない。   In the case of manufacturing the optical element 1A shown in FIG. 1A, the optical glass plate constituting the middle stage of the glass laminate block is not an elemental glass plate, but is an optical glass. The plates 10 and 11 are stacked alternately. Then, in order to form the reference groove, except for the lowermost and uppermost optical glass plates, one or a plurality of optical glass plates laminated in the middle are used with a narrowed width dimension. . Further, in the plane plate dividing step, it is not necessary to cut a portion corresponding to the cutting line DX2 in FIG. 6, and subsequent reverse joining is not performed.

光学素子としての偏光変換素子の構成説明図である。It is a structure explanatory drawing of the polarization conversion element as an optical element. 本発明の方法において、ガラス積層体ブロックを形成する工程を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the process of forming a glass laminated body block in the method of this invention. 図2の側面図である。FIG. 3 is a side view of FIG. 2. 本発明の方法において、平面板形成工程を示す説明図である。In the method of this invention, it is explanatory drawing which shows a plane plate formation process. 本発明の方法において、平面板分割工程を示す説明図である。In the method of this invention, it is explanatory drawing which shows a plane plate division | segmentation process. 本発明の方法において、反転接合工程を示す説明図である。In the method of this invention, it is explanatory drawing which shows the inversion joining process.

符号の説明Explanation of symbols

1A,1B 光学素子
10,11,12 光学ガラス板
13 ガラス積層体ブロック
14 基準溝
15 接合ガラス平面板
16a,16b 光学素子部片
20 第1の基準壁
21 第2の基準壁
21a 突条
22 位置決めピン
23 切断用位置決め治具
1A, 1B Optical elements 10, 11, 12 Optical glass plate 13 Glass laminate block 14 Reference groove 15 Bonded glass plane plates 16a, 16b Optical element piece 20 First reference wall 21 Second reference wall 21a Projection 22 Positioning Pin 23 Positioning jig for cutting

Claims (6)

所定角度に傾斜させた基準壁に沿って、相異なる光学特性を有する光学ガラス板を一定の順序に応じて階段状に複数枚積層して貼り合わせることによって、前後方向に階段状に傾斜し、左右両側部が垂直となったガラス積層体ブロックを形成するガラス板ブロック化工程と、
前記ガラス積層体ブロックを、その基準壁と平行な方向に所定の厚み毎にスライスして、接合ガラス平面板を形成する平面板形成工程と、
前記接合ガラス平面板の稜線部及び角隅部を研磨して、エッジを除去するエッジ処理工程と、
エッジ除去処理がなされた接合ガラス平面板の表裏両面を研磨する表面研磨工程と、
表面研磨がなされた接合ガラス平面板を切断して、所定サイズの光学素子となるように分割する平面板分割工程とからなり、
前記ガラス板ブロック化工程で貼り合わされる光学ガラス板のうち、概略中間の段に積層される1または複数枚の光学ガラス板を他の光学ガラス板より短寸のものとすることによりガラス積層体ブロックに形成される左右両側の垂直面に基準溝を形成し、この基準溝を前記平面板分割工程時で前記接合ガラス平面板を分割する際に、その切断用位置決め治具に設けた位置決め部材により位置決めされる基準部とする
ことを特徴とする光学素子の製造方法。
Along the reference wall inclined at a predetermined angle, by laminating a plurality of optical glass plates having different optical characteristics in a stepped manner according to a certain order, they are inclined stepwise in the front-rear direction, A glass plate blocking step for forming a glass laminate block in which the left and right sides are vertical;
A flat plate forming step of slicing the glass laminate block at a predetermined thickness in a direction parallel to the reference wall to form a bonded glass flat plate,
An edge processing step of polishing edges and corners of the bonded glass flat plate to remove edges,
A surface polishing step for polishing both the front and back surfaces of the bonded glass plane plate that has been subjected to the edge removal treatment,
It consists of a plane plate dividing step of cutting the bonded glass plane plate that has undergone surface polishing and dividing it so as to be an optical element of a predetermined size,
Of the optical glass plates to be bonded together in the glass plate blocking step, one or a plurality of optical glass plates laminated in an approximately middle stage are made shorter than the other optical glass plates, thereby making a glass laminate. Positioning members provided in the positioning jig for cutting when forming the reference grooves on the vertical surfaces on the left and right sides formed in the block, and dividing the reference glass into the bonded glass flat plate in the flat plate dividing step A method for manufacturing an optical element, characterized in that the optical element is used as a reference portion positioned by the above-described method.
前記ガラス積層体ブロックを形成する際に、中間の段に配設される1または複数枚の光学ガラス板を他の光学ガラス板より厚手とした素ガラス板で構成し、この素ガラス板の幅寸法を短くすることにより前記基準溝を形成し、前記平面板分割工程では、この素ガラス板の部位で切断して2分割し、切断面を研磨した後に、一方を反転させてそれらの研磨面を接合することを特徴とする請求項1記載の光学素子の製造方法。 When forming the glass laminate block, one or a plurality of optical glass plates disposed in an intermediate stage are formed of a raw glass plate thicker than other optical glass plates, and the width of the raw glass plate The reference groove is formed by shortening the dimensions, and in the flat plate dividing step, the raw glass plate is cut into two parts by cutting, and after the cut surface is polished, one of them is inverted and then the polished surface The method of manufacturing an optical element according to claim 1, wherein: 前記ガラス積層体ブロックを形成する際に、前記傾斜させた基準壁に加えて、この基準壁と直交する方向に設けた鉛直状態となった第2の基準壁を設け、この第2の基準壁には前記基準溝の配置部に突出部が形成されて、前記ガラス板ブロック化工程では、前記基準壁と第2の基準壁とに沿って前記光学ガラス板を積層させることを特徴とする請求項1記載の光学素子の製造方法。 When forming the glass laminate block, in addition to the inclined reference wall, a second reference wall in a vertical state provided in a direction perpendicular to the reference wall is provided, and the second reference wall A protrusion is formed in the reference groove arrangement portion, and the optical glass plate is laminated along the reference wall and the second reference wall in the glass plate blocking step. Item 2. A method for producing an optical element according to Item 1. 45°の傾斜角を有する基準壁に沿って、全反射膜を形成した第1の光学ガラス板と、偏光膜を形成した第2の光学ガラス板とを交互に配置して階段状に複数枚積層して貼り合わせることによって、前後方向に階段状に傾斜し、左右両側部が垂直となったガラス積層体ブロックを形成するガラス板ブロック化工程と、
前記ガラス積層体ブロックを、その基準壁と平行な方向に所定の厚み毎にスライスして、接合ガラス平面板を形成する平面板形成工程と、
前記接合ガラス平面板の稜線部及び角隅部を研磨して、エッジを除去するエッジ処理工程と、
エッジ除去処理がなされた接合ガラス平面板の表裏両面を研磨する表面研磨工程と、
前記接合ガラス平面板を切断して、所定サイズの光学素子となるように分割する平面板分割工程と、
分割された平面板の一側面に前記偏光膜または全反射膜と対面する位置に1/2波長板を積層させる積層工程とからなり、
前記ガラス板ブロック化工程で貼り合わされる光学ガラス板のうち、概略中間の段に積層される1または複数枚の光学ガラス板を他の光学ガラス板より短寸のものとすることによりガラス積層体ブロックに形成される左右両側の垂直面に基準溝を形成し、この基準溝を前記平面板分割工程時で前記接合ガラス平面板を分割する際に、その切断用位置決め治具に設けた位置決め部材により位置決めされる基準部とする
ことを特徴とする偏光変換素子の製造方法。
A plurality of first optical glass plates on which total reflection films are formed and second optical glass plates on which polarizing films are formed are arranged alternately along a reference wall having an inclination angle of 45 °. By laminating and laminating, a glass plate blocking step for forming a glass laminate block that is inclined stepwise in the front-rear direction and the left and right sides are vertical;
A flat plate forming step of slicing the glass laminate block at a predetermined thickness in a direction parallel to the reference wall to form a bonded glass flat plate;
An edge processing step of polishing edges and corners of the bonded glass flat plate to remove edges,
A surface polishing step for polishing both the front and back surfaces of the bonded glass plane plate that has been subjected to the edge removal treatment,
A plane plate dividing step of cutting the bonded glass plane plate and dividing it so as to be an optical element of a predetermined size,
A laminating step of laminating a half-wave plate at a position facing the polarizing film or the total reflection film on one side surface of the divided flat plate,
Of the optical glass plates to be bonded together in the glass plate blocking step, one or a plurality of optical glass plates laminated in an approximately middle stage are made shorter than the other optical glass plates, thereby making a glass laminate. Positioning members provided in the positioning jig for cutting when forming the reference grooves on the vertical surfaces on the left and right sides formed in the block, and dividing the reference glass into the bonded glass flat plate in the flat plate dividing step A method for manufacturing a polarization conversion element, characterized in that the reference part is positioned by the above-described method.
45°の傾斜角を有する基準壁に沿って、全反射膜を形成した第1の光学ガラス板と、偏光膜を形成した第2の光学ガラス板とを交互に配置して階段状に複数枚積層して貼り合わせ、かつ中間の段に配設される光学ガラス板を他の光学ガラス板より厚手の素ガラス板で構成して、前後方向に階段状に傾斜し、左右両側部が垂直となったガラス積層体ブロックを形成するガラス板ブロック化工程と、
前記ガラス積層体ブロックを、その基準壁と平行な方向に所定の厚み毎にスライスして、接合ガラス平面板を形成する平面板形成工程と、
前記接合ガラス平面板の稜線部及び角隅部を研磨して、エッジを除去するエッジ処理工程と、
エッジ除去処理がなされた接合ガラス平面板の表裏両面を研磨する表面研磨工程と、
前記接合ガラス平面板を切断して、所定サイズの光学素子となるように分割した上で、前記素ガラス板の部位で切断して2分割する平面板分割工程と、
分割された平面板の一側面に前記偏光膜または全反射膜と対面する位置に1/2波長板を積層させる積層工程と、
前記素ガラス板で2分割した切断面を研磨した後に、一方を反転させてそれらの研磨面を接合させる反転接合工程とからなり、
前記ガラス板ブロック化工程で貼り合わされる光学ガラス板のうち、概略中間の段に積層される1または複数枚の光学ガラス板を他の光学ガラス板より短寸のものとすることによりガラス積層体ブロックに形成される左右両側の垂直面に基準溝を形成し、この基準溝を前記平面板分割工程時で前記接合ガラス平面板を分割する際に、その切断用位置決め治具に設けた位置決め部材により位置決めされる基準部とする
ことを特徴とする偏光変換素子の製造方法。
A plurality of first optical glass plates on which total reflection films are formed and second optical glass plates on which polarizing films are formed are arranged alternately along a reference wall having an inclination angle of 45 °. Laminated and bonded together, and the optical glass plate arranged in the middle step is composed of a thicker glass plate than the other optical glass plates, tilted stepwise in the front-rear direction, and the left and right sides are vertical A glass plate blocking step for forming a glass laminate block,
A flat plate forming step of slicing the glass laminate block at a predetermined thickness in a direction parallel to the reference wall to form a bonded glass flat plate;
An edge processing step of polishing edges and corners of the bonded glass flat plate to remove edges,
A surface polishing step for polishing both the front and back surfaces of the bonded glass plane plate that has been subjected to the edge removal treatment,
A flat plate dividing step of cutting the bonded glass flat plate and dividing it into optical elements of a predetermined size, and then cutting into two parts by cutting at the portion of the raw glass plate,
A lamination step of laminating a half-wave plate at a position facing the polarizing film or the total reflection film on one side of the divided flat plate;
After polishing the cut surface divided into two by the raw glass plate, it comprises an inversion joining step of reversing one and joining the polished surfaces,
Of the optical glass plates to be bonded together in the glass plate blocking step, one or a plurality of optical glass plates laminated in an approximately middle stage are made shorter than the other optical glass plates, thereby making a glass laminate. Positioning members provided in the positioning jig for cutting when forming the reference grooves on the vertical surfaces on the left and right sides formed in the block, and dividing the reference glass into the bonded glass flat plate in the flat plate dividing step A method for manufacturing a polarization conversion element, characterized in that the reference part is positioned by the above-described method.
請求項4または請求項5により製造された偏光変換素子。
The polarization conversion element manufactured by Claim 4 or Claim 5.
JP2005045006A 2005-02-22 2005-02-22 Method of manufacturing optical glass, method of manufacturing polarization conversion element, and polarization conversion element Pending JP2006234861A (en)

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