JP2006234737A - プローブの姿勢補正機能を有する三次元座標測定装置 - Google Patents

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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015222196A (ja) * 2014-05-22 2015-12-10 株式会社東京精密 三次元測定機、及びこれを用いた形状測定方法
JP2019177423A (ja) * 2018-03-30 2019-10-17 旭精機工業株式会社 Ｎｃ加工装置及び加工部品の製造方法
CN112277009A (zh) * 2020-09-15 2021-01-29 唐山英莱科技有限公司 一种机器人的定位方法及计算机可读存储介质
CN116337672A (zh) * 2023-05-29 2023-06-27 广东健齿生物科技有限公司 一种牙钻切削性能自动检测方法、装置、设备及存储介质
DE102023111065A1 (de) 2022-05-12 2023-11-16 Keyence Corporation Bildmessvorrichtung
CN117990609A (zh) * 2022-11-01 2024-05-07 苏州博众半导体有限公司 芯片检测方法、系统、设备及计算机可读存储介质

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015222196A (ja) * 2014-05-22 2015-12-10 株式会社東京精密 三次元測定機、及びこれを用いた形状測定方法
JP2019177423A (ja) * 2018-03-30 2019-10-17 旭精機工業株式会社 Ｎｃ加工装置及び加工部品の製造方法
CN112277009A (zh) * 2020-09-15 2021-01-29 唐山英莱科技有限公司 一种机器人的定位方法及计算机可读存储介质
CN112277009B (zh) * 2020-09-15 2023-09-12 唐山英莱科技有限公司 一种机器人的定位方法及计算机可读存储介质
DE102023111065A1 (de) 2022-05-12 2023-11-16 Keyence Corporation Bildmessvorrichtung
US12141958B2 (en) 2022-05-12 2024-11-12 Keyence Corporation Image measurement apparatus
CN117990609A (zh) * 2022-11-01 2024-05-07 苏州博众半导体有限公司 芯片检测方法、系统、设备及计算机可读存储介质
CN116337672A (zh) * 2023-05-29 2023-06-27 广东健齿生物科技有限公司 一种牙钻切削性能自动检测方法、装置、设备及存储介质
CN116337672B (zh) * 2023-05-29 2023-09-15 广东健齿生物科技有限公司 一种牙钻切削性能自动检测方法、装置、设备及存储介质

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