JP2006228819A - 光検知器 - Google Patents
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Abstract
【課題】 赤外線の吸収感度スペクトルの形状を整形する。
【解決手段】 量子ドット16と量子ドット16を載せる濡れ層15とからなる複数の量子ドット層を設け、複数の量子ドット層と交互に積層されて各量子ドット層を埋め込む複数の中間層17を設ける。そして、第1の光反射層19を複数の中間層17の内の最端の中間層17の表面に設け、第2の光反射層18aを最端の中間層17の内部に設ける。このようにすると、第1の光反射層19によって定在波を生じる光、及び、第2の光反射層18aによって定在波を生じる光によって2つの定在波が生じる。
【選択図】 図1
【解決手段】 量子ドット16と量子ドット16を載せる濡れ層15とからなる複数の量子ドット層を設け、複数の量子ドット層と交互に積層されて各量子ドット層を埋め込む複数の中間層17を設ける。そして、第1の光反射層19を複数の中間層17の内の最端の中間層17の表面に設け、第2の光反射層18aを最端の中間層17の内部に設ける。このようにすると、第1の光反射層19によって定在波を生じる光、及び、第2の光反射層18aによって定在波を生じる光によって2つの定在波が生じる。
【選択図】 図1
Description
本発明は、光を検知する光検知器に関し、特に、光干渉効果を用いて光を検知する光検知器に関する。
現在、入射された光を吸収した場合に流れる電流を検知することによって光を検知する光検知器において、垂直入射光を吸収できない量子井戸型光検知器(Quantum Well Infrared Photodetector、QWIP)より、量子ドットを用いて垂直入射光を吸収できる量子ドット型光検知器(Quantum Dot Infrared Photodetector、QDIP)が注目されている(例えば、非特許文献1、特許文献1、2)。このQDIPでは、QWIPで必要とされた光結合構造が不要であり、プロセスの簡略化が図られている。
ここで、QDIPでは、光の吸収感度を高くするために、入射して一度素子を通過した光を反射させて再度素子を通過させるため、光反射板を設けている。
Eui−Tae Kim,High detectivity InAs quantum dot infrared photodetectors、2004年3月3日 特開平10−256588号公報
特開2003−218366号公報
Eui−Tae Kim,High detectivity InAs quantum dot infrared photodetectors、2004年3月3日
しかし、従来のQDIPでは、離散的な複数の波長の光を吸収し、光干渉効果によって定在波が生じる場合と生じない場合とがあり、ある波長では吸収感度が高くてある波長では吸収感度が低くなる。QDIPの量子ドットは、光の波長によっては入射した光をほとんど吸収しないこともあり、QDIPの光の吸収感度スペクトルの形状が滑らかでなくなり、光検知器の性能が十分とは言えない。
本発明は、このような点に鑑みてなされたものであり、光の吸収感度スペクトルの形状が整形された光検知器を提供することを目的とする。
本発明では、上記課題を解決するために、図1に例示するように、光を検知する光検知器において、量子ドット16と量子ドット16を載せる濡れ層15とからなる複数の量子ドット層と、複数の量子ドット層と交互に積層され、複数の量子ドット層を埋め込む複数の中間層17と、複数の中間層17の内の最端の中間層17の表面に設けられた第1の光反射層19と、最端の中間層17の内部に設けられた第2の光反射層18aと、を有する光検知器が提供される。
このような光検出器によると、第1の光反射層19によって定在波を生じる光、及び、第2の光反射層18aによって定在波を生じる光によって2つの定在波が生じ、例えば前者の光の吸収感度の極小に後者の光の吸収感度の極大が現れるように第1の光反射層19及び第2の光反射層18aを設ければ、2つの定在波による吸収感度スペクトルが足し合わされ、全体としての光の吸収感度スペクトルの形状を整形できる。
本発明では、第1の光反射層を複数の中間層の内の最端の中間層の表面に設け、第2の光反射層を最端の中間層の内部に設けるようにする。
このようにすると、第1の光反射層によって定在波を生じる光、及び、第2の光反射層によって定在波を生じる光によって2つの定在波が生じ、2つの定在波による吸収感度スペクトルが足し合わされ、全体としての光の吸収感度スペクトルの形状を整形でき、光検知器の性能を向上させることができる。
このようにすると、第1の光反射層によって定在波を生じる光、及び、第2の光反射層によって定在波を生じる光によって2つの定在波が生じ、2つの定在波による吸収感度スペクトルが足し合わされ、全体としての光の吸収感度スペクトルの形状を整形でき、光検知器の性能を向上させることができる。
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。なお、光の内の赤外線を例に説明する。図1は、QDIP素子の要部断面模式図である。
光検知器は、複数のQDIP素子10を有している。量子ドット16は濡れ層15の表面に形成され、量子ドット16と濡れ層15とは中間層17で埋め込まれている。赤外線の吸収感度を高くするため、これらを1層として複数回積層される。第1の光反射層19が最端の中間層17の表面に設けられ、第2の光反射層18aが最端の中間層17の内部に設けられ、QDIP素子10が形成される。
光検知器は、複数のQDIP素子10を有している。量子ドット16は濡れ層15の表面に形成され、量子ドット16と濡れ層15とは中間層17で埋め込まれている。赤外線の吸収感度を高くするため、これらを1層として複数回積層される。第1の光反射層19が最端の中間層17の表面に設けられ、第2の光反射層18aが最端の中間層17の内部に設けられ、QDIP素子10が形成される。
量子ドット16は、赤外線を吸収してキャリアを放出する。量子ドット16から放出されたキャリアは、基板と第1の光反射層19との間に印加された電界にしたがって中間層17及び濡れ層15を流れる。第1の光反射層19及び第2の光反射層18aは、中間層17よりも屈折率が大きく、入射された赤外線を反射して量子ドット16による赤外線の吸収感度を高くする。
ここで、例えば第2の光反射層18aの材料には、InGaAs、InAs、InSb、SiまたはGeが用いられる。
次に、QDIP素子10の形成工程について説明する。図2はQDIP素子の第1の形成工程の要部断面模式図、図3はQDIP素子の第2の形成工程の要部断面模式図、図4はQDIP素子の第3の形成工程の要部断面模式図、図5はQDIP素子の第4の形成工程の要部断面模式図、図6はQDIP素子の第5の形成工程の要部断面模式図、図7はQDIP素子の第6の形成工程の要部断面模式図である。
次に、QDIP素子10の形成工程について説明する。図2はQDIP素子の第1の形成工程の要部断面模式図、図3はQDIP素子の第2の形成工程の要部断面模式図、図4はQDIP素子の第3の形成工程の要部断面模式図、図5はQDIP素子の第4の形成工程の要部断面模式図、図6はQDIP素子の第5の形成工程の要部断面模式図、図7はQDIP素子の第6の形成工程の要部断面模式図である。
QDIP素子10の各エピタキシャル層は、MBE(分子線エピタキシャル)法によって形成され、QDIP素子10の量子ドット16は、自己組織化量子ドット形成法によって形成される。
まず、図2に例示するように、表面が(100)面であるGaAs基板11を、超高真空チャンバの中に取り付ける。次いで、GaAs基板11を温度約600℃に設定し、不純物のドーピングをしない厚さ約100nmのi−GaAs層12、及び、n型不純物のドーピング約1×1018cm-3をして厚さ約100nmのn−GaAs層13を成長させる。次いで、GaAs基板11を温度約600℃から温度約500℃に変化させながら、不純物のドーピングをしない厚さ約50nmのi−GaAs層14を成長させる。次いで、GaAs基板11を温度約500℃に設定し、不純物のドーピングをしない厚さ約3ML(分子層)のInAsを、均一に供給する。ここで、初期のInAs供給では、InAsが平坦に2次元的に成長して濡れ層15を形成するが、引き続きのInAs供給では、GaAsとInAsとの格子定数の差異から発生する歪みによってInAsが島状に3次元的に成長して量子ドット16を形成する。次いで、不純物のドーピングをしない厚さ約50nmのi−GaAsによる中間層17を成長させる。ここで、濡れ層15、量子ドット16及び中間層17を、図2において4回繰り返しているが、所定回繰り返し、GaAs基板11を温度約500℃から温度約600℃に変化させながら、最後の中間層17を成長させる。次いで、n型不純物のドーピング約1×1018cm-3をして厚さ約75nmのn−GaAs層18を成長させる。次いで、In組成比が0.3でn型不純物のドーピング約1×1018cm-3をして厚さ約25nmのn−InGaAsによる第2の光反射層18aを成長させる。
その後、図3に例示するように、抵抗加熱蒸着法により、反射金属板及び電極としての厚さ約100nmのAuによる第1の光反射層19を蒸着する。次いで、フォトリソグラフィーにより、画素分離部20aが開口したレジスト20を形成する。なお、図3において、図2に例示した中間層17からi−GaAs層14を省略している。また、n−GaAs層18、第1の光反射層19及び第2の光反射層18aは、電極として機能する。
その後、レジスト20をマスクとして、図4に例示するように、イオンリミング法によって第1の光反射層19を研削し、ドライエッチング法によってn−GaAs層18からi−GaAs層14を研削し、レジスト20を剥離する。次いで、CVD法により、厚さ100nmのSiN層21を堆積する。次いで、フォトリソグラフィーにより、電極取出部22aが開口したレジスト22を形成する。なお、図4において、図2に例示した中間層17からi−GaAs層14を省略している。
その後、レジスト22をマスクとして、図5に例示するように、ウェットエッチング法によってSiN層21を除去し、レジスト22を剥離する。次いで、フォトリソグラフィーにより、電極取出部22aが開口したレジスト23を形成する。次いで、レジスト23をマスクとして、抵抗加熱蒸着法により、厚さ約10nmのIn層24a、24bを蒸着する。なお、図5において、図2に例示した中間層17からi−GaAs層14を省略している。
その後、図6に例示するように、リフトオフ法により、In層24bとレジスト23とを同時に除去する。このようにすると、n−GaAs層18の電極の取り出しが実現できる。なお、図6において、図2に例示した中間層17からi−GaAs層14を省略している。
また、図3において例示した第1の光反射層19の蒸着前に、図7に例示するように、ドライエッチング法によってn−GaAs層18からi−GaAs層14を研削し、このエッチングされた部分をまたぐように第1の光反射層19を蒸着する。次いで、図4から図6に例示したように各層を形成する。このようにすると、n−GaAs層13の電極の取り出しが実現できる。なお、図7において、図2に例示した中間層17からi−GaAs層14を省略している。
その後、形成されたQDIP素子10をCMOS回路(図示せず)に接続する。
なお、濡れ層15は、i−GaAs層14等から供給されるGaによって混晶化され、InGaAsになる。また、量子ドット16は、混晶化の頻度は少ないので、ほぼInAsのままである。
なお、濡れ層15は、i−GaAs層14等から供給されるGaによって混晶化され、InGaAsになる。また、量子ドット16は、混晶化の頻度は少ないので、ほぼInAsのままである。
また、濡れ層15の間隔は、約10nmから100nmとすることができる。
また、濡れ層15の間隔が約50nmの場合、第2の光反射層18aの厚さは、約10nmから40nmとすることができる。
また、濡れ層15の間隔が約50nmの場合、第2の光反射層18aの厚さは、約10nmから40nmとすることができる。
次に、QDIP素子10の動作について説明する。
まず、CMOS回路により、n−GaAs層18とn−GaAs層13との間に、Inの電極を介して電圧が印加される。次いで、QDIP素子10の量子ドット16により、赤外線が吸収され、量子ドット16の価電子帯に束縛されたキャリアが伝導帯に励起される。次いで、励起されて放出されたキャリアがn−GaAs層18とn−GaAs層13との間を、印加された電圧にしたがって流れる。次いで、CMOS回路により、電流として捕えられ、赤外線が電流として検知される。
まず、CMOS回路により、n−GaAs層18とn−GaAs層13との間に、Inの電極を介して電圧が印加される。次いで、QDIP素子10の量子ドット16により、赤外線が吸収され、量子ドット16の価電子帯に束縛されたキャリアが伝導帯に励起される。次いで、励起されて放出されたキャリアがn−GaAs層18とn−GaAs層13との間を、印加された電圧にしたがって流れる。次いで、CMOS回路により、電流として捕えられ、赤外線が電流として検知される。
次に、赤外線の吸収感度スペクトルについて説明する。図8は定在波の例を示す図、図9は赤外線の吸収感度スペクトルの例を示す図である。
まず、図8(A)に例示するように、物質A、B、Cから構成される構成物に赤外線が入射する。次いで、図8(B)に例示するように、物質Bの屈折率よりも物質Cの屈折率が大きい場合、入射した赤外線の一部は、物質Cの反射を受け、位相はπ反転する。次いで、物質Bの屈折率よりも物質Aの屈折率が大きい場合、反射された赤外線の一部は、物質Aの反射を受け、位相はπ反転する。ここで、物質Bの層厚が入射した光の半波長と一致すれば、光が重ね合わされるため、振幅の大きい定在波が生じる。
まず、図8(A)に例示するように、物質A、B、Cから構成される構成物に赤外線が入射する。次いで、図8(B)に例示するように、物質Bの屈折率よりも物質Cの屈折率が大きい場合、入射した赤外線の一部は、物質Cの反射を受け、位相はπ反転する。次いで、物質Bの屈折率よりも物質Aの屈折率が大きい場合、反射された赤外線の一部は、物質Aの反射を受け、位相はπ反転する。ここで、物質Bの層厚が入射した光の半波長と一致すれば、光が重ね合わされるため、振幅の大きい定在波が生じる。
ここで、物質Aを第1の光反射層19から数えてm層目の濡れ層15とし、物質Bをm−1層目から1層目の濡れ層15及び複数の中間層17とし、物質Cを第1の光反射層19とし、複数の赤外線の内の1つにより、m層目の濡れ層15と第1の光反射層19との間に定在波が生じ、その赤外線の波長をλmとする。例えば、波長λ1の赤外線により、1層目の濡れ層15と第1の光反射層19との間に定在波が生じ、波長λ2の赤外線により、2層目の濡れ層15と第1の光反射層19との間に定在波が生じる。これらの定在波は、波長λ1から波長λmの各赤外線で生じる。
m層目の濡れ層15と第1の光反射層19との間に定在波が生じた場合、図9(A)に例示するように、m−1層目から1層目の濡れ層15による赤外線の吸収感度は高くなり、波長λmの赤外線の吸収感度は高くなる。ここで、定在波の波長が変化すると、定在波の中に存在する濡れ層15の数が変化するので、赤外線の波長に対し、赤外線の吸収感度は依存する。そして、定在波が生じると赤外線の吸収感度の極大が現れ、定在波が生じる波長間隔は、赤外線の吸収感度の極大が現れる波長間隔と等しく、濡れ層15の距離間隔と等しい。赤外線の吸収感度の極大が現れる波長間隔は、次のような式で定義される。
Δλ=λm/2−λm-1/2 ・・・(1)
Δλ=2n0×L1 ・・・(2)
式(1)及び(2)において、Δλは赤外線の吸収感度の極大が現れる波長間隔、λmはm層目の濡れ層15と第1の光反射層19との間に定在波を生じさせる波長、λm-1はm−1層目の濡れ層15と第1の光反射層19との間に定在波を生じさせる波長、n0は中間層17の屈折率、L1は濡れ層15の距離間隔、及び、最端の濡れ層15と第1の光反射層19との間隔である。
Δλ=λm/2−λm-1/2 ・・・(1)
Δλ=2n0×L1 ・・・(2)
式(1)及び(2)において、Δλは赤外線の吸収感度の極大が現れる波長間隔、λmはm層目の濡れ層15と第1の光反射層19との間に定在波を生じさせる波長、λm-1はm−1層目の濡れ層15と第1の光反射層19との間に定在波を生じさせる波長、n0は中間層17の屈折率、L1は濡れ層15の距離間隔、及び、最端の濡れ層15と第1の光反射層19との間隔である。
ここで、第1の光反射層19だけでなくて第2の光反射層18aも設けた場合、複数の赤外線は、第1の光反射層19と第2の光反射層18aとに反射され、所定の濡れ層15と第1の光反射層19とによった定在波、及び、所定の濡れ層15と第2の光反射層18aとによった定在波を生じさせる。2つの定在波の関係は、次のような式で定義される。
λ'm/2=λm/2−Δλ/2 ・・・(3)
L1=2L2 ・・・(4)
式(3)及び(4)において、λ'mはm層目の濡れ層15と第2の光反射層18aとの間に定在波を生じさせる波長、L2は最端の濡れ層15と第2の光反射層18aとの間隔である。
λ'm/2=λm/2−Δλ/2 ・・・(3)
L1=2L2 ・・・(4)
式(3)及び(4)において、λ'mはm層目の濡れ層15と第2の光反射層18aとの間に定在波を生じさせる波長、L2は最端の濡れ層15と第2の光反射層18aとの間隔である。
光検知器は、このようなQDIP素子10を1画素とし、例えば1枚のGaAs基板の上に多くのQDIP素子10が整列配置されて構成される。各QDIP素子10で、多くの赤外線が吸収されるとその分多くのキャリアが放出されるため、それを利用することにより、光検知器で、対象物の温度に応じた画像が生成される。
このようにすると、図9(B)に例示するように、波長λmの赤外線の吸収感度の極大が現れる場所を−Δλ/2移動すると、波長λ'mの赤外線の吸収感度の極大が現れる場所になる。つまり、図9(C)に例示するように、波長λmの赤外線と波長λ'mの赤外線とによって2つの定在波が生じ、波長λmの赤外線の吸収感度の極小に波長λ'mの赤外線の吸収感度の極大が現れる。そして、図9(D)に例示するように、2つの定在波による吸収感度スペクトルが足し合わされ、全体としての赤外線の吸収感度スペクトルの形状を整形でき、光検知器の性能を向上させることができる。
なお、L1=2L2としたが、L2を微調整することで、全体としての赤外線の吸収感度スペクトルの形状を微調整できる。
(付記1) 光を検知する光検知器において、
量子ドットと前記量子ドットを載せる濡れ層とからなる複数の量子ドット層と、
前記複数の量子ドット層と交互に積層され、前記複数の量子ドット層を埋め込む複数の中間層と、
前記複数の中間層の内の最端の中間層の表面に設けられた第1の光反射層と、
前記最端の中間層の内部に設けられた第2の光反射層と、
を有することを特徴とする光検知器。
(付記1) 光を検知する光検知器において、
量子ドットと前記量子ドットを載せる濡れ層とからなる複数の量子ドット層と、
前記複数の量子ドット層と交互に積層され、前記複数の量子ドット層を埋め込む複数の中間層と、
前記複数の中間層の内の最端の中間層の表面に設けられた第1の光反射層と、
前記最端の中間層の内部に設けられた第2の光反射層と、
を有することを特徴とする光検知器。
(付記2) 前記第2の光反射層の厚さと前記中間層の厚さとは、異なることを特徴とする付記1記載の光検知器。
(付記3) 前記光は赤外線であることを特徴とする付記1記載の光検知器。
(付記3) 前記光は赤外線であることを特徴とする付記1記載の光検知器。
(付記4) 前記各中間層はGaAsで形成され、前記第2の光反射層はInGaAsで形成されることを特徴とする付記1記載の光検知器。
(付記5) 前記第1の光反射層と前記第2の光反射層とは、前記各中間層よりも高い屈折率を有することを特徴とする付記1記載の光検知器。
(付記5) 前記第1の光反射層と前記第2の光反射層とは、前記各中間層よりも高い屈折率を有することを特徴とする付記1記載の光検知器。
(付記6) 光を検知する光検知器の製造方法において、
量子ドットと前記量子ドットを載せる濡れ層とからなる複数の量子ドット層を形成する工程と、
前記複数の量子ドット層と交互に積層され、前記複数の量子ドット層を埋め込む複数の中間層を形成する工程と、
前記複数の中間層の内の最端の中間層の表面に設けられた第1の光反射層を形成する工程と、
前記最端の中間層の内部に設けられた第2の光反射層を形成する工程と、
を有することを特徴とする光検知器の製造方法。
量子ドットと前記量子ドットを載せる濡れ層とからなる複数の量子ドット層を形成する工程と、
前記複数の量子ドット層と交互に積層され、前記複数の量子ドット層を埋め込む複数の中間層を形成する工程と、
前記複数の中間層の内の最端の中間層の表面に設けられた第1の光反射層を形成する工程と、
前記最端の中間層の内部に設けられた第2の光反射層を形成する工程と、
を有することを特徴とする光検知器の製造方法。
10 QDIP素子
15 濡れ層
16 量子ドット
17 中間層
18a 第2の光反射層
19 第1の光反射層
λ、λ' 波長
15 濡れ層
16 量子ドット
17 中間層
18a 第2の光反射層
19 第1の光反射層
λ、λ' 波長
Claims (5)
- 光を検知する光検知器において、
量子ドットと前記量子ドットを載せる濡れ層とからなる複数の量子ドット層と、
前記複数の量子ドット層と交互に積層され、前記複数の量子ドット層を埋め込む複数の中間層と、
前記複数の中間層の内の最端の中間層の表面に設けられた第1の光反射層と、
前記最端の中間層の内部に設けられた第2の光反射層と、
を有することを特徴とする光検知器。 - 前記第2の光反射層の厚さと前記中間層の厚さとは、異なることを特徴とする請求項1記載の光検知器。
- 前記光は赤外線であることを特徴とする請求項1記載の光検知器。
- 前記各中間層はGaAsで形成され、前記第2の光反射層はInGaAsで形成されることを特徴とする請求項1記載の光検知器。
- 前記第1の光反射層と前記第2の光反射層とは、前記各中間層よりも高い屈折率を有することを特徴とする請求項1記載の光検知器。
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20080513 |