JP2006208254A - 粉塵濃度検出装置 - Google Patents
粉塵濃度検出装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006208254A JP2006208254A JP2005022441A JP2005022441A JP2006208254A JP 2006208254 A JP2006208254 A JP 2006208254A JP 2005022441 A JP2005022441 A JP 2005022441A JP 2005022441 A JP2005022441 A JP 2005022441A JP 2006208254 A JP2006208254 A JP 2006208254A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dust
- laser beam
- parallel
- light
- light receiving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- UAEPNZWRGJTJPN-UHFFFAOYSA-N CC1CCCCC1 Chemical compound CC1CCCCC1 UAEPNZWRGJTJPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Abstract
【解決手段】 含塵気流中の粉塵濃度を測定する粉塵濃度検出装置ATを、発光素子から放射されるレーザ光線を所定の断面エリアを有する平行レーザ光束S1に形成する平行光線形成放射部14Hと、放射されてくる平行レーザ光束S1を所定の角度に反射させる反射鏡20と、含塵気流中の粉塵粒子に対するレーザ光線の照射による前方散乱光YRを、受光素子に導く前方散乱光受光部22Hとによって構成する。
【選択図】 図3
Description
4 排気ダクト管
5 測定口
10 ケース体
11 装置本体
12 レーザダイオード(発光素子)
13 非球面レンズ
14 平行光線形成放射筒体
S1,S2 平行レーザ光束
14H 平行光線形成放射部
15 スペーサ
16 装置中間部
20 反射鏡
21 スリット状の穴
22 前方散乱光受光筒体
22H 前方散乱光受光部
24,25 光学系レンズ
26 フォトダイオード(受光素子)
SX 前方焦点
YR 前方散乱光
30 空気圧縮供給装置
40 表示部
Claims (6)
- 発光素子から放射されるレーザー光線を含塵気流中の計測位置に向けて照射することにより、該気流中の粉塵粒子に当たって反射される散乱光を受光素子で受光して電気信号に変換し、この電気信号に基づいて粉塵濃度を測定するように構成した粉塵濃度検出装置であって、
上記発光素子から放射されるレーザ光線を、所定の断面エリアを有する平行レーザ光束に形成して放射することができる光学系レンズを備えた平行光線形成放射部と、
当該放射部より放射される平行レーザ光束を、上記含塵気流中の計測位置に向けて所定の角度を以て反射させる反射鏡と、
光軸が上記平行光線形成放射部から放射される平行レーザ光束の光軸に対して平行になるように設置され、且つ、当該光軸上の前方焦点が、上記含塵気流中の計測位置で、且つ、上記反射鏡によって反射された平行レーザ光束を横切る平面内に合致するよう配置されていて、この平面を通過する含塵気流中の粉塵粒子に対するレーザ光線の照射による前方散乱光を、上記の受光素子に導いて集光させることができる複数の光学系レンズを備えた前方散乱光受光部と、
によって構成したことを特徴とする粉塵濃度検出装置。 - 発光素子から放射されるレーザ光線をダクト管内を流れる含塵気流中の計測位置に向けて照射することにより、該気流中の粉塵粒子に当たって反射される散乱光を受光素子で受光して電気信号に変換し、この電気信号に基づいて粉塵濃度を測定するように構成した粉塵濃度検出装置であって、
該検出装置の全体を、ダクト管に設けた測定口の内部に取付けられる装置全体と、この装置全体に対して軸心を平行にした状態で、且つ、先端側を上記ダクト管内に向けた状態で取付けられる発光側と受光側の2本の通路筒体とによって構成し、
発光側通路筒体には、発光素子から放射されたレーザ光線を、所定の断面エリアを有する平行レーザ光束に形成して通路筒体内に放射することができる光学系レンズを備えた平行光線形成放射部と、通路筒体の先端部において、上記光学系レンズによって形成された平行レーザ光束を、上記ダクト管内を流れる含塵気流中の計測位置に向けて所定の角度を以て反射させる反射鏡と、反射された平行レーザ光束の通路となるスリット状の穴とを設ける一方、
受光側通路筒体には、上記発光側平行レーザ光束の光軸線に対して平行になるように設けた光軸線の前方焦点が、上記反射鏡によって反射されてスリット状の穴からダクト管内の計測位置に向けて放射される平行レーザ光束を横切る平面内に合致し、且つ、この平面を通過する含塵気流中の粉塵粒子に対するレーザ光線の照射による前方散乱光を、受光素子に導いて集光させることができる複数枚の光学系レンズを用いて構成された前方散乱光受光部を設けたことを特徴とする粉塵濃度検出装置。 - 前記反射鏡によって反射される平行レーザ光束の前記前方散乱光受光部の光軸に対する角度を、135度〜160度の範囲内とし、好ましくは150度としたことを特徴とする請求項1又は2に記載の粉塵濃度検出装置。
- 前記前方散乱光受光部を構成する複数枚の光学系レンズの中間部に、光を平行に導くことができる平行光領域を設けると共に、この平行光領域を伸縮調整可能に構成したことを特徴とする請求項1又は2に記載の粉塵濃度検出装置。
- 装置本体に、少なくとも発光素子と受光素子、及び、これ等の電子部品類を内側に収納することができ、且つ、外周部に冷却用のフィン又は外気取入口から成る冷却手段を備えた冷却部を設けて、前記平行光線形成放射部と前方散乱光受光部を冷却可能に構成したことを特徴とする請求項1又は2に記載の粉塵濃度検出装置。
- 装置本体に、圧縮エアーを前記発行側通路筒体と受光側通路筒体を通して、夫々の各先端部より前記ダクト管内に排出させることができる圧縮気流通路を設けたことを特徴とする請求項1、2又は5に記載の粉塵濃度検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005022441A JP4599181B2 (ja) | 2005-01-31 | 2005-01-31 | 粉塵濃度検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005022441A JP4599181B2 (ja) | 2005-01-31 | 2005-01-31 | 粉塵濃度検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006208254A true JP2006208254A (ja) | 2006-08-10 |
JP4599181B2 JP4599181B2 (ja) | 2010-12-15 |
Family
ID=36965275
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005022441A Expired - Fee Related JP4599181B2 (ja) | 2005-01-31 | 2005-01-31 | 粉塵濃度検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4599181B2 (ja) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7631568B2 (en) | 2007-08-28 | 2009-12-15 | Quest Technologies | Particulate monitor |
WO2014136414A1 (ja) * | 2013-03-04 | 2014-09-12 | パナソニック株式会社 | デバイス |
CN104237090A (zh) * | 2014-09-22 | 2014-12-24 | 国家电网公司 | 一种快速测定除尘器的烟气中烟尘浓度的方法及装置 |
CN106680168A (zh) * | 2017-02-20 | 2017-05-17 | 常熟市顺欣仪器仪表有限公司 | 一种粉尘浓度测量装置 |
CN107478557A (zh) * | 2017-09-20 | 2017-12-15 | 张家港朗亿机电设备有限公司 | 一种粉尘浓度检测仪的检测装置 |
CN107655802A (zh) * | 2017-10-17 | 2018-02-02 | 电子科技大学中山学院 | 一种有防止粉尘进入功能的光学原理粉尘传感器 |
CN109444012A (zh) * | 2018-12-27 | 2019-03-08 | 常熟市德虞矿山机电有限公司 | 一种用于直读式粉尘测定仪的检测装置 |
CN110034038A (zh) * | 2018-01-12 | 2019-07-19 | 机体爱思艾姆有限公司 | 晶片型粒子传感器 |
CN115522978A (zh) * | 2022-09-23 | 2022-12-27 | 中煤科工集团重庆研究院有限公司 | 一种粉尘浓度检测方法及装置 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0217430A (ja) * | 1988-07-05 | 1990-01-22 | Babcock Hitachi Kk | 粉体濃度測定方法 |
JPH049642A (ja) * | 1990-04-27 | 1992-01-14 | Mitsui Toatsu Chem Inc | ビスフェノールaの溶融色測定装置 |
JPH04168345A (ja) * | 1990-10-31 | 1992-06-16 | Olympus Optical Co Ltd | 微粒子検出装置 |
JPH04335135A (ja) * | 1991-05-11 | 1992-11-24 | Horiba Ltd | 微粒子カウンター |
JPH05126738A (ja) * | 1991-11-01 | 1993-05-21 | Nisshin Flour Milling Co Ltd | 粉体の濃度測定方法および装置 |
JPH10213539A (ja) * | 1996-10-21 | 1998-08-11 | Insitec Inc | 半導体デバイス製造装置におけるウェーハ近傍微粒子の検出装置 |
JP2003215026A (ja) * | 2002-01-18 | 2003-07-30 | Osaka Gas Co Ltd | パージ流体噴出構造及びこれを備えたダスト測定装置 |
-
2005
- 2005-01-31 JP JP2005022441A patent/JP4599181B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0217430A (ja) * | 1988-07-05 | 1990-01-22 | Babcock Hitachi Kk | 粉体濃度測定方法 |
JPH049642A (ja) * | 1990-04-27 | 1992-01-14 | Mitsui Toatsu Chem Inc | ビスフェノールaの溶融色測定装置 |
JPH04168345A (ja) * | 1990-10-31 | 1992-06-16 | Olympus Optical Co Ltd | 微粒子検出装置 |
JPH04335135A (ja) * | 1991-05-11 | 1992-11-24 | Horiba Ltd | 微粒子カウンター |
JPH05126738A (ja) * | 1991-11-01 | 1993-05-21 | Nisshin Flour Milling Co Ltd | 粉体の濃度測定方法および装置 |
JPH10213539A (ja) * | 1996-10-21 | 1998-08-11 | Insitec Inc | 半導体デバイス製造装置におけるウェーハ近傍微粒子の検出装置 |
JP2003215026A (ja) * | 2002-01-18 | 2003-07-30 | Osaka Gas Co Ltd | パージ流体噴出構造及びこれを備えたダスト測定装置 |
Cited By (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7987695B2 (en) | 2007-08-28 | 2011-08-02 | 3M Innovative Properties Company | Particulate monitor |
US8813583B2 (en) | 2007-08-28 | 2014-08-26 | 3M Innovative Properties Company | Particulate monitor |
US7631568B2 (en) | 2007-08-28 | 2009-12-15 | Quest Technologies | Particulate monitor |
WO2014136414A1 (ja) * | 2013-03-04 | 2014-09-12 | パナソニック株式会社 | デバイス |
JPWO2014136414A1 (ja) * | 2013-03-04 | 2017-02-09 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | デバイス |
US9958381B2 (en) | 2013-03-04 | 2018-05-01 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Carbon dioxide sensor |
US10018556B2 (en) | 2013-03-04 | 2018-07-10 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Gas detecting device including light emitter, light receiver, and an optical member |
CN104237090A (zh) * | 2014-09-22 | 2014-12-24 | 国家电网公司 | 一种快速测定除尘器的烟气中烟尘浓度的方法及装置 |
CN106680168A (zh) * | 2017-02-20 | 2017-05-17 | 常熟市顺欣仪器仪表有限公司 | 一种粉尘浓度测量装置 |
CN106680168B (zh) * | 2017-02-20 | 2023-10-27 | 常熟市顺欣仪器仪表有限公司 | 一种粉尘浓度测量装置 |
CN107478557B (zh) * | 2017-09-20 | 2023-07-18 | 张家港朗亿机电设备有限公司 | 一种粉尘浓度检测仪的检测装置 |
CN107478557A (zh) * | 2017-09-20 | 2017-12-15 | 张家港朗亿机电设备有限公司 | 一种粉尘浓度检测仪的检测装置 |
CN107655802A (zh) * | 2017-10-17 | 2018-02-02 | 电子科技大学中山学院 | 一种有防止粉尘进入功能的光学原理粉尘传感器 |
CN110034038A (zh) * | 2018-01-12 | 2019-07-19 | 机体爱思艾姆有限公司 | 晶片型粒子传感器 |
CN109444012A (zh) * | 2018-12-27 | 2019-03-08 | 常熟市德虞矿山机电有限公司 | 一种用于直读式粉尘测定仪的检测装置 |
CN115522978A (zh) * | 2022-09-23 | 2022-12-27 | 中煤科工集团重庆研究院有限公司 | 一种粉尘浓度检测方法及装置 |
CN115522978B (zh) * | 2022-09-23 | 2024-03-12 | 中煤科工集团重庆研究院有限公司 | 一种粉尘浓度检测方法及装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4599181B2 (ja) | 2010-12-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4599181B2 (ja) | 粉塵濃度検出装置 | |
ES2811338T3 (es) | Monitor de aerosol en tiempo real | |
KR101452174B1 (ko) | 발광부, 광전식 연기 감지기 및 흡인식 연기 감지 시스템 | |
US9885602B2 (en) | Particle sensor | |
JP5856173B2 (ja) | 煙検知回路、この煙検知回路を備える煙検知器、並びにこの回路及び検知器の両方を備える警報デバイス | |
US8610586B2 (en) | Sensor | |
ES2353970T3 (es) | Detector de partículas . | |
EP3220124B1 (en) | Particle sensor, and electronic device provided with same | |
US7142298B2 (en) | Particulate monitor | |
JP6688966B2 (ja) | 粒子検出センサ | |
KR102450625B1 (ko) | 검출기 | |
JP2007057360A (ja) | 粒子検出装置及びそれに使用される粒子検出方法 | |
JP5579254B2 (ja) | ターゲットの含水量を判定する装置 | |
KR101574435B1 (ko) | 미세먼지 및 미생물 검출 장치 | |
JP2022506195A (ja) | 光学式のパティキュレートセンサ、特に排ガスセンサ | |
KR102644216B1 (ko) | 입자 센싱 장치 | |
CN103364372A (zh) | 感烟探测器 | |
US7250871B2 (en) | Particulate detector | |
KR101801087B1 (ko) | 광산란을 이용한 입자측정장치 | |
JP2008225539A (ja) | 煙感知器 | |
JP3957639B2 (ja) | オイルミスト検出装置 | |
JP2007309755A (ja) | 光電式煙感知器 | |
CN109883914A (zh) | 一种烟尘光学检测装置 | |
KR102568945B1 (ko) | 입자 센싱 장치 | |
JP2008070608A (ja) | 煙検出装置、閃光定着装置及び画像形成装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071129 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100312 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100406 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100604 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100831 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100927 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131001 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |